JPH0348119A - 位置検出装置 - Google Patents
位置検出装置Info
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- JPH0348119A JPH0348119A JP18248589A JP18248589A JPH0348119A JP H0348119 A JPH0348119 A JP H0348119A JP 18248589 A JP18248589 A JP 18248589A JP 18248589 A JP18248589 A JP 18248589A JP H0348119 A JPH0348119 A JP H0348119A
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- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims abstract description 88
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 7
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 claims 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 16
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 15
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 1
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１）発明の目的
［産業上の利用分野］
本発明は工作機械やロボット装置等の制御端の位置検出
に使用されものである。
に使用されものである。
［従来の技術］
第３図は従来より実施されている磁気エンコーダの概念
を示す説明図で、（ａ）は回転軸１に固着された（移動
磁性体）磁気ドラム２と、磁気ドラム２の外周に設けら
れた磁気記録と空隙を介して対向配設された磁気センサ
３との関係を示す斜視図で、（ｂ）は磁気ドラム２の磁
気記録と磁気センサ３に設けられた複数のＭＲ素子の夫
々の配設ピッチの関係を示す展開図、（Ｃ）は磁気セン
サ３の４個のＭＲ素子Ｒ□〜Ｒ４をブリッジに組み磁気
ドラム２の回転を検出する電気回路である。
を示す説明図で、（ａ）は回転軸１に固着された（移動
磁性体）磁気ドラム２と、磁気ドラム２の外周に設けら
れた磁気記録と空隙を介して対向配設された磁気センサ
３との関係を示す斜視図で、（ｂ）は磁気ドラム２の磁
気記録と磁気センサ３に設けられた複数のＭＲ素子の夫
々の配設ピッチの関係を示す展開図、（Ｃ）は磁気セン
サ３の４個のＭＲ素子Ｒ□〜Ｒ４をブリッジに組み磁気
ドラム２の回転を検出する電気回路である。
第３図に示された磁気エンコーダの動作概要を第４図（
ａ）により説明する。
ａ）により説明する。
第４図（ａ）において、（イ）ＭＲはＭＲ素子の入力磁
界Ｈと抵抗Ｒとの関係を示す特性曲線で、ＭＨは磁気ド
ラム２の磁界Ｈの変化を示す曲線でｓｉｎθに比例する
ものとすると、ＭＨの変化によりＭＲの抵抗変化は（ハ
）Ｒ，、Ｒ２のようになり、第３図（Ｃ）に示した電気
回路において出力端子ａの電圧は（ニ）のような曲線で
表され磁気ドラムが回転すると其の回転位置に応じて出
力電圧ａが変化し磁気ドラムの磁気信号１サイクルに対
し２サイクルの出力が得らる。
界Ｈと抵抗Ｒとの関係を示す特性曲線で、ＭＨは磁気ド
ラム２の磁界Ｈの変化を示す曲線でｓｉｎθに比例する
ものとすると、ＭＨの変化によりＭＲの抵抗変化は（ハ
）Ｒ，、Ｒ２のようになり、第３図（Ｃ）に示した電気
回路において出力端子ａの電圧は（ニ）のような曲線で
