JPH0336175B2 - - Google Patents

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JPH0336175B2
JPH0336175B2 JP58502629A JP50262983A JPH0336175B2 JP H0336175 B2 JPH0336175 B2 JP H0336175B2 JP 58502629 A JP58502629 A JP 58502629A JP 50262983 A JP50262983 A JP 50262983A JP H0336175 B2 JPH0336175 B2 JP H0336175B2
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JP
Japan
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fluid
barrier
pressure
sensing
flow rate
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JP58502629A
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JPS59501680A (ja
Inventor
Toreuaa Matsukusueru Hanto
Desumondo Edowaado Bonzu
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UK Secretary of State for Defence
Original Assignee
UK Secretary of State for Defence
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Publication date
Application filed by UK Secretary of State for Defence filed Critical UK Secretary of State for Defence
Publication of JPS59501680A publication Critical patent/JPS59501680A/ja
Publication of JPH0336175B2 publication Critical patent/JPH0336175B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/06Investigating concentration of particle suspensions

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Measuring Volume Flow (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、流体中の不溶性汚染物の量を表示す
るための装置に係る。本明細書中の“汚染物”な
る用語は、流体中に存在するいかなる不溶物質を
も包含すると定義され、これらの物質の存在が予
定されているか否かは問わない。
多くの流体使用システムに於いては、流体中の
不溶汚染物がシステムの損傷を生じるか及び/又
は該汚染物の存在がシステム内の摩耗又は破壊を
示すので、このような汚染物のレベルを知ること
が重要である。別の流体中では内部の粒状物質の
レベルを認可された値又は既知の値に維持するこ
とが望ましい。汚染物レベルを自動的にモニタす
るための既存の方法では、高価で複雑な装置が必
要であり、多くの場合、熟練した経験者でないと
テストを行うことができない。本発明の目的は、
簡単且つ迅速に前記の如き汚染を表示し得る装置
を提供することである。
本発明によれば上記目的は、汚染物を含む流体
が流れバイパス流路と、既知の大きさの孔を有し
