JPH0339261A - 熱印字プリンタヘッドの製造方法 - Google Patents

熱印字プリンタヘッドの製造方法

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Publication number
JPH0339261A
JPH0339261A JP17528789A JP17528789A JPH0339261A JP H0339261 A JPH0339261 A JP H0339261A JP 17528789 A JP17528789 A JP 17528789A JP 17528789 A JP17528789 A JP 17528789A JP H0339261 A JPH0339261 A JP H0339261A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
heating elements
printer head
heating element
thin plate
film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP17528789A
Other languages
English (en)
Inventor
Masashi Tsukada
塚田 昌司
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu General Ltd
Original Assignee
Fujitsu General Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu General Ltd filed Critical Fujitsu General Ltd
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Publication of JPH0339261A publication Critical patent/JPH0339261A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 r産業上の利用分野」 本発明は積層グリーンシートによる熱印字プリンタヘッ
ドの製造方法に関するものである。
「従来の技術」 1鵬−当り8本以上のドツト密度を有する高精細度熱印
字ヘッドを製造するには、従来の代表的な方法として第
2図に示す薄膜技術が用いられてきた。
(a)セラミックス基板(1)の上に、グレーズ層(熱
抵抗体)(2)を印刷と焼結により形成する。
(b)グレーズ層(2)の上に、発熱抵抗膜(3)を形
成する。
(c)ホトリソ工程により8本/■以上の密度を持って
発熱体(3)のパターニングを行う。
(d)発熱体(3)を含む表面全体に金などの電極膜(
4)を形成する。
(e)ホトリソ工程により各発熱体(3)毎にその両端
に結合した独立の電極(4)となるようにパタニングを
行う。
(f)表面に露出した電極(4)5発熱体(3)および
グレーズ層(2)に酸化防止と耐摩耗性のためSiO2
やTa、Osからなる保護膜(5)を形成する。
(g)両端の電極(4)が震出するように保護膜(5)
の一部をバターニングで除去する。
「発明が解決しようとする課題」 従来の薄膜技術による熱印字プリンタヘッドの製造方法
にはつぎのような問題点があった。
(1)薄膜形成、パターニングともに高価な工程である
が、これが3回もあって、作業が面倒であるばかりかコ
スト高になる。
(2)広い基板全面で微細なパターンを作らなければな
らないため1歩留りの点から高精細化に限界がある。
(3)高精細度化を追求すると、配線パターン幅が狭く
なり、その抵抗値が無視できなくなる。そのため、im
極として金などの高価な貴金属を用いなければならず、
より一層のコスト高になる。
(4)現在のホトリソ技術では大面積化が困難であり、
大型で高精細な熱印字プリンタヘッドを実現できない。
本発明は安価な作業工程により高精細度の熱印字プリン
タヘッドを得ることを目的とするものである。
rvs題を解決するための手段」 本発明は絶縁性のグリーンシートの上面略中央に発熱体
とグレーズ層を交互に形成するとともに、上面両側に前
記発熱体に連続する導電体を形成して厚膜印刷シートを
得る工程と、この厚膜印刷シートを多数枚積層加圧して
焼結し積層焼結物を得る工程と、この積層焼結物を前記
発熱体が露出するように積層方向と直角に切断して薄板
を得る工程と、この薄板の発熱体側を研摩し保護膜を形
成して熱印字プリンタヘッドを得る工程とからなるもの
である。
1作用」 厚さ50μm以下のグリーンシートの積層によって、ド
