JPH0336969A - 超音波モータ - Google Patents
超音波モータInfo
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- JPH0336969A JPH0336969A JP1167277A JP16727789A JPH0336969A JP H0336969 A JPH0336969 A JP H0336969A JP 1167277 A JP1167277 A JP 1167277A JP 16727789 A JP16727789 A JP 16727789A JP H0336969 A JPH0336969 A JP H0336969A
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- stator
- rotor
- traveling wave
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- ultrasonic motor
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Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
- H02N2/163—Motors with ring stator
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
(産業上の利用分野)
本発明はステータ上に発生ずる進行波によってロータを
回転させる超音波モータに関するものである。
回転させる超音波モータに関するものである。
(従来の技術)
従来より、ステータに圧電振動子を接着し、該圧電振動
子に所定の交流電力を供給することによってステータに
進行波を発生させ、該進行波によりロータを回転させる
超音波モータが知られている。このような超音波モータ
は、例えば特開昭58−148682号公報等に開示さ
れている。
子に所定の交流電力を供給することによってステータに
進行波を発生させ、該進行波によりロータを回転させる
超音波モータが知られている。このような超音波モータ
は、例えば特開昭58−148682号公報等に開示さ
れている。
第7図と第8図を参照して従来の超音波モータを説明す
る。ケーシング71の内部には、ロータ72とステータ
73が配設されている。
る。ケーシング71の内部には、ロータ72とステータ
73が配設されている。
ロータ72はケーシング71により回転自在に支承され
た回転軸74に結合され、回転軸74と一体回転するよ
うになっている。ステータ73には圧電振動子75.7
6が接合され、該圧電振動子75.76によってステー
タ73上に進行波が発生する。
た回転軸74に結合され、回転軸74と一体回転するよ
うになっている。ステータ73には圧電振動子75.7
6が接合され、該圧電振動子75.76によってステー
タ73上に進行波が発生する。
一方、ケーシング71とロータ72の間には、調圧機構
76が配設されている。調圧機構76は、ロータ72に
固定されたロータ側カム76aと回転軸74に固定され
た回転軸側カム76bから成る。これらのカム76a、
76bは共にV型底を有しており、両方のV型底の間に
鋼球76cがはさまれている。
76が配設されている。調圧機構76は、ロータ72に
固定されたロータ側カム76aと回転軸74に固定され
た回転軸側カム76bから成る。これらのカム76a、
76bは共にV型底を有しており、両方のV型底の間に
鋼球76cがはさまれている。
鋼球76cは無負荷の時にはカム底部に位置しているが
、負荷が加わりトルクが増加するに従って■型底から乗
り上げ、回転軸74と同軸な方向に加圧力を発生させる
。従って、回転軸74に負荷が加わり負荷トルクが増加
するに従って加圧力が増大し、ロータ72のトルクが回
転m74側に伝達される。
、負荷が加わりトルクが増加するに従って■型底から乗
り上げ、回転軸74と同軸な方向に加圧力を発生させる
。従って、回転軸74に負荷が加わり負荷トルクが増加
するに従って加圧力が増大し、ロータ72のトルクが回
転m74側に伝達される。
(発明が解決しようとする課題)
しかしながら、従来の超音波モータでは、負荷が大きく
なるに従って調圧機構76が大きな加圧力を発生するの
で、ロータ72がステータ73を押さえ付けることによ
りステータ73に発生ずる振動が弱められ、負荷が大き
くなるとロータ2の回転速度が急に低下する問題点があ
った。
なるに従って調圧機構76が大きな加圧力を発生するの
で、ロータ72がステータ73を押さえ付けることによ
りステータ73に発生ずる振動が弱められ、負荷が大き