ており、流路内を流れる流体の通過に伴つて流体
中の既知の大きさの孔より大きなサイズの汚染物
により次第に閉塞されるように流路を横切つて配
置された透過性バリヤーと、該バリヤーの閉塞レ
ートを検知する検知手段と、バリヤーをバツクフ
ラツシし、且つ閉塞レートの他の検知を可能にす
べく、バリヤーを通過する前記流体の流れの向き
を逆転させる弁手段と、検知に応じて弁手段を操
作する操作手段と、検知手段に接続し、検知され
た閉塞レートの平均値を出力する平均化手段と、
平均化手段からの出力に応じて、流体中の既知の
大きさより大きな汚染物のレベルを表示する表示
手段とを備える流体中の汚染レベル表示装置によ
つて達成される。
上記の構成の汚染レベル表示装置においては、
まずバリヤーが流路中に置かれ閉塞レートの最初
の検知サイクルが開始される。次いで閉塞レート
が検知されると共に、バリヤーを通過する流体の
流れが逆転されバリヤーをバツクフラツシし、次
ぎの検知サイクルが開始される。同様にして、複
数の検知サイクルが連続的に行われ、複数の検知
サイクルに亙る閉塞レートの平均値に基づき汚染
レベルが表示される。
上記の構成の汚染レベルは表示装置によれば、
バリヤーの交換の手間を要することなしに複数の
測定サイクルを連続して行い得、しかも複数の測
定サイクルに亙り常時汚染物の採取が可能であ
り、複数の測定サイクルに亙る流体中の汚染の平
均値を表示することができ、簡単にしかも流体全
体の汚染レベルを表示し得る。
上記の構成中、1つの例として、検知手段は、
バリヤーに供給される流体の流量を一定に維持す
るよう構成された流量維持手段と、バリヤーの上
流側の前記流体の圧力の上昇レートを感知する圧
力レート感知手段とを含むことが好ましく、この
場合、圧力レート感知手段が、タイミングを発生
するタイミング発生手段と、バリヤーの上流側の
流体の圧力を感知する圧力感知手段であることが
望ましい。また、タイミング発生手段が所定時間
の経過を示すように構成されており、圧力感知手
段が前記所定時間の経過の終りに流体の圧力を感
知するよう構成されていても良く、この場合、操
作手段がタイミング発生手段の出力に応じて弁手
段を操作するように構成されているのが望まし
く、また圧力感知手段が流体の圧力が所定値に到
達したことを感知するように構成されており、タ
イミング発生手段が前記流体の圧力が所定値に到
達するまでの所要時間を測定するよう構成されて
いても良い。この場合は、操作手段が圧力感知手
段の出力に応じて弁手段を操作するように構成さ
れていることが望ましい。また他の例として、検
知手段が、バリヤーに供給される流体の圧力を一
定に維持するように構成された圧力維持手段と、
バリヤーを通過した流体の流量低下レートを感知
する流量感知手段とを含んでも良く、この場合、
流量感知手段が、タイミングを発生するタイミン
グ発生手段と、バリヤーを通過する流体の流量を
測定する流量測定手段とを含み、タイミング手段
が所定の時間間隔を示すように構成されており、
流量測定手段が所定の時間間隔の経過の終わりに
バリヤーを通過した流体の流量を測定するように
構成されており、操作手段がタイミング手段から
の出力に応じて弁手段を操作するように構成され
ていても良い。また流量測定手段が流体の流量が
所定のレベルに低下したことを検出するように構
成されており、タイミング手段が流量が所定のレ
ベルに低下するまでの所要時間を測定するように
構成され、操作手段が流量測定手段からの出力に
応じて弁手段を操作するように構成されていても
良い。いずれの場合においても、検知手段が流体
の粘性の変化を補償する補償手段を含んでいても
良い。
以下、本発明の好適な具体例を図面に基づき詳
述する。
本発明は、不溶粒子による流体の汚染度が通常
は単位量の液体中の粒子の数又は量によつて示さ
れるという認識に基く。従つて、既知量の流体か
ら粒子を抽出することによつて汚染の示度が得ら
れる。しかし乍ら、従来方法を使用すると除去粒
子の数又は量の測定に極めて時間が掛る。以下に
記載の具体例では、所与の汚染レベルに対して既
