JPH0338165B2 - - Google Patents
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- JPH0338165B2 JPH0338165B2 JP61043784A JP4378486A JPH0338165B2 JP H0338165 B2 JPH0338165 B2 JP H0338165B2 JP 61043784 A JP61043784 A JP 61043784A JP 4378486 A JP4378486 A JP 4378486A JP H0338165 B2 JPH0338165 B2 JP H0338165B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transport vehicle
- stop position
- displacement
- voltage
- electromagnet
- Prior art date
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- Control Of Conveyors (AREA)
- Linear Motors (AREA)
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は、工場内等で物品を搬送する搬送装
置に係り、特に、摩擦制動をほとんど受けずに移
動する搬送台車を、搬送路上の所定位置に短時間
で停止させ得る位置決め停止装置に関する。
置に係り、特に、摩擦制動をほとんど受けずに移
動する搬送台車を、搬送路上の所定位置に短時間
で停止させ得る位置決め停止装置に関する。
[従来の技術]
この種の搬送装置においては、被搬送物の積み
下ろしや加工のために、搬送路上に設けたステー
シヨンに、搬送台車を正確に位置決めして停止さ
せなければならない場合がある。
下ろしや加工のために、搬送路上に設けたステー
シヨンに、搬送台車を正確に位置決めして停止さ
せなければならない場合がある。
第4図は、このような位置決め停止装置の一例
を示す斜視図である。この図において、1は搬送
台車、2は停止位置である。この停止位置2に
は、電磁石6の1次側鉄心4が配設されている。
この1次側鉄心4は、断面形状がほぼコ字状で、
開口部を上にして配置され、下部には励磁コイル
5が巻回されている。一方、搬送台車1の下面に
は、電磁石6の2次側鉄心3が取り付けられてい
る。この2次側鉄心3はT字状で、搬送台車1が
移動するとき、1次側鉄心4の開口部を通つて移
動できるようになつている。そして、コイル5に
対し、定電圧電源8から励磁電圧を供給すること
により、1次側鉄心4に2次側鉄心3を吸引させ
て、搬送台車1を所定位置に停止させることがで
きる。
を示す斜視図である。この図において、1は搬送
台車、2は停止位置である。この停止位置2に
は、電磁石6の1次側鉄心4が配設されている。
この1次側鉄心4は、断面形状がほぼコ字状で、
開口部を上にして配置され、下部には励磁コイル
5が巻回されている。一方、搬送台車1の下面に
は、電磁石6の2次側鉄心3が取り付けられてい
る。この2次側鉄心3はT字状で、搬送台車1が
移動するとき、1次側鉄心4の開口部を通つて移
動できるようになつている。そして、コイル5に
対し、定電圧電源8から励磁電圧を供給すること
により、1次側鉄心4に2次側鉄心3を吸引させ
て、搬送台車1を所定位置に停止させることがで
きる。
第5図は、上記停止時における、搬送台車1の
停止位置からの変位xと、復元力fとの関係を示
すグラフである。この図から分かるように、変位
xが正のときには、負の復元力fが働き、変位x
が負のときには正の復元力fが働く。従つて、搬
送台車1は変位x=0(平衡点)を中心として振
動し、摩擦力、空気抵抗、渦電流抵抗などの作用
を受けながら、最終的にはこの平衡点に停止する
こととなる。
停止位置からの変位xと、復元力fとの関係を示
すグラフである。この図から分かるように、変位
xが正のときには、負の復元力fが働き、変位x
が負のときには正の復元力fが働く。従つて、搬
送台車1は変位x=0(平衡点)を中心として振
動し、摩擦力、空気抵抗、渦電流抵抗などの作用
を受けながら、最終的にはこの平衡点に停止する
こととなる。
この種の位置決め停止装置は、非接触で移動体
