JPH0344287B2 - - Google Patents
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- JPH0344287B2 JPH0344287B2 JP58185598A JP18559883A JPH0344287B2 JP H0344287 B2 JPH0344287 B2 JP H0344287B2 JP 58185598 A JP58185598 A JP 58185598A JP 18559883 A JP18559883 A JP 18559883A JP H0344287 B2 JPH0344287 B2 JP H0344287B2
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
- G03F7/028—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with photosensitivity-increasing substances, e.g. photoinitiators
- G03F7/029—Inorganic compounds; Onium compounds; Organic compounds having hetero atoms other than oxygen, nitrogen or sulfur
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
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Description
本発明は、優れた感度を示す光硬化性樹脂組成
物に関するものである。さらに詳しくは、ポルフ
イリン類あるいは金属ポルフイリン類とジアリー
ルヨードニウム塩との組合わせを光重合開始剤と
することを特徴とする光硬化性樹脂組成物に関す
るものである。 光重合を原理とする光不溶性樹脂の感光速度を
増大させるために、多くの研究がなされている
が、その多くは紫外線に活性な光重合開始剤に関
するものである。一方、光不溶性樹脂はフオトレ
ジスト、インキ、塗料、ワニス、印刷製版材料な
どはもとより、レーザ光を用いる画像形成材料や
銀塩に代る感光材料としても注目されている。こ
のレーザ用としての感光特性は、従来のものでは
甚だ不十分なものでしかない。そのため、感光波
長領域を拡大し、しかも感光速度を飛躍的に増大
させる必要がある。 可視光線に感光する光重合性樹脂としてはいく
つかの提案がなされている。特開昭48−36281号
公報においては、エチレン系不飽和によるトリア
ジン環と共役された少なくとも1つのトリハロメ
チル基と少なくとも1つの発色団部分を有するS
−トリアジンを光重合開始剤とする方法が提案さ
れている。また、特開昭54−155292号公報におい
ては、p−ジアルキルアミノアリリデンと共役し
た不飽和ケトンを光重合開始剤とする組成物が提
案されている。あるいはまた、特開昭52−134692
号公報においては、多環性キノンと3級アミンを
光重合開始系とする組成物が提案されている。 これらはいずれも従来の光重合性樹脂に比べ
て、より長波長光に感ずる材料を与えることが出
来るが、レーザ用感光材料や銀塩代替材料などと
して利用するにはなお一層高い感光速度が望まれ
る。 さらに、光重合開始剤として、ポルフイリン類
や金属ポルフイリン類を単独で用いることや(特
開昭53−27676号公報)ジアリールヨードニウム
塩を単独で、あるいは特定の芳香族化合物や複素
環化合物と組み合わせて含む光重合性組成物(特
開昭51−100716号公報、特開昭53−22597号公報、
特開昭51−84451号公報)なども提案されている
が、いずれも感度が低く、レーザ光や長波長光に
よる画像形成露光に対しては実用的でない。 本発明は、光分解により酸を発生するジアリー
ルヨードニウム塩の増感分解反応を検討する過程
で、ポルフイリン類や金属ポルフイリン類が効率
良くヨードニウム塩の光分解を増感することを見
い出し、その知見に基づいて完成されたものであ
る。 すなわち、本発明は、(A)重合能を有するエチレ
ン性不飽和結合を少なくとも1つ有する化合物お
よび(B)光重合開始剤からなる光硬化性樹脂組成物
において、一般式() (式中のMは2つの水素原子あるいはMg、Zn、
