CN101777853A - 基于d31效应的单向贴片式纵扭复合型超声电机 - Google Patents

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Abstract

本发明公布了一种基于d31效应的单向贴片式纵扭复合型超声电机,属于超声电机领域,本发明包括定子组件和转子组件,所述定子组件由定子基体、第一组压电陶瓷、第二组压电陶瓷、第三组压电陶瓷组成;所述转子组件由转动轴、锁紧螺母、弹簧盖、弹簧、两个转子、键以及轴承组成。其中,定子体上铣有三段六角平面,第一组压电陶瓷、第二组压电陶瓷、第三组压电陶瓷分别粘贴于这三段六角平面上,第一组压电陶瓷的粘贴方向与轴向成一角度α,第二组压电陶瓷方向与轴向平行,第三组压电陶瓷方向与轴向成一角度-α。它可以提供单向转动,具有加工工艺简单方便、成本低以及易于小型化的特点。

Description

基于d31效应的单向贴片式纵扭复合型超声电机
技术领域
本发明属于超声电机技术领域,具体涉及一种基于d31效应的单向贴片式纵扭复合型超声电机。
背景技术
超声电机是利用压电陶瓷的逆压电效应和超声振动的新型动力输出装置。与电磁电机相比,具有结构紧凑、低速大转矩、响应快(毫秒级)、断电自锁、位置和速度控制性好、不受电磁干扰以及低噪声运行等优点。纵扭复合型超声电机是超声电机的一大分类,对它的研究大致可追溯到20世纪的80年代末,到目前为止,其结构种类已不下于几十种。纵扭复合型超声电机通常含有两个振子—纵振子和扭转振子,纵、扭转振子分别激发出两个相互垂直的振动。现有的纵扭电机存在两个缺点:
1、其中的扭转振动模态需要扭振陶瓷片来激励,而扭振陶瓷片加工工艺复杂,成本高,从而造成电机成本居高不下;
2、由于纵扭复合型超声电机一般采用夹心式结构,需要为预紧螺栓预留一定的空间,因此电机尺寸很难做小,不利于电机的小型化。
发明内容
本发明目的是针对现有技术存在的缺陷,提供转动平稳、输出力矩大、驱动系统简单,易于小型化,总成本低的基于d31效应的单向贴片式纵扭复合型超声电机,这种电机采用了基于d31效应的矩形压电陶瓷片来激励电机的工作模态。
本发明为实现上述目的,采用如下技术方案:
本发明基于d31效应的单向贴片式纵扭复合型超声电机,包括定子组件和转子组件,其特征在于:所述定子组件由管式定子基体、第一至第三组压电陶瓷组成;所述转子组件由转动轴、两个锁紧螺母、两个弹簧盖、两个弹簧、两个转子、键以及两个轴承组成;其中,管式定子基体上铣有第一至第三段六角平面,第一组压电陶瓷粘贴于第一段六角平面上、第二组压电陶瓷粘贴于第二段六角平面上、第三组压电陶瓷粘贴于第三段六角平面上,第一组压电陶瓷的粘贴方向与转动轴的方向成角度α,第二组压电陶瓷方向与转动轴的方向平行,第三组压电陶瓷方向与转动轴的方向成角度-α;两个轴承分别设置在管式定子基体的左右两端,转动轴穿过管式定子基体并通过两个轴承支撑,转动轴的两端分别依次穿过转子、弹簧和弹簧盖,两个转子分别设置于管式定子基体的左右端面上,通过弹簧盖压紧弹簧给两个转子施加预压力,并通过锁紧螺母固定弹簧盖,转动轴穿过两个转子的部分分别设置键,其中所述角度α的取值范围为30°~60°。
基于d31效应的单向贴片式纵扭复合型超声电机,包括定子组件和转子组件,其特征在于:所述定子组件由管式定子基体、第一、第三组压电陶瓷组成;所述转子组件由转动轴、两个锁紧螺母、两个弹簧盖、两个弹簧、两个转子、键以及两个轴承组成;其中,管式定子基体上铣有第一、第三段六角平面,第一组压电陶瓷粘贴于第一段六角平面上、第三组压电陶瓷粘贴于第三段六角平面上,第一组压电陶瓷的粘贴方向与转动轴的方向成角度α,第三组压电陶瓷方向与转动轴的方向成角度-α;两个轴承分别设置在管式定子基体的左右两端,转动轴穿过管式定子基体并通过两个轴承支撑,转动轴的两端分别依次穿过转子、弹簧和弹簧盖,两个转子分别设置于管式定子基体的左右端面上,通过弹簧盖压紧弹簧给两个转子施加预压力,并通过锁紧螺母固定弹簧盖,转动轴穿过两个转子的部分分别设置键,其中所述角度α的取值范围为30°~60°。
本发明与背景技术相比,电机加工工艺简单,易于小型化,压电陶瓷易于成形,总成本低。本发明提出的电机仅需要一个正弦信号即可工作,电机可单向运转。
附图说明
