JPH0342327Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は測定対象物固定装置に関し、特に透過
光による光学測定用の測定対象物固定装置に関す
る。

［従来の技術］ 周知の如く、光学顕微鏡やビデオカメラ等の光
学測定装置により物体の形状等を測定するには、
対物レンズに対向して測定対象物を固定する必要
がある。従来、透過光による方式の光学測定装置
においては、測定対象物を単に光透過性のテーブ
ル上に載置しておくものや、弾性片を用いてテー
ブルに圧接させる等の固定手段が一般的であつ
た。

［考案が解決しようとする問題点］ しかしながら、前記従来の固定手段では、例え
ば、自動連続作業装置における一作業工程にて部
品の形状測定等を行なうときなどのようにテーブ
ルが搬送され、あるいは周囲の振動を受けやすい
場合、測定対象物にずれを生じ正確な測定が不可
能となるおそれがあつた。

このような場合、測定対象物を確実に固定する
ためには真空チヤツクによる固定手段が考えられ
るが、この固定手段では真空引きのための構成が
固定部の下方に必要であるので、従来、反射光に
よる測定のみが可能で透過光による光学測定用に
は適用し得なかつた。

本考案は上述した問題を解決するためになされ
たものであり、その目的は測定対象物を真空チヤ
ツクにて確実に固定し得、かつ透過光を得ること
ができる測定対象物固定装置を提供することであ
る。

［問題点を解決するための手段］ 本考案は上述した問題を解決し発明の目的を達
成するために、次の如く構成したことを特徴とす
る。

すなわち、一端から他端にかけて貫通する中空
部を有すると共にこの中空部の一端に測定対象物
を固定する固定部が形成される本体と、光透過性
の材質からなり上記本体の上記一端を仕切つて上
記固定部を形成する第１仕切板と、光透過性の材
質からなり上記本体の中空部の一部を仕切つて上
記第１仕切板と共に真空室を形成する第２仕切板
と、上記第１仕切板に設けられた真空引き孔と、
上記真空引き孔及び上記真空室を介して上記本体
の固定部を真空引きする吸引手段とを具備した構
成である。

［実施例］ 以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明
する。

本実施例はビデオヘツドチツプを、一定の姿勢
に揃えて搬出するための作業装置（姿勢揃え装
置）に適用される測定対象物固定装置を示す。

第１図ａはこの測定対象物固定装置の平面図、
同図ｂは同じく正面断面図である。また、第２図
は姿勢揃え装置の全体構成を示す平面図、第３図
は同じく正面図、第４図は姿勢揃え装置の制御系
を示す図、第５図は姿勢揃え装置に供給されるビ
デオヘツドチツプの姿勢を示す図である。

第２図及び第３図において、１はベースであ
り、このベース１上にインデツクステーブル２が
設けられている。このインデツクステーブル２
は、間欠的に60°毎に割出回転するものであり、
テーブルの上面に60°の間隔をおいて測定対象物
固定装置としてののテーブル治具３が６個配設さ
れている。これらテーブル治具３…はそれぞれイ
ンデツクステーブルが１回転する間に６箇所の作
業ステーシヨン４，５，６，７，８，９に割出さ
れる。そして、このインデツクステーブル２の各
搬送ステーシヨン（位置）にはそれぞれ部品供給
装置１０、画像処理装置１１における画像読取部
１２及び各種作業ユニツトが設けられている。作
業ユニツトとしては上下反転作業装置１３、表裏
反転作業装置１４が設けられ、加えて搬出装置１
５、不良品取出装置１６、清掃装置１７、ビデオ
ヘツドチツプの整列収納装置１８の各装置が装備
されている。