に制動力を与えて停止させることができるため、
機械的な摩擦力を利用するものに比べ、塵埃が生
じるおそれがなく、保守が容易になる利点があ
る。従つて、リニアインダクシヨンモータによつ
て駆動される磁気浮上式搬送装置等に、このよう
な位置決め停止装置を組み込むことができれば、
搬送台車の支持、駆動および制動をすべて非接触
で行える搬送装置が実現でき、塵埃の発生を極端
に嫌うクリーンルーム内での利用等に極めて好都
合である。
に制動力を与えて停止させることができるため、
機械的な摩擦力を利用するものに比べ、塵埃が生
じるおそれがなく、保守が容易になる利点があ
る。従つて、リニアインダクシヨンモータによつ
て駆動される磁気浮上式搬送装置等に、このよう
な位置決め停止装置を組み込むことができれば、
搬送台車の支持、駆動および制動をすべて非接触
で行える搬送装置が実現でき、塵埃の発生を極端
に嫌うクリーンルーム内での利用等に極めて好都
合である。
[発明が解決しようとする問題点]
しかしながら、上述した非接触式の停止装置を
磁気浮上式あるいは空気浮上式搬送装置等に組み
込む場合、次のような不都合を生じることから、
この種の搬送装置への組み込みは実現されていな
い。
磁気浮上式あるいは空気浮上式搬送装置等に組み
込む場合、次のような不都合を生じることから、
この種の搬送装置への組み込みは実現されていな
い。
すなわち、搬送台車を車輪等で支持する場合
は、搬送台車と搬送路との間に適当な摩擦力が存
在するため、上記位置決め停止装置を組み込んだ
場合、この摩擦力が振動減衰力として作用し、比
較的短時間で搬送台車を停止させることができ
る。しかし、磁気浮上式搬送装置等に組み込む場
合は、搬送路との間に機械的な摩擦力が働かない
ため、停止までに多くの時間が必要となる。
は、搬送台車と搬送路との間に適当な摩擦力が存
在するため、上記位置決め停止装置を組み込んだ
場合、この摩擦力が振動減衰力として作用し、比
較的短時間で搬送台車を停止させることができ
る。しかし、磁気浮上式搬送装置等に組み込む場
合は、搬送路との間に機械的な摩擦力が働かない
ため、停止までに多くの時間が必要となる。
この発明は、このような背景の下になされたも
ので、磁気浮上式あるいは空気浮上式搬送装置等
に組み込まれ、搬送台車を短時間内に停止させる
ことができる搬送装置における位置決め停止装置
を提供することを目的とする。
ので、磁気浮上式あるいは空気浮上式搬送装置等
に組み込まれ、搬送台車を短時間内に停止させる
ことができる搬送装置における位置決め停止装置
を提供することを目的とする。
[問題点を解決するための手段]
上記問題点を解決するためにこの発明は、非接
触構成された1次側と2次側とからなり、そのい
ずれか一方が停止位置側に、他方が搬送台車側に
取り付けられた電磁石と、前記搬送台車の前記停
止位置を基準とした移動方向及び前記搬送台車の
前記停止位置に対する変位を検出する検出手段
と、前記検出手段の検出結果に基づいて、前記搬
送台車が前記停止位置に近づく期間においては前
記変位に比例する電圧または電流を一定電圧また
は一定電流から差し引いて前記電磁石の1次側に
供給する一方、前記搬送台車が前記停止位置から
遠ざかる期間においては前記変位に比例する電圧
または電流を一定電圧または一定電流に加え合わ
せて前記電磁石の1次側に供給して減衰力を発生
させる制御手段とを具備することを特徴としてい
る。
触構成された1次側と2次側とからなり、そのい
ずれか一方が停止位置側に、他方が搬送台車側に
取り付けられた電磁石と、前記搬送台車の前記停
止位置を基準とした移動方向及び前記搬送台車の
前記停止位置に対する変位を検出する検出手段
と、前記検出手段の検出結果に基づいて、前記搬
送台車が前記停止位置に近づく期間においては前
記変位に比例する電圧または電流を一定電圧また
は一定電流から差し引いて前記電磁石の1次側に
供給する一方、前記搬送台車が前記停止位置から
遠ざかる期間においては前記変位に比例する電圧
または電流を一定電圧または一定電流に加え合わ
せて前記電磁石の1次側に供給して減衰力を発生
させる制御手段とを具備することを特徴としてい
る。
[作用]
上記構成によれば、搬送台車が停止位置に近づ
く期間においては復元力が小となり、搬送台車が
停止位置から遠ざかる期間においては復元力が大
となるので、搬送台車の変位と復元力との間に、
第3図に示すようにヒステリシスループを描かせ