くなるとロータ2の回転速度が急に低下する問題点があ
った。
本発明は、このような従来装置の問題点を解消するため
になされたもので、負荷トルクが大きくなってもロータ
の回転速度が低下しにくい超音波モータを構成すること
を技術的課題とする。
になされたもので、負荷トルクが大きくなってもロータ
の回転速度が低下しにくい超音波モータを構成すること
を技術的課題とする。
〔発明の構成]
(課題を解決するための手段)
前述した技術的課題を達成するために講じた技術的手段
は、ロータをステータに向かって所定の加圧力で押し付
ける加圧手段と、ロータに加えられる負荷トルクが大き
くなるに従って加圧手段の加圧力を増加させる調整手段
とを有する超音波モータに、ステータに発生した進行波
の強さを検出するセンサを配設し、センサが検出した進
行波のが弱くなるに従って、振動子に供給される交流電
力の周波数をステータの共振周波数に向かって変化させ
たことである。
は、ロータをステータに向かって所定の加圧力で押し付
ける加圧手段と、ロータに加えられる負荷トルクが大き
くなるに従って加圧手段の加圧力を増加させる調整手段
とを有する超音波モータに、ステータに発生した進行波
の強さを検出するセンサを配設し、センサが検出した進
行波のが弱くなるに従って、振動子に供給される交流電
力の周波数をステータの共振周波数に向かって変化させ
たことである。
(作用)
ステータ上に発生する進行波は、振動子に供給される交
流電力の周波数がステータの共振周波数に近づくにつれ
て強くなる。前述した技術的手段によれば、ステータ上
の進行波の強さが弱くなると、振動子に供給される交流
電力の周波数がステータの共振周波数に向かって変化す
るよう制御される。従って、負荷トルクの増大に従って
ロータがステータを押さえ付けてもステータ上の進行波
は弱くなりにくい。それゆえに、負荷トルクが大きくな
ってもロータの回転速度が低下しにくくなり、所期の技
術的課題が遠戚される。
流電力の周波数がステータの共振周波数に近づくにつれ
て強くなる。前述した技術的手段によれば、ステータ上
の進行波の強さが弱くなると、振動子に供給される交流
電力の周波数がステータの共振周波数に向かって変化す
るよう制御される。従って、負荷トルクの増大に従って
ロータがステータを押さえ付けてもステータ上の進行波
は弱くなりにくい。それゆえに、負荷トルクが大きくな
ってもロータの回転速度が低下しにくくなり、所期の技
術的課題が遠戚される。
(実施例)
以下、添付図面を参照して本発明を適用した実施例装置
について説明する。
について説明する。
最初に第1図を参照して、本発明を適用した超音波モー
タの構造について説明する。基材lにはケース15が固
定されている。基材lおよびケース15の中心部には、
ボールベアリング16.17が嵌め込まれている。ボー
ルベアリング16.17により回転軸13が回転自在に
支承されている。
タの構造について説明する。基材lにはケース15が固
定されている。基材lおよびケース15の中心部には、
ボールベアリング16.17が嵌め込まれている。ボー
ルベアリング16.17により回転軸13が回転自在に
支承されている。
基材lにはリング状のステータ2の固定部2aが嵌合し
ている。ステータ2は固定部2aが振動不可能となるよ
うに皿ねし3によって基材1にしっかりと固定されてい
る。ステータ2の一面にはリング状の圧電振動子4が接
着されている。圧電振動子4には電気入出力信号を伝え
るための電力供給用のリード線5a、5b、およびステ
ータ2の振動状態を制御回路30に伝達するためのリー
ド線5cが半田付けされている。
ている。ステータ2は固定部2aが振動不可能となるよ
うに皿ねし3によって基材1にしっかりと固定されてい
る。ステータ2の一面にはリング状の圧電振動子4が接
着されている。圧電振動子4には電気入出力信号を伝え
るための電力供給用のリード線5a、5b、およびステ
ータ2の振動状態を制御回路30に伝達するためのリー
ド線5cが半田付けされている。
ステータ2は固定部2aと振動部2cの間が菌内の支持
部2bによって一体にされた形状を有している。振動部
2cの表面には多数の突起2dが全周にわたって定ピツ
チで形成されている。ステータ2は導電性に優れた金属
材料(りん青銅など)で作られており、基材lに電気的
に接続されている。
部2bによって一体にされた形状を有している。振動部
2cの表面には多数の突起2dが全周にわたって定ピツ
チで形成されている。ステータ2は導電性に優れた金属
材料(りん青銅など)で作られており、基材lに電気的
に接続されている。
圧電振動子4はステータ2上に進行波を発生させるため
の素子で、ステータ2上に進行波を効率良く発生させる
ための分極が施されている。超音波モータ用の圧電振動
子4は既に多くの文献に紹介されており、公知なので、
