JPH11129476A - インクジェット式記録ヘッド、及びインクジェット式記録ヘッド用弾性板の製造方法 - Google Patents
インクジェット式記録ヘッド、及びインクジェット式記録ヘッド用弾性板の製造方法Info
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- JPH11129476A JPH11129476A JP31651497A JP31651497A JPH11129476A JP H11129476 A JPH11129476 A JP H11129476A JP 31651497 A JP31651497 A JP 31651497A JP 31651497 A JP31651497 A JP 31651497A JP H11129476 A JPH11129476 A JP H11129476A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 アイランド部を高い精度及び作業性で製作す
ることができるインクジェット式記録ヘッドを提供する
こと。 【解決手段】 圧力発生室の配列ピッチに一致して基板
から剥離可能に形成された電鋳層４を、弾性変形可能な
樹脂膜５に接着剤層６を介して転写したものを弾性板と
して使用する。
ることができるインクジェット式記録ヘッドを提供する
こと。 【解決手段】 圧力発生室の配列ピッチに一致して基板
から剥離可能に形成された電鋳層４を、弾性変形可能な
樹脂膜５に接着剤層６を介して転写したものを弾性板と
して使用する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ノズル開口に連通
する圧力発生室を縦振動モードの圧電振動子により容積
を変化させて、ノズル開口からインク滴を噴射させるイ
ンクジェット式記録ヘッドに関する。
する圧力発生室を縦振動モードの圧電振動子により容積
を変化させて、ノズル開口からインク滴を噴射させるイ
ンクジェット式記録ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】縦振動モードの圧電振動子をアクチュエ
ータに使用する記録ヘッドは、図７（イ）に示したよう
に圧力発生室２０、インク供給口、及びリザーバを区画
する流路形成基板２１と、これの一方の面を圧力発生室
２０に連通するノズル開口２２が穿設されたノズルプレ
ート２３で、また他方の面を圧電振動子２４の変位を受
けて弾性変形する弾性板２５により封止されている。
ータに使用する記録ヘッドは、図７（イ）に示したよう
に圧力発生室２０、インク供給口、及びリザーバを区画
する流路形成基板２１と、これの一方の面を圧力発生室
２０に連通するノズル開口２２が穿設されたノズルプレ
ート２３で、また他方の面を圧電振動子２４の変位を受
けて弾性変形する弾性板２５により封止されている。
【０００３】弾性板２５は、図７（ロ）に示したように
弾性変形可能の基板の表面に、圧力発生室２０の配列ピ
ッチに合わせて圧力発生室の軸方向に延びるアイランド
部２７を形成して構成されいる。これにより、比較的断
面積の小さな圧電振動子２４の変位をアイランド部２７
の剛性により圧力発生室２０の長手方向に効率的に伝達
することが可能となる。
弾性変形可能の基板の表面に、圧力発生室２０の配列ピ
ッチに合わせて圧力発生室の軸方向に延びるアイランド
部２７を形成して構成されいる。これにより、比較的断
面積の小さな圧電振動子２４の変位をアイランド部２７
の剛性により圧力発生室２０の長手方向に効率的に伝達
することが可能となる。
【０００４】このような振動板２５は、特開平6-143573
号公報に見られるように弾性板となる導電層を備えた薄
板２６にアイランド部２７に対応する形状を備えた非導
電性材料のパターンを形成し、導電層に電鋳を行うこと
により構成されている。
号公報に見られるように弾性板となる導電層を備えた薄
板２６にアイランド部２７に対応する形状を備えた非導
電性材料のパターンを形成し、導電層に電鋳を行うこと
により構成されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】電鋳は、電鋳時の電流
密度を下げることによりパターンに可及的に一致した精
度の高いアイランド部を形成できるものの、成長速度が
低いため、生産性が低下し、また電流密度を上げると成
長速度が高まるものの、特に厚みにばらつきが生じて、
圧電振動子との当接状態がばらつき、インク滴の吐出特
性がノズル開口毎に相違するという問題がある。このよ
うな問題を解消するため、電鋳後にアイランド部をラッ
ピング等により成形することも考えられるが、高密度印
刷に対応するべく圧力発生室が高密度配列されたインク
ジェット式記録ヘッドにあっては、圧力発生室のコンプ
ライアンスの確保と、耐インク性を確保するために、高
分子材料の膜が弾性板の構成材料として使用されてい
る。このため、電鋳後にラッピングを実施すると、固定
基板となる弾性膜が弾性変形してラッピングの精度を確