ながら搬送台車を速やかに停止させることができ
る。
く期間においては復元力が小となり、搬送台車が
停止位置から遠ざかる期間においては復元力が大
となるので、搬送台車の変位と復元力との間に、
第3図に示すようにヒステリシスループを描かせ
ながら搬送台車を速やかに停止させることができ
る。
[実施例]
以下、図面を参照して、本発明の実施例を説明
する。
する。
第1図はこの発明の一実施例の構成を示す図で
あり、第4図の各部に対応する部分には同一の符
号を付し、その説明を省略する。
あり、第4図の各部に対応する部分には同一の符
号を付し、その説明を省略する。
この図において、10は搬送台車1の停止位置
2に対する変位±xと停止位置2を基準とした移
動方向を検出する変位及び移動方向検出器であ
り、いわゆるインクリメンタル型リニアエンコー
ダ等によつて構成されている。すなわち、変位及
び移動方向検出器10は搬送台車1の側部に取り
付けられた長尺のスリツト板と、このスリツト板
を挟む形で地上側に設けられた一対のフオトセン
サと、これら各フオトセンサから各々出力される
A相パルス及びB相パルスの位相差から搬送台車
1の移動方向を判別する判別回路と、この判別回
路の判別結果に基づいてA相パルスまたはB相パ
ルスをアツプ/ダウンカウントする可逆カウンタ
と、この可逆カウンタのカウント値を、アナログ
信号(変位信号S1)に変換するD/A変換器と、
このD/A変換器から出力される第2図イに示す
変位信号S1を微分して第2図ロに示す速度信号を
得る微分器と、変位信号S1と速度信号の両者の符
号に基づいて、現在搬送台車1が停止位置2に近
づいているかまたは遠ざかつているのか、すなわ
ち停止位置2を基準とした移動方向を判定し、そ
の判定結果を移動方向信号S2として出力する方向
判定回路とから構成されており、上記スリツト板
には、位相の異なる2系列の縦スリツトが水平方
向に多数刻まれ、これらが前記一対のフオトセン
サによつて各々検出されるようになつている。上
記判定回路は、変位信号S1と速度信号の積の符号
が負の場合、搬送台車1が停止位置2に近づいて
いるものと判定し、正の場合、遠ざかつているも
のと判定し、これに応じた移動方向信号S2を出力
する。
2に対する変位±xと停止位置2を基準とした移
動方向を検出する変位及び移動方向検出器であ
り、いわゆるインクリメンタル型リニアエンコー
ダ等によつて構成されている。すなわち、変位及
び移動方向検出器10は搬送台車1の側部に取り
付けられた長尺のスリツト板と、このスリツト板
を挟む形で地上側に設けられた一対のフオトセン
サと、これら各フオトセンサから各々出力される
A相パルス及びB相パルスの位相差から搬送台車
1の移動方向を判別する判別回路と、この判別回
路の判別結果に基づいてA相パルスまたはB相パ
ルスをアツプ/ダウンカウントする可逆カウンタ
と、この可逆カウンタのカウント値を、アナログ
信号(変位信号S1)に変換するD/A変換器と、
このD/A変換器から出力される第2図イに示す
変位信号S1を微分して第2図ロに示す速度信号を
得る微分器と、変位信号S1と速度信号の両者の符
号に基づいて、現在搬送台車1が停止位置2に近
づいているかまたは遠ざかつているのか、すなわ
ち停止位置2を基準とした移動方向を判定し、そ
の判定結果を移動方向信号S2として出力する方向
判定回路とから構成されており、上記スリツト板
には、位相の異なる2系列の縦スリツトが水平方
向に多数刻まれ、これらが前記一対のフオトセン
サによつて各々検出されるようになつている。上
記判定回路は、変位信号S1と速度信号の積の符号
が負の場合、搬送台車1が停止位置2に近づいて
いるものと判定し、正の場合、遠ざかつているも
のと判定し、これに応じた移動方向信号S2を出力
する。
一方、制御装置11は、アナログ演算機能とチ
ヨツパ機能を有し、上記変位及び移動方向検出器
10から供給される変位信号S1と移動方向信号S2
に基づいて、電源12から供給される直流電圧を
制御してコイル5に供給するものである。すなわ
ち、制御装置11は、上記変位信号S1及び移動方
向信号S2に基づいて、搬送台車1が停止位置2に
近づいている期間(第2図に及びで示す期
間)においては、一定電圧V0から変位xの絶対
値|x|に比例した電圧k1|x|(k1は一定値)
を差し引く一方、遠ざかつている期間(第2図に
及びで示す期間)においては、一定電圧V0