表され磁気ドラムが回転すると其の回転位置に応じて出
力電圧ａが変化し磁気ドラムの磁気信号１サイクルに対
し２サイクルの出力が得らる。
［発明が解決しようとする課題］
ところが第４図に示した磁気エンコーダの出力電圧は基
本的にはＭＲ素子に作用する磁界の強さに比例して変化
するものであるが、磁界の強さに対し抵抗変化が飽和特
性をもっていること、磁界の極性に対し対称でないこと
、外部より移動磁性体の磁気記録とは別の一定方向の磁
界に因り磁界の強さが非対称形となること、又、ＭＲ素
子に作用する磁気記録の磁界の強さがｓｉｎと成らない
等の原因により出力電圧は多くの高調波を含んだ歪波形
となっており、誤差の原因と成っている。
本的にはＭＲ素子に作用する磁界の強さに比例して変化
するものであるが、磁界の強さに対し抵抗変化が飽和特
性をもっていること、磁界の極性に対し対称でないこと
、外部より移動磁性体の磁気記録とは別の一定方向の磁
界に因り磁界の強さが非対称形となること、又、ＭＲ素
子に作用する磁気記録の磁界の強さがｓｉｎと成らない
等の原因により出力電圧は多くの高調波を含んだ歪波形
となっており、誤差の原因と成っている。
第４図（ｃ）は外部磁界の影響で磁気センサに作用する
磁界の強さが非対称形とった場合の出力電圧の波形を示
し、磁気記録の２倍の周期の出力電圧の振幅が１サイク
ル置きに大小となるように変化し、この振幅の変化は１
サイクルの基本波に対し１７２周期であることを示して
いる。
磁界の強さが非対称形とった場合の出力電圧の波形を示
し、磁気記録の２倍の周期の出力電圧の振幅が１サイク
ル置きに大小となるように変化し、この振幅の変化は１
サイクルの基本波に対し１７２周期であることを示して
いる。
又、（ｂ）は磁気記録の磁界が第３高調波を含む場合の
波形を示し、ｖ８の基本波１こ対しＶ、の第３高調波を
重畳させるとＶ、の様な波形と成る。
波形を示し、ｖ８の基本波１こ対しＶ、の第３高調波を
重畳させるとＶ、の様な波形と成る。
上記のようなＭＲ素子の特性の非対称性や外部磁界の作
用に因る磁界の非対称性による波形歪を除く手段につい
ては、電気学会の論文集Ｍａｇｎｅｔｉｃｓ、 ＭＡＧ
−８７−５６，Ｐ４７〜Ｐ５３． ｒ外部磁界補償
形磁気エンコーダノに開示され、又磁界の第３高調波の
影響を除く手段としては本発明者が特願昭６２−２１０
３３９号に夫々開示している。
用に因る磁界の非対称性による波形歪を除く手段につい
ては、電気学会の論文集Ｍａｇｎｅｔｉｃｓ、 ＭＡＧ
−８７−５６，Ｐ４７〜Ｐ５３． ｒ外部磁界補償
形磁気エンコーダノに開示され、又磁界の第３高調波の
影響を除く手段としては本発明者が特願昭６２−２１０
３３９号に夫々開示している。
然し乍らＭＡＧ −８７−５６に開示された手段は、第
５図に示すように磁気センサのＭＲ素子の数が２倍必要
であるため、位置検出装置を小形に構成できないことと
、前記の公知例は夫々の歪を発生する原因が単独に発生
する場合は夫々の効果があるが両者が同時に作用する場
合には同時に除くことができないという問題が残されて
いた。
５図に示すように磁気センサのＭＲ素子の数が２倍必要
であるため、位置検出装置を小形に構成できないことと
、前記の公知例は夫々の歪を発生する原因が単独に発生
する場合は夫々の効果があるが両者が同時に作用する場
合には同時に除くことができないという問題が残されて
いた。
本発明は前記のような従来技術における問題を解決し、
少ない素子数で外部磁界による歪と第３高調波による歪
との両方を除去して回転軸の角度に比例した出力電圧が
得られ、誤差の少ない位置検出装置を得るのが目的であ
る。
少ない素子数で外部磁界による歪と第３高調波による歪
との両方を除去して回転軸の角度に比例した出力電圧が
得られ、誤差の少ない位置検出装置を得るのが目的であ
る。
（２）発明の構成
［課厘を解決するための手段］