詳細な説明は省略することにする。圧電振動子4に半田
付けされたリード線5a、5bと基材lの間に90’位
相差を有する交流電力を供給すると、圧電振動子4が伸
縮してステータ2上に進行波振動が生起される。
の素子で、ステータ2上に進行波を効率良く発生させる
ための分極が施されている。超音波モータ用の圧電振動
子4は既に多くの文献に紹介されており、公知なので、
詳細な説明は省略することにする。圧電振動子4に半田
付けされたリード線5a、5bと基材lの間に90’位
相差を有する交流電力を供給すると、圧電振動子4が伸
縮してステータ2上に進行波振動が生起される。
ロータ6は皿バネ7の加圧力によりステータ2に常時圧
接されている。皿バネ7の加圧力が回転体6の全円周面
に均一に加わるように、ロータ6と皿バネ7の間にはス
タビライザ8が配設されている。皿バネ7とスタビライ
ザ8の間にはゴムシート9が、スタビライザ8とロータ
6の間にはゴムシート10が、それぞれ挟まれている。
接されている。皿バネ7の加圧力が回転体6の全円周面
に均一に加わるように、ロータ6と皿バネ7の間にはス
タビライザ8が配設されている。皿バネ7とスタビライ
ザ8の間にはゴムシート9が、スタビライザ8とロータ
6の間にはゴムシート10が、それぞれ挟まれている。
ロータ6は外周部6aと内径部6Cの間が薄肉部6bを
介して一体にされた形状を有している。
介して一体にされた形状を有している。
ロータ6の外周部6aの下面にはリング状のF!1.櫟
林フィルム11が接着されている。摩擦材フィルム11
は外周部6aの下面とステータ2の振動部2cの間に挟
まれている。
林フィルム11が接着されている。摩擦材フィルム11
は外周部6aの下面とステータ2の振動部2cの間に挟
まれている。
本実施例のスタビライザ8は鉄材で作られており、アル
ミ材で作られたロータ6よりも大きな質量を有している
。ここで、スタビライザ8の質量をロータ6の質量より
も大きくすれば、ロータ6の振動が皿バネ7に伝わりに
くくなる。
ミ材で作られたロータ6よりも大きな質量を有している
。ここで、スタビライザ8の質量をロータ6の質量より
も大きくすれば、ロータ6の振動が皿バネ7に伝わりに
くくなる。
また、スタビライザ8は剛性の高い材料で作ることが望
ましい。なぜならば、スタビライザ8の剛性が低いと、
ロータ6の振動を吸収してしまうからである。
ましい。なぜならば、スタビライザ8の剛性が低いと、
ロータ6の振動を吸収してしまうからである。
スタビライザ8の外周部にはリング状の突起8aが形成
されている。この突起8aはロータ6とステータ2の当
接面よりも内側に位置し、ロータ6を押さえ付けている
。この突起8aは一定の寸法精度で形成されているので
、皿バネ7の加圧力は突起8aの円周に沿って一様に分
布する。
されている。この突起8aはロータ6とステータ2の当
接面よりも内側に位置し、ロータ6を押さえ付けている
。この突起8aは一定の寸法精度で形成されているので
、皿バネ7の加圧力は突起8aの円周に沿って一様に分
布する。
皿バネ7はホルダ12の鍔部12aにより保持されてい
る。ホルダ12の中心部には回転軸13が挿入されてい
る。ホルダ12は回転軸13の回りを自在に回転し得る
。
る。ホルダ12の中心部には回転軸13が挿入されてい
る。ホルダ12は回転軸13の回りを自在に回転し得る
。
第2図にホルダ12と回転軸13を溝いた分解斜視図を
示す。ホルダ12の中心部には四つの略■字底を有する
カム面12bが形成されている。
示す。ホルダ12の中心部には四つの略■字底を有する
カム面12bが形成されている。
一方、回転軸13には鍔部13aが形成されており、鍔
部13aにはカム面12bに相当する形状を有するカム
面13bが形成されている。カム面12bとカム面13
bの間には、四つの鋼球14a、14b、14e、14
dが挟持されている。
部13aにはカム面12bに相当する形状を有するカム
面13bが形成されている。カム面12bとカム面13
bの間には、四つの鋼球14a、14b、14e、14
dが挟持されている。
ロータ6の駆動力はスタビライザ8、皿バネ7を通って
ホルダ12に伝えられ、さらにカム面12bとカム面1
3bの間に挾まれた鋼球14a、14b、14c、14
dを通って回転軸13に伝えられる。
ホルダ12に伝えられ、さらにカム面12bとカム面1
3bの間に挾まれた鋼球14a、14b、14c、14
dを通って回転軸13に伝えられる。
カム面12b、13bおよび鋼球14a、14b 1
4c、14dは加圧力調整機構を構成しており、回転軸
13に作用する負荷トルクの大きさをホルダ12の軸方
向の変位に変換する。
4c、14dは加圧力調整機構を構成しており、回転軸
13に作用する負荷トルクの大きさをホルダ12の軸方