保できないばかりでなく、弾性膜を破損するなどの問題
がある。また、このような問題を解消するため、高分子
膜にエッチング可能な材料、例えばステンレス鋼や感光
性ガラスを積層してエッチングによりアイランド部を形
成することも考えられるが、前者にあっては等方性エッ
チングを受けるため、厚み方向だけでなく、平面方向に
もエッチングを受けて位置精度がせいぜい１５μｍ程度
と低いため、高密度印刷用の記録ヘッドの弾性板の製造
には使用することが不可能である。また、後者にあって
は、高分子材料は、感光性ガラスのエッチング液に対す
る耐久性が低いため、記録ヘッドの信頼性の低下を招く
という問題がある。本発明はこのような問題に鑑みてな
されたものであってその目的とするところは、生産性が
高く、かつ高い精度のアイランド部を有する弾性板を使
用したインクジェット式記録ヘッドを提供することであ
る。本発明の他の目的は、上述のインクジェット式記録
ヘッドに適した弾性板の製造する方法を提案することで
ある。
密度を下げることによりパターンに可及的に一致した精
度の高いアイランド部を形成できるものの、成長速度が
低いため、生産性が低下し、また電流密度を上げると成
長速度が高まるものの、特に厚みにばらつきが生じて、
圧電振動子との当接状態がばらつき、インク滴の吐出特
性がノズル開口毎に相違するという問題がある。このよ
うな問題を解消するため、電鋳後にアイランド部をラッ
ピング等により成形することも考えられるが、高密度印
刷に対応するべく圧力発生室が高密度配列されたインク
ジェット式記録ヘッドにあっては、圧力発生室のコンプ
ライアンスの確保と、耐インク性を確保するために、高
分子材料の膜が弾性板の構成材料として使用されてい
る。このため、電鋳後にラッピングを実施すると、固定
基板となる弾性膜が弾性変形してラッピングの精度を確
保できないばかりでなく、弾性膜を破損するなどの問題
がある。また、このような問題を解消するため、高分子
膜にエッチング可能な材料、例えばステンレス鋼や感光
性ガラスを積層してエッチングによりアイランド部を形
成することも考えられるが、前者にあっては等方性エッ
チングを受けるため、厚み方向だけでなく、平面方向に
もエッチングを受けて位置精度がせいぜい１５μｍ程度
と低いため、高密度印刷用の記録ヘッドの弾性板の製造
には使用することが不可能である。また、後者にあって
は、高分子材料は、感光性ガラスのエッチング液に対す
る耐久性が低いため、記録ヘッドの信頼性の低下を招く
という問題がある。本発明はこのような問題に鑑みてな
されたものであってその目的とするところは、生産性が
高く、かつ高い精度のアイランド部を有する弾性板を使
用したインクジェット式記録ヘッドを提供することであ
る。本発明の他の目的は、上述のインクジェット式記録
ヘッドに適した弾性板の製造する方法を提案することで
ある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、ノズル開口に連通する圧力
発生室の一部を弾性変形可能な弾性板で封止するととも
に、前記弾性板の表面に前記圧力発生室の中心線に位置
させて形成したアイランド部に、軸方向に伸長、収縮す
る圧電振動子の先端を固定してなるインクジェット式記
録ヘッドにおいて、前記弾性板が、前記圧力発生室の配
列ピッチに一致して電鋳により基板から剥離可能に形成
されたアイランド部を、弾性変形可能な高分子膜に接着
剤層を介して転写して構成する。
るために本発明においては、ノズル開口に連通する圧力
発生室の一部を弾性変形可能な弾性板で封止するととも
に、前記弾性板の表面に前記圧力発生室の中心線に位置
させて形成したアイランド部に、軸方向に伸長、収縮す
る圧電振動子の先端を固定してなるインクジェット式記
録ヘッドにおいて、前記弾性板が、前記圧力発生室の配
列ピッチに一致して電鋳により基板から剥離可能に形成
されたアイランド部を、弾性変形可能な高分子膜に接着
剤層を介して転写して構成する。
【０００７】
【作用】電鋳時における基板の剛性に制限がないため、
高電流密度での電鋳であっても、ラッピングによりアイ
ランド部を高い精度で成形が可能となる。
高電流密度での電鋳であっても、ラッピングによりアイ
ランド部を高い精度で成形が可能となる。
【０００８】
【実施例】そこで以下に本発明の詳細を図示した実施例
に基づいて説明する。図１は、縦振動モードの圧電振動
子をアクチュエータとするインクジェット式記録ヘッド
に適した弾性板の一実施例をその製造方法でもって示す
ものであって、可及的に平坦に仕上げられ、かつ若干の
弾性変形が可能で、少なくとも表面が導電性を有する材
料、例えばステンレス鋼からなる作業用基板１を用意し
（I）、これの表面にアイランド部の投影形状に一致す
る窓２を、圧力発生室の配列ピッチに合わせて配置した
パターン３を、例えば非導電性のフォトレジストにより
形成する（II）。
に基づいて説明する。図１は、縦振動モードの圧電振動
子をアクチュエータとするインクジェット式記録ヘッド
に適した弾性板の一実施例をその製造方法でもって示す