本発明においては磁気センサのＭＲ素子の配置が、３個
のＭＲ単素子を、λ／９のピッチで配置し、１回半折り
返しの形に接続した単位のＭＲ素子を（ｎ＋１／２）λ
ピッチで配設して直列に接続した第１の組みと、第１の
組みより（ｎ＋１／２）λピッチ離れた位置に配置され
た第２の組みにより構成され、第１の組みと第２の組み
の出力端子をオペアンプの入力端子に接続し、該オペア
ンプの出力端子より移動体の位置に関する信号を取り出
す構成により達成する。
のＭＲ単素子を、λ／９のピッチで配置し、１回半折り
返しの形に接続した単位のＭＲ素子を（ｎ＋１／２）λ
ピッチで配設して直列に接続した第１の組みと、第１の
組みより（ｎ＋１／２）λピッチ離れた位置に配置され
た第２の組みにより構成され、第１の組みと第２の組み
の出力端子をオペアンプの入力端子に接続し、該オペア
ンプの出力端子より移動体の位置に関する信号を取り出
す構成により達成する。
（但しｎは０，１，２．３・・・・・・・・の正の整数
）［作 用］ 単位のＭＲ素子が、３個のＭＲ単素子を、磁気記録の配
設ピッチλに対しλ／９のピッチで配設され、１回半折
り返しの形に接続した単位のＭＲ素子の動作は先願の特
願昭６２−２１０３３９号に開示したように磁界中に含
まれる第３高調波の成分を除去する作用を有し、更に前
記単位のＭＲ素子を直列に接続した第１の組みと、第２
の組みは対向する移動磁性体の磁気記録の配設ピッチλ
に対し、（ｎ＋１／２）λピッチ離乳た位置に配設され
ているから作用する移動磁性体の磁界の変化する方向が
、第１の組みと第２の組みでは反対であるから１両方の
出力をオペアンプの２入力端子に接続すると第１の組み
の出力電圧と第２の組みの出力電圧の差の電圧がオペア
ンプより出力され、この出力電圧は第３高調波による歪
が除去され波高値の揃った一定振幅の電圧が得られる。
）［作 用］ 単位のＭＲ素子が、３個のＭＲ単素子を、磁気記録の配
設ピッチλに対しλ／９のピッチで配設され、１回半折
り返しの形に接続した単位のＭＲ素子の動作は先願の特
願昭６２−２１０３３９号に開示したように磁界中に含
まれる第３高調波の成分を除去する作用を有し、更に前
記単位のＭＲ素子を直列に接続した第１の組みと、第２
の組みは対向する移動磁性体の磁気記録の配設ピッチλ
に対し、（ｎ＋１／２）λピッチ離乳た位置に配設され
ているから作用する移動磁性体の磁界の変化する方向が
、第１の組みと第２の組みでは反対であるから１両方の
出力をオペアンプの２入力端子に接続すると第１の組み
の出力電圧と第２の組みの出力電圧の差の電圧がオペア
ンプより出力され、この出力電圧は第３高調波による歪
が除去され波高値の揃った一定振幅の電圧が得られる。
［実施例］
第１図は本発明の外部磁界による歪と磁界の第３高調波
に起因する歪とを同時に除去する構成を実施した位置検
出装置の構成を示し、使用する磁気センサのＭＲ素子と
移動磁性体の磁気記録との関係を示す展開図で（ａ）は
単位のＭＲ素子の配設ピッチが移動磁性体の磁気記録の
ピッチ１番こ対しくｎ＋１／２）λの関係においてｎ
＝ Ｏの場合を、（ｂ）は１の場合を、（ｃ）は２の場
合を夫々示していおり、第２図は単位のＭＲ素子の動作
を説明する詳細図である。
に起因する歪とを同時に除去する構成を実施した位置検
出装置の構成を示し、使用する磁気センサのＭＲ素子と
移動磁性体の磁気記録との関係を示す展開図で（ａ）は
単位のＭＲ素子の配設ピッチが移動磁性体の磁気記録の
ピッチ１番こ対しくｎ＋１／２）λの関係においてｎ
＝ Ｏの場合を、（ｂ）は１の場合を、（ｃ）は２の場
合を夫々示していおり、第２図は単位のＭＲ素子の動作
を説明する詳細図である。
第１図において２は移動磁性体（磁気ドラム）の磁気記
録、３は磁気センサでＲ５ｘｙＲｓｚｅＲｓｉｔＲｓ４
は磁気センサ３を構成する単位のＭＲ素子で、Ｒ，１，
Ｒ，、、Ｒ，、、Ｒ，、の順に配列され、Ｒ，１，Ｒ，