图1(a)和图1(b)是本发明提出的第一种基于d31效应的单向贴片式纵扭复合型超声电机,包括定子组件和转子组件,图中各标号含义:1-转动轴;2-锁紧螺母;3-弹簧盖;4-弹簧;5-转子;6-管式定子基体;7-第一段六角面;8-第一组压电陶瓷;9-第二组压电陶瓷;10-第二段六角面;11-第三组压电陶瓷;12-第三段六角面;13-环形槽;14-键;61-定子端面;15-轴承。
图2是本发明提出的第二种基于d31效应的单向贴片式纵扭复合型超声电机,包括定子组件和转子组件,除了没有图1中的第二组压电陶瓷和第二段六角面之外,其它结构完全相同。
图3(a)和图3(b)是本发明提出的基于d31效应的单向贴片式纵扭复合型超声电机压电陶瓷极化布置方式和电激励方式。图3(a)为每一段六面角上压电陶瓷的电激励方式,图3(b)为定子基体上同一侧面三个面上压电陶瓷的电激励方式,1-压电陶瓷,2-正弦信号,3-压电陶瓷极化方向。
图4(a)和图4(b)是本发明提出的基于d31效应的单向贴片式纵扭复合型超声电机工作机理。1-压电陶瓷片质点1;11-压电陶瓷质点1位移;12-压电陶瓷片质点1位移纵向分量;13-压电陶瓷片质点1位移横向分量;2-压电陶瓷片质点2;21-压电陶瓷质点2位移;22-压电陶瓷片质点2位移纵向分量;13-压电陶瓷片质点2位移横向分量;3-压电陶瓷。
具体实施方式
下面结合附图对发明的技术方案进行详细说明:
实施例(一)
如图1所示,基于d31效应的单向贴片式纵扭复合型超声电机包括定子组件和转子组件。所述定子组件由定子基体6、第一组压电陶瓷8、第二组压电陶瓷9、第三组压电陶瓷11组成;所述转子组件由转动轴1、锁紧螺母2、弹簧盖3、弹簧4、两个转子5、键14以及轴承15组成。其中,定子体上铣有三段六角平面7、10、12,第一组压电陶瓷8、第二组压电陶瓷9、第三组压电陶瓷11分别粘贴于这三段六角平面7、10、12上,第一组压电陶瓷8的粘贴方向与轴向成一角度α,第二组压电陶瓷9方向与轴向平行,第三组压电陶瓷11方向与轴向成一角度-α。定子体上加工有两道对称的环形槽13,在定子的两端面61上加工有齿。轴承15放置在定子两端,转动轴1穿过定子并通过轴承15支撑,两个转子5分别放在定子的两个端面61上,并用弹簧4施加预压力,其中所述角度α的取值范围为30°~60°。
实施例(二)
如图2所示,基于d31效应的单向贴片式纵扭复合型超声电机,包括定子组件和转子组件,其特征在于:所述定子组件由管式定子基体6、第一、第三组压电陶瓷8、11组成;所述转子组件由转动轴1、两个锁紧螺母2、两个弹簧盖3、两个弹簧4、两个转子5、键14以及两个轴承15组成;其中,管式定子基体6上铣有第一、第三段六角平面7、12,第一组压电陶瓷8粘贴于第一段六角平面7上、第三组压电陶瓷11粘贴于第三段六角平面12上,第一组压电陶瓷8的粘贴方向与转动轴1的方向成角度α,第三组压电陶瓷11方向与转动轴1的方向成角度-α;两个轴承15分别设置在管式定子基体6的左右两端,转动轴1穿过管式定子基体6并通过两个轴承15支撑,转动轴1的两端分别依次穿过转子5、弹簧4和弹簧盖3,两个转子5分别设置于管式定子基体6的左右端面上,通过弹簧盖3压紧弹簧4给两个转子5施加预压力,并通过锁紧螺母2固定弹簧盖3,转动轴1穿过两个转子5的部分分别设置键14,其中所述角度α的取值范围为30°~60°。
所述管式定子基体6的左右两端分别设置环形槽13,用以调整定子纵扭频率一致性。
所述在管式定子基体6的左右两端面上均布齿形凸块。
本发明提供的基于d31效应的单向贴片式纵扭复合型超声电机,其极化布置方式和电激励方式如图3(a)和图3(b)所示。在每一段六角面的每一个面上均粘贴有一片压电陶瓷,所有压电陶瓷的极化方向均指向圆心,所有压电陶瓷的外表面均施加同一个正弦信号。
本发明提供的基于d31效应的单向贴片式纵扭复合型超声电机,第一组压电陶瓷和第三组压电陶瓷其工作机理如图4(a)所示,压电陶瓷通电发生振动,其两端的质点1和2振动分别朝相反的方向,分别如11和21所示,质点1的横向振动分量13和质点2的横向振动分量23分别朝相反的方向,且不在同一直线上,产生一个剪切力的作用,从而能激励出电机的扭转振动。质点1的横向振动分量12和质点2的横向振动分量22分别朝相反的方向,且6个面上的陶瓷片产生的总体效果使电机产生纵向振动。第二组压电陶瓷两端质点振动分别沿轴向相反,从而能激发电机的纵向振动。
本发明的第一种基于d31效应的单向贴片式纵扭复合型超声电机利用了三组压电陶瓷激励电机的工作模态,第二种基于d31效应的单向贴片式纵扭复合型超声电机仅利用了第一组压电陶瓷和第三组压电陶瓷来激励电机。