に変位xの絶対値|x|に比例した電圧k1|x|
を加え合わせて第2図ハに示す制御電圧を出力す
るアナログ演算回路と、三角波発生回路と、この
三角波発生回路から出力された三角波と上記アナ
ログ演算回路の制御電圧とを比較する比較器と、
この比較器の出力をゲート信号として電源12か
ら供給される直流電圧をオン/オフするFETと
から構成されている。
ヨツパ機能を有し、上記変位及び移動方向検出器
10から供給される変位信号S1と移動方向信号S2
に基づいて、電源12から供給される直流電圧を
制御してコイル5に供給するものである。すなわ
ち、制御装置11は、上記変位信号S1及び移動方
向信号S2に基づいて、搬送台車1が停止位置2に
近づいている期間(第2図に及びで示す期
間)においては、一定電圧V0から変位xの絶対
値|x|に比例した電圧k1|x|(k1は一定値)
を差し引く一方、遠ざかつている期間(第2図に
及びで示す期間)においては、一定電圧V0
に変位xの絶対値|x|に比例した電圧k1|x|
を加え合わせて第2図ハに示す制御電圧を出力す
るアナログ演算回路と、三角波発生回路と、この
三角波発生回路から出力された三角波と上記アナ
ログ演算回路の制御電圧とを比較する比較器と、
この比較器の出力をゲート信号として電源12か
ら供給される直流電圧をオン/オフするFETと
から構成されている。
次に、第3図を参照して、本実施例の動作を説
明する。
明する。
まず、理解を助けるために、電磁石6に常に一
定電圧V0を印加した場合を説明する。
定電圧V0を印加した場合を説明する。
この場合、搬送台車1に作用する復元力fと変
位xとの関係は、第3図に示す直線f=−k0V0x
(k0は定数)となる。また、第3図において、変
位x=0とは、第1図に示す位置である。すなわ
ち、1次側鉄心4の中間点と、2次側鉄心3の中
間点が一致する位置であり、搬送台車1にかかる
復元力fはゼロとなる。
位xとの関係は、第3図に示す直線f=−k0V0x
(k0は定数)となる。また、第3図において、変
位x=0とは、第1図に示す位置である。すなわ
ち、1次側鉄心4の中間点と、2次側鉄心3の中
間点が一致する位置であり、搬送台車1にかかる
復元力fはゼロとなる。
この位置から、搬送台車1が変位x=0の位置
から正方向に変位すると、電磁石6による負方向
へ復元力が次第に強まり、搬送台車1は負方向へ
引かれることとなる。逆に、搬送台車1が変位x
=0の位置から負方向へ変位すると、電磁石6に
よる正方向への復元力が次第に強まり、搬送台車
1は正方向に引かれることとなる。すなわち、搬
送台車1は変位x=0を中心として振動する。
から正方向に変位すると、電磁石6による負方向
へ復元力が次第に強まり、搬送台車1は負方向へ
引かれることとなる。逆に、搬送台車1が変位x
=0の位置から負方向へ変位すると、電磁石6に
よる正方向への復元力が次第に強まり、搬送台車
1は正方向に引かれることとなる。すなわち、搬
送台車1は変位x=0を中心として振動する。
次に、本実施例の動作を説明する。本実施例に
おいては、搬送台車1が停止位置2に近づいてい
る期間(第3図に及びで示す)においては、
一定電圧V0から変位xの絶対値|x|に比例し
た電圧k1|x|を差し引いた電圧V0−k1|x|
に対応した励磁電圧がコイル5に供給され、ま
た、遠ざかつている期間(第3図に及びで示
す)においては、一定電圧V0に変位xの絶対値
|x|に比例した電圧k1|x|を加え合わせた電
圧V0+k1|x|に対応した励磁電圧がコイル5
に供給される。なお、この励磁電圧は、上述した
ようにして、制御装置11により形成される。
おいては、搬送台車1が停止位置2に近づいてい
る期間(第3図に及びで示す)においては、
一定電圧V0から変位xの絶対値|x|に比例し
た電圧k1|x|を差し引いた電圧V0−k1|x|
に対応した励磁電圧がコイル5に供給され、ま
た、遠ざかつている期間(第3図に及びで示
す)においては、一定電圧V0に変位xの絶対値
|x|に比例した電圧k1|x|を加え合わせた電
圧V0+k1|x|に対応した励磁電圧がコイル5
に供給される。なお、この励磁電圧は、上述した
ようにして、制御装置11により形成される。
この場合、搬送台車1が停止位置2に近づいて
いる期間においては、第3図に、で示すよう
に電圧V0−k1|x|に対応した復元力f=−k0
(V0−k1|x|)xが搬送台車1に作用し、また