Cuを示し、X1、X2、X3、X4はそれぞれCH、
CC6H5またはNを示し、R1、R2、R3、R4、R5、
R6、R7、R8はそれぞれアルキル基、置換アルキ
ル基、ビニル基、フエニル基あるいは縮合ベンゼ
ン環を構成する−CH=CH−を示す) で表わされるポルフイリンあるいは金属ポルフイ
リン、もしくはそれらのジヒドロ誘導体、あるい
はそれらのアザアナログ体であるポルフイリン類
あるいは金属ポルフイリンとジアリールヨードニ
ウム塩との組合わせを光重合開始剤とする光硬化
性樹脂組成物に関するものである。 本発明によれば、ポルフイリン類あるいは金属
ポルフイリン類が極めて高い効率で光重合を開始
するので、長波長光に高感度で不溶化する感光材
料を製造することが出来る。 本発明の光硬化性樹脂組成物を構成するエチレ
ン性不飽和結合を少なくとも1つ持つ化合物とし
ては、ビニル系モノマーの他にオリゴマーを含
み、さらには、高分子量化合物でもよい。具体的
には、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、
マレイン酸、アクリルアミド、メタアクリルアミ
ド、ジアセトンアクリルアミド、2−ヒドロキシ
エチルアクリレート、N−ビニルカルバゾール、
N−ビニルピロリドンなどの高沸点モノマーがあ
り、さらには、エチレングリコール、ジエチレン
グリコール、1,3−プロパンジオール、1,4
−ブタンジオール、1,5−ペンタンジオール、
1,6−ヘキサンジオール、1,10−デカンジオ
ール、トリメチロールエタン、ペンタエリスリト
ール、ソルビトール、マンニトールなどのジある
いはポリ(メタ)アクリルエステル、さらには、
(メタ)アクリル化されたエポキシ樹脂、ポリエ
ステルアクリレートオリゴマー、(メタ)アクリ
ル化ウレタンオリゴマー、アクロレイン化ポリビ
ニルアルコールなどをあげることが出来るが、こ
の限りではない。 光重合開始剤を構成する一般式()で表わさ
れるポルフイリン類としては、基本骨核がポルフ
イリンあるいはそのメチン基が窒素原子で置換さ
れたアザアナログ体のものであり、あるいはポル
フイリンのジヒドロ体であるクロリンでもよい。
具体的な例としては、ポルフイン、オクタメチル
ポルフイン、オクタエチルポルフイン、メソ−テ
トラフエニルポルフイン、プロトポルフイン、ヘ
マトポルフイン、メソポルフイリン、後三者のモ
ノまたはジエステルあるいはモノまたはジアミド
誘導体、テトラアザポルフイリン、オクタフエニ
ルテトラアザポルフイリン、フタロシアニン、ク
ロリン、オクタエチルクロリンあるいは以上の化
合物のマグネシウム、亜鉛、銅錯体をあげること
が出来る。クロロフイル類も用いることが出来
る。 光重合開始系を構成する今一つの成分としての
ジアリールヨードニウム塩は、一般式() (式中のR9、R10は水素原子、低級アルキル基、
メトキシ基またはニトロ基を示し、X-はハロゲ
ンイオン、BF4 -、PF6 -またはAsF6 -を示す) で表わされる化合物である。本発明で用いられる
一般式()で表わされる化合物としては、
Macromolecules,10,1307(1977)に記載の化
合物、たとえば、ジフエニルヨードニウム、ジト
リルヨードニウム、フエニル(p−アニシル)ヨ
ードニウム、ビス(m−ニトロフエニル)ヨード
ニウム、ビス(p−tert−ブチルフエニル)ヨー
ドニウムなどのヨードニウムのクロリド、ブロミ
ドあるいはホウフツ化塩、ヘキサフルオロホスフ
エート塩、ヘキサフルオロアルセネート塩をあげ
ることが出来る。 本発明の光硬化性樹脂組成物中に含有される光
重合開始剤の量は、一般式()で表わされるポ
ルフイリン類あるいは金属ポルフイリン類対エチ
レン性化合物の重量比で約1:5から約1:500
までの広い範囲をとることが可能であり、好まし
くは1:10から1:100の範囲である。また、ポ
ルフイリン類または金属ポルフイリン類とジアリ
ールヨードニウム塩との重量比は約10:1から約
1:10までの範囲であり、好ましくは、約2:1
から約1:5までの範囲である。 本発明の光硬化性樹脂組成物には所望に応じて
公知のバインダー、熱重合禁止剤、可塑剤などの
添加剤を加えてもよい。 本発明の組成物に適した光源としては、高圧水
銀灯、超高圧水銀灯、高圧キセノン灯、ハロゲン
ランプ、蛍光灯のほかに、He−Cd、Ar、He−