ものであって、可及的に平坦に仕上げられ、かつ若干の
弾性変形が可能で、少なくとも表面が導電性を有する材
料、例えばステンレス鋼からなる作業用基板１を用意し
（I）、これの表面にアイランド部の投影形状に一致す
る窓２を、圧力発生室の配列ピッチに合わせて配置した
パターン３を、例えば非導電性のフォトレジストにより
形成する（II）。
【０００９】ついで、ニッケルイオンを含んだ電鋳用電
解液、例えばスルファミン酸ニッケル３０Ｗ％、塩化ニ
ッケル０．５Ｗ％、ホウ酸４Ｗ％、光沢剤１Ｗ％、ピッ
ト防止剤０．５Ｗ％の水溶液に浸漬し、基板１をマイナ
ス極として所定、例えば５乃至１０ミリアンペア／平方
センチメートル程度の通常の５倍程度の電流密度で電鋳
を行うと、窓２の形状に一致して電解液中のニッケルが
堆積して電鋳層４が形成され、この部分の厚みが時間と
ともに大きくなる（III）。
解液、例えばスルファミン酸ニッケル３０Ｗ％、塩化ニ
ッケル０．５Ｗ％、ホウ酸４Ｗ％、光沢剤１Ｗ％、ピッ
ト防止剤０．５Ｗ％の水溶液に浸漬し、基板１をマイナ
ス極として所定、例えば５乃至１０ミリアンペア／平方
センチメートル程度の通常の５倍程度の電流密度で電鋳
を行うと、窓２の形状に一致して電解液中のニッケルが
堆積して電鋳層４が形成され、この部分の厚みが時間と
ともに大きくなる（III）。
【００１０】所定の厚みまで電鋳が進んだ段階で電解液
から取り出す。電鋳が終了した段階では通常よりも高電
流密度での電鋳であるため、表面に凹凸４ａが発生する
ので（ＩＶ）、ラッピング材により研磨して電鋳層４を
規定の高さで、かつ平面に成形し（V）、パターン３を
形成しているフォトレジストを除去する。もとより、電
鋳層４は、高分子材料に比較して剛性の高い作業用基板
１に固定されているから、ラッピングによる外力によっ
ても移動することがなく、高い精度で成形することが可
能となる。
から取り出す。電鋳が終了した段階では通常よりも高電
流密度での電鋳であるため、表面に凹凸４ａが発生する
ので（ＩＶ）、ラッピング材により研磨して電鋳層４を
規定の高さで、かつ平面に成形し（V）、パターン３を
形成しているフォトレジストを除去する。もとより、電
鋳層４は、高分子材料に比較して剛性の高い作業用基板
１に固定されているから、ラッピングによる外力によっ
ても移動することがなく、高い精度で成形することが可
能となる。
【００１１】成形が終了した段階で、弾性板本体となる
薄板、例えばポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）樹
脂膜５の一方の面に接着剤を均一に塗布して接着剤層６
を形成したものを位置合わせして（VI）、接着剤層６を
電鋳層４の研磨面４ｂに押圧する（VI）。接着剤層６が
固化した時点で、作業用基板１の端部から弾性変形させ
ながら捲ると、電鋳層４が作業用基板１から剥離して樹
脂膜５に転写され（VII）、圧力発生室の配列ピッチに
一致して電鋳層４が固定された弾性板が完成する（VII
I）。
薄板、例えばポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）樹
脂膜５の一方の面に接着剤を均一に塗布して接着剤層６
を形成したものを位置合わせして（VI）、接着剤層６を
電鋳層４の研磨面４ｂに押圧する（VI）。接着剤層６が
固化した時点で、作業用基板１の端部から弾性変形させ
ながら捲ると、電鋳層４が作業用基板１から剥離して樹
脂膜５に転写され（VII）、圧力発生室の配列ピッチに
一致して電鋳層４が固定された弾性板が完成する（VII
I）。
【００１２】なお上述の実施例においては、ラッピング
後にフォトレジストを除去しているが、転写後にフォト
レジスト層を除去しても同様の作用を奏する。
後にフォトレジストを除去しているが、転写後にフォト
レジスト層を除去しても同様の作用を奏する。
【００１３】なお、上述の実施例においては、樹脂膜５
に接着剤層６を形成しているが、ラッピング材により研
磨が終了した段階で（図１の工程（V））、図２に示し
たように電鋳層４の研磨面４ｂに接着剤を塗布して接着
剤層６’を形成してもよい（VI'）。樹脂膜５の一方の
面を位置合わせして電鋳層４の接着剤層６’に押圧し、
接着剤層６’が固化した時点で、作業用基板１の端部か
ら弾性変形させながら捲ると、電鋳層４が作業用基板１
から剥離して樹脂膜５に転写され（VII'）、圧力発生室
の配列ピッチに一致して電鋳層４が固定された弾性板が
完成する（VIII'）。
に接着剤層６を形成しているが、ラッピング材により研
磨が終了した段階で（図１の工程（V））、図２に示し
たように電鋳層４の研磨面４ｂに接着剤を塗布して接着
剤層６’を形成してもよい（VI'）。樹脂膜５の一方の
面を位置合わせして電鋳層４の接着剤層６’に押圧し、
接着剤層６’が固化した時点で、作業用基板１の端部か
ら弾性変形させながら捲ると、電鋳層４が作業用基板１
から剥離して樹脂膜５に転写され（VII'）、圧力発生室
の配列ピッチに一致して電鋳層４が固定された弾性板が
完成する（VIII'）。