知のレートでバリヤーが閉塞されることを利用し
て粒子の量が測定される。従つて、汚染物を含む
既知量の流体がバリヤーを通過すると、バリヤー
の閉塞度が流体内の汚染物の量を表示し得る。
第1図によれば、汚染表示装置全体が符号10
で示される。表示装置10はバイパス11を含ん
でおり、2つの三方弁14を介してバリヤー1
2,13がバイパス11に導入され得る。バリヤ
ー12,13のいずれかを介してバイパス11内
部に接続される流れの方向は滑り弁15によつて
制御される。バイパス11は、流量維持手段とし
ての定量ポンプ16と、ポンプ16と滑り弁15
との間に配置された圧力感知手段としての圧力デ
テクタ17とを含む。デテクタ17は論理回路1
8を介して滑り弁15の動作を制御する。バイパ
ス11内に圧力解放弁19が備えられている。デ
テクタ17と論理回路18は協動して検知手段を
構成している。
バイパス11は流体システム、例えば油圧シス
テムの一部19aと並列に接続されている。ポン
プ16が作動すると、ポンプは流体圧ライン19
aから連続的流体サンプルを採取し、回路に接続
されたバリヤー12又は13のいずれかに定流量
で送る。流体が汚染されていると、バリヤーの上
流側の圧力が圧力デテクタ17の予設定(プリセ
ツト)レベルに上昇するまで粒子がバリヤーを次
第に閉塞する。
論理回路18は、弁15がサンプル採取位置2
1又は22に動いたときの流体サンプル採取の開
始と圧力デテクタの予設定レベル到達時点との間
の所要時間を測定するタイミング発生手段として
のタイマー(図示せず)を含む。流体が定常流で
バリヤーに流れるとき、バリヤーの閉塞に要する
時間は、使用バリヤーの細孔サイズより大きいサ
イズの流体中の汚染物の量を直接表示するもので
ある。
流体から採取されたいずれか1つのサンプルが
流体全体の汚染レベルを示し得ないことは明らか
であり、従つて、一連の回数の指示値の平均値を
論理回路18に設けられた平均化手段によつて求
めこれを表示手段20に表示するのが好ましい。
これは、滑り弁15の使用によつて達成され得
る。サンプル採取サイクルが始まると、論理回路
18に設けられた操作手段が滑り弁を移動させ、
バリヤー12又は13が弁の左側部分21によつ
てバイパス11に接続され、流体を例えば細目バ
リヤー12を通つて左から右に流動させる。バリ
ヤーが閉塞されると、バリヤーが洗浄されるまで
は以後の測定値を得ることができない。従つて、
圧力上昇の検出に応答して滑り弁15が論理回路
18の制御下で移動し、右側部分22がバリヤー
12をバイパス11に接続しバリヤーを右から左
に通過する流れを与える。この結果、バリヤーが
バツクフラツシされ同時に次の測定サイクルが開
始される。このサイクルの終りに滑り弁15が移
動し、左側部分21が再度接続される。各サイク
ル1はから60秒を要し、典型的には10サイクル毎
に平均示度が表示されるのが有利である。しかし
乍ら、連続示度を与えることも勿論可能である。
流体の流れが常に同一方向でバイパス11を通る
ように滑り弁15が構成されていることが理解さ
れよう。
圧力デテクタ17により感知された流体圧力は
流体の粘性に正比例するであろう。従つて、遥か
に大きい粘性の流体が第1図の装置を通過する
と、不完全閉塞バリヤーの上流側の流体圧力は圧
力デテクタ17の予設定レベルに既に近いか又は
より大きくさえなり得る。従つて、種々の粘性の
流体を装置につてサンプルすべき場合1から6秒
の測定サイクルがなおも得られるようにデテクタ
17の予設定レベルを調整しなければならない。
サンプルすべき流体の粘性はまた温度依存性で
ある。作動流体の粘性の大きさは、システムの標
準動作温度に比較するとシステム起動時の低温の
ときの方が大きいオーダになるであろう。従つて
更に、バイパス11内の流体の温度を検出するた
めの温度デテクタ70が配設され得る。流体の温
度が予設定レベルより低いときには常に、論理回
路18が滑り弁15をオープンセンタ位置71に
保持し、バリヤー12又は13によるサンプル採