遠ざかつている期間においては、第3図に、
で示すように電圧V0+k1|x|に対応した復元
力f=−k0(V0+k1|x|)xが搬送台車1に作
用する。すなわち、搬送台車1が停止位置2に向
かうときには、電磁石6の励磁電圧が低く抑えら
れ、停止位置2から離れるときには、電磁石6の
励磁電圧が増加され、搬送台車1を引き戻そうす
る力が強く作用する。
いる期間においては、第3図に、で示すよう
に電圧V0−k1|x|に対応した復元力f=−k0
(V0−k1|x|)xが搬送台車1に作用し、また
遠ざかつている期間においては、第3図に、
で示すように電圧V0+k1|x|に対応した復元
力f=−k0(V0+k1|x|)xが搬送台車1に作
用する。すなわち、搬送台車1が停止位置2に向
かうときには、電磁石6の励磁電圧が低く抑えら
れ、停止位置2から離れるときには、電磁石6の
励磁電圧が増加され、搬送台車1を引き戻そうす
る力が強く作用する。
したがつて、搬送台車1に作用する復元力f
は、搬送台車1の変位xの変化に伴つて、第3図
に示す曲線(ヒステリシスループ)上を矢印方向
に変化し、これにより、上記ヒステリシスループ
の面積に相当するエネルギーが電磁石6及び制御
装置11等で消費された形となり、消散損失す
る。そして、変位xと復元力fが上記ヒステリシ
スループを描きながらゼロに収束し、搬送台車1
が迅速に停止する。
は、搬送台車1の変位xの変化に伴つて、第3図
に示す曲線(ヒステリシスループ)上を矢印方向
に変化し、これにより、上記ヒステリシスループ
の面積に相当するエネルギーが電磁石6及び制御
装置11等で消費された形となり、消散損失す
る。そして、変位xと復元力fが上記ヒステリシ
スループを描きながらゼロに収束し、搬送台車1
が迅速に停止する。
なお、上記実施例では、電磁石6の1次側鉄心
4を搬送路側に設けたが、この1次側鉄心4を搬
送台車1側に取り付けるようにしてもよい。ま
た、搬送台車1の変位に対応した励磁電圧で制御
する代わりに、変位に対応した励磁電流で制御す
るようにしてもよい。
4を搬送路側に設けたが、この1次側鉄心4を搬
送台車1側に取り付けるようにしてもよい。ま
た、搬送台車1の変位に対応した励磁電圧で制御
する代わりに、変位に対応した励磁電流で制御す
るようにしてもよい。
[発明の効果]
以上説明したように、この発明は、搬送台車が
停止位置に近づく期間においては、前記搬送台車
の停止位置に対する変位に比例する電圧または電
流を一定電圧または一定電流から差し引いて停止
用の電磁石に供給する一方、前記搬送台車が前記
停止位置から遠ざかる期間においては変記変位に
比例する電圧または電流を一定電圧または一定電
流に加え合わせて前記電磁石に供給するようにし
たから、搬送台車が停止位置に向つて近づく期間
においては、電磁石の発生推力が低く抑えられ、
逆に、停止位置から遠ざかる期間においては、電
磁石の発生推力が急激に増加され、搬送台車を引
き戻そうとする力が強く作用し、したがつて、ヒ
ステリシスループを描く復元力を得ることがで
き、これにより、磁気浮上式搬送装置もしくは空
気浮上式搬送装置などの搬送装置において特に問
題となつていた停止位置付近における搬送台車の
振動を迅速に減衰させ、短時間に位置決め停止さ
せることができるという効果が得られる。
停止位置に近づく期間においては、前記搬送台車
の停止位置に対する変位に比例する電圧または電
流を一定電圧または一定電流から差し引いて停止
用の電磁石に供給する一方、前記搬送台車が前記
停止位置から遠ざかる期間においては変記変位に
比例する電圧または電流を一定電圧または一定電
流に加え合わせて前記電磁石に供給するようにし
たから、搬送台車が停止位置に向つて近づく期間
においては、電磁石の発生推力が低く抑えられ、
逆に、停止位置から遠ざかる期間においては、電
磁石の発生推力が急激に増加され、搬送台車を引
き戻そうとする力が強く作用し、したがつて、ヒ
ステリシスループを描く復元力を得ることがで
き、これにより、磁気浮上式搬送装置もしくは空
気浮上式搬送装置などの搬送装置において特に問
題となつていた停止位置付近における搬送台車の
振動を迅速に減衰させ、短時間に位置決め停止さ
せることができるという効果が得られる。
第1図はこの発明の一実施例の構成を示す斜視
図、第2図イ,ロ,ハは同実施例の変位及び移動
方向検出器10及び制御装置11の各部の波形