□及びＲ，、、Ｒ，、を夫々直列に接続し、（ｄ）４こ
示すようにブリッジを構成し夫々の接続点ａ、ｂを抵抗
を介してオペアンプＱの入力端＋１こ接続し、オペアン
プＱより出力ｅ０を出すよう１二構成されでいる。
録、３は磁気センサでＲ５ｘｙＲｓｚｅＲｓｉｔＲｓ４
は磁気センサ３を構成する単位のＭＲ素子で、Ｒ，１，
Ｒ，、、Ｒ，、、Ｒ，、の順に配列され、Ｒ，１，Ｒ，
□及びＲ，、、Ｒ，、を夫々直列に接続し、（ｄ）４こ
示すようにブリッジを構成し夫々の接続点ａ、ｂを抵抗
を介してオペアンプＱの入力端＋１こ接続し、オペアン
プＱより出力ｅ０を出すよう１二構成されでいる。
令弟２図により単位のＭＲ素子の動作を説明する。（ａ
）は磁気センサ３のＭＲ素子の配置を示し、Ｒ，１，Ｒ
，、、Ｒ５４，Ｒ，□は夫々単位のＭＲ素子で単位のＭ
Ｒ素子はｍ工、ｍ２．ｍ、の単素子を磁気記録の配設ピ
ッチλに対しλ／９のピッチで配設し、夫々の両端Ｐ
ｔ ｑをｍ、、ｍ、のｑ、ｑとｍ２、ｍ、のＰＤＰとを
夫々接続して１回生の折り返しの形となるように形成し
てある。
）は磁気センサ３のＭＲ素子の配置を示し、Ｒ，１，Ｒ
，、、Ｒ５４，Ｒ，□は夫々単位のＭＲ素子で単位のＭ
Ｒ素子はｍ工、ｍ２．ｍ、の単素子を磁気記録の配設ピ
ッチλに対しλ／９のピッチで配設し、夫々の両端Ｐ
ｔ ｑをｍ、、ｍ、のｑ、ｑとｍ２、ｍ、のＰＤＰとを
夫々接続して１回生の折り返しの形となるように形成し
てある。
従って単位のＭＲ素子の単素子ｍよ、ｍ、、ｍ３が対向
する磁気記録より受ける磁界の変化は、（ｂ）に示すよ
うに夫々λ／９ピッチだけ位相・がずれているので各単
素子に発生する電圧も同じ位相角のずれを生ずることに
なり、単位のＭＲ素子の電圧は３個の単素子ｍユ、ｍ、
、ｍ３の電圧の和が出力され、其の結果第３高調波の電
圧の和は零となり基本波電圧のみとなる。
する磁気記録より受ける磁界の変化は、（ｂ）に示すよ
うに夫々λ／９ピッチだけ位相・がずれているので各単
素子に発生する電圧も同じ位相角のずれを生ずることに
なり、単位のＭＲ素子の電圧は３個の単素子ｍユ、ｍ、
、ｍ３の電圧の和が出力され、其の結果第３高調波の電
圧の和は零となり基本波電圧のみとなる。
更に第１図（ａ）の構成で各単位のＭＲ素子Ｒ０〜Ｒ４
を（ｄ）に示すようにブリッジに接続すると其の出力端
子ａ、ｂの出力電圧は（ｅ）に示すようにａｌ１８２の
夫々の波形は外部より作用する一定方向の磁界により其
の振幅が１サイクル毎に大小が表れ、かつ位相が１８０
度異４った波形となり、 ｅ、＝ａ、ｓｉｎ。
を（ｄ）に示すようにブリッジに接続すると其の出力端
子ａ、ｂの出力電圧は（ｅ）に示すようにａｌ１８２の
夫々の波形は外部より作用する一定方向の磁界により其
の振幅が１サイクル毎に大小が表れ、かつ位相が１８０
度異４った波形となり、 ｅ、＝ａ、ｓｉｎ。
６、＝ａ２ｓ ｉ ｎ （θ＋ｚ）＝−ａ、ｓｉｎθ
と表すことができる。
と表すことができる。
ｅ□ｌ ｅｌの波形は外部より作用する一定方向の磁界
に因り、磁気記録の周期の２倍にあたる基本波と、基本
波の１／２周期の雑音波形との合成であるから、ｅｌ＋
ｅｉの出力電圧をオペアンプＱの２人力に接続すると、
オペアンプＱの出力電圧ｅ、は、 ｅ Ｏ： ｅ １ ｅ ２ ＝ａ１ｓ ｉ ｎθ−（−ａ、ｓｉｎθ）＝ （ａ、十
ａ、）ｓ ｉ ｎθ となりｅｌとｅｌの基本波の和が得られ（ｆ）に示すよ
うに基本波の出力電圧が得られる。
に因り、磁気記録の周期の２倍にあたる基本波と、基本
波の１／２周期の雑音波形との合成であるから、ｅｌ＋
ｅｉの出力電圧をオペアンプＱの２人力に接続すると、
オペアンプＱの出力電圧ｅ、は、 ｅ Ｏ： ｅ １ ｅ ２ ＝ａ１ｓ ｉ ｎθ−（−ａ、ｓｉｎθ）＝ （ａ、十
ａ、）ｓ ｉ ｎθ となりｅｌとｅｌの基本波の和が得られ（ｆ）に示すよ
うに基本波の出力電圧が得られる。
尚第１図（ｂ）、（ｃ）に示す磁気センサと移動磁性体
