CN105207519A - 大功率精密压电超声驱动平台及其驱动方法 - Google Patents
大功率精密压电超声驱动平台及其驱动方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN105207519A CN105207519A CN201510003789.0A CN201510003789A CN105207519A CN 105207519 A CN105207519 A CN 105207519A CN 201510003789 A CN201510003789 A CN 201510003789A CN 105207519 A CN105207519 A CN 105207519A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- elastomer
- mating end
- platform
- sheet
- supersonic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
本发明公开了一种大功率精密压电超声驱动平台及其驱动方法，以解决单独采用梁结构弹性体或板结构弹性体超声电机作为驱动器的定位平台所导致整体输出性能不理想等技术问题。本发明包括固定外架、第一弹性体、第二弹性体、转动平台、滚动体、推力球轴承、蝶形弹簧、紧固连接件和内六角螺栓，第一弹性体为梁结构，第二弹性体为板结构。施加超声频率内激励电信号于压电元件，激发第一弹性体和第二弹性体产生微幅高频振动模态，利用振动模态的叠加耦合，在第二弹性体与转动平台的接触表面产生驱动摩擦力，实现本发明的旋转位移运动输出。本发明具有输出功率大、运行平稳性好以及应用范围广等技术优势，在精密驱动与微定位技术领域具有广泛应用前景。
Description
技术领域
本发明涉及一种大功率精密压电超声驱动平台及其驱动方法，属于精密驱动与微定位技术领域。
背景技术
压电超声驱动技术由于其特有的定位精度高、无电磁干扰、结构简单紧凑等技术优势，被广泛应用于精密驱动平台中。其中超声电机是利用压电元件的逆压电效应激励弹性体产生微幅超声振动，通过摩擦耦合实现机械能输出的微特电机。与传统电磁电机相比，因其具有结构易于微型化、响应速度快、无电磁干扰等技术优势，广泛应用于精密驱动与微定位技术领域。根据弹性体（或称为定子）的结构形式与驱动激励模式的不同，超声电机主要有梁结构弹性体超声电机和板结构弹性体超声电机等几种类型。
中国专利《杆式行波型超声电机》，授权公告号为CN100525057C，授权公告日为2009年8月5日，公开的一种杆式行波型超声电机，其定子组件由底座和上配重块将压电陶瓷片组和电极片组通过底座的螺杆旋紧连接，上配重块呈圆盘状，上端部有一尺寸相对较小的内槽凸台，底座外缘具有四个安装用的螺纹孔，电机转子组件由柔性转子、销、压盖、轴等构成，电机定转子之间的预压力通过压紧弹簧来获得和调节，当电机通入超声频域内一定的交流电压时，电子定子部分上配重块与转子接触的表面的质点做椭圆运动，由于定转子之间存在预压力，定转子间会产生摩擦力，这种摩擦力会推动转子转动；中国专利《弯振模态梁式直线超声电机振子》，授权公告号为CN101626203B，授权公告日为2011年7月20日，公开的一种弯振模态梁式直线超声电机振子由两个驱动足、两个端盖、两个绝缘套、两对极化方向为厚度方向的压电陶瓷片、法兰盘、两个薄壁梁和安装座组成，法兰盘的端面上沿其轴线各伸出一根螺柱，每个螺柱上套有一对压电陶瓷片，每个螺柱的悬伸端端部旋合有端盖，每个端盖的末端上都设置一个驱动足，所述每片压电陶瓷片由切分后组合的、对称的两个半片压电陶瓷片组成，两个半片压电陶瓷片之间极化方向相反，法兰两侧的两对压电陶瓷片的切分线相互垂直，每对压电陶瓷片中的压电陶瓷片的极化方向相反；中国专利《圆盘型非接触超声电机》，授权公告号为CN100525056C，授权公告日为2009年8月5日，公开的一种圆盘型非接触超声电机，主要由定子组件、转子组件和制作组件构成，定子组件由圆盘形定子基体和压电陶瓷粘贴构成，电机的转子组件由转子基体、轴、弹簧、螺母等构成，电机支座组件由底座、外壳、螺钉构成，当电机通入超声频率范围内一定的交变电压时，电机定子产生超声频率的转动，通过粘性力驱动转子转动，动力由轴输出；中国专利《新型旋转型行波超声电机》，申请公告号为CN102437787A，申请公告日为2012年5月2日，公开的一种新型旋转型行波超声电机，其主要部件有二个定子、转子、底座、摩擦衬垫、挡圈以及轴承等，其中，两个形状相同的定子对称布置并且压紧转子两个端面，保证两定子的工作面可靠实现与转子表面平行接触，使定转子接触面受力均匀，这样可以克服目前基于单定子结构的旋转型行波超声电机定转子存在径向接触不均匀、接触范围小、定转子存在径向滑移摩擦损耗等缺陷，有望提高旋转型行波超声电机的最大输出转矩和效率，并且延长旋转型行波超声电机的使用寿命。
由超声电机的驱动原理可知，相同条件下电机定子的振动幅值越大，定子与转子间有效接触面积越大，越有利于电机整机性能的提高。而上述采用梁结构弹性体的超声电机，虽然电机定子振动幅值较大，但定子与转子间有效接触面积较小，使得梁结构超声电机的机械输出性能受限；对于采用板结构弹性体的超声电机，与梁结构超声电机相比，虽然电机定子与转子间有效接触面积较大，但定子的振动幅值一般较小，同样表现为限制了超声电机机械功率的强力输出。由此可见，对于单独采用梁结构弹性体或板结构弹性体的超声电机，由于定、转子间有效接触面积小或振动幅值不大等技术问题，导致超声电机整体输出性能不理想，限制了其在精密驱动与微定位平台装置中的应用与发展。
发明内容
为解决单独采用梁结构弹性体或板结构弹性体超声电机作为驱动器的定位平台，由电机定、转子间有效接触面积小或振动幅值不大所导致超声电机整体输出性能不理想等技术问题，本发明公开了一种大功率精密压电超声驱动平台及其驱动方法。
本发明采用的技术方案是：所述大功率精密压电超声驱动平台主要由固定外架、第一弹性体、第二弹性体、转动平台、滚动体、推力球轴承、蝶形弹簧、紧固连接件和内六角螺栓组成。
所述固定外架为一侧端部设置有法兰的薄壁圆环体结构，所述固定外架法兰四周沿圆周方向均匀设置有q个通孔结构，其中q为大于等于1的整数；所述固定外架薄壁圆环体靠近法兰部分设置有通孔结构，所述固定外架薄壁圆环体靠近悬臂端部内侧设置有圆弧状滑道结构，所述固定外架法兰一侧端部表面中心位置设有阶梯孔结构，所述所述固定外架法兰另一侧端部表面中心位置设有阶梯孔结构，所述固定外架法兰端部表面阶梯孔结构中心位置设有通孔结构。所述第二弹性体为梳齿型第二弹性体。所述转动平台为板结构，所述转动平台一侧端部表面中心位置设有圆形凹槽结构，其与第二弹性体的圆形凹槽结构相对布置；所述转动平台另一侧端部表面中心位置设有沉头孔结构，所述转动平台圆形凹槽结构与沉头孔结构之间设置有通孔结构，所述转动平台外圆周表面设置有圆弧形滑道结构，所述转动平台另一侧端部表面沿圆周方向均匀设置有r个螺纹孔结构。所述紧固连接件为一侧端部设有内六角孔的圆柱体结构，所述紧固连接件另一侧端部设置有外螺纹结构，所述紧固连接件内六角孔与外螺纹结构之间的外圆柱表面与推力球轴承紧密配合连接。
本发明的有益效果是：本发明采用梁板复合方式的弹性体对驱动平台进行激振，利用梁结构第一弹性体与板结构第二弹性体振动模态的叠加耦合，在实现平台梁结构第一弹性体较大振动幅值的同时，可获得平台板结构第二弹性体与转动平台间较大的有效接触面积，使得驱动平台的整机输出性能获得大幅度提升。本发明具有输出功率大、运行平稳、定位精度高、环境适应性强以及应用范围广等技术优势，在精密驱动与微定位技术领域中具有较大的应用与发展前景。
附图说明
图1所示为本发明提出的一种大功率精密压电超声驱动平台的剖视图；
图2所示为本发明提出的一种大功率精密压电超声驱动平台的固定底座的主视图；
图3所示为本发明提出的一种大功率精密压电超声驱动平台的固定底座的剖视图；
图4所示为本发明提出的一种大功率精密压电超声驱动平台的第二弹性体的主视图；
图5所示为本发明提出的一种大功率精密压电超声驱动平台的第二弹性体的剖视图；
图6所示为本发明提出的一种大功率精密压电超声驱动平台的粘接有矩形压电陶瓷片的第二弹性体的主视图；
图7所示为本发明提出的一种大功率精密压电超声驱动平台的粘接有矩形压电陶瓷片的第二弹性体的剖视图；
图8所示为本发明提出的一种大功率精密压电超声驱动平台的转动体的主视图；
图9所示为本发明提出的一种大功率精密压电超声驱动平台的转动体的剖视图；
图10所示为本发明提出的一种大功率精密压电超声驱动平台的紧固连接件的局部剖视图；
图11所示为本发明提出的一种贴片式梁板复合激振的大功率精密压电超声驱动平台的第一弹性体的局部剖视图；
图12所示为本发明提出的一种纵振夹心式梁板复合激振的大功率精密压电超声驱动平台的第一弹性体的主视图与剖视图；
图13所示为本发明提出的一种纵振夹心式梁板复合激振或扭振夹心式梁板复合激振或夹心式复合激振的大功率精密压电超声驱动平台第一弹性体中前匹配端与后匹配端的剖视图；
图14所示为本发明提出的一种扭振夹心式梁板复合激振的大功率精密压电超声驱动平台的第一弹性体的主视图与剖视图；
图15所示为本发明提出的一种强力输出夹心式梁板复合激振的大功率精密压电超声驱动平台的第一弹性体的主视图；