取を伴なうこと無く循環を生じさせる。温度が許
容レベルに到達したのきにのみデテクタ70が滑
り弁15を位置21に切換えて流体をバリヤーに
通過せしめる、デテクタ70は、流体の温度が上
昇し流体の粘性がそれほど臨界的に温度依存性に
ならないレベル典型的には30℃を上回るか40℃に
なつたときに滑り弁15が切換えられるように予
設定される。
バリヤーの閉塞度は、新しいバリヤー圧力降下
ΔP0と時間t後の圧力降下ΔPtとを知ることによ
つて測定され得る。捕捉された汚染物の量が多い
程、所与の時間t後のΔPtが大きくなる。ΔP0
ΔPtとの測定さらバリヤーの残りの孔面積の割合
を計算することによつて閉塞度を測定し得る。即
ち、ΔP0/ΔPt=1のときバリヤーは全開(清
浄)であるが、ΔP0/ΔPt=0の時孔面積はゼロ
でありバリヤーは完全に閉塞されている。所定圧
力又は流量に到達するまでの所要時間が1つの所
定範囲内に含まれるか否かだけを決定し得る表示
手段を配設すると、装置を使用して汚染レベルを
概括的に表示すことが可能である。
又は、装置を粒子カウンタとして使用すること
も可能である。バラツキのない細孔サイズがわか
れば、細孔の総数を概算し得る。この数がわかり
同時に流量と時間tでのΔP0/ΔPtとがわかる
と、細孔サイズより大きい粒子の単位量当りの総
数を算出し得る。
バリヤーが閉塞されると滑り弁15が切換えら
れる構成でなく、所定サイクル時間の経過後にバ
リヤーの上流側の圧力を測定し各サイクルの終り
で弁を切換えることによつて汚染物レベルの指示
値を得ることも可能である。
通常は、細目バリヤーが使用されるであろう
が、極めて高レベルの汚染が生じ得る疑いがある
とき又は汚染粒子サイズが大きいとき又は粒子サ
イズ分布を或る程度示す必要があるときは、最初
に使用されるように荒目バリヤー13が備えられ
ている。論理回路18は、どちらのバリヤーが接
続されているかに従つて、得られた指示値を表示
する前にこの指示値に重みを加えてもよい。
第2図は、バリヤー材料のホルダ23を示す。
バリヤー材料は、多孔スクリーン、膜、フイル
タ、メツシユグ、リツドから選択できる。バリヤ
ー材料は好ましくはDutch織金網又はBeta網であ
るが、任意の適当な透過性材料から形成され得
る。バリヤーの細孔サイズが流体中で予想され得
る汚染レベルに或る程度左右されることは理解さ
れようが、バリヤーによつて捕捉しようとする汚
染物粒子のサイズと同程度の細孔サイズが選択さ
れる。例えば、油圧システムでは1から200ミク
ロンであり、一般的に作動流体に使用するには5
から25ミクロンの範囲内の細孔サイズが最も適当
であり、特に16ミクロンが至適細孔サイズである
ことが知見された。
流体がバリヤーの有効領域全体に均等に流れる
ことが望ましく、このため、バリヤーホルダ23
は拡大チヤンバ24を持つように形成され、該チ
ヤンバにバリヤー25を張設し得る。又は、バリ
ヤーホルダが流入パイプと同程度の断面積を有し
ていてもよい。流れの逆転が生じるときにバリヤ
ーのたわみを少なくし疲労によつてバリヤーの耐
用寿命が大きく短縮されないようにするために、
バリヤー25が周囲でしつかりと定着されている
のが好ましい。又は、グリツプリング26が、ス
ポーク又は付加的荒目バリヤーによる付加サポー
トを形成してもよい。しかし乍ら或る場合には、
逆転の際のバリヤーのたわみは、汚染物のバツク
フラツシを補助する有用な解放作用を与えるであ
ろう。
第3図は別の汚染表示装置を示す。この表示装
置は第1図の表示装置と同じ基本原理で動作する
が、流体がバリヤー12又は13を左から右に通
過するときにのみ汚染物レベルを表示する。各測
定サイクル間にポンプ16が逆転して予設定時間
のバツクフラツシ流を生じさせる。細目及び荒目
のバリヤー12,13は、バリヤーを選択し得る
べくバイパス11に対して横方向に移動し得る単
一ホルダ23内に装着されていることが理解され
よう。温度デテクタ60は論理回路18を介し
て、主流ライン19a内の流体が所定の最低温度
