JPH0342582B2 - - Google Patents
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- JPH0342582B2 JPH0342582B2 JP59203303A JP20330384A JPH0342582B2 JP H0342582 B2 JPH0342582 B2 JP H0342582B2 JP 59203303 A JP59203303 A JP 59203303A JP 20330384 A JP20330384 A JP 20330384A JP H0342582 B2 JPH0342582 B2 JP H0342582B2
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- electrolytic
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- woven fabric
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1632—Manufacturing processes machining
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B41J2/1607—Production of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/161—Production of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は電解研磨方法の改良に係り、特にイン
クジエツトヘツドのノズル面のような微細金属加
工部品の加工孔部分に発生するカエリを、選択的
に電解研磨方法を利用して除去する金属微細加工
部分のカエリ除去方法に関する。
クジエツトヘツドのノズル面のような微細金属加
工部品の加工孔部分に発生するカエリを、選択的
に電解研磨方法を利用して除去する金属微細加工
部分のカエリ除去方法に関する。
微細な金属加工部品の一例として、所定のピツ
チで微細に加工形成されたノズルより、印字情報
に基づいてインクを記録紙上に噴射記録するイン
クジエツト記録方法に用いるインクジエツトヘツ
ドは周知である。このようなインクジエツトヘツ
ドを形成する場合には、第２図に示すようにステ
ンレス製の薄板よりなる底板１にインクを収容
し、後述する圧電素子の圧力を伝達する圧力室２
とインク供給路３とを底板１の略半分の厚さにな
るまでエツチングして形成する。またステンレス
製の薄板よりなるインク流路板４には、所定のピ
ツチのノズル５と前記した圧力室２となる部分と
をエツチングにより開口形成する。
チで微細に加工形成されたノズルより、印字情報
に基づいてインクを記録紙上に噴射記録するイン
クジエツト記録方法に用いるインクジエツトヘツ
ドは周知である。このようなインクジエツトヘツ
ドを形成する場合には、第２図に示すようにステ
ンレス製の薄板よりなる底板１にインクを収容
し、後述する圧電素子の圧力を伝達する圧力室２
とインク供給路３とを底板１の略半分の厚さにな
るまでエツチングして形成する。またステンレス
製の薄板よりなるインク流路板４には、所定のピ
ツチのノズル５と前記した圧力室２となる部分と
をエツチングにより開口形成する。
更にステンレス製の薄板よりなり、後述する圧
電素子を設置し、この圧電素子の圧力を伝達する
ための振動板６とを用意し、これら底板１、イン
ク流路４、振動板６のそれぞれをろう接して接合
した後、ノズル５の長さｌが所定の寸法となるよ
うに、第３図に示すノズル面７をラツプにより研
磨し、この接合された振動板６の外面に圧電素子
８を接着することによりインクジエツトヘツドを
形成している。
電素子を設置し、この圧電素子の圧力を伝達する
ための振動板６とを用意し、これら底板１、イン
ク流路４、振動板６のそれぞれをろう接して接合
した後、ノズル５の長さｌが所定の寸法となるよ
うに、第３図に示すノズル面７をラツプにより研
磨し、この接合された振動板６の外面に圧電素子
８を接着することによりインクジエツトヘツドを
形成している。
ところで前記したノズル面７に形成されている
ノズル５の孔径は50μｍ程度の微細な寸法であ
り、このノズル５は約２mm程度のピツチで配列さ
れている。第４図に示すようなノズル５の先端部
Ａの内周面には前記した研磨作業工程の際に発生
したカエリ９が形成されており、このようなカエ
リ９はノズル面７を研磨加工して形成している関
係上、通常図のようにノズル５の内部に向かつて
形成されている。