Claims (6)

1.一种基于d31效应的单向贴片式纵扭复合型超声电机,包括定子组件和转子组件,其特征在于:所述定子组件由管式定子基体(6)、第一至第三组压电陶瓷(8、9、11)组成;所述转子组件由转动轴(1)、两个锁紧螺母(2)、两个弹簧盖(3)、两个弹簧(4)、两个转子(5)、键(14)以及两个轴承(15)组成;其中,管式定子基体(6)上铣有第一至第三段六角平面(7、10、12),第一组压电陶瓷(8)粘贴于第一段六角平面(7)上、第二组压电陶瓷(9)粘贴于第二段六角平面(10)上、第三组压电陶瓷(11)粘贴于第三段六角平面(12)上,第一组压电陶瓷(8)的粘贴方向与转动轴(1)的方向成角度α,第二组压电陶瓷(9)方向与转动轴(1)的方向平行,第三组压电陶瓷(11)方向与转动轴(1)的方向成角度-α;两个轴承(15)分别设置在管式定子基体(6)的左右两端,转动轴(1)穿过管式定子基体(6)并通过两个轴承(15)支撑,转动轴(1)的两端分别依次穿过转子(5)、弹簧(4)和弹簧盖(3),两个转子(5)分别设置于管式定子基体(6)的左右端面上,通过弹簧盖(3)压紧弹簧(4)给两个转子(5)施加预压力,并通过锁紧螺母(2)固定弹簧盖(3),转动轴(1)穿过两个转子(5)的部分分别设置键(14),其中所述角度α的取值范围为30°~60°。
2.根据权利要求1所述的基于d31效应的单向贴片式纵扭复合型超声电机,其特征在于:所述管式定子基体(6)的左右两端分别设置环形槽(13)。
3.根据权利要求1或2所述的基于d31效应的单向贴片式纵扭复合型超声电机,其特征在于:所述在管式定子基体(6)的左右两端面上均布齿形凸块。
4.一种基于d31效应的单向贴片式纵扭复合型超声电机,包括定子组件和转子组件,其特征在于:所述定子组件由管式定子基体(6)、第一、第三组压电陶瓷(8、11)组成;所述转子组件由转动轴(1)、两个锁紧螺母(2)、两个弹簧盖(3)、两个弹簧(4)、两个转子(5)、键(14)以及两个轴承(15)组成;其中,管式定子基体(6)上铣有第一、第三段六角平面(7、12),第一组压电陶瓷(8)粘贴于第一段六角平面(7)上、第三组压电陶瓷(11)粘贴于第三段六角平面(12)上,第一组压电陶瓷(8)的粘贴方向与转动轴(1)的方向成角度α,第三组压电陶瓷(11)方向与转动轴(1)的方向成角度-α;两个轴承(15)分别设置在管式定子基体(6)的左右两端,转动轴(1)穿过管式定子基体(6)并通过两个轴承(15)支撑,转动轴(1)的两端分别依次穿过转子(5)、弹簧(4)和弹簧盖(3),两个转子(5)分别设置于管式定子基体(6)的左右端面上,通过弹簧盖(3)压紧弹簧(4)给两个转子(5)施加预压力,并通过锁紧螺母(2)固定弹簧盖(3),转动轴(1)穿过两个转子(5)的部分分别设置键(14),其中所述角度α的取值范围为30°~60°。
5.根据权利要求4所述的基于d31效应的单向贴片式纵扭复合型超声电机,其特征在于:所述管式定子基体(6)的左右两端分别设置环形槽(13)。
6.根据权利要求4或5所述的基于d31效应的单向贴片式纵扭复合型超声电机,其特征在于:所述在管式定子基体(6)的左右两端面上均布齿形凸块。
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Cited By (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102931874A (zh) * 2012-11-22 2013-02-13 上海交通大学 纵扭型压电陶瓷筒驱动的压电电机