に到達したときにのみポンプ16が作動すること
を確保する。
バリヤーに対する流れを一定に維持し圧力を測
定する代りに、バリヤーに供給される圧力を一定
に維持し流量を流量測定手段によつてモニタする
ことも可能である。この場合、指示値は、流量が
所定レベルより低い値に低下したときに得られる
か、又は、所定測定時間後の流量を測定すること
によつて得られる。
第4図は、流れライン19a内の汚染物レベル
を読取り易く概括的に表示する本発明の別の具体
例を示す。滑り弁15は(論理回路を含む)タイ
マ31によつて制御され、流体を既知の所定時間
バリヤー12に通過せしめる。典型的には16ミク
ロンのバリヤーで60秒である。バリヤー12の上
流側の圧力増加は圧力計30によつて表示され
る。圧力計30によつて表示される圧力の増加が
流体中の汚染度を概括的に表示する。所定時間の
経過後、滑り弁15が論理回路の制御下で作動
し、バリヤー12を通る流体の流れの方向を逆転
させる。
第5図は、第4図の装置と共に使用するための
対数圧力計を示す。対数圧力計の利点は、圧力が
P0からPtまで上昇する間に、特定の初期圧力P0
の値に関わり無く比P0/Ptが示針35の底角移
動によつて示されることである。第5図の特定具
体例に於いては、圧力計の面32は、Pt/P0
2(即ち初期圧力P0の倍増)が約75°の角移動で示
されるようになつている。
汚染示度の解釈を容易にするために第6図の符
号33の如き回転自在な上張り目盛板を配設して
もよい。使用の際に目盛板を回転させ、ゼロの線
34をサイクル開始時の示針位置(P0)の位置
合せする。サイクル終了時の示針35の位置
(Pt)が流体中の汚染の酷さを示すであろう。次
にサイクルが再開され、示針はタイマ31によつ
て制御される周期で振動するであろう。流体の粘
性の変化が生じたときは、上張り目盛板33を回
転させてゼロの線34を新しいP0に設定するだ
けでよい。圧力計の値を上回る量の圧力増加が生
じたときは、リリーフ弁19が開くであろう。
本発明の別の具体例が第7図に示されている。
この具体例では同様の2つのバリヤー42,43
が直列に接続されている。更にシリンダ40が備
えられており、このシリンダ内に補償手段しての
2つの往復動ピストン38,39が配設されてい
る。符号Aで示すバリヤー42の上流ラインはシ
リンダの一端のスペース45と連通しており、符
号Cで示すバリヤー43の下流ラインはシリンダ
の対向端のスペース46と連通している。符号B
で示す2つのバリヤー42と43との間のライン
は2つのピストン38と39との間のスペース4
4と連通している。
2つのバリヤーは同様であり、従つて閉塞され
ていないとき各バリヤーでの圧力降下は同様であ
ろう。しかし乍ら動作中は、2つのバリヤーの細
孔サイズが同様でありしかも流体は先ずバリヤー
42によつて過されるので、バリヤー42が閉
塞され始めるがバリヤー43は閉塞されないであ
ろう。従つて、A,B,Cの各々に於ける圧力を
夫々PA,PB,PCとすると、PAは上昇するがPB
比較的一定に維持されるであろう。PAが最終圧
力に達するとピストン38がシリンダ40の中央
方向に移動して引外しスイツチ41を作動させ
る。この結果滑り弁15が流体の流れ方向を逆転
させる。流れが逆転するとバリヤー43が閉塞さ
れ始め、バリヤー42がフラツシされて洗浄され
る。ここでPAが低下しピストン38が初期位置
に戻るであろう。バリヤー43が次第に閉塞され
るとPCが上昇しピストン39が中央方向に移動
して引外しスイツチ41を作動させ流れを再度逆
転させるであろう。流体の汚染レベルの指示値
は、測定サイクルの周期から得られる。即ち、汚
染レベルが高い場合はサイクル周期が比較的短
く、低い場合はその逆になる。
ピストンの移動を生起するのがバリヤーでの圧
力比Pt/P0であるから、上記の測定方法は圧力
値Ptを測定する方法よりも流体の粘性の影響を
受けない。ピストンの移動を生起する圧力比は、
該ピストンの前面と後面との相対面積のみに左右
される。
第8図は本発明の別の具体例を示す。この具体