ノズル５の孔径は50μｍ程度の微細な寸法であ
り、このノズル５は約２mm程度のピツチで配列さ
れている。第４図に示すようなノズル５の先端部
Ａの内周面には前記した研磨作業工程の際に発生
したカエリ９が形成されており、このようなカエ
リ９はノズル面７を研磨加工して形成している関
係上、通常図のようにノズル５の内部に向かつて
形成されている。
このようなカエリ９が発生したノズルを用いる
と、所定の方向にインクが飛翔せず、高信頼度の
インクジエツトヘツドが得られない。
と、所定の方向にインクが飛翔せず、高信頼度の
インクジエツトヘツドが得られない。
このインクジエツトヘツドの如き金属微細加工
部品の加工孔に発生するカエリの除去方法として
は、機械的研磨より平滑に面仕上げができ、かつ
カエリのような凸型部分のみが除去できる電解研
磨方法が用いられているが、この電解研磨方法を
利用してカエリを除去する際、カエリの箇所のみ
が選択的に電解研磨されるようにして、金属微細
加工部品の加工孔分に於ける面精度を、損なわな
い状態で加工仕上げすることが要望されている。
部品の加工孔に発生するカエリの除去方法として
は、機械的研磨より平滑に面仕上げができ、かつ
カエリのような凸型部分のみが除去できる電解研
磨方法が用いられているが、この電解研磨方法を
利用してカエリを除去する際、カエリの箇所のみ
が選択的に電解研磨されるようにして、金属微細
加工部品の加工孔分に於ける面精度を、損なわな
い状態で加工仕上げすることが要望されている。
従来は、インクジエツトヘツドのノズル面のよ
うな金属微細加工部品の加工孔部分に発生したカ
エリを除去するための電解研磨方法として、この
カエリを有するインクジエツトヘツドを陽極と
し、他に陰極となる導電性の例えば鉛等の金属部
材を用意して、これらの陽極となるインジエツト
ヘツドと陰極となる金属部材を一定寸法隔てた状
態で燐酸にクロム酸等を添加した電解液内に浸漬
させ、この陽極と陰極間に10〜15Vの直流電圧を
印加することでインクジエツトヘツドのノズル面
に形成されているカエリを除去するようにしてい
た。
うな金属微細加工部品の加工孔部分に発生したカ
エリを除去するための電解研磨方法として、この
カエリを有するインクジエツトヘツドを陽極と
し、他に陰極となる導電性の例えば鉛等の金属部
材を用意して、これらの陽極となるインジエツト
ヘツドと陰極となる金属部材を一定寸法隔てた状
態で燐酸にクロム酸等を添加した電解液内に浸漬
させ、この陽極と陰極間に10〜15Vの直流電圧を
印加することでインクジエツトヘツドのノズル面
に形成されているカエリを除去するようにしてい
た。
ところで、このような金属微細加工部品の加工
孔においては、カエリが発生している部分のみ金
属酸化膜を除去してその部分に電流を集中させる
ことと、電解研磨の陽極となる研磨すべき金属加
工部品と陰極となる導電性部材間をできるだけ接
近させて、カエリの部分に電解集中を起こりやす
くして、この部分に電流集中をおこり易くするこ
とが望まれている。
孔においては、カエリが発生している部分のみ金
属酸化膜を除去してその部分に電流を集中させる
ことと、電解研磨の陽極となる研磨すべき金属加
工部品と陰極となる導電性部材間をできるだけ接
近させて、カエリの部分に電解集中を起こりやす
くして、この部分に電流集中をおこり易くするこ
とが望まれている。
またカエリが発生していない部分に於いては、
カエリの部分の金属イオンが溶解することで、こ
の溶解した金属イオンによつて電解生成物濃度が
高くなつて抵抗値が増加した電解液が残留するよ
うにし、カエリの部分のみが選択的に電解研磨さ
れて除去されるようにすることが要望されてい
る。
カエリの部分の金属イオンが溶解することで、こ
の溶解した金属イオンによつて電解生成物濃度が
高くなつて抵抗値が増加した電解液が残留するよ
うにし、カエリの部分のみが選択的に電解研磨さ
れて除去されるようにすることが要望されてい
る。
そしてカエリが発生していない部分では反応が
進まないようにして、その部分は電解研磨されな
いようにすることが金属部品の加工部分の平滑度
を高く保つために肝要であるとされている。
進まないようにして、その部分は電解研磨されな
いようにすることが金属部品の加工部分の平滑度
を高く保つために肝要であるとされている。
然し、従来の電解研磨方法では微細加工した金
属加工部品におけるカエリ発生部分の寸法および
面精度を損なうことなく、かつカエリ発生面のみ
選択的に電解する適当な電解研磨方法が存在しな
かつたのが現状である。
属加工部品におけるカエリ発生部分の寸法および
面精度を損なうことなく、かつカエリ発生面のみ