Neなどのレーザが利用出来る。 本発明の光硬化性樹脂組成物は、従来の光重合
性組成物よりも優れた感度を有しているので、平
版や凸版用製版材料、レリーフの作製、非銀塩画
像の作成、プリント配線板の作成など幅広い分野
に応用できる。 以下実施例をもつて本発明をさらに詳細に説明
するが、本発明は、これに限定されるものではな
い。 実施例 1〜7 クロロメチルスチレンとメタクリル酸メチルと
の1:1共重合体1.35gと3,4−ジヒドロ−
2H−ピラン−2−カルボン酸ナトリウム1.86g
とをジメチルアセトアミド20ml中60〜80℃で1日
撹拌して反応させ、水−メタノール(2:1)の
混合液にポリマーを再沈させた。メタノールで十
分に洗つてから再びジオキサンに溶解後メタノー
ルへ沈澱させて精製した。得られたポリマーを7
重量%のN−メチルピロリドン溶液に調製し、こ
れにジフエニルヨードニウム・ヘキサフルオロホ
スフエートとポルフイリン類をそれぞれポリマー
に対して20重量%および10重量%になるように添
加して感光性溶液とした。これを陽極酸化アルミ
板上にスピン塗布し、コダツクステツプタブレツ
トNo.1を用いてキセノン灯を光源として感度を測
定した。 結果は、表1にまとめて示した。感度は東京応
化工業(株)のTPRに対する相対値で示してある。
物に関するものである。さらに詳しくは、ポルフ
イリン類あるいは金属ポルフイリン類とジアリー
ルヨードニウム塩との組合わせを光重合開始剤と
することを特徴とする光硬化性樹脂組成物に関す
るものである。 光重合を原理とする光不溶性樹脂の感光速度を
増大させるために、多くの研究がなされている
が、その多くは紫外線に活性な光重合開始剤に関
するものである。一方、光不溶性樹脂はフオトレ
ジスト、インキ、塗料、ワニス、印刷製版材料な
どはもとより、レーザ光を用いる画像形成材料や
銀塩に代る感光材料としても注目されている。こ
のレーザ用としての感光特性は、従来のものでは
甚だ不十分なものでしかない。そのため、感光波
長領域を拡大し、しかも感光速度を飛躍的に増大
させる必要がある。 可視光線に感光する光重合性樹脂としてはいく
つかの提案がなされている。特開昭48−36281号
公報においては、エチレン系不飽和によるトリア
ジン環と共役された少なくとも1つのトリハロメ
チル基と少なくとも1つの発色団部分を有するS
−トリアジンを光重合開始剤とする方法が提案さ
れている。また、特開昭54−155292号公報におい
ては、p−ジアルキルアミノアリリデンと共役し
た不飽和ケトンを光重合開始剤とする組成物が提
案されている。あるいはまた、特開昭52−134692
号公報においては、多環性キノンと3級アミンを
光重合開始系とする組成物が提案されている。 これらはいずれも従来の光重合性樹脂に比べ
て、より長波長光に感ずる材料を与えることが出
来るが、レーザ用感光材料や銀塩代替材料などと
して利用するにはなお一層高い感光速度が望まれ
る。 さらに、光重合開始剤として、ポルフイリン類
や金属ポルフイリン類を単独で用いることや(特
開昭53−27676号公報)ジアリールヨードニウム
塩を単独で、あるいは特定の芳香族化合物や複素
環化合物と組み合わせて含む光重合性組成物(特
開昭51−100716号公報、特開昭53−22597号公報、
特開昭51−84451号公報)なども提案されている
が、いずれも感度が低く、レーザ光や長波長光に
よる画像形成露光に対しては実用的でない。 本発明は、光分解により酸を発生するジアリー
ルヨードニウム塩の増感分解反応を検討する過程
で、ポルフイリン類や金属ポルフイリン類が効率
良くヨードニウム塩の光分解を増感することを見
い出し、その知見に基づいて完成されたものであ
る。 すなわち、本発明は、(A)重合能を有するエチレ
ン性不飽和結合を少なくとも1つ有する化合物お
よび(B)光重合開始剤からなる光硬化性樹脂組成物
において、一般式() (式中のMは2つの水素原子あるいはMg、Zn、
Cuを示し、X1、X2、X3、X4はそれぞれCH、
CC6H5またはNを示し、R1、R2、R3、R4、R5、
R6、R7、R8はそれぞれアルキル基、置換アルキ
ル基、ビニル基、フエニル基あるいは縮合ベンゼ
ン環を構成する−CH=CH−を示す) で表わされるポルフイリンあるいは金属ポルフイ
リン、もしくはそれらのジヒドロ誘導体、あるい
はそれらのアザアナログ体であるポルフイリン類