例は、全体が符号50で示されるロータリーアセ
ンブリの形状の可動バリヤー構造を含む。回転自
在なドラム59内に8つの径方向ベーン51,5
8が設置されている。ベーンは、これらのベーン
をケーシング60と接触するように押圧するバネ
で径方向に押圧されている。ベーンは交互に固体
バリヤー(例えば52,54等)と同じもしくは
異なる多孔率の透過性バリヤー(51,53等)
から成る。
主バイパス11自体が短いバイパス61を有し
ており、図示の位置でバイパス61はベーン51
と52との間のギヤツプとベーン53と54との
間のギヤツプとを接続している。バリヤー51で
所定圧力降下に達するまでドラム59の回転を阻
止するためにラツチデバイス62が取付けられて
いる。
ポンプ16が作動すると、定常流が、透過性バ
リヤー51とバイパス61と透過性バリヤー53
とを通過し、主バイパス11から出る。
透過性バリヤー51が汚染物で閉塞され始める
と、バリヤー51での圧力が増加し、最終的には
この圧力がラツチデバイス62の抵抗を圧倒し、
流れによつてドラムを回転させる。
ここで固体バリヤー58が流れを閉塞し圧力降
下が急速に生じて、次の透過性バリヤーが所定位
置に到達するまでドラムの回転が続行する。次
に、透過性バリヤー57が流路に入り閉塞され始
める。同時に、バイパス61を通る流れが汚染バ
リヤー51をバツクフラツシする。
所与の時間のドラム59の軸回転運動によつ
て、流体中の汚染レベルが表示される。更に、異
なる多孔率を有する4つの透過性バリヤーを使用
すると、任意の一回転中での4つのサイズで各々
での汚染レベルを査定し得る。
上記の表示装置は、流体システムに永久的に接
続されてもよく、又は、汚染の指示値を得たいと
きにバルブを介して任意のシステムに接続され得
る携帯機器の形状でもよい、特に携帯形では、い
かなる測定の開始にも先立つてシステムをフラツ
シし得るブリードバルブをバイパス11内に内蔵
させるのが有利であろう。
表示装置は種々の流体システム、例えば、油圧
系、潤滑系、燃料系又は空気系に使用され得る。
バリヤー25での流れの逆転が容易な変形例と
しては、円形コンベヤ又は別の可動フレームもし
くは紙ストリツプ上の複数個のバリヤーを使用し
得る。この場合、各測定サイクルが終わる毎に新
しいバリヤーが導入され、汚れたバリヤーはシス
テムに再導入される前にバイパスの外部で洗浄さ
れる。又は、各測定サイクルが終る毎に流れを逆
転させないでバリヤーを逆転させることも可能で
ある。
前記の本発明の具体例は、バリヤーの上流側の
圧力増加を感知することによつてバリヤーの閉塞
レートをモニタする。しかし乍ら、流体システム
がバリヤーの下流側での流体圧力の変化が生じ易
いシステムである場合、バリヤーでの圧力降下を
測定するために上流側と下流側との双方での圧力
を測定するのが望ましい。このような変形は当業
者に十分に公知であり、本発明の範囲内に含まれ
ると理解されよう。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の汚染表示装置の具体例の概略
構成図;第2図は第1図の表示装置と共に使用さ
れるフイルターホルダの断面図;第3図は本発明
の表示装置の別の具体例の構成図;第4図は本発
明の表示装置の更に別の具体例の構成図;第5図
は第4図の圧力計の目盛を示す平面図;第6図は
第5図の圧力計の上張り目盛板の平面図;第7図
は本発明の表示装置のまた別の具体例の構成図;
第8図は可動バリヤーアセンブリを組込んだ本発
明の別の具体例の構成図である。 10……表示装置、11……バイパス、12,
13……バリヤー、14……三方弁、15……滑
り弁、16……定量ポンプ、17……デテクタ、
18……論理回路。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 汚染物を含む流体が流れるバイパス流路と、
    既知の大きさの孔を有しており、前記流路内を流
    れる前記流体の通過に伴つて前記流体中の前記既
