JPH0346322Y2 - - Google Patents
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- JPH0346322Y2 JPH0346322Y2 JP19122384U JP19122384U JPH0346322Y2 JP H0346322 Y2 JPH0346322 Y2 JP H0346322Y2 JP 19122384 U JP19122384 U JP 19122384U JP 19122384 U JP19122384 U JP 19122384U JP H0346322 Y2 JPH0346322 Y2 JP H0346322Y2
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- light
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 13
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 10
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は精密測長計測が要求される機器に用い
られる２波長干渉レーザ測長装置に関する。
られる２波長干渉レーザ測長装置に関する。
精密測長計測が要求される分野では、光波干渉
による計測が多く利用され、いくつかの方式が実
用化されているが、より一層の精度を上げる為
に、現在、２波長干渉レーザ測寸法について、実
用化へ向けて研究開発中である。
による計測が多く利用され、いくつかの方式が実
用化されているが、より一層の精度を上げる為
に、現在、２波長干渉レーザ測寸法について、実
用化へ向けて研究開発中である。
その基本構成は第３図に示すように、２波長光
源０１、スキヤニング反射鏡０２、半透明鏡０
３、ワーク０４、光強度検出器０５、増幅回路０
６、２乗回路０７、フイルタ回路０８、演算処理
回路０９等から成り、２つの波長（λ1，λ2）をも
つ光源０１の干渉によつて第４図に示すように、
元の波長λSより長い波長λS（λ1・λ2／λ1−λ2）を
合成し、 干渉縞を生成させて、測寸対象とする２点からの
反射光の位相差から光路差を求めるものである。
源０１、スキヤニング反射鏡０２、半透明鏡０
３、ワーク０４、光強度検出器０５、増幅回路０
６、２乗回路０７、フイルタ回路０８、演算処理
回路０９等から成り、２つの波長（λ1，λ2）をも
つ光源０１の干渉によつて第４図に示すように、
元の波長λSより長い波長λS（λ1・λ2／λ1−λ2）を
合成し、 干渉縞を生成させて、測寸対象とする２点からの
反射光の位相差から光路差を求めるものである。
例えばワーク０４がL1の位置にある状態でス
キヤニング反射鏡０２をある量だけ移動させる
と、測定光と参照光の光路差が変化し、光強度検
出器０５で検出される干渉光の強さは第５図ａの
ようになる。次にワーク０４がL2の位置にある
状態で、第５図ａの波形を得た時と同様にスキヤ
ニング反射鏡０２を移動させると、第５図ｂのよ
うな干渉光の強さが得られる。その信号を増幅回
路０６で増幅し、２乗回路０７、フイルタ回路０
８を通すことにより、第５図ｃ，ｄのような信号
が得られ、その位相差から光路差を求めるもので
ある。
キヤニング反射鏡０２をある量だけ移動させる
と、測定光と参照光の光路差が変化し、光強度検
出器０５で検出される干渉光の強さは第５図ａの
ようになる。次にワーク０４がL2の位置にある
状態で、第５図ａの波形を得た時と同様にスキヤ
ニング反射鏡０２を移動させると、第５図ｂのよ
うな干渉光の強さが得られる。その信号を増幅回
路０６で増幅し、２乗回路０７、フイルタ回路０
８を通すことにより、第５図ｃ，ｄのような信号
が得られ、その位相差から光路差を求めるもので
ある。
ΔL＝L1−L2は次式で求めることができる。
ΔL＝L1−L2＝λS／２・（Ｎ＋φ／360）
ΔL：光路差
Ｎ：予め把握している定数
φ：位相差
〔考案が解決しようとする問題点〕
しかしながら上記した方式に於いては、第５図
ａ，ｂの信号レベルが、空気の揺ぎ、振動による
光学系のズレ等により、第６図ａ，ｂの如く、変
動を起こすと、第６図ｃ，ｄに示すように信号レ
ベルが変化し、信号波形が乱れて、位相測定精度
に大きな影響を与える。
ａ，ｂの信号レベルが、空気の揺ぎ、振動による
光学系のズレ等により、第６図ａ，ｂの如く、変
動を起こすと、第６図ｃ，ｄに示すように信号レ
ベルが変化し、信号波形が乱れて、位相測定精度
に大きな影響を与える。
そこで本考案に於いては、第６図ｃ，ｄに示す
ように合成波のレベルが変動しても測定精度に影
響を与えないようにしたもので、上述した光強度
検出器５の出力信号を別光源から取込んだ信号で
除算し正規化することによつて、上述の２乗回路
７に入力される合成波レベルの安定化を計り、高
い測定精度が維持できるようにしたものである。
ように合成波のレベルが変動しても測定精度に影
響を与えないようにしたもので、上述した光強度
検出器５の出力信号を別光源から取込んだ信号で
除算し正規化することによつて、上述の２乗回路
７に入力される合成波レベルの安定化を計り、高
い測定精度が維持できるようにしたものである。
以下第１図及び第２図を参照して本考案の一実
施例を説明する。本考案の一実施例に於ける構成
は、第１図に示すように、２波長光源１、スキヤ
ニング反射鏡２、半透明鏡３、ワーク４、光強度
検出器Ａ５、増幅回路６、２乗回路７、フイルタ
回路８、演算処理回路９、単一波長光源（例えば
He−Neレーザ）１０、半透明鏡１１、半透明鏡
１２、光強度検出器Ｂ１８、除算回路１９等から
成り、光強度検出器Ａ５の信号を光強度検出器Ｂ
１８の出力ピーク値で除算を行い、それを２乗回
路７に入力する。
施例を説明する。本考案の一実施例に於ける構成
は、第１図に示すように、２波長光源１、スキヤ
ニング反射鏡２、半透明鏡３、ワーク４、光強度
検出器Ａ５、増幅回路６、２乗回路７、フイルタ