の磁気記録との相関を示す展開図は、前記磁気記録のピ
ッチλに対し単位のＭＲ素子を（ｎ＋１／２）λのピッ
チに配置する関係において。
の磁気記録との相関を示す展開図は、前記磁気記録のピ
ッチλに対し単位のＭＲ素子を（ｎ＋１／２）λのピッ
チに配置する関係において。
（ｂ）はｎ＝１の場合を、（ｃ）はｎ＝２の場合を夫々
示しており（ａ）の場合と其の作用効果は同じである。
示しており（ａ）の場合と其の作用効果は同じである。
［発明の効果］
本発明になる位置検出装置は上記のような構成であるの
で、磁気記録の磁界の第３高調波による波形歪と、外部
磁界による一定方向の磁界に起因する１／２調波の波形
歪の両方を同時に除去できるので誤差の少ない位置検出
装置を得ることができる効果がある。
で、磁気記録の磁界の第３高調波による波形歪と、外部
磁界による一定方向の磁界に起因する１／２調波の波形
歪の両方を同時に除去できるので誤差の少ない位置検出
装置を得ることができる効果がある。
第１図は本発明を実施した位置検出装置の構成を示す図
で、移動磁性体に設けた磁気記録の配置と対向する磁気
センサのＭＲ素子の配置との相関を示す展開図（ａ）、
（ｂ）、（ｃ）と、電気回路図（ｄ）と、ＭＲ素子のブ
リッジの出力電圧の波形図（ｅ）と、オペアンプの出力
電圧の波形図＜ｆ）であり、第２図は本発明に使用する
単位のＭＲ素子の説明図で単位のＭＲ素子の配置図（ａ
）と、単素子に作用する高調波磁界の説明図（ｂ）であ
り、第３図は従来より実施されている磁気エンコーダの
概念図（ａ）と、移動磁性体の磁気記録とＭＲセンサの
配置の相関を示す展開図（ｂ）と、電気回路（ｃ）であ
り、第４図はＭＲセンサに作用する磁界と抵抗の変化及
び出力電圧の関係を示す（ａ）と、磁界に第３高調波が
含まれている場合の合成磁界の説明図（ｂ）と、外部よ
り一定方向の磁界が作用したときの出力電圧を示す（ｃ
）であり、第５図は従来より実施されている外部磁界に
よる波形歪を除去できるＭＲセンサの配！ （ａ）と、
電気回路図（ｂ 、）である。 符号の説明 １・・・回転軸、２・・・移動磁性体（磁気ドラム）、
３・・・磁気センサ、Ｑ・・・オペアンプ、Ｒ工〜Ｒ４
，Ｒ１゜〜Ｒ４２・・・ＭＲ素子、Ｒｓ□〜Ｒ１４・・
・単位のＭＲ素子。
で、移動磁性体に設けた磁気記録の配置と対向する磁気
センサのＭＲ素子の配置との相関を示す展開図（ａ）、
（ｂ）、（ｃ）と、電気回路図（ｄ）と、ＭＲ素子のブ
リッジの出力電圧の波形図（ｅ）と、オペアンプの出力
電圧の波形図＜ｆ）であり、第２図は本発明に使用する
単位のＭＲ素子の説明図で単位のＭＲ素子の配置図（ａ
）と、単素子に作用する高調波磁界の説明図（ｂ）であ
り、第３図は従来より実施されている磁気エンコーダの
概念図（ａ）と、移動磁性体の磁気記録とＭＲセンサの
配置の相関を示す展開図（ｂ）と、電気回路（ｃ）であ
り、第４図はＭＲセンサに作用する磁界と抵抗の変化及
び出力電圧の関係を示す（ａ）と、磁界に第３高調波が
含まれている場合の合成磁界の説明図（ｂ）と、外部よ
り一定方向の磁界が作用したときの出力電圧を示す（ｃ
）であり、第５図は従来より実施されている外部磁界に
よる波形歪を除去できるＭＲセンサの配！ （ａ）と、
電気回路図（ｂ 、）である。 符号の説明 １・・・回転軸、２・・・移動磁性体（磁気ドラム）、
３・・・磁気センサ、Ｑ・・・オペアンプ、Ｒ工〜Ｒ４
，Ｒ１゜〜Ｒ４２・・・ＭＲ素子、Ｒｓ□〜Ｒ１４・・
・単位のＭＲ素子。
Claims (1)
- （１）強磁性体の薄膜で形成され、其の電気抵抗が磁界
の強さにより変化する磁気抵抗効果素子（以下ＭＲ素子
と称する）で構成された磁気センサと、移動方向に沿っ
て複数個の磁気情報がλのピッチで記録してある移動磁
性体とを空隙を介して対向配設した構造の位置検出装置
において、 磁気センサが３個のＭＲ単素子を、 λ／９のピッチで１回半折り返しの形に接続して形成し