【００１４】なお、上述の実施例においてはフォトレジ
スト３を除去してから電鋳層４に選択的に塗布している
が、転写後に剥離するようにしてもよい。すなわち、図
３に示したようにフォトレジスト３を残した状態で基板
１の電鋳層４が形成されている側の面、全体に接着剤を
塗布して接着剤層６”を形成する（VI"）。
スト３を除去してから電鋳層４に選択的に塗布している
が、転写後に剥離するようにしてもよい。すなわち、図
３に示したようにフォトレジスト３を残した状態で基板
１の電鋳層４が形成されている側の面、全体に接着剤を
塗布して接着剤層６”を形成する（VI"）。
【００１５】樹脂膜５の一方の面を位置合わせして電鋳
層４の接着剤層6"に押圧し、接着剤層６"が固化した時
点で、作業用基板１の端部から弾性変形させながら捲る
と、電鋳層４が作業用基板１から剥離して樹脂膜５に転
写される（VII"）。そして最後にフォトレジスト３を除
去すると、圧力発生室の配列ピッチに一致して電鋳層４
が固定された弾性板が完成する（VIII"）。
層４の接着剤層6"に押圧し、接着剤層６"が固化した時
点で、作業用基板１の端部から弾性変形させながら捲る
と、電鋳層４が作業用基板１から剥離して樹脂膜５に転
写される（VII"）。そして最後にフォトレジスト３を除
去すると、圧力発生室の配列ピッチに一致して電鋳層４
が固定された弾性板が完成する（VIII"）。
【００１６】以上説明したように、本実施例においては
電鋳層４の露出面４ｃの平坦度は、作業用基板１の平坦
度に依存しているから、極めて精度が高く、またラッピ
ングを受けた面は接着剤層６に当接するから若干の凹凸
は、接着剤により吸収されているから、高電流密度での
高速電鋳にも関らず極めて高い精度で弾性板を製造する
ことができる。なお、ラッピング加工時に若干粗面を形
成すると、ラッピング作業簡素化と、接着強度の向上を
図ることができる。
電鋳層４の露出面４ｃの平坦度は、作業用基板１の平坦
度に依存しているから、極めて精度が高く、またラッピ
ングを受けた面は接着剤層６に当接するから若干の凹凸
は、接着剤により吸収されているから、高電流密度での
高速電鋳にも関らず極めて高い精度で弾性板を製造する
ことができる。なお、ラッピング加工時に若干粗面を形
成すると、ラッピング作業簡素化と、接着強度の向上を
図ることができる。
【００１７】なお、上述の実施例においては、弾性板の
本体となる薄板としてポリフェニレンサルファイド（Ｐ
ＰＳ）樹脂を用いているが、延伸可能な他の高分子材
料、例えば、ポリイミド（ＰＩ）樹脂、ポリエーテルイ
ミド（ＰＥＩ）樹脂、ポリアミドイミド（ＰＡＩ）樹
脂、ポリバラバン酸（ＰＰＡ）樹脂、ポリサルホン（Ｐ
ＳＦ）樹脂、ポリエーテルサルホン（ＰＥＳ）樹脂樹
脂、ポリエーテルケトン（ＰＥＫ）樹脂、ポリエーテル
エーテルケトン（ＰＥＥＫ）樹脂、ポリオレフィン（Ａ
ＰＯ）樹脂、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）樹
脂、アラミド樹脂、ポリプロピレン樹脂、塩化ビニリデ
ン樹脂、ポリカーボネート樹脂等を用いることもでき
る。
本体となる薄板としてポリフェニレンサルファイド（Ｐ
ＰＳ）樹脂を用いているが、延伸可能な他の高分子材
料、例えば、ポリイミド（ＰＩ）樹脂、ポリエーテルイ
ミド（ＰＥＩ）樹脂、ポリアミドイミド（ＰＡＩ）樹
脂、ポリバラバン酸（ＰＰＡ）樹脂、ポリサルホン（Ｐ
ＳＦ）樹脂、ポリエーテルサルホン（ＰＥＳ）樹脂樹
脂、ポリエーテルケトン（ＰＥＫ）樹脂、ポリエーテル
エーテルケトン（ＰＥＥＫ）樹脂、ポリオレフィン（Ａ
ＰＯ）樹脂、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）樹
脂、アラミド樹脂、ポリプロピレン樹脂、塩化ビニリデ
ン樹脂、ポリカーボネート樹脂等を用いることもでき
る。
【００１８】図４は、縦振動モードの圧電振動子をアク
チュエータとするインクジェット式記録ヘッドに適した
弾性板の他の実施例をその製造方法でもって示すもので
あって、可及的に平坦に仕上げられたガラス基板１１の
表面に、エッチング材により腐蝕を受けず、かつ溶剤や
熱により溶解、溶融する接着剤、例えばワックス１２に
よりアイランド部と同程度の厚みを備えた感光性ガラス
板１３を固定する（I）。
チュエータとするインクジェット式記録ヘッドに適した
弾性板の他の実施例をその製造方法でもって示すもので
あって、可及的に平坦に仕上げられたガラス基板１１の
表面に、エッチング材により腐蝕を受けず、かつ溶剤や
熱により溶解、溶融する接着剤、例えばワックス１２に
よりアイランド部と同程度の厚みを備えた感光性ガラス
板１３を固定する（I）。
【００１９】感光性ガラス１３の表面にアイランド部の
投影形状に一致する窓１４を、圧力発生室の配列ピッチ
に合わせて配置したマスク１５を用いて露光し（II）、
希フッ酸等のガラスエッチング剤によりエッチングを行
うと、アイランド部に一致した形状を有するガラス片１
５が、アイランド部の配列ピッチに一致して残留する
（III）。もとより、ステンレス鋼等のエッチングに比
