JPH0346546A - Ｘ線検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、Ｘ線照射位置を調整可能なＸ線検査装置に関
する。

（従来の技術） Ｘ線検査装置では、被検査体を透過あるいは散乱したＸ
線のうち、所望の範囲の透過Ｘ線だけを検出する必要が
ある。

従来のＸ線管の位置調整は、まずコリメータの開口幅を
すきまゲージ等で調整する。そしてＸ線検出器の入射面
に感光紙を貼付けＸ線を照射する。

その後感光紙をはがし、Ｘ線の照射範囲がＸ線検出器の
入射面の中心付近となるようにＸ線管位置を調整する。

コリメータが複数の場合は、Ｘ線検出器に近いコリメー
タを全開とし、Ｘ線管に近いコリメータから上記のよう
な調整をするものであった。

（発明が解決しようとする課題） このような従来調整では、位置設定の精度が不十分であ
り、Ｘ線検出器への入射Ｘ線量が減少し、また散乱線の
入射が増加する。そのために正しい透過Ｘ線量を測定で
きなかった。従って、Ｘ線の透過量を画像化した場合、
ボケ・実在しない偽像等が発生し画質低下が生じること
がある。

本発明は、Ｘ線検出器へ所望のＸ線を入射させ散乱線の
影響を受けることなく正確な透過Ｘ線量を測定でき、さ
らに画質低下を防ぐＸ線検査装置を得ることである。

〔発明の構成〕

（課題を解決するための手段） 上記目的を達成するために本発明は、Ｘ線源から発生す
る扇状Ｘ線をコリメートするコリメータと、このコリメ
ータを透過したＸ線源からの扇状のＸ線の強度に応じて
検出値を出力する複数の検出素子で構成されるＸ線検出
器と、Ｘ線の照射方向の回転移動、Ｘ線検出器の検出面
に対してスライス方向の前後移動、この検出面に対して
検出素子方向の左右移動、この検出面に対して垂直方３
− 向の上下移動をＸ線源に行わせる位置調整手段と、Ｘ線
検出器の複数の検出素子のうち任意の検出素子を選択し
、位置調整手段によりＸ線源を移動させ、これら任意の
検出素子で得られるＸ線強度を示す信号を用いて、Ｘ線
源のＸ線検出器に対する適正位置を演算する演算手段で
構成する。

（作用） Ｘ線源から照射された扇状のＸ線は、コリメータでコリ
メートされＸ線検出器へ入射する。この複数の検出素子
で構成されるＸ線検出器は、入射したＸ線の強度に応じ
て検出値を出力する。演算手段は、Ｘ線検出器から任意
の検出素子を選択し、これらの検出素子の検出値から演
算手段はＸ線検出器に対するＸ線源の適正位置を演算し
て位置調整手段によりＸ線源を移動させる。

（実施例） 以下、本発明に基づ〈実施例を図面を参照して説明する
。

第１図は、本発明に基づくＸ線検査装置の概略構成を示
す図である。１はＸ線源で、扇状のＸ線ビーム１ａを照
射する。２及び３はＸ線の所望の照射範囲を規制するコ
リメータ、４は照射されたＸ線の強度に応じて電気信号
を発生する複数の検出素子で構成されたＸ線検出器であ
る。５はこのＸ線検出器４の出力信号を演算処理できる
ようにデジタル値に変換するデータ収集部である。６は
このデータ収集部５からの出力信号からＸ線検出器４に
対するＸ線源工の最適位置を演算する演算部である。７
は演算部６の最適位置を示す出力信号から、その最適位
置へＸ線源１を移動させる位置調整手段である。

次にＸ線源の位置調整を第２図に示すフローチャートを
用いて説明する。Ｘ線源１から発生したＸ線は、コリメ
ータ２，３によりコリメートされてＸ線検出器４で検出
される。このＸ線強度に応じた検出値は、データ収集部
５でＡ／Ｄコンバータを通じてデジタル信号に変換され
る。演算部６は、あらかじめ機械的位置調整された状態
でＸ線源１の現在位置でＸ線検出器４の検出素子のうち
、検出されるＸ線量が最大となる検出素子４１を求める
。この検出素子４１に対しＸ線検出器４の長手方向右側
の検出素子４２、左側の検出素子４３も求める。

この場合、検出素子４１の透過Ｘ線量に比べて小さくな
るように検出素子４２．４３をＸ線検出器４の端部近傍
とする。第２図において、このときのＸ線源１の位置を
Ａとする（ステップ２０１）。次にＸ線源１を第２図の
Ｒ方向である軸回転方向に任意に２回回転させてＸ線源
１のそれぞれの移動位置をＢ、Ｃとする。これらの位置
で検出素子４１．４２゜４３の透過Ｘ線量を測定する（
ステップ２０２，２０３）。