あるいは金属ポルフイリンとジアリールヨードニ
ウム塩との組合わせを光重合開始剤とする光硬化
性樹脂組成物に関するものである。 本発明によれば、ポルフイリン類あるいは金属
ポルフイリン類が極めて高い効率で光重合を開始
するので、長波長光に高感度で不溶化する感光材
料を製造することが出来る。 本発明の光硬化性樹脂組成物を構成するエチレ
ン性不飽和結合を少なくとも1つ持つ化合物とし
ては、ビニル系モノマーの他にオリゴマーを含
み、さらには、高分子量化合物でもよい。具体的
には、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、
マレイン酸、アクリルアミド、メタアクリルアミ
ド、ジアセトンアクリルアミド、2−ヒドロキシ
エチルアクリレート、N−ビニルカルバゾール、
N−ビニルピロリドンなどの高沸点モノマーがあ
り、さらには、エチレングリコール、ジエチレン
グリコール、1,3−プロパンジオール、1,4
−ブタンジオール、1,5−ペンタンジオール、
1,6−ヘキサンジオール、1,10−デカンジオ
ール、トリメチロールエタン、ペンタエリスリト
ール、ソルビトール、マンニトールなどのジある
いはポリ(メタ)アクリルエステル、さらには、
(メタ)アクリル化されたエポキシ樹脂、ポリエ
ステルアクリレートオリゴマー、(メタ)アクリ
ル化ウレタンオリゴマー、アクロレイン化ポリビ
ニルアルコールなどをあげることが出来るが、こ
の限りではない。 光重合開始剤を構成する一般式()で表わさ
れるポルフイリン類としては、基本骨核がポルフ
イリンあるいはそのメチン基が窒素原子で置換さ
れたアザアナログ体のものであり、あるいはポル
フイリンのジヒドロ体であるクロリンでもよい。
具体的な例としては、ポルフイン、オクタメチル
ポルフイン、オクタエチルポルフイン、メソ−テ
トラフエニルポルフイン、プロトポルフイン、ヘ
マトポルフイン、メソポルフイリン、後三者のモ
ノまたはジエステルあるいはモノまたはジアミド
誘導体、テトラアザポルフイリン、オクタフエニ
ルテトラアザポルフイリン、フタロシアニン、ク
ロリン、オクタエチルクロリンあるいは以上の化
合物のマグネシウム、亜鉛、銅錯体をあげること
が出来る。クロロフイル類も用いることが出来
る。 光重合開始系を構成する今一つの成分としての
ジアリールヨードニウム塩は、一般式() (式中のR9、R10は水素原子、低級アルキル基、
メトキシ基またはニトロ基を示し、X-はハロゲ
ンイオン、BF4 -、PF6 -またはAsF6 -を示す) で表わされる化合物である。本発明で用いられる
一般式()で表わされる化合物としては、
Macromolecules,10,1307(1977)に記載の化
合物、たとえば、ジフエニルヨードニウム、ジト
リルヨードニウム、フエニル(p−アニシル)ヨ
ードニウム、ビス(m−ニトロフエニル)ヨード
ニウム、ビス(p−tert−ブチルフエニル)ヨー
ドニウムなどのヨードニウムのクロリド、ブロミ
ドあるいはホウフツ化塩、ヘキサフルオロホスフ
エート塩、ヘキサフルオロアルセネート塩をあげ
ることが出来る。 本発明の光硬化性樹脂組成物中に含有される光
重合開始剤の量は、一般式()で表わされるポ
ルフイリン類あるいは金属ポルフイリン類対エチ
レン性化合物の重量比で約1:5から約1:500
までの広い範囲をとることが可能であり、好まし
くは1:10から1:100の範囲である。また、ポ
ルフイリン類または金属ポルフイリン類とジアリ
ールヨードニウム塩との重量比は約10:1から約
1:10までの範囲であり、好ましくは、約2:1
から約1:5までの範囲である。 本発明の光硬化性樹脂組成物には所望に応じて
公知のバインダー、熱重合禁止剤、可塑剤などの
添加剤を加えてもよい。 本発明の組成物に適した光源としては、高圧水
銀灯、超高圧水銀灯、高圧キセノン灯、ハロゲン
ランプ、蛍光灯のほかに、He−Cd、Ar、He−
Neなどのレーザが利用出来る。 本発明の光硬化性樹脂組成物は、従来の光重合
性組成物よりも優れた感度を有しているので、平
版や凸版用製版材料、レリーフの作製、非銀塩画
像の作成、プリント配線板の作成など幅広い分野
に応用できる。 以下実施例をもつて本発明をさらに詳細に説明
するが、本発明は、これに限定されるものではな
い。 実施例 1〜7 クロロメチルスチレンとメタクリル酸メチルと