較して異方性が高いため、平面方向の腐蝕量が小さく、
したがって高い位置精度で形成することができる。
投影形状に一致する窓１４を、圧力発生室の配列ピッチ
に合わせて配置したマスク１５を用いて露光し（II）、
希フッ酸等のガラスエッチング剤によりエッチングを行
うと、アイランド部に一致した形状を有するガラス片１
５が、アイランド部の配列ピッチに一致して残留する
（III）。もとより、ステンレス鋼等のエッチングに比
較して異方性が高いため、平面方向の腐蝕量が小さく、
したがって高い位置精度で形成することができる。
【００２０】エッチングが終了した段階で、弾性板本体
となる薄板、例えばポリフェニレンサルファイド（ＰＰ
Ｓ）樹脂膜１６の一方の面に接着剤を均一に塗布して接
着剤層１７を形成したものを位置合わせして（IV）、ガ
ラス片１５に押圧し、接着剤が固化した時点でガラス基
板１１のワックス１２を加熱したり、また溶媒に浸漬し
て基板１１を剥離すると、ガラス片１５が基板１１から
剥離して樹脂膜１６に転写され（V）、圧力発生室の配
列ピッチに一致した感光性ガラス板１３からなるアイラ
ンド部を備えた弾性板が完成する（VI）。
となる薄板、例えばポリフェニレンサルファイド（ＰＰ
Ｓ）樹脂膜１６の一方の面に接着剤を均一に塗布して接
着剤層１７を形成したものを位置合わせして（IV）、ガ
ラス片１５に押圧し、接着剤が固化した時点でガラス基
板１１のワックス１２を加熱したり、また溶媒に浸漬し
て基板１１を剥離すると、ガラス片１５が基板１１から
剥離して樹脂膜１６に転写され（V）、圧力発生室の配
列ピッチに一致した感光性ガラス板１３からなるアイラ
ンド部を備えた弾性板が完成する（VI）。
【００２１】アイランド部となったガラス片１５の露出
面１５ａは、エッチング液の作用を受けておらず、した
がって感光性ガラス基板１３の精度と同一の平坦度を備
えているから、圧電振動子と確実に当接する。
面１５ａは、エッチング液の作用を受けておらず、した
がって感光性ガラス基板１３の精度と同一の平坦度を備
えているから、圧電振動子と確実に当接する。
【００２２】なお、上述の実施例においては、樹脂膜１
３に接着剤層１７を形成したものを貼合わせるようにし
ているが（図４の工程（IV））、ガラス片１５側に接着
剤層を形成するようにしても同様の作用を奏する。
３に接着剤層１７を形成したものを貼合わせるようにし
ているが（図４の工程（IV））、ガラス片１５側に接着
剤層を形成するようにしても同様の作用を奏する。
【００２３】すなわち、図５に示したようにエッチング
が終了した段階で、ガラス片１５の表面に接着剤を選択
的に塗布して接着剤層１７’を形成し、弾性板本体とな
る樹脂膜１６を位置合わせして、ガラス片１５に押圧
し、接着剤層が固化した時点でガラス基板１１のワック
ス１２を加熱したり、また溶媒に浸漬して基板１１を剥
離すると、ガラス片１５が基板１１から剥離して樹脂膜
１６に転写され（V’）、圧力発生室の配列ピッチに一
致した感光性ガラス板１３からなるアイランド部を備え
た弾性板が完成する（VI’）。
が終了した段階で、ガラス片１５の表面に接着剤を選択
的に塗布して接着剤層１７’を形成し、弾性板本体とな
る樹脂膜１６を位置合わせして、ガラス片１５に押圧
し、接着剤層が固化した時点でガラス基板１１のワック
ス１２を加熱したり、また溶媒に浸漬して基板１１を剥
離すると、ガラス片１５が基板１１から剥離して樹脂膜
１６に転写され（V’）、圧力発生室の配列ピッチに一
致した感光性ガラス板１３からなるアイランド部を備え
た弾性板が完成する（VI’）。
【００２４】なお、上述の実施例においては、アイラン
ド部４ののみを形成する場合について説明したが、図６
に示したように他の部材、例えばヘッドフレーム等によ
り支持される領域にもアイランド部と同等の厚みを持た
せた厚肉部４’を備えた弾性板にあっては、アイランド
部４の形成工程にわせて、アイランド部の周辺の厚肉部
４’を形成することもできる。
ド部４ののみを形成する場合について説明したが、図６
に示したように他の部材、例えばヘッドフレーム等によ
り支持される領域にもアイランド部と同等の厚みを持た
せた厚肉部４’を備えた弾性板にあっては、アイランド
部４の形成工程にわせて、アイランド部の周辺の厚肉部
４’を形成することもできる。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように本発明においては、
ノズル開口に連通する圧力発生室の一部を弾性変形可能
な弾性板で封止するとともに、弾性板の表面に圧力発生
室の中心線に位置させて形成したアイランド部に、軸方
向に伸長、収縮する圧電振動子の先端を固定してなるイ
ンクジェット式記録ヘッドにおいて、弾性板が、圧力発
生室の配列ピッチに一致して電鋳により基板から剥離可
能に形成されたアイランド部を、弾性変形可能な高分子
膜に接着剤層を介して転写して構成したので、電鋳時に
おける基板の剛性に制限がないため、高電流密度での高
速な電鋳であっても、ラッピングによりアイランド部を
