JP2545222B2 - 光学測定用物体保持具 - Google Patents
光学測定用物体保持具Info
- Publication number
- JP2545222B2 JP2545222B2 JP62074998A JP7499887A JP2545222B2 JP 2545222 B2 JP2545222 B2 JP 2545222B2 JP 62074998 A JP62074998 A JP 62074998A JP 7499887 A JP7499887 A JP 7499887A JP 2545222 B2 JP2545222 B2 JP 2545222B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tip
- object holder
- light
- light transmittance
- optical measurement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は被測定物体を保持して、その外形を光学的に
測定するための物体保持具に関するものである。
測定するための物体保持具に関するものである。
物体の外形を光学的に測定する場合、第４図に示すよ
うに透明体よりなる物体保持具Ｎの先端に被測定物体Ｈ
を真空チャックで保持し、後方よりライトＬで照射した
光を反射鏡Ｍで反射させて、カメラＣで受像し、画像処
理装置Ｇによって被測定物体Ｈの外形を測定していた。
うに透明体よりなる物体保持具Ｎの先端に被測定物体Ｈ
を真空チャックで保持し、後方よりライトＬで照射した
光を反射鏡Ｍで反射させて、カメラＣで受像し、画像処
理装置Ｇによって被測定物体Ｈの外形を測定していた。
この物体保持具Ｎは第３図に示すように、透明アクリ
ルなどの透明体よりなっており、真空チャック用のホー
スＨを挿入する吸引孔N1を有し、突出部先端に被測定物
体Ｈとの当接面N2を形成したものであった。
ルなどの透明体よりなっており、真空チャック用のホー
スＨを挿入する吸引孔N1を有し、突出部先端に被測定物
体Ｈとの当接面N2を形成したものであった。
ところが、このような従来の物体保持具Ｎは当接面N2
が突出して形成されており、この突出部と他の部分では
物体保持具Ｎの内部を通過する光の経路長が異なってい
るため、物体保持具Ｎの影に濃淡が発生し、画像処理に
支障を来すという不都合があった。
が突出して形成されており、この突出部と他の部分では
物体保持具Ｎの内部を通過する光の経路長が異なってい
るため、物体保持具Ｎの影に濃淡が発生し、画像処理に
支障を来すという不都合があった。
また、物体保持具Ｎはアクリル樹脂などにより形成さ
れていたため当接面N2が摩耗しやすく、摩耗が大きくな
ると保持した被測定物体Ｈに傾斜が生じ正しい外形の測
定ができなかった。そのため、摩耗量が0.01mmを超える
と新しいものに交換しなければならず手間のかかるもの
であった。
れていたため当接面N2が摩耗しやすく、摩耗が大きくな
ると保持した被測定物体Ｈに傾斜が生じ正しい外形の測
定ができなかった。そのため、摩耗量が0.01mmを超える
と新しいものに交換しなければならず手間のかかるもの
であった。
上記に鑑みて本発明は光学測定用物体保持具の被測定
物体との当接面を光透過量30％以上の透光性セラミック
スにより形成し、他の部分は光透過率80％以上の透明体
と光透過率２〜10％の半透明体を積層して形成したもの
である。なお、本発明において光透過率とは波長900nm
の光に関するものである。
物体との当接面を光透過量30％以上の透光性セラミック
スにより形成し、他の部分は光透過率80％以上の透明体
と光透過率２〜10％の半透明体を積層して形成したもの
である。なお、本発明において光透過率とは波長900nm
の光に関するものである。
以下、本発明実施例に係る光学測定用物体保持具を図
によって説明する。
によって説明する。
第１図（ａ）（ｂ）に示すように物体保持具Ｎは、透
光性セラミックよりなる先端チップ１と透明体よりなる
先端部材２、半透明体よりなる光散乱層３、透明体より
なる後端部材４を結合してなるものであり、真空チャッ
ク用のホースを挿入するための吸引孔N1を有している。
先端チップ１には被測定物体との当接面1aと凹部1bが形
成されており、後端部材４に形成された基準面4aから前
記当接面1aまでの距離が一定に保たれるようになってい
る。
光性セラミックよりなる先端チップ１と透明体よりなる
先端部材２、半透明体よりなる光散乱層３、透明体より
なる後端部材４を結合してなるものであり、真空チャッ
ク用のホースを挿入するための吸引孔N1を有している。
先端チップ１には被測定物体との当接面1aと凹部1bが形
成されており、後端部材４に形成された基準面4aから前
記当接面1aまでの距離が一定に保たれるようになってい
る。
この物体保持具Ｎは、光散乱層３が吸引孔N1以外のす
べての部分をカバーしていることにより物体保持具Ｎの
影に濃淡が発生せず、また被測定物体との当接面1aが透
光性セラミックにより形成されているため摩耗が少なく