測定対象物固定装置としてのテーブル治具３
は、次の如き構成をなす。すなわち、第１図にお
いて３は、インデツクステーブル２のテーブル２
ａに取付固定されたテーブル治具である。このテ
ーブル治具３は固定部材２１とこれにベアリング
２２を介して取付けられた回転可能な治具本体２
３とからなる。治具本体２３の外周には180°の間
隔をおいた２箇所にＶ字形の切欠溝２４，２４が
形成されており、これら切欠溝２４，２４のいず
れかにストツパ２５が係合して治具本体２３の自
由な回転を規制している。また、治具本体２３の
中心軸部は一端から他端にかけて貫通する中空部
２６となつており、その上端部にはガラス板、透
明アクリル板等の光透過性の第１仕切板２７、及
び第２仕切板２８で仕切られた真空室２９が形成
されている。この真空室２９は真空パイプ３０を
介して吸引手段としての真空ポンプ（図示せず）
に連通していると共に、第１仕切板２７の中心部
には真空引き孔としての細孔３１が穿設されて治
具本体２３の上面２３ａに通じている。治具本体
２３の上面は測定対象物としてのビデオヘツドチ
ツプの固定部を形成する。図中３２は治具本体２
３に外嵌された環状部材であり、ストツパ３３に
より固定されていると共に、治具本体２３との摺
合面に環状溝３４が形成されている。そして、上
記真空パイプ３０はこの環状溝３４に連通されて
おり、治具本体２３にこの環状溝３４と前記真空
室２９とを連通する孔３５を設けることによつて
治具本体２３側が回転しても常に真空室２９と連
通するような構成になつている。上記構成のテー
ブル治具３は、真空パイプ３０、環状溝３４、孔
３５、真空室２９、細孔３１を介して治具本体２
３の上面２３ａを真空引きし、その上面２３ａに
載置されたビデオヘツドチツプを真空チヤツクす
る。また、上述のように真空室２９を形成する第
１仕切板２７及び第２仕切板２８を光透過性のも
のとしたことにより、テーブル治具３の下方から
上方に向つて光を透過することができ、従つて、
後述する画像読取部１２に透過光をもつてチツプ
の像を入射させることができる構成となつてい
る。また、治具本体２３の下端には後述する上下
反転作業装置１３のドライバが係合する溝３６が
形成されている。

第１ステーシヨン（供給ステーシヨン）４に設
けられた部品供給装置１０は公知の振動式部品自
動供給装置及びピツクアンドブレースユニツトの
組合せによつて構成される。この供給装置１０は
第５図に示す如く上下及び表裏が異なる４種のう
ちのいずれかの姿勢でビデオヘツドチツプを前記
インデツクステーブル２の供給ステーシヨン４に
あるテーブル治具３に供給する。

第２ステーシヨン（画像読取ステーシヨン）５
に設けられた画像読取部１２は第３図に示すよう
にビデオカメラ３７を有しており、インデツクス
テーブル２のテーブル２ａを挟んで下方には光源
３８が配設されている。光源３８からの光は前述
した如くテーブル治具３の中空部２６を透過して
画像読取部１２のビデオカメラ３７に入射する。
このビデオカメラ３７に読取られた画像情報は直
ちに画像処理装置１１に入力される。

画像処理装置１１は、第４図に示す如く記憶部
３９と演算部４０とからなり、記憶部３９にあら
かじめビデオヘツドチツプの基本姿勢（第５図に
示す姿勢４１ａ）を記憶していると共に、前記画
像読取部１２から送出された画像情報を入力して
これら記憶情報と入力した画像情報とを比較演算
する。この比較演算は次の要領で行なわれる。

ビデオヘツドチツプの面積の比較→記憶値よ
り所定割合以上小さいときは不良品。

ビデオヘツドチツプの形状の比較→一致すれ
ば基本姿勢（第５図の姿勢４１ａ） 入力画像情報におけるビデオヘツドチツプ画
像を上下反転させて形状を比較→一致すれば上
下転倒姿勢（第５図の姿勢４１ｂ） 入力画像情報におけるビデオヘツドチツプ画
像を表裏反転させて形状を比較→一致すれば表
裏逆姿勢（第５図の姿勢４１ｃ） 入力画像情報におけるビデオヘツドチツプ画
像を上下及び表裏反転させて形状を比較→一致
すれば上下及び表裏逆姿勢（第５図の姿勢４１
ｄ） ビデオヘツドチツプの重要部の比較→所定以
上の欠け等が入力画像に認められれば不良品。