高い精度で成形することができ、生産性と精度を高める
ことができる。
ノズル開口に連通する圧力発生室の一部を弾性変形可能
な弾性板で封止するとともに、弾性板の表面に圧力発生
室の中心線に位置させて形成したアイランド部に、軸方
向に伸長、収縮する圧電振動子の先端を固定してなるイ
ンクジェット式記録ヘッドにおいて、弾性板が、圧力発
生室の配列ピッチに一致して電鋳により基板から剥離可
能に形成されたアイランド部を、弾性変形可能な高分子
膜に接着剤層を介して転写して構成したので、電鋳時に
おける基板の剛性に制限がないため、高電流密度での高
速な電鋳であっても、ラッピングによりアイランド部を
高い精度で成形することができ、生産性と精度を高める
ことができる。
【図１】図（I）乃至（VIII）は、それぞれ本発明のイ
ンクジェット式記録ヘッドの一実施例を、弾性板の製造
方法で示す図である。
ンクジェット式記録ヘッドの一実施例を、弾性板の製造
方法で示す図である。
【図２】図（VI'）乃至（VIII'）は、それぞれ本発明の
インクジェット式記録ヘッドの他の実施例を、樹脂膜を
アイランド部に貼合わせる工程以降の工程で示す図であ
る。
インクジェット式記録ヘッドの他の実施例を、樹脂膜を
アイランド部に貼合わせる工程以降の工程で示す図であ
る。
【図３】図（VI"）乃至（VIII"）は、それぞれ本発明の
インクジェット式記録ヘッドの他の実施例を、樹脂膜を
アイランド部に貼合わせる工程以降の工程で示す図であ
る。
インクジェット式記録ヘッドの他の実施例を、樹脂膜を
アイランド部に貼合わせる工程以降の工程で示す図であ
る。
【図４】図（I）乃至（VI）は、それぞれ本発明のイン
クジェット式記録ヘッドの他の実施例を、弾性板の製造
方法で示す図である。
クジェット式記録ヘッドの他の実施例を、弾性板の製造
方法で示す図である。
【図５】図（IV'）乃至（VI'）は、それぞれ本発明のイ
ンクジェット式記録ヘッドの他の実施例を、樹脂膜をア
イランド部に貼合わせる工程以降の工程で示す図であ
る。
ンクジェット式記録ヘッドの他の実施例を、樹脂膜をア
イランド部に貼合わせる工程以降の工程で示す図であ
る。
【図６】本発明の他の実施例を弾性板の構造で示す図で
ある。
ある。
【図７】図（イ）、（ロ）は、それぞれ縦振動モードの
圧電振動子を使用するインクジェット式記録ヘッドの一
例を示す断面図、及び弾性板の一例を示す図である。
圧電振動子を使用するインクジェット式記録ヘッドの一
例を示す断面図、及び弾性板の一例を示す図である。
１ 作業用基板 ３ パターン ４ 電鋳層 ５ 樹脂膜 ６ 接着剤層
Claims (24)
- 【請求項１】 ノズル開口に連通する圧力発生室の一部
を弾性変形可能な弾性板で封止するとともに、前記弾性
板の表面に前記圧力発生室の中心線に位置させて形成し
たアイランド部に、軸方向に伸長、収縮する圧電振動子
の先端を固定してなるインクジェット式記録ヘッドにお
いて、 前記弾性板が、前記圧力発生室の配列ピッチに一致して
電鋳により基板から剥離可能に形成されたアイランド部
を、弾性変形可能な高分子膜に接着剤層を介して転写し
て構成されているインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項２】 前記アイランド部の電鋳時の基板側が前
記圧電振動子に当接し、またラッピング面が前記接着剤
層に固定されている請求項１に記載のインクジェット式
記録ヘッド。 - 【請求項３】 前記接着剤層が、前記高分子膜の一方の
面、全体に形成されている請求項１に記載のインクジェ
ット式記録ヘッド。 - 【請求項４】 前記接着剤層が、前記高分子膜と接する
前記アイランド部の一方の面にのみ形成されている請求
項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項５】 前記弾性板が、前記圧力発生室の配列ピ
ッチに一致して電鋳により基板から剥離可能に形成され
たアイランド部、及びその周囲の肉厚部を転写により前
記高分子膜に接着剤層を介して固定して構成されている
請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項６】 前記アイランド部の電鋳時の基板側が前
記圧電振動子に当接し、またラッピング面が前記接着剤
層に固定されている請求項５に記載のインクジェット式
記録ヘッド。 - 【請求項７】 前記接着剤層が、前記高分子膜と接する
前記アイランド部、及びその周囲の肉厚部が存在する面
にのみ形成されている請求項５に記載のインクジェット
式記録ヘッド。 - 【請求項８】 ノズル開口に連通する圧力発生室の一部
を弾性変形可能な弾性板で封止するとともに、前記弾性
板の表面に前記圧力発生室の中心線に位置させて形成し
たアイランド部に、軸方向に伸長、収縮する圧電振動子
の先端を固定してなるインクジェット式記録ヘッドにお
いて、 前記弾性板が、前記圧力発生室の配列ピッチに一致して
感光性ガラスをエッチングして基板から剥離可能に形成
されたアイランド部を、弾性変形可能な高分子膜に接着
