JPH0337232Y2 - - Google Patents
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- JPH0337232Y2 JPH0337232Y2 JP11543085U JP11543085U JPH0337232Y2 JP H0337232 Y2 JPH0337232 Y2 JP H0337232Y2 JP 11543085 U JP11543085 U JP 11543085U JP 11543085 U JP11543085 U JP 11543085U JP H0337232 Y2 JPH0337232 Y2 JP H0337232Y2
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- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 26
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 25
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
産業上の利用分野
本考案は圧力センサ用気密端子などに利用され
る気密端子に関する。
る気密端子に関する。
従来の技術
基準圧力と被測定圧力の差を電気信号にて取出
して、被測定圧力を検出等する圧力センサに用い
られる気密端子の従来例を第４図及び第５図を参
照して説明すると、１は円板上の金属外環、２，
２……は金属外環１の周縁部に所定間隔で形成さ
れた複数のリード挿通穴、３は金属外環１の中心
部に形成された圧力伝達用中心穴、４，４……は
リード挿通穴２，２……に挿通された複数のリー
ド線、５，５……はリード線４，４……をリード
挿通穴２，２……に封止するガラスである。金属
外環１はFe−Ni−Co合金のコバールやNi（42％）
−Fe合金の42合金などであり、ガラス５，５…
…は金属外環１と熱膨張係数の差が小さいホウケ
イ酸ガラスなどが使用される。６は金属外環１の
裏面中央の、中心穴３を囲む部分に端面がロウ材
７で固定された圧力伝達用パイプ、８は金属外環
１の表面中央の、中心穴３を囲む部分にロウ材９
で固着されたリング状のシリコン台座で、以上の
１〜１０でもつて圧力センサ用気密端子１０が構
成される。
して、被測定圧力を検出等する圧力センサに用い
られる気密端子の従来例を第４図及び第５図を参
照して説明すると、１は円板上の金属外環、２，
２……は金属外環１の周縁部に所定間隔で形成さ
れた複数のリード挿通穴、３は金属外環１の中心
部に形成された圧力伝達用中心穴、４，４……は
リード挿通穴２，２……に挿通された複数のリー
ド線、５，５……はリード線４，４……をリード
挿通穴２，２……に封止するガラスである。金属
外環１はFe−Ni−Co合金のコバールやNi（42％）
−Fe合金の42合金などであり、ガラス５，５…
…は金属外環１と熱膨張係数の差が小さいホウケ
イ酸ガラスなどが使用される。６は金属外環１の
裏面中央の、中心穴３を囲む部分に端面がロウ材
７で固定された圧力伝達用パイプ、８は金属外環
１の表面中央の、中心穴３を囲む部分にロウ材９
で固着されたリング状のシリコン台座で、以上の
１〜１０でもつて圧力センサ用気密端子１０が構
成される。
この気密端子１０に対し、シリコン台座８上に
シリコン台座８の中空穴１１を塞ぐ形で圧力セン
サ素子１２がロウ材１３で固着され、次に圧力セ
ンサ素子１２の表面電極とリード線４，４……の
上端とが金属細線１４，１４……で接続され、そ
の後、金属外環１の周辺フランジ部１′上に金属
キヤツプ１５に気密に固定されて、所望の圧力セ
ンサが得られる。この圧力センサは金属キヤツプ
１５内が気密封止されて、基準圧力となり、パイ
プ６と中心穴３、中空穴１１を通して外部から被
測定圧力が圧力センサ素子１２に作用すると、圧
力センサ素子１２が歪み、この歪みが電気信号と
してリード線４，４……の信号取出し用リード線
を通して外部に取出される（特開昭58−89873号
公報）。
シリコン台座８の中空穴１１を塞ぐ形で圧力セン
サ素子１２がロウ材１３で固着され、次に圧力セ
ンサ素子１２の表面電極とリード線４，４……の
上端とが金属細線１４，１４……で接続され、そ
の後、金属外環１の周辺フランジ部１′上に金属
キヤツプ１５に気密に固定されて、所望の圧力セ
ンサが得られる。この圧力センサは金属キヤツプ
１５内が気密封止されて、基準圧力となり、パイ
プ６と中心穴３、中空穴１１を通して外部から被
測定圧力が圧力センサ素子１２に作用すると、圧
力センサ素子１２が歪み、この歪みが電気信号と
してリード線４，４……の信号取出し用リード線
を通して外部に取出される（特開昭58−89873号
公報）。
考案が解決しようとする問題点
上記気密端子１０におけるシリコン台座８は、
金属外環１上に直接に圧力センサ素子１２を固着
すると、この両者の熱膨張係数の差で圧力センサ
素子１２にクラツクが入る恐れがあるので、これ
を防止するためと、金属外環１の温度変化による
伸縮で、圧力センサ素子１２が誤動作することを
防止するために、使用される必要不可欠なもので
ある。しかし、このシリコン台座８を使用するた