選択的に電解する適当な電解研磨方法が存在しな
かつたのが現状である。
上記した事項を満足するには、金属加工部品の
微細加工孔の端縁内周面に発生したカエリを除去
する方法において、平板状の導電性部材の上面部
を電解液を含浸させた織布で覆い、上記カエリを
有する上記金属加工部品を正、該導電性部材を負
となるように電圧を印加するとともに、該金属加
工部品のカエリ発生面を下向きにして該織布に摩
擦しながら電解研磨を施して、前記金属加工部品
のカエリを除去するようにした本発明の金属微細
加工孔部分のカエリ除去方法により達成される。
微細加工孔の端縁内周面に発生したカエリを除去
する方法において、平板状の導電性部材の上面部
を電解液を含浸させた織布で覆い、上記カエリを
有する上記金属加工部品を正、該導電性部材を負
となるように電圧を印加するとともに、該金属加
工部品のカエリ発生面を下向きにして該織布に摩
擦しながら電解研磨を施して、前記金属加工部品
のカエリを除去するようにした本発明の金属微細
加工孔部分のカエリ除去方法により達成される。
即ち、本発明の微細加工部品のカエリ除去方法
は、電解液を含浸させた織布で被覆せる導電性部
材上に微細加工してカエリを有する金属加工部分
のカエリ発生面を圧接させながら移動させて摩擦
するとともに、前記導電性部材が陰極になるよう
に、また加工部品が陽極になるようにして上記導
電性部材と加工部品間に直流電圧を印加する。こ
のようにして、陽極となりカエリを有する金属加
工部品と、陰極となる導電性部材との間に電解液
を含浸させた織布を介在させることで、この電解
液を介した両電極間の距離を短くしてカエリの突
出部に電解の集中が起こりやすくなるようにする
とともに、織布により見掛け状の電解液の抵抗を
高め、加工部品のカエリの発生している突出部の
み、電流が集中するようにする。またカエリの発
生していない箇所に、前記電解研磨により溶出し
た金属イオン等の電解生成物濃度の高い電解液１
４が滞留して、その抵抗値によりこの部分の電解
研磨が行われなくなるのでカエリ発生面のみが選
択的に電解研磨されてカエリを除去することが可
能となる。
は、電解液を含浸させた織布で被覆せる導電性部
材上に微細加工してカエリを有する金属加工部分
のカエリ発生面を圧接させながら移動させて摩擦
するとともに、前記導電性部材が陰極になるよう
に、また加工部品が陽極になるようにして上記導
電性部材と加工部品間に直流電圧を印加する。こ
のようにして、陽極となりカエリを有する金属加
工部品と、陰極となる導電性部材との間に電解液
を含浸させた織布を介在させることで、この電解
液を介した両電極間の距離を短くしてカエリの突
出部に電解の集中が起こりやすくなるようにする
とともに、織布により見掛け状の電解液の抵抗を
高め、加工部品のカエリの発生している突出部の
み、電流が集中するようにする。またカエリの発
生していない箇所に、前記電解研磨により溶出し
た金属イオン等の電解生成物濃度の高い電解液１
４が滞留して、その抵抗値によりこの部分の電解
研磨が行われなくなるのでカエリ発生面のみが選
択的に電解研磨されてカエリを除去することが可
能となる。
以下、図面を用いながら本発明の一実施例につ
き詳細に説明する。
き詳細に説明する。
第１図は本発明の微細加工孔のカエリ除去方法
を説明するための模式図である。
を説明するための模式図である。
第１図に示すようにカエリを有し、電解研磨さ
れるべきインクジエツトヘツド１１が、SUS304
を材料として形成した平板状の導電性部材１２の
上に粘着されているテトロン（商品名）より成る
織布１３の上に、前記したノズル面７が接触する
ようにして設置されている。この織布はテトロン
に限らず、後述する電解液で容易に腐食されない
ものを使用すると良い。
れるべきインクジエツトヘツド１１が、SUS304
を材料として形成した平板状の導電性部材１２の
上に粘着されているテトロン（商品名）より成る
織布１３の上に、前記したノズル面７が接触する
ようにして設置されている。この織布はテトロン
に限らず、後述する電解液で容易に腐食されない
ものを使用すると良い。
この導電性部材１２は、燐酸にクロム酸を添加
した電解液１４を収容している容器１５内に設置
され、前記した織布１３は電解液を含浸した状態
となる。
した電解液１４を収容している容器１５内に設置
され、前記した織布１３は電解液を含浸した状態
となる。
この状態で前記導電性部材１２は整流器１６の
陰極側に、またインクジエツトヘツド１１は整流
器１６の陽極側に接続し、両極間に５〜15Vの直
流電圧を印加する。このようにして、インジエツ
トヘツド１１を手で把持しながら、矢印Ｂおよび