向の変位に変換する。
回転軸13に作用する負荷が小さい時には、ホルダ12
と回転軸13との相対的な変位が小さくなるので、鋼球
14a、14b、14c、14dがカム面izb、is
bの略V字底付近に移動する。この時、ホルダ12がス
テータ2から遠ざかる方向(第1図で上方向)に移動す
るので、ロータ6は弱い加圧力でステータ2に押し付け
られる。
と回転軸13との相対的な変位が小さくなるので、鋼球
14a、14b、14c、14dがカム面izb、is
bの略V字底付近に移動する。この時、ホルダ12がス
テータ2から遠ざかる方向(第1図で上方向)に移動す
るので、ロータ6は弱い加圧力でステータ2に押し付け
られる。
逆に、回転軸13に作用する負荷が大きい時には、ホル
ダ12と回転軸13との相対的な変位が大きくなるので
、鋼球14a、14b、14c。
ダ12と回転軸13との相対的な変位が大きくなるので
、鋼球14a、14b、14c。
14dがカム面12b、13bの頂上に向かって移動す
る。この時、ホルダ12がステータ2に向かって(第1
図で下方向に)移動するので、ロータ6は強い加圧力で
ステータ2に押し付けられる。
る。この時、ホルダ12がステータ2に向かって(第1
図で下方向に)移動するので、ロータ6は強い加圧力で
ステータ2に押し付けられる。
ロータ6がステータ2に強い加圧力で押しつけられると
、摩擦材フィルム11と突起2dの間に作用する摩擦力
が大きくなる。この結果、ロータ6とステータ2の間の
滑り損失が低減され、ロータ6はより大きな回転トルク
を発生ずるようになる。
、摩擦材フィルム11と突起2dの間に作用する摩擦力
が大きくなる。この結果、ロータ6とステータ2の間の
滑り損失が低減され、ロータ6はより大きな回転トルク
を発生ずるようになる。
ところで、ロータ6がステーク2に強い加圧力で押し付
けられると、ステータ2の振動が拘束されるので、ステ
ータ2上に発生する進行波の振幅(即ち進行波のエネル
ギー)が小さくなってしまう。そこで、本実施例装置の
超音波モータでは特別な制御回路30を使用して、ステ
ータ2上に発生する進行波の振幅をできるだけ一定に保
持している。
けられると、ステータ2の振動が拘束されるので、ステ
ータ2上に発生する進行波の振幅(即ち進行波のエネル
ギー)が小さくなってしまう。そこで、本実施例装置の
超音波モータでは特別な制御回路30を使用して、ステ
ータ2上に発生する進行波の振幅をできるだけ一定に保
持している。
第3図に本実施例装置の制御回路を示す。制御回路30
は、電源回路31.入力回路32、マイクロコンピュー
タ33、D/A変換回路34、電圧制御発振回路35、
移相回路36、ドライバ回路37.38、昇圧トランス
39.4G、平滑回路41を備えている。
は、電源回路31.入力回路32、マイクロコンピュー
タ33、D/A変換回路34、電圧制御発振回路35、
移相回路36、ドライバ回路37.38、昇圧トランス
39.4G、平滑回路41を備えている。
電源回路31はバッテリBTTに接続されており、制御
回路30内に一定電圧の電力を供給する。
回路30内に一定電圧の電力を供給する。
入力回路32はマイクロコンピュータ33とスイッチS
WO間に接続されており、スイッチS室がON側に設定
されているか、OFF側に設定されているかをマイクロ
コンピュータ33に入力する。
WO間に接続されており、スイッチS室がON側に設定
されているか、OFF側に設定されているかをマイクロ
コンピュータ33に入力する。
ステータ2に接着された圧電振動子4には、ステータ2
上に進行波を発生させるための一対の駆動電極4a、4
bが接合されている。移相回路36によって位相が90
6ずらされた一対の電気信号が駆動電極4a、4hに印
加されると、ステータ2上に進行波が発生する。ステー
タ2上に発生する進行波の振幅は電圧制御発振回路35
の発振周波数によって変化する。即ち、電圧制御発振回
路35の発振周波数がステータ2の共振周波数に近づく
に従って進行波の振幅は増大し、逆に電圧制御発振回路
35の発振周波数がステータ2の共振周波数から遠ざか
るに従って進行波の振幅は減少する。
上に進行波を発生させるための一対の駆動電極4a、4
bが接合されている。移相回路36によって位相が90
6ずらされた一対の電気信号が駆動電極4a、4hに印
加されると、ステータ2上に進行波が発生する。ステー
タ2上に発生する進行波の振幅は電圧制御発振回路35
の発振周波数によって変化する。即ち、電圧制御発振回
路35の発振周波数がステータ2の共振周波数に近づく
に従って進行波の振幅は増大し、逆に電圧制御発振回路
35の発振周波数がステータ2の共振周波数から遠ざか
るに従って進行波の振幅は減少する。
ステータ2上に発生した進行波はセンサ電極4Cに振幅
