JPH03425U - - Google Patents

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JPH03425U
JPH03425U JP6009489U JP6009489U JPH03425U JP H03425 U JPH03425 U JP H03425U JP 6009489 U JP6009489 U JP 6009489U JP 6009489 U JP6009489 U JP 6009489U JP H03425 U JPH03425 U JP H03425U
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JP
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piezoelectric
piezoelectric resonant
protective substrate
resonant element
resonant component
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JP6009489U
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  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例の圧電共振部品の断
面図、第２図は従来の圧電共振部品の断面図、第
３図は第２図の圧電共振部品を製造する工程を説
明するための分解斜視図、第４図ａ及びｂは従来
の圧電共振部品の他の例における圧電共振素子及
び保護基板を示す各斜視図、第５図は従来の圧電
共振部品の他の例を示す断面図、第６図ａ及びｂ
は保護基板を製作する過程を説明するための各斜
視図、第７図はマザーの絶縁膜から単位保護基板
を製作する過程を説明するための斜視図、第８図
は本考案の第２の実施例を説明するための圧電共
振部品の分解斜視図、第９図〜第１１図は、それ
ぞれ、保護基板の他の例を説明するための各断面
図である。 図において、２１……圧電共振部品、２２……
圧電板、２３，２４……電極、２５，２６……保
護基板、２５ａ，２６ａ……絶縁板、２５ｂ，２
６ｂ……被覆層、２５ｃ，２６ｃ……凹部を示す
。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 圧電板と、該圧電板の両主面に形成されており
    かつ圧電板を介して表裏対向するように配置され
    た複数の電極とを有する圧電共振素子と、 前記圧電共振素子の両主面に貼着されており、
    又は圧電共振素子を収納するように互いが接合さ
    れており、かつ前記圧電共振素子の振動領域の振
    動を妨げないために振動領域上に空間を設けるた
    めに凹部が形成された一対の剛性材料よりなる保
    護基板とを備える圧電共振部品において、 前記保護基板の圧電共振部品側主面には、化学
    処理又は機械加工による加工性が保護基板材料よ
    りも優れた材料よりなる所定厚みの被覆層が付与
    されており、該被覆層の一部が化学処理又は機械
    加工により加工されて前記凹部が形成されている
    ことを特徴とする圧電共振部品。
JP6009489U 1989-05-24 1989-05-24 Pending JPH03425U (ja)

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JP6009489U JPH03425U (ja) 1989-05-24 1989-05-24

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JP6009489U JPH03425U (ja) 1989-05-24 1989-05-24

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JPH03425U true JPH03425U (ja) 1991-01-07

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ID=31587155

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57116406A (en) * 1981-01-13 1982-07-20 Seiko Epson Corp Manufacture of case of plane type quartz oscillator
JPS63175512A (ja) * 1987-01-14 1988-07-19 Tdk Corp 圧電部品及びその製造方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57116406A (en) * 1981-01-13 1982-07-20 Seiko Epson Corp Manufacture of case of plane type quartz oscillator
JPS63175512A (ja) * 1987-01-14 1988-07-19 Tdk Corp 圧電部品及びその製造方法

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