Ｃ方向に往復移動させる。このようにすれば、カ
エリ９が発生しているノズル面７が織布１３と摩
擦されるので、その部分に形成されている金属酸
化膜が剥がれる。そのためカエリ９の部分の母材
金属が織布１３に含浸されている電解液１４に溶
出することが促進される。
陰極側に、またインクジエツトヘツド１１は整流
器１６の陽極側に接続し、両極間に５〜15Vの直
流電圧を印加する。このようにして、インジエツ
トヘツド１１を手で把持しながら、矢印Ｂおよび
Ｃ方向に往復移動させる。このようにすれば、カ
エリ９が発生しているノズル面７が織布１３と摩
擦されるので、その部分に形成されている金属酸
化膜が剥がれる。そのためカエリ９の部分の母材
金属が織布１３に含浸されている電解液１４に溶
出することが促進される。
また織布１３に含浸されている電解液中に溶出
したカエリ９の部分の金属イオン等の電解生成物
は、織布１３と接触しないカエリ９以外の部分
（電解研磨を必要としない部分）、即ち第４図Ｄの
部分に滞留することとなり、そのためカエリ９以
外の部分Ｄに於ける織布に含浸された電解液中の
前記電解生成物濃度は高くなり、そのカエリ以外
の部分に於ける金属の溶解作用は緩やかになる。
したカエリ９の部分の金属イオン等の電解生成物
は、織布１３と接触しないカエリ９以外の部分
（電解研磨を必要としない部分）、即ち第４図Ｄの
部分に滞留することとなり、そのためカエリ９以
外の部分Ｄに於ける織布に含浸された電解液中の
前記電解生成物濃度は高くなり、そのカエリ以外
の部分に於ける金属の溶解作用は緩やかになる。
また織布１３の合成繊維が両電極間に介在した
形で、両電極、即ち導電性部材１２とインクジエ
ツトヘツド１１が電解液１４に接触する。そのた
め、電解研磨の電極となる両電極間の距離を通常
の電解研磨に於けるよりも短く保つことができ、
インクジエツトヘツドのノズルに発生したカエリ
の部分とカエリ以外の部分との間の電位差を大き
く保つことができるようになる。また電解液を含
浸させた織布を両電極間に介在させることで、両
電極間の電解液の抵抗を見掛け上、高く保つこと
ができ、カエリの部分が緩やかに精度良く電解研
磨できる。また電解液を含浸させた織布でカエリ
を有する加工部品を摩擦することで、電解研磨の
際に金属表面に発生する金属酸化膜が除去でき、
益々カエリの部分のみ選択的に電解研磨されるよ
うになる。
形で、両電極、即ち導電性部材１２とインクジエ
ツトヘツド１１が電解液１４に接触する。そのた
め、電解研磨の電極となる両電極間の距離を通常
の電解研磨に於けるよりも短く保つことができ、
インクジエツトヘツドのノズルに発生したカエリ
の部分とカエリ以外の部分との間の電位差を大き
く保つことができるようになる。また電解液を含
浸させた織布を両電極間に介在させることで、両
電極間の電解液の抵抗を見掛け上、高く保つこと
ができ、カエリの部分が緩やかに精度良く電解研
磨できる。また電解液を含浸させた織布でカエリ
を有する加工部品を摩擦することで、電解研磨の
際に金属表面に発生する金属酸化膜が除去でき、
益々カエリの部分のみ選択的に電解研磨されるよ
うになる。
上記した理由により、インクジエツトヘツドの
ノズルに生じたカエリの部分の選択的な溶解と、
カエリ以外の電解研磨を必要としない箇所での金
属の溶出の抑制効果が、従来の電解研磨方法に比
して顕著となり、短時間でノズルに生じたカエリ
が除去でき、またノズル面が平滑な状態に研磨で
きるようになる。
ノズルに生じたカエリの部分の選択的な溶解と、
カエリ以外の電解研磨を必要としない箇所での金
属の溶出の抑制効果が、従来の電解研磨方法に比
して顕著となり、短時間でノズルに生じたカエリ
が除去でき、またノズル面が平滑な状態に研磨で
きるようになる。
以上述べたように本発明の電解研磨方法によれ
ば、インクジエツトヘツドのような金属微細加工
部品の加工孔部分に生じたカエリが、短時間で容
易にかつ表面が平滑な状態で除去できる。またカ
エリが除去された金属表面は光沢のよい研磨面が
えられる。また本発明の方法は、操作に特別な熟
練を必要とせず、またこの方法を実施するための
装置も簡単なもので済むといつた利点を有する。
ば、インクジエツトヘツドのような金属微細加工
部品の加工孔部分に生じたカエリが、短時間で容
易にかつ表面が平滑な状態で除去できる。またカ
エリが除去された金属表面は光沢のよい研磨面が
えられる。また本発明の方法は、操作に特別な熟
練を必要とせず、またこの方法を実施するための
装置も簡単なもので済むといつた利点を有する。
以上述べたように、本実施例では金属微細加工
部品として、インクジエツトヘツドのノズル面の
加工に例を採つて説明したが、本発明の方法はイ