图16所示为本发明提出的一种强力输出夹心式梁板复合激振的大功率精密压电超声驱动平台的第一弹性体中前匹配端、后匹配端的剖视图及压电叠堆的结构示意图；
图17所示本发明提出的一种贴片式大功率精密压电超声驱动平台的第一弹性体的局部剖视图；
图18所示为本发明提出的一种夹心式复合激振的大功率精密压电超声驱动平台的第一弹性体的主视图与剖视图；
图19所示为本发明提出的一种纵扭复合激振的大功率精密压电超声驱动平台的第一弹性体的主视图与剖视图；
图20所示为本发明提出的一种纵扭复合激振的大功率精密压电超声驱动平台的第一弹性体中前匹配快与后匹配快的剖视图；
图21所示为本发明提出的一种贴片式模态转换的大功率精密压电超声驱动平台的第一弹性体的局部剖视图；
图22所示为本发明提出的一种夹心式模态转换的大功率精密压电超声驱动平台的第一弹性体的主视图与剖视图；
图23所示为本发明提出的一种夹心式模态转换的大功率精密压电超声驱动平台的第一弹性体中前匹配端与后匹配端的剖视图；
图24所示为本发明提出的一种强力输出夹心式模态转换的大功率精密压电超声驱动平台的第一弹性体的主视图；
图25所示为本发明提出的一种强力输出夹心式模态转换的大功率精密压电超声驱动平台的第一弹性体中前匹配端与后匹配端的剖视图；
图26所示为本发明提出的一种大功率精密压电超声驱动平台中d 33激振模式的环形压电陶瓷片的布置方式与激励方法示意图；
图27所示为本发明提出的一种大功率精密压电超声驱动平台中d 15激振模式的环形压电陶瓷片的布置方式与激励方法示意图；
图28所示为本发明提出的一种大功率精密压电超声驱动平台中d 33激振模式与d 15激振模式的环形压电陶瓷片的布置方式与激励方法示意图。
具体实施方式
具体实施方式一：结合图1~图3、图6~图11说明本实施方式。本实施方式提供了一种贴片式梁板复合激振的大功率精密压电超声驱动平台及其驱动方法的具体实施方案。所述贴片式梁板复合激振的大功率精密压电超声驱动平台主要由固定外架1、第一弹性体2、第二弹性体3、转动平台4、滚动体5、推力球轴承6、蝶形弹簧7、紧固连接件8和内六角螺栓9组成。
所述固定外架1为一侧端部设置有法兰的薄壁圆环体结构，所述固定外架1法兰四周沿圆周方向均匀设置有q个通孔1-1结构，其用于实现固定外架1的固定安装，其中q为大于等于1的整数；所述固定外架1薄壁圆环体靠近法兰部分设置有通孔1-2结构，其用于实现通电导线的引出；所述固定外架1薄壁圆环体靠近悬臂端部内侧设置有圆弧状滑道1-3结构，其用于与滚动体5配合连接实现转动平台4的旋转导向与支撑；所述固定外架1法兰一侧端部表面中心位置设有阶梯孔1-4结构，其用于实现第一弹性体2的安装布置；所述所述固定外架1法兰另一侧端部表面中心位置设有阶梯孔1-6结构，其用于实现内六角螺栓9的安装布置；所述固定外架1法兰端部表面阶梯孔1-4结构中心位置设有通孔1-5结构，其用于与内六角螺栓9间隙配合实现第一弹性体2的紧固安装。
所述第一弹性体2为两侧端部均设置有螺纹孔2-4结构的圆柱体结构，所述第一弹性体2一侧端部螺纹孔2-4用于与内六角螺栓9旋合连接实现第一弹性体2的紧固连接，所述第一弹性体2另一侧端部螺纹孔2-4用于与紧固连接件8旋合连接，通过蝶形弹簧7实现驱动平台的加压预紧；所述第一弹性体2一侧端部设置有外螺纹2-1结构，其用于与第二弹性体3的螺纹孔3-1结构旋合连接，实现第一弹性体2与第二弹性体3的紧固连接；所述第一弹性体2外圆周表面上沿圆周方向均匀设置有m个外平面2-2结构，其用于通过胶粘工艺实现m片矩形压电陶瓷片2-3的紧固连接，其中m为大于等于1的整数；所述布置于第一弹性体2外平面2-2上的矩形压电陶瓷片2-3采用d 31激振模式进行激励，且均沿厚度方向极化；所述布置于第一弹性体2外平面2-2上的矩形压电陶瓷片2-3的形变方向与第一弹性体2的中心轴线均成平行布置关系。
所述第二弹性体3为梳齿型第二弹性体，所述梳齿型第二弹性体3一侧端部表面沿圆周方向均匀设置有p片矩形压电陶瓷片3-5，所述p片矩形压电陶瓷片3-5通过胶粘工艺实现与梳齿型第二弹性体3一侧端部表面紧固连接；所述布置于梳齿型第二弹性体3一侧端部表面上的矩形压电陶瓷片3-5采用d 31激振模式，且均沿厚度方向极化；所述梳齿型第二弹性体3布置矩形压电陶瓷片3-5一侧端部表面中心位置设有螺纹孔3-1结构，其用于与第一弹性体2一侧端部外螺纹2-1旋合连接，实现第一弹性体2与第二弹性体3的紧固连接；所述梳齿型第二弹性体3另一侧端部表面中心位置设有圆形凹槽3-3结构；所述梳齿型第二弹性体3圆形凹槽3-3结构一侧端部表面设置有梳齿3-6结构，所述梳齿型第二弹性体3梳齿3-6结构表面设置有摩擦材料3-4，其用于增大第二弹性体3与转动体4或转动台4接触表面的摩擦力，实现本发明高性能输出；所述梳齿型第二弹性体3圆形凹槽3-3结构与螺纹孔3-1结构中心位置设有通孔3-2结构，其用于实现输出轴9或紧固连接件8的间隙布置。
所述转动平台4为板结构，所述转动平台4一侧端部表面中心位置设有圆形凹槽4-1结构，其与第二弹性体3的圆形凹槽3-3结构相对布置；所述转动平台4另一侧端部表面中心位置设有沉头孔4-2结构，其用于实现推力球轴承6的紧密配合；所述转动平台4圆形凹槽4-1结构与沉头孔4-2结构之间设置有通孔4-3结构，其用于实现紧固连接件8的间隙布置；所述转动平台4外圆周表面设置有圆弧形滑道4-5结构，其用于与滚动体5配合连接实现转动平台4的旋转导向与支撑；所述转动平台4另一侧端部表面沿圆周方向均匀设置有r个螺纹孔4-4结构，其用于与负载旋合连接实现驱动平台旋转运动与动力的输出，其中r为大于等于1的整数。
所述紧固连接件8为一侧端部设有内六角孔的圆柱体结构，所述紧固连接件8另一侧端部设置有外螺纹8-1结构，其用于与第一弹性体2一侧端部的螺纹孔2-4旋合连接实现驱动平台的加压预紧；所述紧固连接件8内六角孔与外螺纹8-1结构之间的外圆柱表面8-2用于与推力球轴承6紧密配合连接。
所述布置于第一弹性体2上的矩形压电陶瓷片2-3构成激振组A，所述布置于第二弹性体3上的矩形压电陶瓷片3-5构成激振组B。
所述一种用于贴片式梁板复合激振的大功率精密压电超声驱动平台的驱动方法的具体实施方案为：所述激振组A通以某一超声频率（一般大于16kHz）的交流激励电信号，激发其所在的第一弹性体2产生纵向振动模态；所述激振组B通以同一超声频率（一般大于16kHz）的交流激励电信号，激发其所在的第二弹性体3产生弯曲振动模态或径向伸缩振动模态；所述激振组A与激振组B通以交流激励电信号的幅值相同、驱动相位差为90度或270度；利用振动模态的叠加耦合，在第二弹性体3与转动体4或转动平台4的接触表面上产生驱动行波，形成驱动摩擦力，通过调节激振组A与激振组B交流激励电信号的相位差，可实现本发明正反两个方向的运动输出；所述交流激励电信号可为正弦、方波或锯齿波等周期电信号。
具体实施方式二：结合图12、图13和图26说明本实施方式。本实施方式提供了一种纵振夹心式梁板复合激振的大功率精密压电超声驱动平台及其驱动方法的具体实施方案。所述纵振夹心式梁板复合激振的大功率精密压电超声驱动平台的结构组成和连接方式与具体实施方式一相同，区别在于其第一弹性体2的具体结构组成与驱动方法不同。
所述第一弹性体2由前匹配端2-1、通电电极片2-2、环形压电陶瓷片2-3、后匹配端2-4和绝缘套筒2-5组成；所述前匹配端2-1为阶梯轴结构，所述前匹配端2-1一侧端部设置有螺纹孔2-1-1结构，其用于与内六角螺栓9旋合连接实现第一弹性体2的固定安装；所述前匹配端2-1另一侧端部设置有外螺纹2-1-3结构，其用于与后匹配端2-4一侧端部的螺纹孔2-4-2结构旋合连接实现通电电极片2-2、环形压电陶瓷片2-3和绝缘套筒2-5的夹紧连接；所述前匹配端2-1阶梯圆环面与另一侧端部外螺纹2-1-3结构之间的外圆柱表面2-1-2用于绝缘套筒2-5的套接安装。所述环形压电陶瓷片2-3采用d 33激振模式，且其均沿厚度方向极化，所述通电电极片2-2为设置有凸耳结构的圆环形铜片，4i片环形压电陶瓷片2-3与4i+1片通电电极片2-2通过绝缘套筒2-5相互间隔套接于前匹配端2-1阶梯圆环面与外螺纹2-1-3结构之间的外圆柱表面2-1-2上，其中i为大于等于1的整数；所述绝缘套筒2-5为薄壁圆环状结构。所述后匹配端2-4为圆柱体结构，所述后匹配端2-4一侧端部设置有外螺纹2-4-1结构，其用于与第二弹性体3的螺纹孔3-1旋合连接实现第一弹性体2与第二弹性体3的紧固连接；所述后匹配端2-4另一侧端部表面设置有螺纹孔2-4-2结构，其用于与第一弹性体2前匹配端2-1一侧端部外螺纹2-1-3结构旋合连接实现通电电极片2-2、环形压电陶瓷片2-3和绝缘套筒2-5的夹紧连接；所述后匹配端2-4另一侧端部位置设有螺纹孔2-4-3结构，其用于与紧固连接件8旋合连接实现驱动平台的加压预紧。
所述布置于第一弹性体2上的环形压电陶瓷片2-3构成激振组A，所述布置于第二弹性体3上的矩形压电陶瓷片3-5构成激振组B。