長期使用を行うことができる。
べての部分をカバーしていることにより物体保持具Ｎの
影に濃淡が発生せず、また被測定物体との当接面1aが透
光性セラミックにより形成されているため摩耗が少なく
長期使用を行うことができる。
さらに先端チップ１と先端部材２の接合構造は第２図
（ａ）に先端部分の拡大断面を示すように接着剤Ｂを用
いたものや、第２図（ｂ）に示すようにそれぞれの部材
に段部1c、2aを形成しておいて構造的に結合するように
したものなど、さまざまなものとすることができる。こ
の先端チップ１は交換可能であるため、当接面1aが摩耗
した場合でも先端チップ１のみ新しいものと取り換えれ
ばよい。また、先端チップ１の凹部1bは真空チャックを
効果的に行うために必要なものであり、深さｔは0.2mm
以上必要である。
（ａ）に先端部分の拡大断面を示すように接着剤Ｂを用
いたものや、第２図（ｂ）に示すようにそれぞれの部材
に段部1c、2aを形成しておいて構造的に結合するように
したものなど、さまざまなものとすることができる。こ
の先端チップ１は交換可能であるため、当接面1aが摩耗
した場合でも先端チップ１のみ新しいものと取り換えれ
ばよい。また、先端チップ１の凹部1bは真空チャックを
効果的に行うために必要なものであり、深さｔは0.2mm
以上必要である。
実験 １ 光散乱層３による物体保持具Ｎの影の濃淡を打ち消す
効果を調べる実験を行った。第１図（ａ）（ｂ）に示し
た物体保持具Ｎを、先端チップ１は接合せずに、先端部
材２と後端部材４は光透過率80％以上の透明アクリル樹
脂により、光散乱層３は半透明アクリル樹脂によりそれ
ぞれ形成した。光散乱層３を形成する半透明アクリル樹
脂の厚さを変化させて光散乱層３全体の光透過率をさま
ざまに変化させたものを試作し、それぞれ影の濃淡の発
生、画像処理の状態を調べた。
効果を調べる実験を行った。第１図（ａ）（ｂ）に示し
た物体保持具Ｎを、先端チップ１は接合せずに、先端部
材２と後端部材４は光透過率80％以上の透明アクリル樹
脂により、光散乱層３は半透明アクリル樹脂によりそれ
ぞれ形成した。光散乱層３を形成する半透明アクリル樹
脂の厚さを変化させて光散乱層３全体の光透過率をさま
ざまに変化させたものを試作し、それぞれ影の濃淡の発
生、画像処理の状態を調べた。
結果は第１表に示すように光散乱層３の光透過率が10
％より大きいと、影の濃淡が発生し、画像処理に支障が
生じ、逆に光透過率が２％より小さいと、光の透過量が
少なすぎて画像処理が行えなかった。即ち、光散乱層３
の光透過率は２〜10％のものが優れていることがわか
る。
％より大きいと、影の濃淡が発生し、画像処理に支障が
生じ、逆に光透過率が２％より小さいと、光の透過量が
少なすぎて画像処理が行えなかった。即ち、光散乱層３
の光透過率は２〜10％のものが優れていることがわか
る。
実験 ２ 次に、透光性アルミナなる先端チップ１を接合して、
第１図（ａ）（ｂ）に示すような物体保持具Ｎを形成
し、先端チップ１と光散乱層３の光透過率をさまざまに
変化させた物体保持具Ｎを試作し、前記実験１と同様に
それぞれ影の濃淡の有無および画像処理の状態を調べ
た。結果は第２表に示す通り、光散乱層３の光透過率が
２〜10％で、かつ先端チップ１の光透過率が30％以上の
ものが、影の濃淡が無く、画像処理も良好に行うことが
できた。なお、先端チップ１の光透過率が50％より大き
いものは実験していないが、前記実験１によれば先端チ
ップ１を固着しない場合（即ち光透過率100％）でも影
の濃淡がなく画像処理も良好に行えたことから、先端チ
ップ１の光透過率が50％より大きいものでも良好である
と考えられる。
第１図（ａ）（ｂ）に示すような物体保持具Ｎを形成
し、先端チップ１と光散乱層３の光透過率をさまざまに
変化させた物体保持具Ｎを試作し、前記実験１と同様に
それぞれ影の濃淡の有無および画像処理の状態を調べ
た。結果は第２表に示す通り、光散乱層３の光透過率が
２〜10％で、かつ先端チップ１の光透過率が30％以上の
ものが、影の濃淡が無く、画像処理も良好に行うことが
できた。なお、先端チップ１の光透過率が50％より大き
いものは実験していないが、前記実験１によれば先端チ
ップ１を固着しない場合（即ち光透過率100％）でも影
の濃淡がなく画像処理も良好に行えたことから、先端チ
ップ１の光透過率が50％より大きいものでも良好である
と考えられる。
また、先端チップ１の透光率は、厚みを変えることに
よって容易に調整することができる。
よって容易に調整することができる。
実験 ３ また、当接面1aの耐摩耗性を調べるために、本発明の
実施例として先端チップ１を透光性アルミナ、透光性ジ
ルコニアより形成したものを用意し、比較例として先端
チップ１を硬質ガラスにより形成したものおよび、全体
を透明アクリルにより形成した従来のものをそれぞれ用
意し、実際に測定機に装着して使用してみた。当接面1a
が摩耗して画像処理精度にバラつきが生じるまでの時間
を調べた結果は第３表に示す通りである。
実施例として先端チップ１を透光性アルミナ、透光性ジ