CN103133492A (zh) * 2013-03-12 2013-06-05 哈尔滨工业大学 贴片式悬臂梁扭转振动工作模式的可解锁螺母
CN103148078A (zh) * 2013-03-12 2013-06-12 哈尔滨工业大学 贴片式自由梁纵扭模态转换工作模式的可解锁螺母
CN103174701A (zh) * 2013-04-17 2013-06-26 哈尔滨工业大学 压电致缸筒扭转振动的低摩擦特性气缸
CN103195770A (zh) * 2013-04-17 2013-07-10 哈尔滨工业大学 压电致缸筒纵向振动的低摩擦特性气缸
CN103354430A (zh) * 2013-06-28 2013-10-16 南京航空航天大学 微型模态转换型超声电机的柔性安装固定装置
CN103521414A (zh) * 2013-11-25 2014-01-22 河南理工大学 斜梁式纵扭复合振动转换装置
CN105207519A (zh) * 2015-01-06 2015-12-30 程廷海 大功率精密压电超声驱动平台及其驱动方法
CN105262369A (zh) * 2015-01-06 2016-01-20 长春工业大学 贴片式梁板复合激振超声电机、驱动平台及其驱动方法
CN105262367A (zh) * 2015-01-06 2016-01-20 长春工业大学 贴片式超声电机、驱动平台及其驱动方法
CN105305875A (zh) * 2015-11-16 2016-02-03 南京航空航天大学 一种肋板位移型纵扭复合超声电机
CN105305873A (zh) * 2015-01-06 2016-02-03 长春工业大学 纵扭复合激振超声电机、驱动平台及其驱动方法
CN105305874A (zh) * 2015-11-16 2016-02-03 南京航空航天大学 一种肋板激发式位移型纵扭复合超声电机
CN105391335A (zh) * 2015-01-06 2016-03-09 长春工业大学 贴片式模态转换超声电机、驱动平台及其驱动方法
CN105553328A (zh) * 2016-02-02 2016-05-04 吉林大学 一种压电振动式蠕动马达
CN106936333A (zh) * 2016-12-31 2017-07-07 南京航空航天大学 一种杆式贴片纵扭复合型超声电机
CN107070299A (zh) * 2016-12-31 2017-08-18 南京航空航天大学 一种杆式贴片纵扭复合型超声电机
CN109067239A (zh) * 2018-08-09 2018-12-21 南京航空航天大学 基于三角位移放大的模态转换型双转子超声电机及方法
CN111557784A (zh) * 2020-07-15 2020-08-21 上海微创医疗器械(集团)有限公司 超声振子、超声乳化手柄以及超声乳化系统

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5115161A (en) * 1989-12-04 1992-05-19 Nec Corporation Ultrasonic motor
CN1156068C (zh) * 2001-02-28 2004-06-30 清华大学 基于压电柱的弯曲振动超声波微电机
CN100336295C (zh) * 2003-01-17 2007-09-05 清华大学 基于半波复合棒压电振子的振动转换型超声马达