剤層を介して転写して構成されているインクジェット式
記録ヘッド。 - 【請求項９】 前記アイランド部の非エッチング面が前
記圧電振動子に当接し、またエッチング面が前記接着剤
層に固定されている請求項８に記載のインクジェット式
記録ヘッド。 - 【請求項１０】 前記接着剤層が、前記高分子膜の一方
の面、全体に形成されている請求項８に記載のインクジ
ェット式記録ヘッド。 - 【請求項１１】 前記接着剤層が、前記高分子膜と接す
る前記アイランド部の一方の面にのみ形成されている請
求項８に記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項１２】 前記弾性板が、前記圧力発生室の配列
ピッチに一致して感光性ガラスのエッチングにより基板
から剥離可能に形成されたアイランド部、及びその周囲
の肉厚部を転写により前記高分子膜に接着剤層を介して
固定して構成されている請求項８に記載のインクジェッ
ト式記録ヘッド。 - 【請求項１３】 前記アイランド部の基板側が前記圧電
振動子に当接し、他方の面が前記接着剤層に固定されて
いる請求項１２に記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項１４】 前記接着剤層が、前記高分子膜と接す
る前記アイランド部、及びその周囲の肉厚部が存在する
面にのみ形成されている請求項１２に記載のインクジェ
ット式記録ヘッド。 - 【請求項１５】 作業用基板にアイランド部の投影形
状、及び配列ピッチに一致するフォトレジストのパター
ンを用いて電鋳する工程と、電鋳層をラッピングする工
程と、前記フォトレジストの層を除去する工程と、一方
の面に接着剤層が形成された樹脂膜の前記接着剤層を前
記電鋳層に押圧する工程と、作業用基板から前記電鋳層
を剥離する工程とからなるインクジェット式記録ヘッド
用弾性板の製造方法。 - 【請求項１６】 作業用基板にアイランド部の投影形
状、及び配列ピッチに一致するフォトレジスト層のパタ
ーンを用いて電鋳する工程と、電鋳層をラッピングする
工程と、前記フォトレジスト層を除去する工程と、アイ
ランド部に接着剤層を形成する工程と、樹脂膜を前記接
着剤層に押圧する工程と、作業用基板から前記電鋳層を
剥離する工程とからなるインクジェット式記録ヘッド用
弾性板の製造方法。 - 【請求項１７】 作業用基板にアイランド部の投影形
状、及び配列ピッチに一致するフォトレジスト層のパタ
ーンを用いて電鋳する工程と、電鋳層をラッピングする
工程と、前記アイランド部と前記フォトレジスト層に接
着剤層を形成する工程と、樹脂膜を前記電鋳層に押圧す
る工程と、作業用基板から前記電鋳層を剥離する工程
と、前記フォトレジスト層を除去する工程とからなるイ
ンクジェット式記録ヘッド用弾性板の製造方法。 - 【請求項１８】 作業用基板にアイランド部とその周囲
の肉厚部の投影形状、及び配列ピッチに一致するフォト
レジスト層のパターンを用いて電鋳する工程と、電鋳層
をラッピングする工程と、前記フォトレジスト層を除去
する工程と、一方の面に接着剤層が形成された樹脂膜の
前記接着剤層を前記電鋳層に押圧する工程と、作業用基
板から前記電鋳層を剥離する工程とからなるインクジェ
ット式記録ヘッド用弾性板の製造方法。 - 【請求項１９】 作業用基板にアイランド部とその周囲
の肉厚部の投影形状、及び配列ピッチに一致するフォト
レジスト層のパターンを用いて電鋳する工程と、電鋳層
をラッピングする工程と、前記フォトレジスト層を除去
する工程と、アイランド部とその周囲の肉厚部の表面に
接着剤層を形成する工程と、樹脂膜を前記電鋳層に押圧
する工程と、作業用基板から前記電鋳層を剥離する工程
とからなるインクジェット式記録ヘッド用弾性板の製造
方法。 - 【請求項２０】 作業用基板にアイランド部とその周囲
の肉厚部の投影形状、及び配列ピッチに一致するフォト
レジスト層のパターンを用いて電鋳する工程と、電鋳層
をラッピングする工程と、アイランド部とその周囲の肉
厚部の表面に接着剤層を形成する工程と、樹脂膜を前記
電鋳層に押圧する工程と、作業用基板から前記電鋳層を
剥離する工程と、前記フォトレジスト層を除去する工程
とからなるインクジェット式記録ヘッド用弾性板の製造
方法。 - 【請求項２１】 基板の表面に、エッチング材により腐
蝕を受けず、かつ剥離可能な接着剤層を介してアイラン
ド部と同程度の厚みを備えた感光性ガラス板を固定する
工程と、前記感光性ガラスをアイランド部の投影形状、
及び配列ピッチに合わせエッチングする工程と、一方の
面に接着剤層が形成された樹脂膜の前記接着剤層を前記
感光性ガラスに押圧する工程と、前記基板を剥離する工
程とからなるインクジェット式記録ヘッド用弾性板の製
造方法。 - 【請求項２２】 基板の表面に、エッチング材により腐
蝕を受けず、かつ剥離可能な接着剤層を介してアイラン
ド部と同程度の厚みを備えた感光性ガラス板を固定する
工程と、前記感光性ガラスをアイランド部の投影形状、
及び配列ピッチに合わせエッチングする工程と、アイラ
ンド部に接着剤層を形成する工程と、樹脂膜を前記感光
