JPH0348759A - 蛍光ｘ線分析装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は蛍光Ｘ線分析装置に関し、特に真空系の構造に
関する。

〔従来の技術〕

従来、蛍光Ｘ線分析装置の真空系はオイルポンプやオイ
ル系シール部を有していた。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来の蛍光Ｘｍ分析装置においては、真空系は
オイルポンプやオイル系シール部を使用していたので、
試料の分析中にオイルバックが生じ、試料にオイルが付
着し分析の障害になるはかりか、試料を劣化させてしま
うという欠点がある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の蛍光Ｘ線分析装置は、真空系をオイルレスポン
プおよびオイルレスシール部で構成したものである。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。第１図
は本発明の一実施例の模式断面図である。

試料室５の下部にはＸ線管３と検出器４とが設けられて
おり、試料ホルダー２に保持された試料１にＸ線を照射
し蛍光Ｘ線が測定されるように構成されている。そして
この試料室５にはオイルレスポンプロがオイルレスシー
ル部を用いた排気管７により接続されている。以下動作
について説明する。

試料１を試料ホルダー２へ乗せ、試料室５へ入れた後、
オイルレスポンプロにより試料室５内の雰囲気は排気管
７を通して廃棄される。適当な真空度に試料室５が達し
たらＸ線管３により試料１へＸ線が照射され、試料から
発生した蛍光Ｘ線は検出器４により検出される。

このように構成された本実施例では、ポンプにオイルレ
スポンプロをそして排気管７にオイルレスシール部を使
用しているため、従来のように真空系からのオイルが試
料に付着することはなくなる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、蛍光Ｘ線分析装置の真空
系にオイルレスポンプ及びオイルレスシール部を使用す
ることにより、試料室へのオイルバックを無くすことが
できるため、分析精度を向上させ試料の経時変化を無く
すことができる。

る。

１・・・試料、２・・・試料ホルダー、３・・・Ｘ線管
、４・・・検出器、５・・・試料室、６・・・オイルレ
スポンプ、７・・・排気管。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 蛍光Ｘ線を利用して元素の組成及び含有量を分析・測定
   する蛍光Ｘ線分析装置に於て、真空系をオイルレスポン
   プおよびオイルレスシール部で構成したことを特徴とす
   る蛍光Ｘ線分析装置。