図、第3図は同実施例における搬送台車1に作用
する復元力fと変位xとの関係を示すグラフ、第
4図は従来の位置決め停止装置の構成を示す斜視
図、第5図は従来の位置決め停止装置における復
元力fと変位xの関係を示すグラフである。 S1……変位信号、S2……移動方向信号、1……
搬送台車、2……停止位置、3……2次側鉄心、
4……1次側鉄心、5……コイル、6……電磁
石、10……変位及び移動方向検出器、11……
制御装置、12……電源。
図、第2図イ,ロ,ハは同実施例の変位及び移動
方向検出器10及び制御装置11の各部の波形
図、第3図は同実施例における搬送台車1に作用
する復元力fと変位xとの関係を示すグラフ、第
4図は従来の位置決め停止装置の構成を示す斜視
図、第5図は従来の位置決め停止装置における復
元力fと変位xの関係を示すグラフである。 S1……変位信号、S2……移動方向信号、1……
搬送台車、2……停止位置、3……2次側鉄心、
4……1次側鉄心、5……コイル、6……電磁
石、10……変位及び移動方向検出器、11……
制御装置、12……電源。
Claims (1)
- 1 搬送路に沿つて移動する搬送台車を予め定め
られた停止位置に停止させる位置決め停止装置に
おいて、非接触構成された1次側と2次側とから
なり、そのいずれか一方が前記停止位置側に、他
方が前記搬送台車側に取り付けられた電磁石と、
前記搬送台車の前記停止位置を基準とした移動方
向及び前記搬送台車の前記停止位置に対する変位
を検出する検出手段と、前記検出手段の検出結果
に基づいて、前記搬送台車が前記停止位置に近づ
く期間においては前記変位に比例する電圧または
電流を一定電圧または一定電流から差し引いて前
記電磁石の1次側に供給する一方、前記搬送台車
が前記停止位置から遠ざかる期間においては前記
変位に比例する電圧または電流を一定電圧または
一定電流に加え合わせて前記電磁石の1次側に供
給して減衰力を発生させる制御手段とを具備する
ことを特徴とする搬送装置における位置決め停止
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4378486A JPS62201717A (ja) | 1986-02-28 | 1986-02-28 | 搬送装置における位置決め停止装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4378486A JPS62201717A (ja) | 1986-02-28 | 1986-02-28 | 搬送装置における位置決め停止装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62201717A JPS62201717A (ja) | 1987-09-05 |
| JPH0338165B2 true JPH0338165B2 (ja) | 1991-06-07 |
Family
ID=12673383
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4378486A Granted JPS62201717A (ja) | 1986-02-28 | 1986-02-28 | 搬送装置における位置決め停止装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62201717A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04207953A (ja) * | 1990-11-30 | 1992-07-29 | Ebara Corp | 電磁式搬送装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60128513A (ja) * | 1983-12-16 | 1985-07-09 | Shinko Electric Co Ltd | 搬送装置における移動体の位置決め装置 |
-
1986
- 1986-02-28 JP JP4378486A patent/JPS62201717A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62201717A (ja) | 1987-09-05 |
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