ツトピッチを50μm以下、ドツト密度を18本/■と
した高精細のプリンタヘッドが実現できる。
「実施例」 以下、本発明の一実施例を第12図に基き説明する。
(a)第1工程;グリーンシート(6)上に発熱体(7
)、導電体(8)およびグレーズ層(9)を形成して厚
膜印刷シート(lO)を得る。具体的には前記グリーン
シート(6)は半乾燥または半硬化状態の絶縁性シート
で、例えばPLZTのように高絶縁性を有し、厚さは5
0μm程度かまたはそれ以下とする。このグリーンシー
ト(6)上には略中火に、長さが1〜0.5■、幅が数
百μmの発熱体(7)を1〜0.5■の間隔で形成する
。つぎに、これらの発熱体(7)に電気的に結合するよ
うにその両側に電極としての厚さ数μmの導電体(8)
を形成する。
つぎに、前記発熱体(7)相互の隙間にグレーズ層(9
)を形成する0以上のようにして発熱体(7)、導電体
(8)およびグレーズ(9)を厚膜印刷することにより
厚膜印刷シート(10)が得られる。なお、厚膜印刷の
順序や寸法は前記実施例に限定されるものではない。
(b)第2工程;第1工程で得られた厚膜印刷シート(
10)を多数枚積層して加圧焼結して積層焼結物(11
)を得る。積層に当ってはすべての発熱体(7)が正確
に垂直方向に一直線となるようにすることが必要である
(e)第3王程;第2工程で得られた積層焼結物(11
)を、発熱体(7)が露出するように切断し、薄板(1
2)を得る。この薄板(12)の表面には発熱体(7)
がグリーンシート(6)と交互にあられれるので、積層
枚数骨のドツト数の熱印字プリンタヘッドとなる。
(d)第4工程;第3工程で得られた薄板(12)の表
面を、印字すべき紙面との密着性をよくするために湾曲
などの曲率をもつように研摩する。
(e)第5工程;第4工程で得られたプリンタヘッドが
使用目的に適するような長さになるように複数本を接着
する。
(f)第6エ程;第4工程で研摩されたものまたは第5
工程で接着されたものは、その表面に保護l1l(13
)を形成することにより熱印字プリンタヘッドが完成す
る。
「発明の効果」 本発明は上述のような製造方法としたので、以下のよう
な効果を有する。
(1)従来のような薄膜形成、バターニングを伴う高価
な工程がないので低コスト化が達成できる。
(2)ピントピッチ50μm以下、ドツト密度18本/
開以上でしかも高精細度のものが得られる。
(3)電極部分の配線パターン幅が厚さいっばいにとれ
るので、低抵抗化が容易であり、高価な金などの貴金属
を必要としない。
(4)電極がヘッドの背面にあられれるので、背面を使
って駆動回路等の形成ができる。
(5)発熱体が従来の平面型ではなく垂直型であるため
、多数個を接着して精度良く大型のものが得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による製造方法を説明するための工程説
明図、第2図は従来の製造工程説明図である。 <1)・・セラミックス基板、(2)・・・グレーズ層
(熱抵抗体)、 (3)・・・発熱抵抗膜、(4)・・
・電極膜、(5)・・・保護膜、(6)・・・グリーン
シート、(7)・・・発熱体、(8)・・導電体、(9
)・・・グレーズ層、(10)・・・厚膜印刷シート、
(11)・・・積層焼結物、 (12)・・・薄板、(
13)・・・保護膜。 (d) (f) 1 9 (d) (f) (9)

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)絶縁性のグリーンシートの上面略中央に発熱体と
    グレーズ層を交互に形成するとともに、上面両側に前記
    発熱体に連続する導電体を形成して厚膜印刷シートを得
    る工程と、この厚膜印刷シートを多数枚積層加圧して焼
    結し積層焼結物を得る工程と、この積層焼結物を前記発
    熱体が露出するように積層方向と直角に切断して薄板を
    得る工程と、この薄板の発熱体側を研摩し保護膜を形成
    して熱印字プリンタヘッドを得る工程とからなることを
    特徴とする熱印字プリンタヘッドの製造方法。
JP17528789A 1989-07-06 1989-07-06 熱印字プリンタヘッドの製造方法 Pending JPH0339261A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4746186B2 (ja) * 2001-01-22 2011-08-10 文化シヤッター株式会社 開閉装置

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