ルコニアより形成したものを用意し、比較例として先端
チップ１を硬質ガラスにより形成したものおよび、全体
を透明アクリルにより形成した従来のものをそれぞれ用
意し、実際に測定機に装着して使用してみた。当接面1a
が摩耗して画像処理精度にバラつきが生じるまでの時間
を調べた結果は第３表に示す通りである。
第３表より、比較例であるNo.3、４、のものは硬度が
小さいため比較的短時間で摩耗のため使用不能となった
のに対し、本発明実施例に係るNo.1、２のものは硬度が
大きく1000時間後も充分使用可能な状態を保っており、
耐摩耗性が大きいことがわかる。
小さいため比較的短時間で摩耗のため使用不能となった
のに対し、本発明実施例に係るNo.1、２のものは硬度が
大きく1000時間後も充分使用可能な状態を保っており、
耐摩耗性が大きいことがわかる。
以上の実験１、２、３より、先端チップ１の光透過率
を30％以上、光散乱層３の光透過率を２〜10％として物
体保持具Ｎを形成すれば、影の濃淡が発生せず画像処理
を良好に行うことができ、また先端チップ１を透光性ア
ルミナ、透光性ジルコニアなどの透光性セラミックで形
成すれば寿命を長くすることがわかる。
を30％以上、光散乱層３の光透過率を２〜10％として物
体保持具Ｎを形成すれば、影の濃淡が発生せず画像処理
を良好に行うことができ、また先端チップ１を透光性ア
ルミナ、透光性ジルコニアなどの透光性セラミックで形
成すれば寿命を長くすることがわかる。
次に、先端チップ１を形成する透光性セラミックとし
て、透光性アルミナの製法を説明する。まず、純度99.9
9％以上のアルミナ原料粉末中へ500ppmのMgOを添加し、
所定のバインダーを添加した後スプレードライを行い、
この原料粉末を粉末プレスによって成形し、バインダー
成分を除去した後、真空中にて1950℃の温度で焼成を行
えば透光性アルミナを得ることができる。このとき、焼
成時の条件などを変化させることにより光透過率を変化
させることができる。
て、透光性アルミナの製法を説明する。まず、純度99.9
9％以上のアルミナ原料粉末中へ500ppmのMgOを添加し、
所定のバインダーを添加した後スプレードライを行い、
この原料粉末を粉末プレスによって成形し、バインダー
成分を除去した後、真空中にて1950℃の温度で焼成を行
えば透光性アルミナを得ることができる。このとき、焼
成時の条件などを変化させることにより光透過率を変化
させることができる。
叙上のように本発明によれば、光学測定用物体保持具
の被測定物体との当接面を光透過率30％以上の透光性セ
ラミックスにより形成し、他の部分は光透過率80％以上
の透明体と光透過率２〜10％の半透明体を積層して形成
したことにより、半透明体が光散乱層となって物体保持
具の影の濃淡をなくし画像処理を良好に行えるだけでな
く、当接面の耐摩耗性が大きいため長期間正しい測定を
行うことができ、また当接面の摩耗量が大きくなった場
合でも先端チップのみを交換すればよく、コストを低く
できるなど多くの特長を有した光学測定用物体保持具を
提供することができる。
の被測定物体との当接面を光透過率30％以上の透光性セ
ラミックスにより形成し、他の部分は光透過率80％以上
の透明体と光透過率２〜10％の半透明体を積層して形成
したことにより、半透明体が光散乱層となって物体保持
具の影の濃淡をなくし画像処理を良好に行えるだけでな
く、当接面の耐摩耗性が大きいため長期間正しい測定を
行うことができ、また当接面の摩耗量が大きくなった場
合でも先端チップのみを交換すればよく、コストを低く
できるなど多くの特長を有した光学測定用物体保持具を
提供することができる。
第１図（ａ）は本発明実施例に係る光学測定用物体保持
具を示す斜視図、第１図（ｂ）は同図（ａ）中のＸ−Ｘ
線断面図である。第２図（ａ）（ｂ）はそれぞれ第１図
（ｂ）におけるＡ部の拡大断面図である。 第３図は従来の光学測定用物体保持具を示す断面図、第
４図は光学測定用物体保持具を用いた測定装置の概略を
示す構成図である。 N:物体保持具、1:先端チップ 2:先端部材、3:光散乱層 4:後端部材
具を示す斜視図、第１図（ｂ）は同図（ａ）中のＸ−Ｘ
線断面図である。第２図（ａ）（ｂ）はそれぞれ第１図
（ｂ）におけるＡ部の拡大断面図である。 第３図は従来の光学測定用物体保持具を示す断面図、第
４図は光学測定用物体保持具を用いた測定装置の概略を
示す構成図である。 N:物体保持具、1:先端チップ 2:先端部材、3:光散乱層 4:後端部材
Claims (1)
- 【請求項１】全体を光が透過可能な物体により形成し、
吸引孔を有した突出部の先端に真空チャックによって被
測定物体を保持するようにした光学測定用物体保持具に
おいて、前記突出部先端の被測定物体との当接面を光透
過率30％以上の透光性セラミックにより形成したことを