所述一种用于纵振夹心式梁板复合激振的大功率精密压电超声驱动平台的驱动方法的具体实施方案为：所述激振组A通以某一超声频率（一般大于16kHz）的交流激励电信号，激发其所在的第一弹性体2产生纵向振动模态；所述激振组B通以同一超声频率（一般大于16kHz）的交流激励电信号，激发其所在的第二弹性体3产生弯曲振动模态或径向伸缩振动模态；所述激振组A与激振组B通以交流激励电信号的幅值相同、驱动相位差为90度或270度；利用振动模态的叠加耦合，在第二弹性体3与转动体4或转动平台4的接触表面上产生驱动行波，形成驱动摩擦力，通过调节激振组A与激振组B交流激励电信号的相位差，可实现本发明正反两个方向的运动输出；所述交流激励电信号可为正弦、方波或锯齿波等周期电信号。
具体实施方式三：结合图13、图14和图27说明本实施方式。本实施方式提供了一种扭振夹心式梁板复合激振的大功率精密压电超声驱动平台及其驱动方法的具体实施方案。所述扭振夹心式梁板复合激振的大功率精密压电超声驱动平台的结构组成和连接方式与具体实施方式一相同，区别在于其第一弹性体2的具体结构组成与驱动方法不同。
所述第一弹性体2由前匹配端2-1、通电电极片2-2、环形压电陶瓷片2-3、后匹配端2-4和绝缘套筒2-5组成；所述前匹配端2-1为阶梯轴结构，所述前匹配端2-1一侧端部设置有螺纹孔2-1-1结构，其用于与内六角螺栓9旋合连接实现第一弹性体2的固定安装；所述前匹配端2-1另一侧端部设置有外螺纹2-1-3结构，其用于与后匹配端2-4一侧端部的螺纹孔2-4-2结构旋合连接实现通电电极片2-2、环形压电陶瓷片2-3和绝缘套筒2-5的夹紧连接；所述前匹配端2-1阶梯圆环面与另一侧端部外螺纹2-1-3结构之间的外圆柱表面2-1-2用于绝缘套筒2-5的套接安装。所述环形压电陶瓷片2-3采用d 15激振模式，且其均沿厚度方向极化，所述通电电极片2-2为设置有凸耳结构的圆环形铜片，4i片环形压电陶瓷片2-3与4i+1片通电电极片2-2通过绝缘套筒2-5相互间隔套接于前匹配端2-1阶梯圆环面与外螺纹2-1-3结构之间的外圆柱表面2-1-2上，其中i为大于等于1的整数；所述绝缘套筒2-5为薄壁圆环状结构。所述后匹配端2-4为圆柱体结构，所述后匹配端2-4一侧端部设置有外螺纹2-4-1结构，其用于与第二弹性体3的螺纹孔3-1旋合连接实现第一弹性体2与第二弹性体3的紧固连接；所述后匹配端2-4另一侧端部表面设置有螺纹孔2-4-2结构，其用于与第一弹性体2前匹配端2-1一侧端部外螺纹2-1-3结构旋合连接实现通电电极片2-2、环形压电陶瓷片2-3和绝缘套筒2-5的夹紧连接；所述后匹配端2-4另一侧端部位置设有螺纹孔2-4-3结构，其用于与紧固连接件8旋合连接实现驱动平台的加压预紧。
所述布置于第一弹性体2上的环形压电陶瓷片2-3构成激振组A，所述布置于第二弹性体3上的矩形压电陶瓷片3-5构成激振组B。
所述一种用于扭振夹心式梁板复合激振的大功率精密压电超声驱动平台的驱动方法的具体实施方案为：所述激振组A通以某一超声频率（一般大于16kHz）的交流激励电信号，激发其所在的第一弹性体2产生扭转振动模态；所述激振组B通以同一超声频率（一般大于16kHz）的交流激励电信号，激发其所在的第二弹性体3产生弯曲振动模态；所述激振组A与激振组B通以交流激励电信号的幅值相同、驱动相位差为90度或270度；利用振动模态的叠加耦合，在第二弹性体3与转动体4或转动平台4的接触表面上产生驱动行波，形成驱动摩擦力，通过调节激振组A与激振组B交流激励电信号的相位差，可实现本发明正反两个方向的运动输出；所述交流激励电信号可为正弦、方波或锯齿波等周期电信号。
具体实施方式四：结合图15和图16说明本实施方式。本实施方式提供了一种强力输出夹心式梁板复合激振的大功率精密压电超声驱动平台及其驱动方法的具体实施方案。所述强力输出夹心式梁板复合激振的大功率精密压电超声驱动平台的结构组成和连接方式与具体实施方式一相同，区别在于其第一弹性体2的具体结构组成与驱动方法不同。
所述第一弹性体2由前匹配端2-1、压电叠堆2-2和后匹配端2-3组成；所述前匹配端2-1为阶梯轴结构，所述前匹配端2-1一侧端部设置有螺纹孔2-1-1结构，其用于与内六角螺栓9旋合连接实现第一弹性体2的固定安装；所述前匹配端2-1另一侧端部设置有外螺纹2-1-3结构，其用于与后匹配端2-3一侧端部的螺纹孔2-3-2结构旋合连接实现压电叠堆2-2的夹紧连接；所述前匹配端2-1阶梯圆环面沿圆周方向均匀设置有h个盲孔2-1-2结构，其用于实现压电叠堆2-2的安装布置，其中h为大于等于1的整数。所述压电叠堆2-2为哈尔滨芯明天科技有限公司型号为VS12系列带有转接头的机械封装式压电叠堆驱动器。所述后匹配端2-3为圆柱体结构，所述后匹配端2-3一侧端部设置有外螺纹2-3-1结构，其用于与第二弹性体3的螺纹孔3-1旋合连接实现第一弹性体2与第二弹性体3的紧固连接；所述后匹配端2-3另一侧端部表面设置有螺纹孔2-3-2结构，其用于与第一弹性体2前匹配端2-1一侧端部外螺纹2-1-3结构旋合连接实现压电叠堆2-2的夹紧连接；所述后匹配端2-3同侧端部表面中心位置设有螺纹孔2-3-3结构，其用于与紧固连接件8旋合连接实现驱动平台的加压预紧。
所述布置于第一弹性体2上的压电叠堆2-2构成激振组A，所述布置于第二弹性体3上的矩形压电陶瓷片3-5构成激振组B。
所述一种用于强力输出夹心式梁板复合激振的大功率精密压电超声驱动平台的驱动方法的具体实施方案为：所述激振组A通以某一超声频率（一般大于16kHz）的交流激励电信号，激发其所在的第一弹性体2产生纵向振动模态；所述激振组B通以同一超声频率（一般大于16kHz）的交流激励电信号，激发其所在的第二弹性体3产生弯曲振动模态或径向伸缩振动模态；所述激振组A与激振组B通以交流激励电信号的幅值相同、驱动相位差为90度或270度；利用振动模态的叠加耦合，在第二弹性体3与转动体4或转动平台4的接触表面上产生驱动行波，形成驱动摩擦力，通过调节激振组A与激振组B交流激励电信号的相位差，可实现本发明正反两个方向的运动输出；所述交流激励电信号可为正弦、方波或锯齿波等周期电信号。
具体实施方式五：结合图5、图6和图17说明本实施方式。本实施方式提供了一种贴片式大功率精密压电超声驱动平台及其驱动方法的具体实施方案。所述贴片式大功率精密压电超声驱动平台的结构组成和连接方式与具体实施方式一相同，区别在于其第一弹性体2、第二弹性体3的具体结构组成与驱动方法不同。
所述第一弹性体2为两侧端部均设置有螺纹孔2-4结构的圆柱体结构，所述第一弹性体2一侧端部螺纹孔2-4用于与内六角螺栓9旋合连接实现第一弹性体2的紧固连接，所述第一弹性体2另一侧端部螺纹孔2-4用于与紧固连接件8旋合连接，通过蝶形弹簧7实现驱动平台的加压预紧；所述第一弹性体2一侧端部设置有外螺纹2-1结构，其用于与第二弹性体3的螺纹孔3-1结构旋合连接，实现第一弹性体2与第二弹性体3的紧固连接；所述第一弹性体2外圆周表面上沿圆周方向均匀设置有m个外平面2-2结构，其用于通过胶粘工艺实现m片矩形压电陶瓷片2-3的紧固连接，其中m为大于等于1的整数；所述布置于第一弹性体2外平面2-2上的矩形压电陶瓷片2-3采用d 31激振模式进行激励，且均沿厚度方向极化；所述布置于第一弹性体2外平面2-2上的矩形压电陶瓷片2-3的形变方向与第一弹性体2的中心轴线均成±α角布置关系。
所述第二弹性体3为梳齿型第二弹性体，所述梳齿型第二弹性体3一侧端部表面中心位置设有螺纹孔3-1结构，其用于与第一弹性体2一侧端部外螺纹2-1旋合连接，实现第一弹性体2与第二弹性体3的紧固连接；所述梳齿型第二弹性体3另一侧端部表面中心位置设有圆形凹槽3-3结构；所述梳齿型第二弹性体3圆形凹槽3-3结构一侧端部表面设置有梳齿3-6结构，所述梳齿型第二弹性体3梳齿3-5结构表面设置有摩擦材料3-4，其用于增大第二弹性体3与转动体4或转动台4接触表面的摩擦力，实现本发明高性能输出；所述梳齿型第二弹性体3圆形凹槽3-3结构与螺纹孔3-1结构中心位置设有通孔3-2结构，其用于实现输出轴9或紧固连接件8的间隙布置。
所述布置于第一弹性体2上的矩形压电陶瓷片2-3构成激振组A。
所述一种用于贴片式大功率精密压电超声驱动平台的驱动方法的具体实施方案为：所述激振组A通以某一超声频率（一般大于16kHz）的交流激励电信号，所述激振组A激发的纵向振动激励第二弹性体3产生弯曲振动模态，所述激振组A激发的扭转振动激励第一弹性体2产生扭转振动模态，利用振动模态的叠加与耦合，在第二弹性体3与转动体4或转动平台4的接触表面上形成驱动摩擦力，通过调节激振组A交流激励电信号的相位差，可实现本发明正反两个方向的运动输出；所述交流激励电信号可为正弦、方波或锯齿波等周期电信号。
具体实施方式六：结合图13、图18和图28说明本实施方式。本实施方式提供了一种夹心式复合激振的大功率精密压电超声驱动平台及其驱动方法的具体实施方案。所述夹心式复合激振的大功率精密压电超声驱动平台的结构组成和连接方式与具体实施方式一和具体实施方式五相同，区别在于其第一弹性体2的具体结构组成与驱动方法不同。