ンクジエツトヘツドのみならず他の微細金属加工
部品のカエリ除去方法にも適用できることは無論
である。
部品として、インクジエツトヘツドのノズル面の
加工に例を採つて説明したが、本発明の方法はイ
ンクジエツトヘツドのみならず他の微細金属加工
部品のカエリ除去方法にも適用できることは無論
である。
第１図は本発明の微細加工部品のカエリ除去方
法を説明するための模式図、第２図乃至第３図は
インクジエツトヘツドの一般的な製造方法を説明
するための斜視図、第４図は第３図のノズル部分
近傍の要部拡大図である。 図に於いて、１１はインクジエツトヘツド、１
２は導電性部材、１３は織布、１４は電解液、１
５は容器、１６は整流器を示す。
法を説明するための模式図、第２図乃至第３図は
インクジエツトヘツドの一般的な製造方法を説明
するための斜視図、第４図は第３図のノズル部分
近傍の要部拡大図である。 図に於いて、１１はインクジエツトヘツド、１
２は導電性部材、１３は織布、１４は電解液、１
５は容器、１６は整流器を示す。
Claims (1)
- １ 金属加工部品の微細加工孔の端縁部内周面に
発生したカエリを除去する方法において、平板状
の導電性部材１２の上面部を電解液１４を含浸さ
せた織布１３で覆い、上記カエリを有する上記金
属加工部品１１を正、該導電性部材１２を負とな
るように電圧を印加するとともに、該金属加工部
品１１のカエリ発生面７を下向きにして該織布１
３に摩擦しながら電解研磨を施して、前記金属加
工部品１１のカエリを除去するようにしたことを
特徴とする金属微細加工孔部分のカエリ除去方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20330384A JPS6179666A (ja) | 1984-09-27 | 1984-09-27 | 金属微細加工孔部分のカエリ除去方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20330384A JPS6179666A (ja) | 1984-09-27 | 1984-09-27 | 金属微細加工孔部分のカエリ除去方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6179666A JPS6179666A (ja) | 1986-04-23 |
| JPH0342582B2 true JPH0342582B2 (ja) | 1991-06-27 |
Family
ID=16471797
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20330384A Granted JPS6179666A (ja) | 1984-09-27 | 1984-09-27 | 金属微細加工孔部分のカエリ除去方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6179666A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6991528B2 (en) * | 2000-02-17 | 2006-01-31 | Applied Materials, Inc. | Conductive polishing article for electrochemical mechanical polishing |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5043955A (ja) * | 1973-08-21 | 1975-04-21 | ||
| JPS5889370A (ja) * | 1981-11-20 | 1983-05-27 | Ricoh Co Ltd | インクジエツトノズル |
-
1984
- 1984-09-27 JP JP20330384A patent/JPS6179666A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5043955A (ja) * | 1973-08-21 | 1975-04-21 | ||
| JPS5889370A (ja) * | 1981-11-20 | 1983-05-27 | Ricoh Co Ltd | インクジエツトノズル |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6179666A (ja) | 1986-04-23 |
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