の大きさにほぼ比例した電圧を発生させる。発生した電
圧は平滑回路41によって平滑化され、マイクロコンピ
ュータ33に人力される。
の大きさにほぼ比例した電圧を発生させる。発生した電
圧は平滑回路41によって平滑化され、マイクロコンピ
ュータ33に人力される。
マイクロコンピュータ33は平滑回路41から入力され
るステータ2の平均的な振幅の大きさに応してD/A変
換回路34を制御し、ステータ2上の振幅がほぼ一定に
なるように電圧制御発振回路35の発振周波数を調節す
る。
るステータ2の平均的な振幅の大きさに応してD/A変
換回路34を制御し、ステータ2上の振幅がほぼ一定に
なるように電圧制御発振回路35の発振周波数を調節す
る。
マイクロコンピュータ33で実行されるプログラムの一
例を第4図に示す。電源回路31にバッテリBTTが接
続されるとマイクロコンピュータ33は第4図に示した
プログラムをステップS1から実行し始める。
例を第4図に示す。電源回路31にバッテリBTTが接
続されるとマイクロコンピュータ33は第4図に示した
プログラムをステップS1から実行し始める。
ステップS1では以後の処理を実行するために必要な初
期化が行われる。
期化が行われる。
この後、ステップS2ではスイッチS室がオンになった
か否かが判定される。スイッチS室がオンになるまでス
テップS2の処理が繰り返される。
か否かが判定される。スイッチS室がオンになるまでス
テップS2の処理が繰り返される。
ステップS3では、標準的な駆動周波数!、に相当する
コードが制御フラグfに記憶される。その後、ステップ
S4において制御フラグfに記憶されたコードがD/A
変換回路34に出力されると、電圧制御発振回路35か
ら標準的な駆動周波数f・が出力され、ロータ6が回転
し始める。その後、ステップS5では、この瞬間にセン
サ電極4cに発生している電極電圧Vの大きさが読み込
まれ、ステップS6で標準的な電極電圧Voと比較され
る。標準的な電極電圧Voと読み込まれた電極電圧Vと
が等しい場合には、ステップS7の処理が省略される。
コードが制御フラグfに記憶される。その後、ステップ
S4において制御フラグfに記憶されたコードがD/A
変換回路34に出力されると、電圧制御発振回路35か
ら標準的な駆動周波数f・が出力され、ロータ6が回転
し始める。その後、ステップS5では、この瞬間にセン
サ電極4cに発生している電極電圧Vの大きさが読み込
まれ、ステップS6で標準的な電極電圧Voと比較され
る。標準的な電極電圧Voと読み込まれた電極電圧Vと
が等しい場合には、ステップS7の処理が省略される。
等しくない場合には、ステップS7の処理が実行され、
電極電圧Vが標準的な電8i電圧V。と一致するように
制御フラグfのコードが増減される。
電極電圧Vが標準的な電8i電圧V。と一致するように
制御フラグfのコードが増減される。
ステップS8では、スイッチS室がON側になったまま
か否かが判定される。スイッチS室がON側であれば、
再びステップS4の処理から実行を始める。スイッチS
室がOFF側であればステップS9の処理が実行され、
電圧制御発振回路35の発振が停止し、ロータ6が停止
する。
か否かが判定される。スイッチS室がON側であれば、
再びステップS4の処理から実行を始める。スイッチS
室がOFF側であればステップS9の処理が実行され、
電圧制御発振回路35の発振が停止し、ロータ6が停止
する。
以上に述べた制御回路3Gとマイクロコンピュータ33
で実行されるプログラムによって、本実施例装置では、
ステータ2に発生する進行波の振幅がほぼ一定になるよ
う調節される。それゆえに、回転軸13に作用する負荷
トルクが大きくなり、ロータ6が強い加圧力でステータ
2を押さえ付けるようになっても、ステータ2に発生す
る進行波の振幅はほとんど変化しない。また、ロークロ
が強い加圧力でステータ2を押さえ付けることによって
ロータ6とステータ2の間で発生する滑り損失が低下す
るので、ステータ2からロータ6へ(i達される駆動力
が大きくなり、回転軸13から耶り出される出ノノトル
クが増大する。この結果、芽5図に示すように、本実施
例装置は負荷トルフカ大きくなってもロータ6の回転速
度が低下しにも特性を示す。
で実行されるプログラムによって、本実施例装置では、
ステータ2に発生する進行波の振幅がほぼ一定になるよ
う調節される。それゆえに、回転軸13に作用する負荷
トルクが大きくなり、ロータ6が強い加圧力でステータ
2を押さえ付けるようになっても、ステータ2に発生す
る進行波の振幅はほとんど変化しない。また、ロークロ
が強い加圧力でステータ2を押さえ付けることによって
ロータ6とステータ2の間で発生する滑り損失が低下す
るので、ステータ2からロータ6へ(i達される駆動力