めに、少なくとも気密端子１０の製造は、金属外
環１にリード線４，４……をガラス封止する工程
と、金属外環１にシリコン台座８とパイプ６をロ
ウ付けする工程が必要であり、特にロウ付け工程
が面倒で、気密端子１０の組立作業性を悪くして
いた。
金属外環１上に直接に圧力センサ素子１２を固着
すると、この両者の熱膨張係数の差で圧力センサ
素子１２にクラツクが入る恐れがあるので、これ
を防止するためと、金属外環１の温度変化による
伸縮で、圧力センサ素子１２が誤動作することを
防止するために、使用される必要不可欠なもので
ある。しかし、このシリコン台座８を使用するた
めに、少なくとも気密端子１０の製造は、金属外
環１にリード線４，４……をガラス封止する工程
と、金属外環１にシリコン台座８とパイプ６をロ
ウ付けする工程が必要であり、特にロウ付け工程
が面倒で、気密端子１０の組立作業性を悪くして
いた。
問題点を解決するための手段
本考案は上記気密端子組立上の問題点に鑑み、
金属外環に挿通した複数のリード線を金属外環に
封止するガラスの表面に、台座を前記ガラスの溶
着により固着した構造にて、上記問題点を解決す
るようにしたものである。
金属外環に挿通した複数のリード線を金属外環に
封止するガラスの表面に、台座を前記ガラスの溶
着により固着した構造にて、上記問題点を解決す
るようにしたものである。
作 用
上記本考案における台座は圧力センサ素子など
が固着される台座で、これを金属外環へのリード
線のガラス封止時に、リード線を封止するガラス
に固着することにより、台座を有する気密端子は
１回のガラス封着工程で製造される。
が固着される台座で、これを金属外環へのリード
線のガラス封止時に、リード線を封止するガラス
に固着することにより、台座を有する気密端子は
１回のガラス封着工程で製造される。
実施例
以下、本考案の圧力センサ用気密端子に適用し
た一実施例を、第１図及び第２図を参照して、説
明する。
た一実施例を、第１図及び第２図を参照して、説
明する。
第１図及び第２図の気密端子Ａにおいて、１６
はコバールや42合金などの金属板を絞り加工した
リング状金属外環、１７，１７……は金属外環１
６内の周辺部に挿通されて、金属外環１６内に充
填されたホウケイ酸ガラス等のガラス１８にて封
止された複数のリード線、１９はガラス１８の中
心部を貫通する中心穴、２０は中心穴１９の下部
内周面に上端部がガラス１８の溶着にて固定され
て、下方に延びる圧力伝達用パイプ、２１はガラ
ス１８の上面の中心穴１９を囲う部分に、ガラス
１８の溶着にて固定されたリング状のシリコン台
座である。この気密端子Ａに対し、従来同様にし
てシリコン台座２１上に圧力センサ素子２２がロ
ウ付けされ、圧力センサ素子２２とリード線１
７，１７……の上端とが金属細線２３，２３……
で接続され、金属外環１６のフランジ部１６′上
に金属キヤツプ２４が気密に固定されて、圧力セ
ンサが得られる。
はコバールや42合金などの金属板を絞り加工した
リング状金属外環、１７，１７……は金属外環１
６内の周辺部に挿通されて、金属外環１６内に充
填されたホウケイ酸ガラス等のガラス１８にて封
止された複数のリード線、１９はガラス１８の中
心部を貫通する中心穴、２０は中心穴１９の下部
内周面に上端部がガラス１８の溶着にて固定され
て、下方に延びる圧力伝達用パイプ、２１はガラ
ス１８の上面の中心穴１９を囲う部分に、ガラス
１８の溶着にて固定されたリング状のシリコン台
座である。この気密端子Ａに対し、従来同様にし
てシリコン台座２１上に圧力センサ素子２２がロ
ウ付けされ、圧力センサ素子２２とリード線１
７，１７……の上端とが金属細線２３，２３……
で接続され、金属外環１６のフランジ部１６′上
に金属キヤツプ２４が気密に固定されて、圧力セ
ンサが得られる。
気密端子Ａの製造は、金属外環１６内にリード
線１７，１７……と共にパイプ２０、シリコン台
座２１を位置決めして挿入保持しておいて、金属
外環１６内に挿入したガラス１８を加熱し溶融さ
せる工程で行われる。例えば、金属外環１６内で
のシリコン台座２１とパイプ２０の保持は、両者
に挿通したピン（図示せず）で行い、このピンを
ガラス封着後に引き抜くと、ガラス１８の中心に
シリコン台座２１とパイプ２０を挿通する中心穴
１９が形成される。
線１７，１７……と共にパイプ２０、シリコン台
座２１を位置決めして挿入保持しておいて、金属
外環１６内に挿入したガラス１８を加熱し溶融さ
せる工程で行われる。例えば、金属外環１６内で
のシリコン台座２１とパイプ２０の保持は、両者
に挿通したピン（図示せず）で行い、このピンを
ガラス封着後に引き抜くと、ガラス１８の中心に
シリコン台座２１とパイプ２０を挿通する中心穴
１９が形成される。
上記ガラス１８は金属外環１６にコバールを使
用した場合は、コバールとの封着性の良い熱膨張
係数が40〜52×10-7／℃の、例えばＮ社製の材質
名がNK，KA，KB，KC，KDのホウケイ酸ガラ
スを使用すればよく、またこのガラス１８はシリ
コン台座２１との熱膨張係数の差が小さくて、シ
リコン台座２１をガラス１８に直接に固着して
も、温度変化でガラス１８にクラツクが入つた
り、シリコン台座２１が剥離したりする心配が無
くなる。
用した場合は、コバールとの封着性の良い熱膨張