特徴とする光学測定用物体保持具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62074998A JP2545222B2 (ja) | 1987-03-27 | 1987-03-27 | 光学測定用物体保持具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62074998A JP2545222B2 (ja) | 1987-03-27 | 1987-03-27 | 光学測定用物体保持具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63238506A JPS63238506A (ja) | 1988-10-04 |
| JP2545222B2 true JP2545222B2 (ja) | 1996-10-16 |
Family
ID=13563448
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62074998A Expired - Lifetime JP2545222B2 (ja) | 1987-03-27 | 1987-03-27 | 光学測定用物体保持具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2545222B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0342327Y2 (ja) * | 1984-12-29 | 1991-09-05 | ||
| JPS61167803A (ja) * | 1985-01-21 | 1986-07-29 | Fuji Kikai Seizo Kk | 電子部品の保持位置検出方法および装置 |
-
1987
- 1987-03-27 JP JP62074998A patent/JP2545222B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63238506A (ja) | 1988-10-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6174424B1 (en) | Couplers for optical fibers | |
| EP1237019A3 (en) | Optical wiring substrate, method of manufacturing optical wiring substrate and multilayer optical wiring | |
| US4730909A (en) | View direction changing optical system for endoscopes | |
| JP2545222B2 (ja) | 光学測定用物体保持具 | |
| EP1174751A3 (en) | Holographic image-reproducing apparatus and image-reproducing method | |
| JPH03107807A (ja) | 光コネクタレセプタクル | |
| JPS5469448A (en) | Reflection optical system having masking and production of the same | |
| JP2005166454A (ja) | 光源用カバー | |
| EP1008453A3 (en) | Optical printer head | |
| JP2003222764A (ja) | ファイバスタブとこれを用いた光レセプタクル及び光モジュール | |
| JPH09258084A (ja) | 鏡筒付きレンズの製造方法 | |
| JP2007238403A (ja) | ガラス基板の切断方法及び光学ガラス | |
| CN217385229U (zh) | 薄膜上开孔的寻边器内装的投影系统结构 | |
| JP3266443B2 (ja) | 光コネクタ用フェルール | |
| JP2678437B2 (ja) | セラミツクスミラー | |
| JPS616619A (ja) | チョッパ−ミラ− | |
| JP3911468B2 (ja) | 光ファイバの加工方法 | |
| JPH10300981A (ja) | プラグピンを備えたポリマーライトガイドを調整する方法 | |
| JPH03257374A (ja) | 加速度温度測定用複合型光センサ | |
| JPH012007A (ja) | 光学部品 | |
| JP2004286843A (ja) | フィルタ内蔵の光コネクタ | |
| ATE284533T1 (de) | Optoelektronischer sensor | |
| JPS6433516A (en) | Objective optical system for endoscope | |
| JP2001240468A (ja) | 光コネクタ用ジルコニア焼結体及びその製造方法 | |
| JP3424847B2 (ja) | 限定反射型光ファイバセンサヘッド |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070725 Year of fee payment: 11 |