が大きくなり、回転軸13から耶り出される出ノノトル
クが増大する。この結果、芽5図に示すように、本実施
例装置は負荷トルフカ大きくなってもロータ6の回転速
度が低下しにも特性を示す。
以上に述べた本実施例装置では、回転軸13カニつのボ
ールベアリング16.17で支持された例のみを示した
が、回転軸13を一つのボールーアリング16のみで支
持することも可能である。
ールベアリング16.17で支持された例のみを示した
が、回転軸13を一つのボールーアリング16のみで支
持することも可能である。
その−例を第6図に示す。なお、第6図の中で11図の
各構成要素に相当する構成要素には第1[Hと同一番号
を付すことによって説明を省略する。
各構成要素に相当する構成要素には第1[Hと同一番号
を付すことによって説明を省略する。
回転軸13を一つのボールベアリング16で長持するた
めに、回転軸13の一端には細径部13C,13dが形
成されており、これら細径部13c、13dがベアリン
グ16に挿通されているゆ細径部13dの外周には螺子
が切られており、ナンド18が嵌合している。回転軸1
3は基材1に嵌め込まれたベアリング16を段付部13
eとナラl−18で挾み込むことにより支持されている
。
めに、回転軸13の一端には細径部13C,13dが形
成されており、これら細径部13c、13dがベアリン
グ16に挿通されているゆ細径部13dの外周には螺子
が切られており、ナンド18が嵌合している。回転軸1
3は基材1に嵌め込まれたベアリング16を段付部13
eとナラl−18で挾み込むことにより支持されている
。
このような構成によれば、ケース15に機械的な強度が
要求されないので、ケース15のFfi、rgを薄くし
て軽量化を図り得る。
要求されないので、ケース15のFfi、rgを薄くし
て軽量化を図り得る。
本発明の超音波モータでは、負荷トルクの変動が機械的
に検出され、ロータとステータの間の加圧力が調節され
る。それゆえに、負荷トルクの増大に応じてロータとス
テータの間の滑り損失が低減でき、ロータの回転トルク
を磯波的に増大させることができるので、回転速度の低
下が小さくできる。
に検出され、ロータとステータの間の加圧力が調節され
る。それゆえに、負荷トルクの増大に応じてロータとス
テータの間の滑り損失が低減でき、ロータの回転トルク
を磯波的に増大させることができるので、回転速度の低
下が小さくできる。
また、本発明の超音波モータでは、負荷トルクの変動が
電気的に制御回路に入力され、振動子に供給される交流
電力の周波数が調節される。それゆえに、負荷トルクの
増大に応じてロータの回転トルクを電気的に増大させる
ことができ、回転速度の低下が小さくできる。
電気的に制御回路に入力され、振動子に供給される交流
電力の周波数が調節される。それゆえに、負荷トルクの
増大に応じてロータの回転トルクを電気的に増大させる
ことができ、回転速度の低下が小さくできる。
第1図は本発明の第一実施例装置を溝いた超音波モータ
の断面図である。 第2図は第一実施例装置の加圧力調整機構を閘いた斜視
図である。 第3図は第一実施例装置の電気的構成を招いたブロック
図である。 第4図は第一実施例装置で実行されるプログラムを描い
たフローチャートである。 第5図は第一実施例装置の負荷特性を描いたグラフであ
る。 第6図は本発明の第二実施例装置を描いた超音波モータ
の断面図である。 第7図と第8図は従来の超音波モータを描いた斜視図で
ある。 ト・・基材、2・・−ステータ、3・・・皿ねし、4・
・・圧電振動子、4a、4b・−・駆動電極、4c・・
・センサ電極(センサ)、 5a、5b・−リード線、6−・・ロータ、7・・・皿
バネ(加圧手段)、8・・・スタビライ9・・・ゴムシ
ート、10・・・ゴムシート、ザ、 l・・・摩擦材フィルム、 2・・・ホルダ(調整手段)、 3・・・回転軸(調整手段)、 4a、14b、14c、14d ・・・鋼球(調整手段)、 5・・・ケース、16.17・・・ベアリング、8・・
・ナツト、30・・・制御回路(制御手段)、l・・・
電源回路、32・・・入力回路、3・・・マイクロコン
ピュータ、 ←・・D/A変換回路、35・・・電圧制御発振回路、
6・・・移相回路、 7.38・・・ドライバ回路(駆動手段)、9.40・
・−昇圧トランス(駆動手段)、l・・・平滑回路。
の断面図である。 第2図は第一実施例装置の加圧力調整機構を閘いた斜視
図である。 第3図は第一実施例装置の電気的構成を招いたブロック
図である。 第4図は第一実施例装置で実行されるプログラムを描い
たフローチャートである。 第5図は第一実施例装置の負荷特性を描いたグラフであ
る。 第6図は本発明の第二実施例装置を描いた超音波モータ
の断面図である。 第7図と第8図は従来の超音波モータを描いた斜視図で