の1:1共重合体1.35gと3,4−ジヒドロ−
2H−ピラン−2−カルボン酸ナトリウム1.86g
とをジメチルアセトアミド20ml中60〜80℃で1日
撹拌して反応させ、水−メタノール(2:1)の
混合液にポリマーを再沈させた。メタノールで十
分に洗つてから再びジオキサンに溶解後メタノー
ルへ沈澱させて精製した。得られたポリマーを7
重量%のN−メチルピロリドン溶液に調製し、こ
れにジフエニルヨードニウム・ヘキサフルオロホ
スフエートとポルフイリン類をそれぞれポリマー
に対して20重量%および10重量%になるように添
加して感光性溶液とした。これを陽極酸化アルミ
板上にスピン塗布し、コダツクステツプタブレツ
トNo.1を用いてキセノン灯を光源として感度を測
定した。 結果は、表1にまとめて示した。感度は東京応
化工業(株)のTPRに対する相対値で示してある。
【表】
実施例 8
クロロメチルスチレンとメタクリル酸メチルの
1:1共重合体にメタクリル酸カリウムを反応さ
せて得たポリマー1部、メソポルフイリン−N,
N,N′,N′−テトラベンジルアミドZn錯体0.1
部、ジフエニルヨードニウムヘキサフルオロホス
フエート0.1部からなる組成物のジオキサン溶液
を調製し、これを陽極酸化アルミ板上に塗布して
キセノン灯を用いて感度を測定したところ、
TPRの約32倍の感度を示した。また、この感光
層は530nmと572nmに吸収極大を有し、アルゴ
ンレーザの発振波長488nmには透過率が93%で
あつた。0.7mmmのビーム径を持つ69.42mW/cm2
の488nmのアルゴンレーザをこの感光層に照射
し、ビーム径と同じ直径を持つスポツトを与える
エネルギー量を測定したところ、約3mJ/cm2で
あつた。 このようにして、透過率が非常に高いにもかか
わらず高感度を示す。 比較例 クロロメチルスチレンとメタクリル酸メチルと
の1:1共重合体1.26gを20mlのジメチルアセト
アミドに溶解してから、メタクリル酸カリウム
0.83gを加えて80℃で5時間反応させた。生成物
をメタノールに沈澱させて分離し、メタノールで
十分に洗浄してから乾燥し、側鎖にメタクリロイ
ル基を有する重合体を得た。これをジメチルホム
ルアミドに溶解して10重量%溶液とした。この重
合体1重量部に対して、ジフエニルヨードニウム
へキサフルオロホスフエート0.05重量部をこの溶
液に加え、これを陽極酸化アルミ板上にスピン塗
布し、これに発振波長488nmのアルゴンレーザ
を照射したが、硬化は全く起こらなかつた。
1:1共重合体にメタクリル酸カリウムを反応さ
せて得たポリマー1部、メソポルフイリン−N,
N,N′,N′−テトラベンジルアミドZn錯体0.1
部、ジフエニルヨードニウムヘキサフルオロホス
フエート0.1部からなる組成物のジオキサン溶液
を調製し、これを陽極酸化アルミ板上に塗布して
キセノン灯を用いて感度を測定したところ、
TPRの約32倍の感度を示した。また、この感光
層は530nmと572nmに吸収極大を有し、アルゴ
ンレーザの発振波長488nmには透過率が93%で
あつた。0.7mmmのビーム径を持つ69.42mW/cm2
の488nmのアルゴンレーザをこの感光層に照射
し、ビーム径と同じ直径を持つスポツトを与える
エネルギー量を測定したところ、約3mJ/cm2で
あつた。 このようにして、透過率が非常に高いにもかか
わらず高感度を示す。 比較例 クロロメチルスチレンとメタクリル酸メチルと
の1:1共重合体1.26gを20mlのジメチルアセト
アミドに溶解してから、メタクリル酸カリウム
0.83gを加えて80℃で5時間反応させた。生成物
をメタノールに沈澱させて分離し、メタノールで
十分に洗浄してから乾燥し、側鎖にメタクリロイ
ル基を有する重合体を得た。これをジメチルホム
ルアミドに溶解して10重量%溶液とした。この重
合体1重量部に対して、ジフエニルヨードニウム
へキサフルオロホスフエート0.05重量部をこの溶
液に加え、これを陽極酸化アルミ板上にスピン塗
布し、これに発振波長488nmのアルゴンレーザ
を照射したが、硬化は全く起こらなかつた。
Claims (1)
- 1 (A)重合能を有するエチレン性不飽和結合を少
なくとも1つ有する化合物および(B)光重合開始剤
からなる光硬化性樹脂組成物において、ポルフイ
リン類または金属ポルフイリン類と、ジアリール
ヨードニウム塩との組合わせを光重合開始剤とす