回路８、演算処理回路９、単一波長光源（例えば
He−Neレーザ）１０、半透明鏡１１、半透明鏡
１２、光強度検出器Ｂ１８、除算回路１９等から
成り、光強度検出器Ａ５の信号を光強度検出器Ｂ
１８の出力ピーク値で除算を行い、それを２乗回
路７に入力する。
単一波長光源１０からの信号を、半透明鏡１１
から半透明鏡１２に至る前記２波長光源１の所定
の光路（半透明鏡１１とワーク４の間の光路、及
び半透明鏡３，１２間の光路）と同一である光路
を経て光強度検出器Ｂ１８で受ける。その干渉縞
明暗出力としては、第２図ｂの如く信号で、空気
の揺ぎ、振動等の影響を受けた時にも光強度検出
器Ａ５の出力に対応した出力となる。
から半透明鏡１２に至る前記２波長光源１の所定
の光路（半透明鏡１１とワーク４の間の光路、及
び半透明鏡３，１２間の光路）と同一である光路
を経て光強度検出器Ｂ１８で受ける。その干渉縞
明暗出力としては、第２図ｂの如く信号で、空気
の揺ぎ、振動等の影響を受けた時にも光強度検出
器Ａ５の出力に対応した出力となる。
従つて光強度検出器Ａ５の出力を光強度検出器
Ｂ１８の出力（第２図ｂの・印のレベル）で除算
することにより、光強度検出器Ａ５の出力レベル
が変動しても、第２図ｃのような安定した信号を
得ることができ、この信号を２乗回路７、フイル
タ回路８を通すことにより、安定した合成波信号
が得られる。
Ｂ１８の出力（第２図ｂの・印のレベル）で除算
することにより、光強度検出器Ａ５の出力レベル
が変動しても、第２図ｃのような安定した信号を
得ることができ、この信号を２乗回路７、フイル
タ回路８を通すことにより、安定した合成波信号
が得られる。
以上詳述したように本考案の２波長干渉レーザ
測長装置によれば、２波長光源部、及び該光源部
からの発振レーザ光を所定の光路を経て入射する
第１の光強度検出器と独立して、レベル補正用の
レーザ光源部、及び該光源部からの発振レーザ光
を上記所定の光路を経て入射する第２の光強度検
出器を設け、上記第２の光強度検出器の出力によ
り上記第１の光強度検出器の出力レベルを補正す
る構成としたことにより、雰囲気状態に関係なく
安定した合成波信号が得られ、高い測定精度を維
持することのできる２波長干渉レーザ測長装置が
提供できる。
測長装置によれば、２波長光源部、及び該光源部
からの発振レーザ光を所定の光路を経て入射する
第１の光強度検出器と独立して、レベル補正用の
レーザ光源部、及び該光源部からの発振レーザ光
を上記所定の光路を経て入射する第２の光強度検
出器を設け、上記第２の光強度検出器の出力によ
り上記第１の光強度検出器の出力レベルを補正す
る構成としたことにより、雰囲気状態に関係なく
安定した合成波信号が得られ、高い測定精度を維
持することのできる２波長干渉レーザ測長装置が
提供できる。
第１図は本考案の一実施例を示すブロツク図、
第２図は上記実施例に於ける各部の信号波形図、
第３図は既存の装置構成を示すブロツク図、第４
図乃至第６図はそれぞれ上記第３図の動作を説明
するための各部の信号波形図である。 １……２波長光源、２……スキヤニング反射
鏡、３，１１，１２……半透明鏡、４……ワー
ク、５……光強度検出器Ａ、６……増幅回路、７
……２乗回路、８……フイルタ回路、９……演算
処理回路、１０……単一波長光源、１８……光強
度検出器Ｂ、１９……除算回路。
第２図は上記実施例に於ける各部の信号波形図、
第３図は既存の装置構成を示すブロツク図、第４
図乃至第６図はそれぞれ上記第３図の動作を説明
するための各部の信号波形図である。 １……２波長光源、２……スキヤニング反射
鏡、３，１１，１２……半透明鏡、４……ワー
ク、５……光強度検出器Ａ、６……増幅回路、７
……２乗回路、８……フイルタ回路、９……演算
処理回路、１０……単一波長光源、１８……光強
度検出器Ｂ、１９……除算回路。
Claims (1)
- ２波長干渉レーザ測長装置に於いて、２波長光
源部、及び該光源部からの発振レーザ光を所定の
光路を経て入射する第１の光強度検出器と独立し
て、レベル補正用のレーザ光源部、及び該光源部
からの発振レーザ光を上記所定の光路を経て入射
する第２の光強度検出器を設け、上記第２の光強
度検出器の出力により上記第１の光強度検出器の
出力レベルを補正することを特徴とした２波長干
渉レーザ測長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19122384U JPH0346322Y2 (ja) | 1984-12-17 | 1984-12-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19122384U JPH0346322Y2 (ja) | 1984-12-17 | 1984-12-17 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61105806U JPS61105806U (ja) | 1986-07-05 |
| JPH0346322Y2 true JPH0346322Y2 (ja) | 1991-09-30 |
Family
ID=30748663
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19122384U Expired JPH0346322Y2 (ja) | 1984-12-17 | 1984-12-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0346322Y2 (ja) |
-
1984
- 1984-12-17 JP JP19122384U patent/JPH0346322Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61105806U (ja) | 1986-07-05 |
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