ある。 ト・・基材、2・・−ステータ、3・・・皿ねし、4・
・・圧電振動子、4a、4b・−・駆動電極、4c・・
・センサ電極(センサ)、 5a、5b・−リード線、6−・・ロータ、7・・・皿
バネ(加圧手段)、8・・・スタビライ9・・・ゴムシ
ート、10・・・ゴムシート、ザ、 l・・・摩擦材フィルム、 2・・・ホルダ(調整手段)、 3・・・回転軸(調整手段)、 4a、14b、14c、14d ・・・鋼球(調整手段)、 5・・・ケース、16.17・・・ベアリング、8・・
・ナツト、30・・・制御回路(制御手段)、l・・・
電源回路、32・・・入力回路、3・・・マイクロコン
ピュータ、 ←・・D/A変換回路、35・・・電圧制御発振回路、
6・・・移相回路、 7.38・・・ドライバ回路(駆動手段)、9.40・
・−昇圧トランス(駆動手段)、l・・・平滑回路。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ステータと、 該ステータに貼り付けられ、該ステータ上に進行波を発
生させる振動子と、 前記ステータに発生した進行波の強さを検出するセンサ
と、 前記ステータに当接したロータと、 該ロータを前記ステータに向かつて所定の加圧力で押し
付ける加圧手段と、 前記ロータに加えられる負荷トルクが大きくなるに従つ
て前記加圧手段の加圧力を増加させる調整手段と、 交流電力を前記振動子に供給する駆動手段と、前記セン
サが検出した進行波が弱くなるに従つて、前記振動子に
供給される交流電力の周波数を前記ステータの共振周波
数に向かつて変化させる制御手段と、 を備える超音波モータ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1167277A JPH0336969A (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | 超音波モータ |
US07/545,818 US5053669A (en) | 1989-06-29 | 1990-06-29 | Ultrasonic motor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1167277A JPH0336969A (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | 超音波モータ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0336969A true JPH0336969A (ja) | 1991-02-18 |
Family
ID=15846764
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1167277A Pending JPH0336969A (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | 超音波モータ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5053669A (ja) |
JP (1) | JPH0336969A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013258866A (ja) * | 2012-06-14 | 2013-12-26 | Canon Inc | 振動波駆動装置 |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5428260A (en) * | 1990-08-03 | 1995-06-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration driven motor |
US6031316A (en) * | 1990-10-25 | 2000-02-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration actuator apparatus |
WO1992020141A1 (en) * | 1991-04-26 | 1992-11-12 | Seiko Instruments Inc. | Ultrasonic motor |
JP2962861B2 (ja) * | 1991-05-20 | 1999-10-12 | キヤノン株式会社 | 振動波モータ |
DE4130065C2 (de) * | 1991-09-11 | 1993-12-02 | Licentia Gmbh | Elektrischer Scheibenwischerantrieb |