所述第一弹性体2由前匹配端2-1、通电电极片2-2、环形压电陶瓷片2-3、后匹配端2-4和绝缘套筒2-5组成；所述前匹配端2-1为阶梯轴结构，所述前匹配端2-1一侧端部设置有螺纹孔2-1-1结构，其用于与内六角螺栓9旋合连接实现第一弹性体2的固定安装；所述前匹配端2-1另一侧端部设置有外螺纹2-1-3结构，其用于与后匹配端2-4一侧端部的螺纹孔2-4-2结构旋合连接实现通电电极片2-2、环形压电陶瓷片2-3和绝缘套筒2-5的夹紧连接；所述前匹配端2-1阶梯圆环面与另一侧端部外螺纹2-1-3结构之间的外圆柱表面2-1-2用于绝缘套筒2-5的套接安装。所述环形压电陶瓷片2-3为4i片d 33激振模式与d 15激振模式的圆环形压电陶瓷片，所述4i片环形压电陶瓷片2-3中一侧布置的2i片环形压电陶瓷片2-3采用d 33激振模式，所述4i片环形压电陶瓷片2-3中另一侧布置的2i片环形压电陶瓷片2-3采用d 15激振模式，所述通电电极片2-2为设置有凸耳结构的圆环形铜片，4i片环形压电陶瓷片2-3与4i+1片通电电极片2-2通过绝缘套筒2-5相互间隔套接于前匹配端2-1阶梯圆环面处的外圆周表面2-1-2上，其中i为大于等于1的整数；所述绝缘套筒2-5为薄壁圆环状结构。所述后匹配端2-4为圆柱体结构，所述后匹配端2-4一侧端部设置有外螺纹2-4-1结构，其用于与第二弹性体3的螺纹孔3-1旋合连接实现第一弹性体2与第二弹性体3的紧固连接；所述后匹配端2-4另一侧端部表面设置有螺纹孔2-4-2结构，其用于与第一弹性体2前匹配端2-1一侧端部外螺纹2-1-3结构旋合连接实现通电电极片2-2、环形压电陶瓷片2-3和绝缘套筒2-5的夹紧连接；所述后匹配端2-4另一侧端部位置设有螺纹孔2-4-3结构，其用于与紧固连接件8旋合连接实现驱动平台的加压预紧。
所述布置于第一弹性体2上的d 33激振模式的环形压电陶瓷片2-3构成激振组A，所述布置于第一弹性体2上的d 15激振模式的的矩形压电陶瓷片2-3构成激振组B。
所述一种用于夹心式复合激振的大功率精密压电超声驱动平台的驱动方法的具体实施方案为：所述激振组A通以某一超声频率（一般大于16kHz）的交流激励电信号，激发的纵向振动激励第二弹性体3产生弯曲振动模态；所述激振组B通以同一超声频率（一般大于16kHz）的交流激励电信号，激发其所在的第一弹性体2产生扭转振动模态；所述激振组A与激振组B通以交流激励电信号的幅值相同、驱动相位差为90度或270度；利用振动模态的叠加耦合，在第二弹性体3与转动体4或转动平台4的接触表面上产生驱动行波，形成驱动摩擦力，通过调节激振组A与激振组B交流激励电信号的相位差，可实现本发明正反两个方向的运动输出；所述交流激励电信号可为正弦、方波或锯齿波等周期电信号。
具体实施方式七：结合图19、图20和图27说明本实施方式。本实施方式提供了一种纵扭复合激振的大功率精密压电超声驱动平台及其驱动方法的具体实施方案。所述纵扭复合激振的大功率精密压电超声驱动平台的结构组成和连接方式与具体实施方式一和具体实施方式五相同，区别在于其第一弹性体2的具体结构组成与驱动方法不同。
所述第一弹性体2由前匹配端2-1、通电电极片2-2、环形压电陶瓷片2-3、后匹配端2-4、绝缘套筒2-5和矩形压电陶瓷片2-6组成；所述前匹配端2-1为阶梯轴结构，所述前匹配端2-1一侧端部设置有螺纹孔2-1-1结构，其用于与内六角螺栓9旋合连接实现第一弹性体2的固定安装；所述前匹配端2-1另一侧端部设置有外螺纹2-1-3结构，其用于与后匹配端2-4一侧端部螺纹孔2-4-2结构旋合连接实现通电电极片2-2、环形压电陶瓷片2-3和绝缘套筒2-5的夹紧连接；所述前匹配端2-1阶梯圆环面与另一侧端部外螺纹2-1-3结构之间的外圆柱表面2-1-2用于绝缘套筒2-5的套接安装。所述环形压电陶瓷片2-3采用d 15激振模式，且其均沿厚度方向极化，所述通电电极片2-2为设置有凸耳结构的圆环形铜片，4i片环形压电陶瓷片2-3与4i+1片通电电极片2-2通过绝缘套筒2-5相互间隔套接于前匹配端2-1阶梯圆环面与外螺纹2-1-3结构之间的外圆柱表面2-1-2上，其中i为大于等于1的整数；所述绝缘套筒2-5为薄壁圆环状结构。所述后匹配端2-4为圆柱体结构，所述后匹配端2-4一侧端部设置有外螺纹2-4-1结构，其用于与第二弹性体3的螺纹孔3-1旋合连接实现第一弹性体2与第二弹性体3的紧固连接；所述后匹配端2-4另一侧端部表面设置有螺纹孔2-4-2结构，其用于与第一弹性体2前匹配端2-1一侧端部外螺纹2-1-3结构旋合连接实现通电电极片2-2、环形压电陶瓷片2-3和绝缘套筒2-5的夹紧连接；所述后匹配端2-4另一侧端部位置设有螺纹孔2-4-3结构，其用于与紧固连接件8旋合连接实现驱动平台的加压预紧；所述后匹配端2-4外圆周表面沿圆周方向均匀设置有h个外平面2-4-4结构，其用于通过胶粘工艺实现h片矩形压电陶瓷片2-6的紧固连接，其中h为大于等于1的整数。所述矩形压电陶瓷片2-6采用d 31激振模式，且其均沿厚度方向极化，h片矩形压电陶瓷片2-6沿圆周方向均匀布置于第一弹性体2后匹配端2-4的外平面2-4-4结构上，所述布置于第一弹性体2后匹配端2-4的外平面2-4-4结构上的矩形压电陶瓷片2-6的形变方向与第一弹性体2中心轴线均成平行布置关系。
所述布置于第一弹性体2上的d 15激振模式的环形压电陶瓷片2-3构成激振组A，所述布置于第一弹性体2上的d 31激振模式的的矩形压电陶瓷片2-6构成激振组B。
所述一种用于纵扭复合激振的大功率精密压电超声驱动平台的驱动方法的具体实施方案为：所述激振组A通以某一超声频率（一般大于16kHz）的交流激励电信号，激发其所在的第一弹性体2产生扭转振动模态；所述激振组B通以同一超声频率（一般大于16kHz）的交流激励电信号，激发的纵向振动激励第二弹性体3产生弯曲振动模态；所述激振组A与激振组B通以交流激励电信号的幅值相同、驱动相位差为90度或270度；利用振动模态的叠加耦合，在第二弹性体3与转动体4或转动平台4的接触表面上产生驱动行波，形成驱动摩擦力，通过调节激振组A与激振组B交流激励电信号的相位差，可实现本发明正反两个方向的运动输出；所述交流激励电信号可为正弦、方波或锯齿波等周期电信号。
具体实施方式八：结合图21说明本实施方式。本实施方式提供了一种贴片式模态转换大功率精密压电超声驱动平台及其驱动方法的具体实施方案。所述贴片式模态转换大功率精密压电超声驱动平台的结构组成和连接方式与具体实施方式一和具体实施方式五相同，区别在于其第一弹性体2的具体结构组成与驱动方法不同。
所述第一弹性体2为两侧端部均设置有螺纹孔2-1结构的圆柱体结构，所述第一弹性体2一侧端部螺纹孔2-1用于与内六角螺栓9旋合连接实现第一弹性体2的紧固连接，所述第一弹性体2另一侧端部螺纹孔2-1用于与紧固连接件8旋合连接，通过蝶形弹簧7实现驱动平台的加压预紧；所述第一弹性体2一侧端部设置有外螺纹2-5结构，其用于与第二弹性体3的螺纹孔3-1结构旋合连接，实现第一弹性体2与第二弹性体3的紧固连接；所述第一弹性体2外圆周表面上沿圆周方向均匀设置有m个外平面2-4结构，其用于通过胶粘工艺实现m片矩形压电陶瓷片2-2的紧固连接，其中m为大于等于1的整数；所述布置于第一弹性体2外平面2-4上的矩形压电陶瓷片2-2采用d31激振模式进行激励，且均沿厚度方向极化；所述布置于第一弹性体2外平面2-4上的矩形压电陶瓷片2-2的形变方向与第一弹性体2的中心轴线均成平行布置关系；所述第一弹性体2外平面2-4结构与一侧端部外螺纹2-5结构之间的外圆周表面上设置有h个模态转换器2-3结构，其用于实现纵振模态与扭转振动模态的转换，其中h为大于等于1的整数；所述布置于第一弹性体2外圆周表面上的模态转换器2-3结构为阵列多个矩形槽结构或阵列多个圆孔结构或阵列多个螺旋槽结构。
所述布置于第一弹性体2上的矩形压电陶瓷片2-2构成激振组A。
所述一种用于贴片式模态转换大功率精密压电超声驱动平台的驱动方法的具体实施方案为：所述激振组A通以某一超声频率（一般大于16kHz）的交流激励电信号，通过模态转换器2-3结构激发其所在的第一弹性体2产生扭转振动模态，激发的纵向振动激励第二弹性体3产生弯曲振动模态，利用振动模态的叠加耦合，在第二弹性体3与转动体4或转动平台4的接触表面上产生驱动摩擦力，实现本发明的运动输出；所述交流激励电信号可为正弦、方波或锯齿波等周期电信号。
具体实施方式九：结合图22、图23和图26说明本实施方式。本实施方式提供了一种夹心式模态转换大功率精密压电超声驱动平台及其驱动方法的具体实施方案。所述夹心式模态转换大功率精密压电超声驱动平台的结构组成和连接方式与具体实施方式一和具体实施方式五相同，区别在于其第一弹性体2的具体结构组成与驱动方法不同。
所述第一弹性体2由前匹配端2-1、通电电极片2-2、环形压电陶瓷片2-3、后匹配端2-4和绝缘套筒2-5组成；所述前匹配端2-1为阶梯轴结构，所述前匹配端2-1一侧端部设置有螺纹孔2-1-1结构，其用于与内六角螺栓9旋合连接实现第一弹性体2的固定安装；所述前匹配端2-1另一侧端部设置有外螺纹2-1-3结构，其用于与后匹配端2-4一侧端部的螺纹孔2-4-2结构旋合连接实现通电电极片2-2、环形压电陶瓷片2-3和绝缘套筒2-5的夹紧连接；所述前匹配端2-1阶梯圆环面与另一侧端部外螺纹2-1-3结构之间的外圆柱表面2-1-2用于绝缘套筒2-5的套接安装。所述环形压电陶瓷片2-3采用d 33激振模式，且其均沿厚度方向极化，所述通电电极片2-2为设置有凸耳结构的圆环形铜片，4i片环形压电陶瓷片2-3与4i+1片通电电极片2-2通过绝缘套筒2-5相互间隔套接于前匹配端2-1阶梯圆环面与外螺纹2-1-3结构之间的外圆柱表面2-1-2上，其中i为大于等于1的整数；所述绝缘套筒2-5为薄壁圆环状结构。所述后匹配端2-4为圆柱体结构，所述后匹配端2-4一侧端部设置有外螺纹2-4-1结构，其用于与第二弹性体3的螺纹孔3-1旋合连接实现第一弹性体2与第二弹性体3的紧固连接；所述后匹配端2-4另一侧端部表面设置有螺纹孔2-4-2结构，其用于与第一弹性体2前匹配端2-1一侧端部外螺纹2-1-3结构旋合连接实现通电电极片2-2、环形压电陶瓷片2-3和绝缘套筒2-5的夹紧连接；所述后匹配端2-4另一侧端部位置设有螺纹孔2-4-3结构，其用于与紧固连接件8旋合连接实现驱动平台的加压预紧；所述后匹配端2-4外圆周表面上沿圆周方向均匀设置有h个模态转换器2-4-4结构，其用于实现纵振模态与扭转振动模态的转换，其中h为大于等于1的整数；所述布置于后匹配端2-4外圆周表面上的模态转换器2-4-4结构为阵列多个矩形槽结构或阵列多个圆孔结构或阵列多个螺旋槽结构。