係数が40〜52×10-7／℃の、例えばＮ社製の材質
名がNK，KA，KB，KC，KDのホウケイ酸ガラ
スを使用すればよく、またこのガラス１８はシリ
コン台座２１との熱膨張係数の差が小さくて、シ
リコン台座２１をガラス１８に直接に固着して
も、温度変化でガラス１８にクラツクが入つた
り、シリコン台座２１が剥離したりする心配が無
くなる。
尚、本考案は上記実施例に限らず、例えば第３
図に示す気密端子Ｂのように、パイプ２０′はシ
リコン台座２１の真下から延びるようにガラス１
８で封止したものや、図示しないが上記パイプ２
０，２０′を省略したものであつても、本考案は
同様に適用し得る。
図に示す気密端子Ｂのように、パイプ２０′はシ
リコン台座２１の真下から延びるようにガラス１
８で封止したものや、図示しないが上記パイプ２
０，２０′を省略したものであつても、本考案は
同様に適用し得る。
また、シリコン台座２１に代えて、結晶化ガラ
ス製の台座を用いてもよい。
ス製の台座を用いてもよい。
さらに、本考案は圧力センサ用気密端子に限ら
ない。
ない。
考案の効果
本考案によれば、金属外環にリード線を封止す
るガラスで台座を固着するようにしたから、台座
を含む気密端子の製造がガラス封着の１工程で実
行でき、気密端子の製造の量産化やコストダウン
化が可能となる。
るガラスで台座を固着するようにしたから、台座
を含む気密端子の製造がガラス封着の１工程で実
行でき、気密端子の製造の量産化やコストダウン
化が可能となる。
第１図は本考案に掛かる気密端子の一実施例を
示す平面図、第２図は第１図のＸ−Ｘ線に沿う断
面図、第３図は本考案の他の実施例を示す側断面
図である。第４図は従来の気密端子の平面図、第
５図は第４図のＹ−Ｙ線に沿う断面図である。 Ａ……気密端子、１６……金属外環、１７……
リード線、１８……ガラス、２１……シリコン台
座、Ｂ……気密端子。
示す平面図、第２図は第１図のＸ−Ｘ線に沿う断
面図、第３図は本考案の他の実施例を示す側断面
図である。第４図は従来の気密端子の平面図、第
５図は第４図のＹ−Ｙ線に沿う断面図である。 Ａ……気密端子、１６……金属外環、１７……
リード線、１８……ガラス、２１……シリコン台
座、Ｂ……気密端子。
Claims (1)
- 金属外環に挿通した複数のリード線を金属外環
に封止するガラスの表面に、素子固着用の台座を
前記ガラスの溶着により固着したことを特徴とす
る気密端子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11543085U JPH0337232Y2 (ja) | 1985-07-26 | 1985-07-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11543085U JPH0337232Y2 (ja) | 1985-07-26 | 1985-07-26 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6223450U JPS6223450U (ja) | 1987-02-13 |
| JPH0337232Y2 true JPH0337232Y2 (ja) | 1991-08-07 |
Family
ID=30999075
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11543085U Expired JPH0337232Y2 (ja) | 1985-07-26 | 1985-07-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0337232Y2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100409046B1 (ko) * | 2001-03-07 | 2003-12-11 | (주)케이브이씨인스트루먼트 | 커패시턴스 진공 센서의 절연체 구조 |
| KR100409045B1 (ko) * | 2001-03-07 | 2003-12-11 | (주)케이브이씨인스트루먼트 | 커패시턴스 진공센서의 간극조정 구조 |
| KR100409044B1 (ko) * | 2001-03-07 | 2003-12-11 | (주)케이브이씨인스트루먼트 | 커패시턴스 진공 센서구조 |
| KR100409043B1 (ko) * | 2001-03-07 | 2003-12-11 | (주)케이브이씨인스트루먼트 | 커패시턴스 진공센서의 전극판 제조방법 |
| KR101753730B1 (ko) | 2009-04-16 | 2017-07-19 | 에머슨 일렉트릭 컴파니 | 유리-금속 밀봉 실 어셈블리 및 유리-금속 밀봉 실 어셈블리의 제조방법 |
-
1985
- 1985-07-26 JP JP11543085U patent/JPH0337232Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6223450U (ja) | 1987-02-13 |
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