以上の演算結果は第４図に示す如くレジスタ４
２を介して後述する各作業ユニツトに作業指令信
号として送出される。すなわち、レジスタ４２は
第１レジスタ４３、第２レジスタ４４、第３レジ
スタ４５からなり、第１レジスタ４３は上下反転
作業装置１３に、第２レジスタ４４は表裏反転作
業装置１４に、第３レジスタ４５は不良品取出装
置１６にそれぞれ作業指令信号を送出する。尚、
演算の結果が基本姿勢に一致する場合はいずれの
作業ユニツトにも作業指令信号は送出されず、ま
た、一部一致する場合はそれに対応する作業ユニ
ツトへの作業指令信号は送出されない。

第３ステーシヨン（上下反転作業ステーシヨ
ン）６に設けられた上下反転作業装置１３は前述
したテーブル治具３の溝３６に係合可能なドライ
バ（図示せず）を有し、ビデオヘツドチツプが第
５図の姿勢４１ｂあるいは姿勢４１ｄであつた場
合に、前記作業指令信号にもとづいてドライバを
上昇させてテーブル治具３の溝３６に係合させ治
具本体２３を180°回転させる。

第４ステーシヨン７はアイドルステーシヨンで
ある。次の第５ステーシヨン（表裏反転ステーシ
ヨン）８に設けられた表裏反転作業装置１４は、
作業ロツド１１４が軸方向往復直線動作、軸中心
の180°回動動作、及び上下動作をなすことによ
り、その先端部に形成された真空チヤツク部にビ
デオヘツドチツプを吸着して表裏反転作業をす
る。この表裏反転作業は、ビデオヘツドチツプが
第５図の姿勢４１ｃあるいは姿勢４１ｄであつた
場合に行なわれる。尚、表裏反転作業の際は、テ
ーブル治具３の真空チヤツクは解除されている。

また、第５ステーシヨン８には搬出装置１５が
設けられており、表裏反転作業工程を終了したビ
デオヘツドチツプを整列収納装置１８ｃマガジン
１１８へと搬出する。また、この搬出工程の途中
において、不良品は不良品取出装置１６により除
去される。

ビデオヘツドチツプの整列収納装置１８は円盤
状のマガジン１１８にビデオヘツドチツプを整列
して収納するものである。

清掃装置１７は、第６ステーシヨン（清掃ステ
ーシヨン）９に到達したテーブル治具３の上面に
エアーを噴出させてテーブル治具３の上面の清掃
をすると共に真空室２９内にエアーを吹きこみ真
空チヤツクである細孔３１の詰りを防止するもの
である。

姿勢揃え装置は上述した各作業ユニツト及び装
置によりビデオヘツドチツプを所定の姿勢に修正
する。

尚、本考案は上述した一実施例に限定されるも
のではないことは勿論である。例えば、本考案の
測定対象物固定装置は一般の光学顕微鏡にも適用
され得るものであり、また水平方向から光学測定
をする場合には横位置に配設することも可能なも
のである。

［考案の効果］ 以上の説明から明らかなように本考案によれ
ば、真空引き孔及び真空室を介して本体に形成さ
れた固定部を真空引きし、測定対象物を当該固定
部に真空チヤツクにて確実に固定し得ると共に、
真空室を形成する第１及び第２仕切板が光透過性
であるので、本体の中空部及び真空室を介して透
過光を得ることができるものである。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の一実施例を示すものであり、第
１図ａは測定対象物固定装置であるテーブル治具
の平面図、第１図ｂは同じく正面断面図、第２図
は姿勢揃え装置の全体構成を示す平面図、第３図
は同じく正面図、第４図は姿勢揃え装置の制御系
を示すブロツク図、第５図は姿勢揃え装置へ供給
時のビデオヘツドチツプの姿勢を示す図である。 ３……テーブル治具、２３……治具本体、２６
……中空部、２７……第１仕切板、２８……第２
仕切板、２９……真空室、３０……真空パイプ、
３１……細孔。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 一端から他端にかけて貫通する中空部を有する
   と共にこの中空部の一端に測定対象物を固定する
   固定部が形成される本体と、光透過性の材質から
   なり上記本体の上記一端を仕切つて上記固定部を
   形成する第１仕切板と、光透過性の材質からなり
   上記本体の中空部の一部を仕切つて上記第１仕切
   板と共に真空室を形成する第２仕切板と、上記第
   １仕切板に設けられた真空引き孔と、上記真空引
   き孔及び上記真空室を介して上記本体の固定部を
   真空引きする吸引手段とを具備したことを特徴と
   する測定対象物固定装置。