所述布置于第一弹性体2上的环形压电陶瓷片2-3构成激振组A。
所述一种夹心式模态转换大功率精密压电超声驱动平台的驱动方法的具体实施方案为：所述激振组A通以某一超声频率（一般大于16kHz）的交流激励电信号，通过模态转换器2-4-4结构激发其所在的第一弹性体2产生扭转振动模态，激发的纵向振动激励第二弹性体3产生弯曲振动模态，利用振动模态的叠加耦合，在第二弹性体3与转动体4或转动平台4的接触表面上产生驱动摩擦力，实现本发明的运动输出；所述交流激励电信号可为正弦、方波或锯齿波等周期电信号。
具体实施方式十：结合图24和图25说明本实施方式。本实施方式提供了一种强力输出夹心式模态转换大功率精密压电超声驱动平台及其驱动方法的具体实施方案。所述强力输出夹心式模态转换大功率精密压电超声驱动平台的结构组成和连接方式与具体实施方式一和具体实施方式五相同，区别在于其第一弹性体2的具体结构组成与驱动方法不同。
所述第一弹性体2由前匹配端2-1、压电叠堆2-2和后匹配端2-3组成；所述前匹配端2-1为阶梯轴结构，所述前匹配端2-1一侧端部设置有螺纹孔2-1-1结构，其用于与内六角螺栓9旋合连接实现第一弹性体2的固定安装；所述前匹配端2-1另一侧端部设置有外螺纹2-1-3结构，其用于与后匹配端2-3一侧端部的螺纹孔2-3-2结构旋合连接实现压电叠堆2-2的夹紧连接；所述前匹配端2-1阶梯圆环面沿圆周方向均匀设置有h个盲孔2-1-2结构，其用于实现压电叠堆2-2的安装布置，其中h为大于等于1的整数。所述压电叠堆2-2为哈尔滨芯明天科技有限公司型号为VS12系列带有转接头的机械封装式压电叠堆驱动器。所述后匹配端2-3为圆柱体结构，所述后匹配端2-3一侧端部设置有外螺纹2-3-1结构，其用于与第二弹性体3的螺纹孔3-1旋合连接实现第一弹性体2与第二弹性体3的紧固连接；所述后匹配端2-3另一侧端部表面设置有螺纹孔2-3-2结构，其用于与第一弹性体2前匹配端2-1一侧端部外螺纹2-1-3结构旋合连接实现压电叠堆2-2的夹紧连接；所述后匹配端2-3同侧端部表面中心位置设有螺纹孔2-3-3结构，其用于与紧固连接件8旋合连接实现驱动平台的加压预紧；所述后匹配端2-3外圆周表面上沿圆周方向均匀设置有h个模态转换器2-3-4结构，其用于实现纵振模态与扭转振动模态的转换，其中h为大于等于1的整数；所述布置于后匹配端2-3外圆周表面上的模态转换器2-3-4结构为阵列多个矩形槽结构或阵列多个圆孔结构或阵列多个螺旋槽结构。
所述布置于第一弹性体2上的压电叠堆2-2构成激振组A。
所述一种用于强力输出夹心式模态转换大功率精密压电超声驱动平台的驱动方法的具体实施方案为：所述激振组A通以某一超声频率（一般大于16kHz）的交流激励电信号，通过模态转换器2-3-4结构激发其所在的第一弹性体2产生扭转振动模态，激发的纵向振动激励第二弹性体3产生弯曲振动模态，利用振动模态的叠加耦合，在第二弹性体3与转动体4或转动平台4的接触表面上产生驱动摩擦力，实现本发明的运动输出；所述交流激励电信号可为正弦、方波或锯齿波等周期电信号。
Claims (10)
1.一种大功率精密压电超声驱动平台及其驱动方法，其特征在于：为一种贴片式梁板复合激振的大功率精密压电超声驱动平台；所述一种贴片式梁板复合激振的大功率精密压电超声驱动平台由固定外架（1）、第一弹性体（2）、第二弹性体（3）、转动平台（4）、滚动体（5）、推力球轴承（6）、蝶形弹簧（7）、紧固连接件（8）和内六角螺栓（9）组成；所述固定外架（1）为一侧端部设置有法兰的薄壁圆环体结构，所述固定外架（1）法兰四周沿圆周方向均匀设置有q个通孔（1-1）结构，其中q为大于等于1的整数，所述固定外架（1）薄壁圆环体靠近法兰部分设置有通孔（1-2）结构，所述固定外架（1）薄壁圆环体靠近悬臂端部内侧设置有圆弧状滑道（1-3）结构，所述固定外架（1）法兰一侧端部表面中心位置设有阶梯孔（1-4）结构，所述所述固定外架（1）法兰另一侧端部表面中心位置设有阶梯孔（1-6）结构，所述固定外架（1）法兰端部表面阶梯孔（1-4）结构中心位置设有通孔（1-5）结构；所述第一弹性体（2）为两侧端部均设置有螺纹孔（2-4）结构的圆柱体结构，所述第一弹性体（2）一侧端部设置有外螺纹（2-1）结构，所述第一弹性体（2）外圆周表面上沿圆周方向均匀设置有m个外平面（2-2）结构，其中m为大于等于1的整数，所述布置于第一弹性体（2）外平面（2-2）上的矩形压电陶瓷片（2-3）采用d 31激振模式进行激励，且均沿厚度方向极化，所述布置于第一弹性体（2）外平面（2-2）上的矩形压电陶瓷片（2-3）的形变方向与第一弹性体（2）的中心轴线均成平行布置关系；所述第二弹性体（3）为一种梳齿型第二弹性体，所述第二弹性体（3）一侧端部表面沿圆周方向均匀设置有p片矩形压电陶瓷片（3-5），其中p为大于等于1的整数，所述布置于第二弹性体（3）一侧端部表面上的矩形压电陶瓷片（3-5）采用d 31激振模式，且均沿厚度方向极化，所述第二弹性体（3）布置矩形压电陶瓷片（3-5）一侧端部表面中心位置设有螺纹孔（3-1）结构，所述第二弹性体（3）另一侧端部表面中心位置设有圆形凹槽（3-3）结构，所述第二弹性体（3）圆形凹槽（3-3）结构一侧端部表面设置有梳齿（3-6）结构，所述第二弹性体（3）梳齿（3-6）结构表面设置有摩擦材料（3-4），所述第二弹性体（3）圆形凹槽（3-3）结构与螺纹孔（3-1）结构中心位置设有通孔（3-2）结构；所述转动平台（4）为板结构，所述转动平台（4）一侧端部表面中心位置设有圆形凹槽（4-1）结构，所述转动平台（4）另一侧端部表面中心位置设有沉头孔（4-2）结构，所述转动平台（4）圆形凹槽（4-1）结构与沉头孔（4-2）结构之间设置有通孔（4-3）结构，所述转动平台（4）外圆周表面设置有圆弧形滑道（4-5）结构，所述转动平台（4）另一侧端部表面沿圆周方向均匀设置有r个螺纹孔（4-4）结构，其中r为大于等于1的整数；所述紧固连接件（8）为一侧端部设有内六角孔的圆柱体结构，所述紧固连接件（8）另一侧端部设置有外螺纹（8-1）结构，所述紧固连接件（8）内六角孔与外螺纹（8-1）结构之间的外圆柱表面（8-2）与推力球轴承（6）紧密配合连接；所述布置于第一弹性体（2）上的矩形压电陶瓷片（2-3）构成激振组A，所述布置于第二弹性体（3）上的矩形压电陶瓷片（3-5）构成激振组B；
一种贴片式梁板复合激振的大功率精密压电超声驱动平台的驱动方法具体为：激振组A通以某一超声频率（大于16kHz）的交流激励电信号，激振组B通以同一超声频率（大于16kHz）的交流激励电信号，激振组A与激振组B通以交流激励电信号的幅值相同、驱动相位差为90度或270度，交流激励电信号为正弦、方波或锯齿波等周期电信号。
2.一种根据权利要求1所述的大功率精密压电超声驱动平台及其驱动方法，其特征在于：为一种纵振夹心式梁板复合激振的大功率精密压电超声驱动平台；所述纵振夹心式梁板复合激振的大功率精密压电超声驱动平台的所述第一弹性体（2）由前匹配端（2-1）、通电电极片（2-2）、环形压电陶瓷片（2-3）、后匹配端（2-4）和绝缘套筒（2-5）组成，所述前匹配端（2-1）为阶梯轴结构，所述前匹配端（2-1）一侧端部设置有螺纹孔（2-1-1）结构，所述前匹配端（2-1）另一侧端部设置有外螺纹（2-1-3）结构，所述前匹配端（2-1）阶梯圆环面与另一侧端部外螺纹（2-1-3）结构之间的外圆柱表面（2-1-2）套接安装绝缘套筒（2-5）；所述环形压电陶瓷片（2-3）采用d 33激振模式，且其均沿厚度方向极化，所述通电电极片（2-2）为设置有凸耳结构的圆环形铜片，4i片环形压电陶瓷片（2-3）与4i+1片通电电极片（2-2）通过绝缘套筒（2-5）相互间隔套接于前匹配端（2-1）阶梯圆环面与外螺纹（2-1-3）结构之间的外圆柱表面（2-1-2）上，其中i为大于等于1的整数；所述绝缘套筒（2-5）为薄壁圆环状结构；所述后匹配端（2-4）为圆柱体结构，所述后匹配端（2-4）一侧端部设置有外螺纹（2-4-1）结构，所述后匹配端（2-4）另一侧端部表面设置有螺纹孔（2-4-2）结构，所述后匹配端（2-4）另一侧端部位置设有螺纹孔（2-4-3）结构；所述布置于第一弹性体（2）上的环形压电陶瓷片（2-3）构成激振组A，所述布置于第二弹性体（3）上的矩形压电陶瓷片（3-5）构成激振组B；