た単位のＭＲ素子を、（ｎ＋１／２）λピッチで配置し
て直列に接続した第１の組と、第１の組と同じ構成で第
１の組より（ｎ＋１／２）λピッチ離れた位置に配置さ
れた第２の組とに依り構成され、第１の組の出力と第２
の組の夫々の出力をオペアンプの入力端子に接続し、該
オペアンプの出力より移動体の位置に関する信号を取り
出す構造を特徴とする位置検出装置。 （但しｎは０、１、２、３・・・・・・の正の整数）
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18248589A JPH0348119A (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 | 位置検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18248589A JPH0348119A (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 | 位置検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0348119A true JPH0348119A (ja) | 1991-03-01 |
Family
ID=16119104
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18248589A Pending JPH0348119A (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 | 位置検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0348119A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5720689A (en) * | 1995-03-03 | 1998-02-24 | Nsk Ltd. | Trunnion arrangement for a toroidal type continuously variable transmission |
| JP2005214920A (ja) * | 2004-02-02 | 2005-08-11 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | 磁気センサ |
| DE102005009923A1 (de) * | 2005-03-04 | 2006-09-07 | Sensitec Gmbh | Magnetoresistiver Sensor zur Bestimmung einer Position des Sensors |
Citations (3)
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| JPS5979806A (ja) * | 1982-10-29 | 1984-05-09 | Hitachi Ltd | 多相磁気回転センサおよび多相−２相出力変換方法 |
| JPS6454787A (en) * | 1987-08-26 | 1989-03-02 | Japan Servo | Magnetic sensor |
| JPH01136018A (ja) * | 1987-11-24 | 1989-05-29 | Hitachi Ltd | 磁気的に位置や速度を検出する装置 |
-
1989
- 1989-07-17 JP JP18248589A patent/JPH0348119A/ja active Pending
Patent Citations (3)
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