    知の大きさの孔より大きなサイズの汚染物により
    次第に閉塞されるように前記流路を横切つて配置
    された透過性バリヤーと、該バリヤーの閉塞レー
    トを検知する検知手段と、前記バリヤーをバツク
    フラツシし、且つ閉塞レートの他の検知を可能に
    すべく、前記バリヤーを通過する前記流体の流れ
    の向きを逆転させる弁手段と、前記検知に応じて
    前記弁手段を操作する操作手段と、前記検知手段
    に接続し、検知された閉塞レートの平均値を出力
    する平均化手段と、前記平均化手段からの出力に
    応じて、前記流体中の前記既知の大きさの孔より
    大きなサイズの汚染物のレベルを表示する表示手
    段とを備える流体中の汚染レベル表示装置。 2 前記検知手段が、前記バリヤーに供給される
    前記流体の流量を一定に維持するよう構成された
    流量維持手段と、前記バリヤーの上流側の前記流
    体の圧力の上昇レートを感知する圧力レート感知
    手段とを含む特許請求の範囲第1項に記載の装
    置。 3 前記圧力レート感知手段が、タイミングを発
    生するタイミング発生手段と、前記バリヤーの上
    流側の前記流体の圧力を感知する圧力感知手段と
    を含む特許請求の範囲第2項に記載の装置。 4 前記タイミング発生手段が所定時間の経過を
    示すように構成されており、前記圧力感知手段が
    前記所定時間の経過の終りに前記流体の前記圧力
    を感知するよう構成された特許請求の範囲第3項
    に記載の装置。 5 前記操作手段が前記タイミング発生手段の出
    力に応じて前記弁手段を操作するように構成され
    た特許請求の範囲第4項に記載の装置。 6 前記圧力感知手段が前記流体の前記圧力が所
    定値に到達したことを感知するように構成されて
    おり、前記タイミング発生手段が前記流体の前記
    圧力が所定値に到達するまでの所要時間を測定す
    るよう構成された特許請求の範囲第3項に記載の
    装置。 7 前記操作手段が前記圧力感知手段の出力に応
    じて前記弁手段を操作するように構成されている
    特許請求の範囲第6項に記載の装置。 8 前記検知手段が、前記バリヤーに供給される
    前記流体の圧力を一定に維持するように構成され
    た圧力維持手段と、前記バリヤーを通過した前記
    流体の流量低下レートを感知する流量感知手段と
    を含む特許請求の範囲第1項に記載の装置。 9 前記流量感知手段が、タイミングを発生する
    タイミング発生手段と、前記バリヤーを通過する
    前記流体の流量を測定する流量測定手段とを含む
    特許請求の範囲第8項に記載の装置。 10 前記タイミング発生手段が所定の時間間隔
    を示すように構成されており、前記流量測定手段
    が前記所定の時間間隔の経過の終りに前記バリヤ
    ーを通過した前記流体の流量を測定するよう構成
    された特許請求の範囲第9項に記載の装置。 11 前記操作手段が前記タイミング発生手段か
    らの出力に応じて前記弁手段を操作するように構
    成されている特許請求の範囲第10項に記載の装
    置。 12 前記流量測定手段が前記流体の前記流量が
    所定のレベルに低下したことを検出するように構
    成されており、前記タイミング発生手段が前記流
    量が前記所定のレベルに低下するまでの所定時間
    を測定するように構成されている特許請求の範囲
    第9項に記載の装置。 13 前記検知手段が前記流体の粘性の変化を補
    償する補償手段を含んでいる特許請求の範囲第1
    項から第12項のいずれか一項に記載の装置。
JP58502629A 1982-08-13 1983-08-04 汚染レベル表示装置 Granted JPS59501680A (ja)

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