一种纵振夹心式梁板复合激振的大功率精密压电超声驱动平台的驱动方法具体为：激振组A通以某一超声频率（大于16kHz）的交流激励电信号，激振组B通以同一超声频率（大于16kHz）的交流激励电信号，激振组A与激振组B通以交流激励电信号的幅值相同、驱动相位差为90度或270度，交流激励电信号为正弦、方波或锯齿波等周期电信号。
3.一种根据权利要求1所述的大功率精密压电超声驱动平台及其驱动方法，其特征在于：为一种扭振夹心式梁板复合激振的大功率精密压电超声驱动平台；所述扭振夹心式梁板复合激振的大功率精密压电超声驱动平台的第一弹性体（2）由前匹配端（2-1）、通电电极片（2-2）、环形压电陶瓷片（2-3）、后匹配端（2-4）和绝缘套筒（2-5）组成，所述前匹配端（2-1）为阶梯轴结构，所述前匹配端（2-1）一侧端部设置有螺纹孔（2-1-1）结构，所述前匹配端（2-1）另一侧端部设置有外螺纹（2-1-3）结构，所述前匹配端（2-1）阶梯圆环面与另一侧端部外螺纹（2-1-3）结构之间的外圆柱表面（2-1-2）套接安装绝缘套筒（2-5）；所述环形压电陶瓷片（2-3）采用d 15激振模式，且其均沿厚度方向极化，所述通电电极片（2-2）为设置有凸耳结构的圆环形铜片，4i片环形压电陶瓷片（2-3）与4i+1片通电电极片（2-2）通过绝缘套筒（2-5）相互间隔套接于前匹配端（2-1）阶梯圆环面与外螺纹（2-1-3）结构之间的外圆柱表面（2-1-2）上，其中i为大于等于1的整数；所述绝缘套筒（2-5）为薄壁圆环状结构；所述后匹配端（2-4）为圆柱体结构，所述后匹配端（2-4）一侧端部设置有外螺纹（2-4-1）结构，所述后匹配端（2-4）另一侧端部表面设置有螺纹孔（2-4-2）结构，所述后匹配端（2-4）另一侧端部位置设有螺纹孔（2-4-3）结构；所述布置于第一弹性体（2）上的环形压电陶瓷片（2-3）构成激振组A，所述布置于第二弹性体（3）上的矩形压电陶瓷片（3-5）构成激振组B；
一种扭振夹心式梁板复合激振的大功率精密压电超声驱动平台的驱动方法具体为：激振组A通以某一超声频率（大于16kHz）的交流激励电信号，激振组B通以同一超声频率（大于16kHz）的交流激励电信号，激振组A与激振组B通以交流激励电信号的幅值相同、驱动相位差为90度或270度，交流激励电信号为正弦、方波或锯齿波等周期电信号。
4.一种根据权利要求1所述的大功率精密压电超声驱动平台及其驱动方法，其特征在于：为一种强力输出夹心式梁板复合激振的大功率精密压电超声驱动平台；所述强力输出夹心式梁板复合激振的大功率精密压电超声驱动平台的第一弹性体（2）由前匹配端（2-1）、压电叠堆（2-2）和后匹配端（2-3）组成，所述前匹配端（2-1）为阶梯轴结构，所述前匹配端（2-1）一侧端部设置有螺纹孔（2-1-1）结构，所述前匹配端（2-1）另一侧端部设置有外螺纹（2-1-3）结构，所述前匹配端（2-1）阶梯圆环面沿圆周方向均匀设置有h个盲孔（2-1-2）结构，所述后匹配端（2-3）为圆柱体结构，所述后匹配端（2-3）一侧端部设置有外螺纹（2-3-1）结构，所述后匹配端（2-3）另一侧端部表面设置有螺纹孔（2-3-2）结构，所述后匹配端（2-3）同侧端部表面中心位置设有螺纹孔（2-3-3）结构；所述布置于第一弹性体（2）上的压电叠堆（2-2）构成激振组A，所述布置于第二弹性体（3）上的矩形压电陶瓷片（3-5）构成激振组B；
一种强力输出夹心式梁板复合激振的大功率精密压电超声驱动平台的驱动方法具体为：激振组A通以某一超声频率（大于16kHz）的交流激励电信号，激振组B通以同一超声频率（大于16kHz）的交流激励电信号，激振组A与激振组B通以交流激励电信号的幅值相同、驱动相位差为90度或270度，交流激励电信号为正弦、方波或锯齿波等周期电信号。
5.一种根据权利要求1所述的大功率精密压电超声驱动平台及其驱动方法，其特征在于：为一种贴片式大功率精密压电超声驱动平台；所述贴片式大功率精密压电超声驱动平台的第一弹性体（2）为两侧端部均设置有螺纹孔（2-4）结构的圆柱体结构，所述第一弹性体（2）一侧端部设置有外螺纹（2-1）结构，所述第一弹性体（2）外圆周表面上沿圆周方向均匀设置有m个外平面（2-2）结构，其中m为大于等于1的整数，所述布置于第一弹性体（2）外平面（2-2）上的矩形压电陶瓷片（2-3）采用d31激振模式进行激励，且均沿厚度方向极化，所述布置于第一弹性体（2）外平面（2-2）上的矩形压电陶瓷片（2-3）的形变方向与第一弹性体（2）的中心轴线均成±α角布置关系；所述贴片式大功率精密压电超声驱动平台的第二弹性体（3）为梳齿型第二弹性体，所述第二弹性体（3）一侧端部表面中心位置设有螺纹孔（3-1）结构，所述第二弹性体（3）另一侧端部表面中心位置设有圆形凹槽（3-3）结构，所述第二弹性体（3）圆形凹槽（3-3）结构一侧端部表面设置有梳齿（3-6）结构，所述第二弹性体（3）梳齿（3-5）结构表面设置有摩擦材料（3-4），所述梳齿型第二弹性体（3）圆形凹槽（3-3）结构与螺纹孔（3-1）结构中心位置设有通孔（3-2）结构；所述布置于第一弹性体（2）上的矩形压电陶瓷片2-3构成激振组A；
一种贴片式大功率精密压电超声驱动平台的驱动方法具体为：激振组A通以某一超声频率（大于16kHz）的交流激励电信号，交流激励电信号为正弦、方波或锯齿波等周期电信号。
6.一种根据权利要求1或5所述的大功率精密压电超声驱动平台及其驱动方法，其特征在于：为一种夹心式复合激振大功率精密压电超声驱动平台；所述夹心式复合激振大功率精密压电超声驱动平台的第一弹性体（2）由前匹配端（2-1）、通电电极片（2-2）、环形压电陶瓷片（2-3）、后匹配端（2-4）和绝缘套筒（2-5）组成，所述前匹配端（2-1）为阶梯轴结构，所述前匹配端（2-1）一侧端部设置有螺纹孔（2-1-1）结构，所述前匹配端（2-1）另一侧端部设置有外螺纹（2-1-3）结构，所述前匹配端（2-1）阶梯圆环面与另一侧端部外螺纹（2-1-3）结构之间的外圆柱表面（2-1-2）套接安装绝缘套筒（2-5）；所述环形压电陶瓷片（2-3）为4i片d 33激振模式与d 15激振模式的圆环形压电陶瓷片，所述4i片环形压电陶瓷片（2-3）中一侧布置的2i片环形压电陶瓷片（2-3）采用d 33激振模式，所述4i片环形压电陶瓷片（2-3）中另一侧布置的2i片环形压电陶瓷片（2-3）采用d 15激振模式，所述通电电极片（2-2）为设置有凸耳结构的圆环形铜片，4i片环形压电陶瓷片（2-3）与4i+1片通电电极片（2-2）通过绝缘套筒2-5相互间隔套接于前匹配端（2-1）阶梯圆环面处的外圆周表面（2-1-2）上，其中i为大于等于1的整数；所述绝缘套筒（2-5）为薄壁圆环状结构；所述后匹配端（2-4）为圆柱体结构，所述后匹配端（2-4）一侧端部设置有外螺纹（2-4-1）结构，所述后匹配端（2-4）另一侧端部表面设置有螺纹孔（2-4-2）结构，所述后匹配端（2-4）另一侧端部位置设有螺纹孔（2-4-3）结构；所述布置于第一弹性体（2）上的d 33激振模式的环形压电陶瓷片（2-3）构成激振组A，所述布置于第一弹性体（2）上的d 15激振模式的的矩形压电陶瓷片（2-3）构成激振组B；
一种夹心式复合激振大功率精密压电超声驱动平台的驱动方法具体为：激振组A通以某一超声频率（大于16kHz）的交流激励电信号，激振组B通以同一超声频率（大于16kHz）的交流激励电信号，激振组A与激振组B通以交流激励电信号的幅值相同、驱动相位差为90度或270度，交流激励电信号为正弦、方波或锯齿波等周期电信号。
7.一种根据权利要求1或5所述的大功率精密压电超声驱动平台及其驱动方法，其特征在于：为一种纵扭复合激振大功率精密压电超声驱动平台；所述纵扭复合激振大功率精密压电超声驱动平台的第一弹性体（2）由前匹配端（2-1）、通电电极片（2-2）、环形压电陶瓷片（2-3）、后匹配端（2-4）、绝缘套筒（2-5）和矩形压电陶瓷片（2-6）组成，所述前匹配端（2-1）为阶梯轴结构，所述前匹配端（2-1）一侧端部设置有螺纹孔（2-1-1）结构，所述前匹配端（2-1）另一侧端部设置有外螺纹（2-1-3）结构，所述前匹配端（2-1）阶梯圆环面与另一侧端部外螺纹（2-1-3）结构之间的外圆柱表面（2-1-2）套接安装绝缘套筒（2-5）；所述环形压电陶瓷片（2-3）采用d 15激振模式，且其均沿厚度方向极化，所述通电电极片（2-2）为设置有凸耳结构的圆环形铜片，4i片环形压电陶瓷片（2-3）与4i+1片通电电极片（2-2）通过绝缘套筒（2-5）相互间隔套接于前匹配端（2-1）阶梯圆环面与外螺纹（2-1-3）结构之间的外圆柱表面（2-1-2）上，其中i为大于等于1的整数；所述绝缘套筒（2-5）为薄壁圆环状结构；所述后匹配端（2-4）为圆柱体结构，所述后匹配端（2-4）一侧端部设置有外螺纹（2-4-1）结构，所述后匹配端（2-4）另一侧端部表面设置有螺纹孔（2-4-2）结构，所述后匹配端（2-4）另一侧端部位置设有螺纹孔（2-4-3）结构；所述后匹配端（2-4）外圆周表面沿圆周方向均匀设置有h个外平面（2-4-4）结构，其中h为大于等于1的整数；所述矩形压电陶瓷片（2-6）采用d 31激振模式，且其均沿厚度方向极化，h片矩形压电陶瓷片（2-6）沿圆周方向均匀布置于第一弹性体（2）后匹配端（2-4）的外平面（2-4-4）结构上，所述布置于第一弹性体（2）后匹配端（2-4）的外平面（2-4-4）结构上的矩形压电陶瓷片（2-6）的形变方向与第一弹性体（2）中心轴线均成平行布置关系；所述布置于第一弹性体（2）上的d 15激振模式的环形压电陶瓷片（2-3）构成激振组A，所述布置于第一弹性体（2）上的d 31激振模式的的矩形压电陶瓷片（2-6）构成激振组B；