性ガラスに押圧する工程と、前記基板を剥離する工程と
からなるインクジェット式記録ヘッド用弾性板の製造方
法。 - 【請求項２３】 基板の表面に、エッチング材により腐
蝕を受けず、かつ剥離可能な接着剤層を介してアイラン
ド部とその周囲の肉厚部と同程度の厚みを備えた感光性
ガラス板を固定する工程と、前記感光性ガラスをアイラ
ンド部とその肉厚部の投影形状、及び配列ピッチに合わ
せエッチングする工程と、一方の面に接着剤層が形成さ
れた樹脂膜の前記接着剤層を前記感光性ガラスに押圧す
る工程と、前記基板を剥離する工程とからなるインクジ
ェット式記録ヘッド用弾性板の製造方法。 - 【請求項２４】 基板の表面に、エッチング材により腐
蝕を受けず、かつ剥離可能な接着剤層を介してアイラン
ド部とその周囲の肉厚部と同程度の厚みを備えた感光性
ガラス板を固定する工程と、前記感光性ガラスをアイラ
ンド部とその肉厚部の投影形状、及び配列ピッチに合わ
せエッチングする工程と、アイランド部とその周囲の肉
厚部に接着剤層を形成する工程と、樹脂膜を前記感光性
ガラスに押圧する工程と、前記基板を剥離する工程とか
らなるインクジェット式記録ヘッド用弾性板の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31651497A JPH11129476A (ja) | 1997-10-31 | 1997-10-31 | インクジェット式記録ヘッド、及びインクジェット式記録ヘッド用弾性板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31651497A JPH11129476A (ja) | 1997-10-31 | 1997-10-31 | インクジェット式記録ヘッド、及びインクジェット式記録ヘッド用弾性板の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11129476A true JPH11129476A (ja) | 1999-05-18 |
Family
ID=18077964
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31651497A Withdrawn JPH11129476A (ja) | 1997-10-31 | 1997-10-31 | インクジェット式記録ヘッド、及びインクジェット式記録ヘッド用弾性板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11129476A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6688732B2 (en) | 2001-05-28 | 2004-02-10 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Inkjet recording head and method for manufacturing the same |
| KR100714218B1 (ko) | 2006-01-10 | 2007-05-02 | 한양대학교 산학협력단 | 고분자 탄성 중합체를 사용한 자체 전사에 의한 미세패턴의형성방법 |
| JP2013193296A (ja) * | 2012-03-19 | 2013-09-30 | Ricoh Co Ltd | 液体吐出ヘッド、画像形成装置、液体吐出ヘッドの製造方法 |
-
1997
- 1997-10-31 JP JP31651497A patent/JPH11129476A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6688732B2 (en) | 2001-05-28 | 2004-02-10 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Inkjet recording head and method for manufacturing the same |
| US6931702B2 (en) | 2001-05-28 | 2005-08-23 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Inkjet recording head and method for manufacturing the same |
| KR100714218B1 (ko) | 2006-01-10 | 2007-05-02 | 한양대학교 산학협력단 | 고분자 탄성 중합체를 사용한 자체 전사에 의한 미세패턴의형성방법 |
| JP2013193296A (ja) * | 2012-03-19 | 2013-09-30 | Ricoh Co Ltd | 液体吐出ヘッド、画像形成装置、液体吐出ヘッドの製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050104 |