ることを特徴とする光硬化性樹脂組成物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18559883A JPS6078442A (ja) | 1983-10-04 | 1983-10-04 | 光硬化性樹脂組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18559883A JPS6078442A (ja) | 1983-10-04 | 1983-10-04 | 光硬化性樹脂組成物 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6078442A JPS6078442A (ja) | 1985-05-04 |
JPH0344287B2 true JPH0344287B2 (ja) | 1991-07-05 |
Family
ID=16173597
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18559883A Granted JPS6078442A (ja) | 1983-10-04 | 1983-10-04 | 光硬化性樹脂組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6078442A (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03278082A (ja) * | 1990-03-27 | 1991-12-09 | Agency Of Ind Science & Technol | ホログラム記録用感光材料 |
JP2830527B2 (ja) * | 1991-07-24 | 1998-12-02 | 東洋インキ製造株式会社 | 可視光感光性樹脂組成物 |
DE4332795A1 (de) * | 1993-09-27 | 1995-03-30 | Bayer Ag | Aufzeichnungsmaterial für Bilder oder Daten |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS51100716A (ja) * | 1975-01-27 | 1976-09-06 | Ici Ltd | |
JPS5322597A (en) * | 1976-07-09 | 1978-03-02 | Gen Electric | Hardenable composite |
JPS5327676A (en) * | 1976-08-27 | 1978-03-15 | Hidetoshi Tsuchida | Highpolymeric cobalt complex |
JPS5784451A (en) * | 1980-09-23 | 1982-05-26 | Gen Electric | Dry film resist and use thereof |
-
1983
- 1983-10-04 JP JP18559883A patent/JPS6078442A/ja active Granted
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS51100716A (ja) * | 1975-01-27 | 1976-09-06 | Ici Ltd | |
JPS5322597A (en) * | 1976-07-09 | 1978-03-02 | Gen Electric | Hardenable composite |
JPS5327676A (en) * | 1976-08-27 | 1978-03-15 | Hidetoshi Tsuchida | Highpolymeric cobalt complex |
JPS5784451A (en) * | 1980-09-23 | 1982-05-26 | Gen Electric | Dry film resist and use thereof |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6078442A (ja) | 1985-05-04 |
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