一种纵扭复合激振大功率精密压电超声驱动平台的驱动方法具体为：激振组A通以某一超声频率（大于16kHz）的交流激励电信号，激振组B通以同一超声频率（大于16kHz）的交流激励电信号，激振组A与激振组B通以交流激励电信号的幅值相同、驱动相位差为90度或270度，交流激励电信号为正弦、方波或锯齿波等周期电信号。
8.一种根据权利要求1或5所述的大功率精密压电超声驱动平台及其驱动方法，其特征在于：为一种贴片式模态转换大功率精密压电超声驱动平台；所述贴片式模态转换大功率精密压电超声驱动平台的第一弹性体（2）为两侧端部均设置有螺纹孔（2-1）结构的圆柱体结构，所述第一弹性体（2）一侧端部设置有外螺纹（2-5）结构，所述第一弹性体（2）外圆周表面上沿圆周方向均匀设置有m个外平面（2-4）结构，，其中m为大于等于1的整数；所述布置于第一弹性体（2）外平面（2-4）上的矩形压电陶瓷片（2-2）采用d 31激振模式，且均沿厚度方向极化；所述布置于第一弹性体（2）外平面（2-4）上的矩形压电陶瓷片（2-2）的形变方向与第一弹性体（2）的中心轴线均成平行布置关系；所述第一弹性体（2）外平面（2-4）结构与一侧端部外螺纹（2-5）结构之间的外圆周表面上设置有h个模态转换器（2-3）结构；所述布置于第一弹性体（2）上的矩形压电陶瓷片（2-2）构成激振组A；
一种贴片式模态转换大功率精密压电超声驱动平台的驱动方法具体为：激振组A通以某一超声频率（大于16kHz）的交流激励电信号，交流激励电信号为正弦、方波或锯齿波等周期电信号。
9.一种根据权利要求1或5所述的大功率精密压电超声驱动平台及其驱动方法，其特征在于：为一种夹心式模态转换大功率精密压电超声驱动平台；所述夹心式模态转换大功率精密压电超声驱动平台的第一弹性体（2）由前匹配端（2-1）、通电电极片（2-2）、环形压电陶瓷片（2-3）、后匹配端（2-4）和绝缘套筒（2-5）组成，所述前匹配端（2-1）为阶梯轴结构，所述前匹配端（2-1）一侧端部设置有螺纹孔（2-1-1）结构，所述前匹配端（2-1）另一侧端部设置有外螺纹（2-1-3）结构，所述前匹配端（2-1）阶梯圆环面与另一侧端部外螺纹（2-1-3）结构之间的外圆柱表面（2-1-2）套接安装绝缘套筒（2-5）；所述环形压电陶瓷片（2-3）采用d 33激振模式，且其均沿厚度方向极化，所述通电电极片（2-2）为设置有凸耳结构的圆环形铜片，4i片环形压电陶瓷片（2-3）与4i+1片通电电极片（2-2）通过绝缘套筒（2-5）相互间隔套接于前匹配端（2-1）阶梯圆环面与外螺纹（2-1-3）结构之间的外圆柱表面（2-1-2）上，其中i为大于等于1的整数；所述绝缘套筒（2-5）为薄壁圆环状结构；所述后匹配端（2-4）为圆柱体结构，所述后匹配端（2-4）一侧端部设置有外螺纹（2-4-1）结构，所述后匹配端（2-4）另一侧端部表面设置有螺纹孔（2-4-2）结构，所述后匹配端（2-4）另一侧端部位置设有螺纹孔（2-4-3）结构，所述后匹配端（2-4）外圆周表面上沿圆周方向均匀设置有h个模态转换器（2-4-4）结构，其中h为大于等于1的整数；所述布置于第一弹性体（2）上的环形压电陶瓷片（2-3）构成激振组A；
一种夹心式模态转换大功率精密压电超声驱动平台的驱动方法具体为：激振组A通以某一超声频率（大于16kHz）的交流激励电信号，交流激励电信号为正弦、方波或锯齿波等周期电信号。
10.一种根据权利要求1或5所述的大功率精密压电超声驱动平台及其驱动方法，其特征在于：为一种强力输出夹心式模态转换大功率精密压电超声驱动平台；所述强力输出夹心式模态转换大功率精密压电超声驱动平台的第一弹性体（2）由前匹配端（2-1）、压电叠堆（2-2）和后匹配端（2-3）组成，所述前匹配端（2-1）为阶梯轴结构，所述前匹配端（2-1）一侧端部设置有螺纹孔（2-1-1）结构，所述前匹配端（2-1）另一侧端部设置有外螺纹（2-1-3）结构，所述前匹配端（2-1）阶梯圆环面沿圆周方向均匀设置有h个盲孔（2-1-2）结构，所述后匹配端（2-3）为圆柱体结构，所述后匹配端（2-3）一侧端部设置有外螺纹（2-3-1）结构，所述后匹配端（2-3）另一侧端部表面设置有螺纹孔（2-3-2）结构，所述后匹配端（2-3）同侧端部表面中心位置设有螺纹孔（2-3-3）结构，所述后匹配端（2-3）外圆周表面上沿圆周方向均匀设置有h个模态转换器（2-3-4）结构，其中h为大于等于1的整数；所述布置于第一弹性体（2）上的压电叠堆（2-2）构成激振组A；
一种强力输出夹心式模态转换大功率精密压电超声驱动平台的驱动方法具体为：激振组A通以某一超声频率（大于16kHz）的交流激励电信号，交流激励电信号为正弦、方波或锯齿波等周期电信号。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201510003789.0A CN105207519A (zh) | 2015-01-06 | 2015-01-06 | 大功率精密压电超声驱动平台及其驱动方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201510003789.0A CN105207519A (zh) | 2015-01-06 | 2015-01-06 | 大功率精密压电超声驱动平台及其驱动方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN105207519A true CN105207519A (zh) | 2015-12-30 |
Family
ID=54955011
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201510003789.0A Pending CN105207519A (zh) | 2015-01-06 | 2015-01-06 | 大功率精密压电超声驱动平台及其驱动方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN105207519A (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106787937A (zh) * | 2016-12-09 | 2017-05-31 | 西安交通大学 | 基于继电器式控制的角度可调节压电舵机及控制方法 |
| CN107493032A (zh) * | 2016-06-10 | 2017-12-19 | 佳能株式会社 | 接触相对构件的摩擦构件、制造摩擦构件的方法、振动型致动器、以及电子装置 |
Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5023526A (en) * | 1988-10-31 | 1991-06-11 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Vibratory motor |
| US5053669A (en) * | 1989-06-29 | 1991-10-01 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Ultrasonic motor |
| US5107163A (en) * | 1989-07-17 | 1992-04-21 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Ultrasonic motor |
| US5402030A (en) * | 1989-12-13 | 1995-03-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration wave driven apparatus |
| CN2454985Y (zh) * | 2000-12-08 | 2001-10-17 | 南京航空航天大学 | 纵扭复合型超声电机 |
| CN1389974A (zh) * | 2002-07-31 | 2003-01-08 | 清华大学 | 大力矩摇头式压电超声波电机 |
| CN1606226A (zh) * | 2004-11-12 | 2005-04-13 | 南京航空航天大学 | 圆盘型非接触超声电机 |
| CN101777853A (zh) * | 2010-01-12 | 2010-07-14 | 南京航空航天大学 | 基于d31效应的单向贴片式纵扭复合型超声电机 |
| CN103115056A (zh) * | 2013-03-12 | 2013-05-22 | 哈尔滨工业大学 | 夹心式自由梁纵扭模态转换工作模式的可解锁螺母 |
| CN204559440U (zh) * | 2015-01-06 | 2015-08-12 | 程廷海 | 大功率精密压电超声驱动平台 |
-
2015
- 2015-01-06 CN CN201510003789.0A patent/CN105207519A/zh active Pending