EP0543114A1 (en) * | 1991-11-18 | 1993-05-26 | Rockwell International Corporation | Multiresonant actuator |
EP0543360B1 (en) * | 1991-11-20 | 2000-05-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration driven motor |
JP3164239B2 (ja) * | 1992-01-16 | 2001-05-08 | オリンパス光学工業株式会社 | 振動波モータの駆動回路 |
US5459369A (en) * | 1992-07-20 | 1995-10-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Control apparatus for travelling wave driven motor |
US5726518A (en) * | 1992-07-22 | 1998-03-10 | Nikon Corporation | Supporting device of relative moving element of vibration actuator or vibration motor |
JPH07298652A (ja) * | 1994-04-27 | 1995-11-10 | Canon Inc | 振動波モータ |
JPH09168287A (ja) * | 1995-12-14 | 1997-06-24 | Seiko Instr Inc | 超音波モータ |
JP3789017B2 (ja) * | 1996-12-27 | 2006-06-21 | キヤノン株式会社 | 位置制御装置 |
US20080116767A1 (en) * | 2006-11-16 | 2008-05-22 | Shan-Yi Yu | Piezoelectric generation system and generation method thereof |
JP2011030285A (ja) * | 2009-07-21 | 2011-02-10 | Olympus Corp | 超音波モータ |
JP5769380B2 (ja) * | 2010-03-23 | 2015-08-26 | キヤノン株式会社 | 振動波モータ |
CN105207519A (zh) * | 2015-01-06 | 2015-12-30 | 程廷海 | 大功率精密压电超声驱动平台及其驱动方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JPS5610792A (en) * | 1979-07-06 | 1981-02-03 | Taga Denki Kk | Method and circuit for driving ultrasonic-wave converter |
CA1208269A (en) * | 1982-02-25 | 1986-07-22 | Toshiiku Sashida | Motor device utilizing ultrasonic oscillation |
US4794294A (en) * | 1986-06-12 | 1988-12-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration wave motor |
JP2611296B2 (ja) * | 1987-12-29 | 1997-05-21 | アイシン精機株式会社 | 超音波モータ |
JPH0241677A (ja) * | 1988-07-29 | 1990-02-09 | Aisin Seiki Co Ltd | 超音波モータ |
-
1989
- 1989-06-29 JP JP1167277A patent/JPH0336969A/ja active Pending
-
1990
- 1990-06-29 US US07/545,818 patent/US5053669A/en not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013258866A (ja) * | 2012-06-14 | 2013-12-26 | Canon Inc | 振動波駆動装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5053669A (en) | 1991-10-01 |
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