Cited By (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102931874A (zh) * 2012-11-22 2013-02-13 上海交通大学 纵扭型压电陶瓷筒驱动的压电电机
CN102931874B (zh) * 2012-11-22 2016-02-10 上海交通大学 纵扭型压电陶瓷筒驱动的压电电机
CN103133492A (zh) * 2013-03-12 2013-06-05 哈尔滨工业大学 贴片式悬臂梁扭转振动工作模式的可解锁螺母
CN103148078A (zh) * 2013-03-12 2013-06-12 哈尔滨工业大学 贴片式自由梁纵扭模态转换工作模式的可解锁螺母
CN103148078B (zh) * 2013-03-12 2015-04-08 哈尔滨工业大学 贴片式自由梁纵扭模态转换工作模式的可解锁螺母
CN103174701A (zh) * 2013-04-17 2013-06-26 哈尔滨工业大学 压电致缸筒扭转振动的低摩擦特性气缸
CN103195770A (zh) * 2013-04-17 2013-07-10 哈尔滨工业大学 压电致缸筒纵向振动的低摩擦特性气缸
CN103174701B (zh) * 2013-04-17 2016-08-17 哈尔滨工业大学 压电致缸筒扭转振动的低摩擦特性气缸
CN103354430A (zh) * 2013-06-28 2013-10-16 南京航空航天大学 微型模态转换型超声电机的柔性安装固定装置
CN103354430B (zh) * 2013-06-28 2015-08-05 南京航空航天大学 微型模态转换型超声电机的柔性安装固定装置
CN103521414A (zh) * 2013-11-25 2014-01-22 河南理工大学 斜梁式纵扭复合振动转换装置
CN103521414B (zh) * 2013-11-25 2015-12-09 河南理工大学 斜梁式纵扭复合振动转换装置
CN105305873A (zh) * 2015-01-06 2016-02-03 长春工业大学 纵扭复合激振超声电机、驱动平台及其驱动方法
CN105207519A (zh) * 2015-01-06 2015-12-30 程廷海 大功率精密压电超声驱动平台及其驱动方法
CN105262367A (zh) * 2015-01-06 2016-01-20 长春工业大学 贴片式超声电机、驱动平台及其驱动方法
CN105391335A (zh) * 2015-01-06 2016-03-09 长春工业大学 贴片式模态转换超声电机、驱动平台及其驱动方法
CN105262369A (zh) * 2015-01-06 2016-01-20 长春工业大学 贴片式梁板复合激振超声电机、驱动平台及其驱动方法
CN105305874A (zh) * 2015-11-16 2016-02-03 南京航空航天大学 一种肋板激发式位移型纵扭复合超声电机
CN105305875A (zh) * 2015-11-16 2016-02-03 南京航空航天大学 一种肋板位移型纵扭复合超声电机
CN105305874B (zh) * 2015-11-16 2017-09-05 南京航空航天大学 一种肋板激发式位移型纵扭复合超声电机
CN105553328A (zh) * 2016-02-02 2016-05-04 吉林大学 一种压电振动式蠕动马达
CN106936333A (zh) * 2016-12-31 2017-07-07 南京航空航天大学 一种杆式贴片纵扭复合型超声电机
CN107070299A (zh) * 2016-12-31 2017-08-18 南京航空航天大学 一种杆式贴片纵扭复合型超声电机
CN107070299B (zh) * 2016-12-31 2024-03-19 南京航空航天大学 一种杆式贴片纵扭复合型超声电机
CN109067239A (zh) * 2018-08-09 2018-12-21 南京航空航天大学 基于三角位移放大的模态转换型双转子超声电机及方法
CN109067239B (zh) * 2018-08-09 2024-03-29 南京航空航天大学 基于三角位移放大的模态转换型双转子超声电机及方法
CN111557784A (zh) * 2020-07-15 2020-08-21 上海微创医疗器械(集团)有限公司 超声振子、超声乳化手柄以及超声乳化系统
CN111557784B (zh) * 2020-07-15 2020-11-13 微创视神医疗科技(上海)有限公司 超声振子、超声乳化手柄以及超声乳化系统

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