第３図は検出素子４１の位置Ａ、Ｂ、Ｃにおける透過Ｘ
線量を示す図である。これから、位置的に中間にはさま
れた位置を１回目の測定時が位置Ａ。

２回目が位置Ａ、３回目が位置Ｃとする。３回目の測定
のように、位置的に中間にはさまれた透過Ｘ線量が最大
となるまでこの操作を繰り返す（ステップ２０４）。検
出素子４２．４３についても同様であり、この操作の完
了後、Ｘ線源のＲ方向の調整を終了する。

同様に、第１のＦ／Ｂ方向である前後移動（検出面に対
してスライス方向）、Ｌ／Ｒ方向である左右移動（検出
面に対して検出素子方向）、Ｕ／」蚕向である上下移動
（検出面に対して垂直方向）についても行う。これらの
調整におけるＸ線源１の移動は演算部６の出力信号から
位置調整手段７で行い、それぞれの移動方向毎にＸ線源
１を最適な位置へ移動させる。

また、第４図はＸ線源１のそれぞれの移動方向について
調整した場合の演算部６の出力を示す図である。

（ａ）は、Ｘ線源１を軸回転方向（Ｒ）に調整した場合
であり、（ｂ）はＸ線源１を前後方向（Ｆ／Ｂ）に調整
した場合である。（Ｃ）はＸ線源１を左右方向（Ｌ／　
Ｒ）に調整した場合であり、（ｄ）はＸ線源１を上下方
向（Ｕ／Ｄ）に調整した場合である。

（ａ）及び（ｃ）の場合は検出素子４１の透過Ｘ線量が
最大で検出素子４２．４３の透過Ｘ線量が一致する位置
を最適位置とする。（ｂ）及び（ｄ）の場合は検出素子
４１、４２．４３の透過Ｘ線量が最大となる位置を最適
位置とする。

ここで、透過Ｘ線量の最大となる位置を最適とするのは
、Ｘ線の透過量を画像化した場合、画質は線量が大きく
なる程向上するためである。また検出素子４２．４３の
透過Ｘ線量が一致する位置を最適とするのは、Ｘ線検出
器４の長手方向左右のバランスをとることにより偽像・
ボケ等を低減するためである。

以上の調整において、（ａ）及び（ｃ）の場合の検出素
子４１の透過Ｘ線量が最大となる位置と検出素子４２、
４３の透過Ｘ線量が一致する位置、（ｂ）及び（ｄ）の
場合の検出素子４１．４２．４３の透過Ｘ線量が最大と
なる位置は理想的には一致する。しかし実際にはフす１
〜ンノイズの影響等により、これらの位置は通常一致す
ることはない。この場合は検出素子４２、４３の検出感
度が違うことがあるので検出素子４１の検出値を重視し
、例えば重みづけ平均をして検出素子４１の透過Ｘ線量
が最大となる位置に近い位置を最適位置とする（第４図
（Ｃ）参照）。

本実施例において、Ｘ線源１の同一位置で測定を数回繰
り返せば、Ｘ線の照射条件の時間的変動− を低減することも可能である。

〔発明の効果〕

本発明によれば散乱線の混入を低減し、フォトンノイズ
の影響も低減できるので、透過Ｘ線量を正しく測定でき
、Ｘ線検出器で受けるＸ線により被検査体を画像化する
場合は、偽像・ボケを低減させ画質も向上するＸ線検査
装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるＸ線検査装置の概略構成図、第２
図は演算部の動作を説明するためのフローチャート、第
３図はＸ線源の一方向の調整を完了するまでの過程を説
明するためのＸ線源の位置−透過Ｘ線量特性、第４図は
演算部が出力するＸ線源の位置と透過Ｘ線量の関係を示
す図である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　扇状のＸ線を発生するＸ線源と、 このＸ線源からの扇状Ｘ線をコリメートするコリメータ
   と、 前記Ｘ線源から照射された扇状のＸ線の強度に応じて検
   出値を出力する複数の検出素子で構成されるＸ線検出器
   と、 Ｘ線の照射方向の回転移動、前記Ｘ線検出器の検出面に
   対してスライス方向の前後移動、この検出面に対して検
   出素子方向の左右移動、この検出面に対して垂直方向の
   上下移動を前記Ｘ線源に行わせる位置調整手段と、 前記Ｘ線検出器の複数の検出素子のうち任意の検出素子
   を選択し、前記位置調整手段により前記Ｘ線源を移動さ
   せ、前記任意の検出素子で得られるＸ線強度を示す信号
   を用いて前記Ｘ線源の前記Ｘ線検出器に対する適正位置
   を演算する演算手段とを有するＸ線検査装置。