Patent Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5023526A (en) * | 1988-10-31 | 1991-06-11 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Vibratory motor |
| US5053669A (en) * | 1989-06-29 | 1991-10-01 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Ultrasonic motor |
| US5107163A (en) * | 1989-07-17 | 1992-04-21 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Ultrasonic motor |
| US5402030A (en) * | 1989-12-13 | 1995-03-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration wave driven apparatus |
| CN2454985Y (zh) * | 2000-12-08 | 2001-10-17 | 南京航空航天大学 | 纵扭复合型超声电机 |
| CN1389974A (zh) * | 2002-07-31 | 2003-01-08 | 清华大学 | 大力矩摇头式压电超声波电机 |
| CN1606226A (zh) * | 2004-11-12 | 2005-04-13 | 南京航空航天大学 | 圆盘型非接触超声电机 |
| CN101777853A (zh) * | 2010-01-12 | 2010-07-14 | 南京航空航天大学 | 基于d31效应的单向贴片式纵扭复合型超声电机 |
| CN103115056A (zh) * | 2013-03-12 | 2013-05-22 | 哈尔滨工业大学 | 夹心式自由梁纵扭模态转换工作模式的可解锁螺母 |
| CN204559440U (zh) * | 2015-01-06 | 2015-08-12 | 程廷海 | 大功率精密压电超声驱动平台 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107493032A (zh) * | 2016-06-10 | 2017-12-19 | 佳能株式会社 | 接触相对构件的摩擦构件、制造摩擦构件的方法、振动型致动器、以及电子装置 |
| US10530277B2 (en) | 2016-06-10 | 2020-01-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Friction member to contact opposite member, method for manufacturing friction member, vibration-type actuator, and electronic device |
| CN107493032B (zh) * | 2016-06-10 | 2020-01-14 | 佳能株式会社 | 接触相对构件的摩擦构件、制造摩擦构件的方法、振动型致动器、以及电子装置 |
| US11664746B2 (en) | 2016-06-10 | 2023-05-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Friction member to contact opposite member, method for manufacturing friction member, vibration-type actuator, and electronic device |
| CN106787937A (zh) * | 2016-12-09 | 2017-05-31 | 西安交通大学 | 基于继电器式控制的角度可调节压电舵机及控制方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN204559440U (zh) | 大功率精密压电超声驱动平台 | |
| CN101262184B (zh) | 纵弯夹心换能器式圆盘定子及使用该定子的超声电机 | |
| CN102710167B (zh) | 弯振子激励的旋转超声电机及其电激励方式 | |
| CN110677073B (zh) | 贴片式行波型双面交错齿超声电机定子 | |
| CN105305873A (zh) | 纵扭复合激振超声电机、驱动平台及其驱动方法 | |
| CN101262188B (zh) | 采用纵振夹心换能器式圆筒定子的超声电机 | |
| CN103036472B (zh) | 螺纹式直线超声电机 | |
| CN105322825A (zh) | 纵振夹心式梁板复合激振超声电机、驱动平台及其驱动方法 | |
| CN105207519A (zh) | 大功率精密压电超声驱动平台及其驱动方法 | |
| CN105281597A (zh) | 强力输出夹心式模态转换超声电机、驱动平台及其驱动方法 | |
| CN204559437U (zh) | 一种纵扭复合激振超声电机 | |
| CN110601596B (zh) | 一种基于压电陶瓷的驻波型磁斥力单向旋转电机 | |
| CN204597814U (zh) | 一种夹心式复合激振超声电机 | |
| CN204392112U (zh) | 一种大行程高精度微纳驱动装置 | |
| CN204559436U (zh) | 一种贴片式模态转换超声电机 | |
| CN105262367A (zh) | 贴片式超声电机、驱动平台及其驱动方法 | |
| CN110729919B (zh) | 同轴反向旋转的驻波型双面交错齿超声电机定子 | |
| CN204559438U (zh) | 一种强力输出夹心式梁板复合激振超声电机 | |
| CN204559441U (zh) | 一种扭振夹心式梁板复合激振超声电机 | |
| CN204597816U (zh) | 一种纵振夹心式梁板复合激振超声电机 | |
| CN204559439U (zh) | 一种夹心式模态转换超声电机 | |
| CN204597817U (zh) | 一种强力输出夹心式模态转换超声电机及其驱动平台 | |
| CN102355161B (zh) | 使用复合弯振双足直线超声振子的旋转电机 | |
| CN105281598A (zh) | 夹心式模态转换超声电机、驱动平台及其驱动方法 | |
| CN105322824A (zh) | 夹心式复合激振超声电机、驱动平台及其驱动方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| CB03 | Change of inventor or designer information |
Inventor after: Cheng Tinghai Inventor after: Fu Xianpeng Inventor after: Wang Liang Inventor after: Wang Yingting Inventor after: He Meng Inventor after: Li Hengyu Inventor before: Cheng Tinghai Inventor before: Wang Liang Inventor before: Liu Xiaoyong Inventor before: Wang Yingting Inventor before: Li Shaosong Inventor before: He Lipeng |
|
| CB03 | Change of inventor or designer information | ||
| TA01 | Transfer of patent application right |
Effective date of registration: 20170726 Address after: 130012 Yanan street, Jilin, No. 2055, No. Applicant after: Changchun Polytechnic Univ. Address before: 130012 Yanan street, Jilin, Chaoyang District, No. 2055, No. Applicant before: Cheng Tinghai |
|
| TA01 | Transfer of patent application right | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20151230 |
|
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |