JPH0334802B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0334802B2 JPH0334802B2 JP20225284A JP20225284A JPH0334802B2 JP H0334802 B2 JPH0334802 B2 JP H0334802B2 JP 20225284 A JP20225284 A JP 20225284A JP 20225284 A JP20225284 A JP 20225284A JP H0334802 B2 JPH0334802 B2 JP H0334802B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- peaks
- peak
- semiconductor integrated
- histogram
- Prior art date
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- Expired
Links
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 11
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は半導体集積回路装置（以下「IC」
という。）特にそのパツケージの上面の一端部に
ノツチを有するICの組立、検査工程などにおい
て、ガイドなどによつて送られてくるICの方向
を判別する装置に関するものである。
という。）特にそのパツケージの上面の一端部に
ノツチを有するICの組立、検査工程などにおい
て、ガイドなどによつて送られてくるICの方向
を判別する装置に関するものである。
ICの製造工程は自動化が進んでおり、流れて
くるICの向きは人為的に変えなければ変らずに
正しく保たれるという前提と、人間が途中で抜き
取り検査などをした場合には必らず正しい向きで
戻してやるという前提とがあり、特別にICの向
きを視覚的に自動チエツクする装置は用いられて
いなかつた。
くるICの向きは人為的に変えなければ変らずに
正しく保たれるという前提と、人間が途中で抜き
取り検査などをした場合には必らず正しい向きで
戻してやるという前提とがあり、特別にICの向
きを視覚的に自動チエツクする装置は用いられて
いなかつた。
従来は以上のような前提で、方向判別の機能は
設けられていなかつたが、人間が途中で抜き取り
検査をした後などに、不注意で誤つた方向でIC
をラインに戻すことがあり、本来正常なICを不
良と判定したり、破壊に導いたりすることが実際
の組立ラインではしばしば発生していた。
設けられていなかつたが、人間が途中で抜き取り
検査をした後などに、不注意で誤つた方向でIC
をラインに戻すことがあり、本来正常なICを不
良と判定したり、破壊に導いたりすることが実際
の組立ラインではしばしば発生していた。
この発明は以上の問題点を解決するためになさ
れたもので、ICのパツケージの上面の一端部に
あるノツチを認識して自動的にICの方向を判別
できる装置を提供することを目的としている。
れたもので、ICのパツケージの上面の一端部に
あるノツチを認識して自動的にICの方向を判別
できる装置を提供することを目的としている。
この発明に係るIC方向判別装置ではICのパツ
ケージの上面の一端部を撮像する撮像装置と、こ
れによつて得られる二次元映像情報をデイジタル
化するＡ／Ｄ変換器と、各デイジタル化信号を２
値化する２値化回路と、この２値化映像信号を二
次元の一方向に投影してヒストグラムを得るヒス
トグラム作成回路と、このヒストグラムのピーク
位置間隔からICの方向を判断する方向判別回路
とを設けたものである。
ケージの上面の一端部を撮像する撮像装置と、こ
れによつて得られる二次元映像情報をデイジタル
化するＡ／Ｄ変換器と、各デイジタル化信号を２
値化する２値化回路と、この２値化映像信号を二
次元の一方向に投影してヒストグラムを得るヒス
トグラム作成回路と、このヒストグラムのピーク
位置間隔からICの方向を判断する方向判別回路
とを設けたものである。
この発明では、、撮像装置でICパツケージの上
面の一端部を撮像して得られた二次元映像情報を
それぞれＡ／Ｄ変換器でデイジタル化し、更にこ
れを２値化回路を用いて、あるしきい値で２値化
し、このようにして得た２値化映像信号を二次元
の一方向に投影してヒストグラムを作成し、その
ピークの位置およびピークが２つあるときに、そ
の間隔が所定範囲にあるか否かによつてICの方
向を判断する。
面の一端部を撮像して得られた二次元映像情報を
それぞれＡ／Ｄ変換器でデイジタル化し、更にこ
れを２値化回路を用いて、あるしきい値で２値化
し、このようにして得た２値化映像信号を二次元
の一方向に投影してヒストグラムを作成し、その
ピークの位置およびピークが２つあるときに、そ
の間隔が所定範囲にあるか否かによつてICの方
向を判断する。
第１図は、この発明の一実施例の構成を示すブ
ロツク図で、１はガイド、２はガイド１に沿つて
送られる方向判別対象のIC、３は上方からIC２
の一端部を見る位置に固定し、走査線の方向をガ
イド１の方向と一致させた撮像装置である固体カ
メラ、４はIC２の上面を両側から照明する一対
の光源、５は固体カメラ３からの映像信号を二次
元マトリクスの要素毎にデイジタル化するＡ／Ｄ
変換器、６は所定のしきい値で上記Ａ／Ｄ変換さ
れた信号を２値化する２値化回路、７は２値化後
の一画面分の２値化映像信号を走査線方向に投影
してヒストグラムを作るヒストグラム作成回路、
８は求めたヒストグラムをしきい値処理して、そ
のしきい値を越えたピークの数と位置とをピーク
毎に求めるピーク位置検出回路、９はヒークが２
つ存在したときその間隔を求めるピーク間隔検出
回路、１０はピークが２つ存在してしかもその間
隔が所定範囲の値である場合とそれ以外の場合と
によつてICの方向を判別する方向判別回路であ
る。
ロツク図で、１はガイド、２はガイド１に沿つて
送られる方向判別対象のIC、３は上方からIC２
の一端部を見る位置に固定し、走査線の方向をガ
イド１の方向と一致させた撮像装置である固体カ
メラ、４はIC２の上面を両側から照明する一対
の光源、５は固体カメラ３からの映像信号を二次
元マトリクスの要素毎にデイジタル化するＡ／Ｄ
変換器、６は所定のしきい値で上記Ａ／Ｄ変換さ
れた信号を２値化する２値化回路、７は２値化後
の一画面分の２値化映像信号を走査線方向に投影
してヒストグラムを作るヒストグラム作成回路、
８は求めたヒストグラムをしきい値処理して、そ
のしきい値を越えたピークの数と位置とをピーク
毎に求めるピーク位置検出回路、９はヒークが２
つ存在したときその間隔を求めるピーク間隔検出
回路、１０はピークが２つ存在してしかもその間
隔が所定範囲の値である場合とそれ以外の場合と
によつてICの方向を判別する方向判別回路であ
る。
この装置では、第２図に斜視図で示すようにパ
ツケージ上面の一端部にノツチ２１を有するIC
２を対象としており、第３図に拡大部分側面図に
示すようにノツチ２１の部分を斜方向から光源４
で照射すると、上方の固体カメラ３にはノツチ２
１の端部での正反射光ａが入射し、その他の部分
からの正反射光ｂは入射しない。従つて、第１図
に示したようなノツチ２１の両側からIC２を照
明すると、固体カメラ３の出力をＡ／Ｄ変換器５
でＡ／Ｄ変換し、更に２値化回路６で２値化した
後の二次元映像は第４図に示すようになり、ノツ
チ２１部分の輪郭が抽出できることになる。この
２直画像に対してヒストグラム作成回路８で固体
カメラ３の走査線方向の投影をとると、それは
IC２の長手方向の投影に相当することになり、
第５図のような投影図形が得られる。この投影図
形をピーク位置検出回路８でしきい値処理をし
て、しきい値レベルＴを越えるピークの数と、そ
の各中心位置を求める。第５図の例ではピークの
数は２個、ピークの位置はx1とx2とである。次い
で、ピーク間隔検出回路９はピークが２個の場合
のみそのピーク間隔を計算する。第５図の例では
x2−x1である。方向判別回路１０はピーク数が２
個であつて、かつその間隔が所定値範囲にあると
き、第５図の例では Ｐ−α≦x1−x2≦Ｐ＋α を満足するときのみ固体カメラ３が観測している
IC２の端部にノツチ２１があると判定して、方
向判定結果を出力する。
ツケージ上面の一端部にノツチ２１を有するIC
２を対象としており、第３図に拡大部分側面図に
示すようにノツチ２１の部分を斜方向から光源４
で照射すると、上方の固体カメラ３にはノツチ２
１の端部での正反射光ａが入射し、その他の部分
からの正反射光ｂは入射しない。従つて、第１図
に示したようなノツチ２１の両側からIC２を照
明すると、固体カメラ３の出力をＡ／Ｄ変換器５
でＡ／Ｄ変換し、更に２値化回路６で２値化した
後の二次元映像は第４図に示すようになり、ノツ
チ２１部分の輪郭が抽出できることになる。この
２直画像に対してヒストグラム作成回路８で固体
カメラ３の走査線方向の投影をとると、それは
IC２の長手方向の投影に相当することになり、
第５図のような投影図形が得られる。この投影図
形をピーク位置検出回路８でしきい値処理をし
て、しきい値レベルＴを越えるピークの数と、そ
の各中心位置を求める。第５図の例ではピークの
数は２個、ピークの位置はx1とx2とである。次い
で、ピーク間隔検出回路９はピークが２個の場合
のみそのピーク間隔を計算する。第５図の例では
x2−x1である。方向判別回路１０はピーク数が２
個であつて、かつその間隔が所定値範囲にあると
き、第５図の例では Ｐ−α≦x1−x2≦Ｐ＋α を満足するときのみ固体カメラ３が観測している
IC２の端部にノツチ２１があると判定して、方
向判定結果を出力する。
但し、Ｐ，αは常数である。
以上のように、この発明の方向判別装置では、
ICのパツケージ上面の一端部に両側斜上方から
光を照射し、撮像装置でノツチの輪郭を写し出
し、そのデータパターンの投影をとり、しきい値
処理してピークを求めるなどの統計的処理を行つ
て、ノツチが存在するかどうかと判別する方式を
採用したので、高速でしかもノイズに強い方向判
別機能が得られる。
ICのパツケージ上面の一端部に両側斜上方から
光を照射し、撮像装置でノツチの輪郭を写し出
し、そのデータパターンの投影をとり、しきい値
処理してピークを求めるなどの統計的処理を行つ
て、ノツチが存在するかどうかと判別する方式を
採用したので、高速でしかもノイズに強い方向判
別機能が得られる。
第１図はこの発明の一実施例の構成を示すブロ
ツク図、第２図はICの外形斜視図、第３図はIC
への光の照射と撮像状況を示す拡大部分側面図、
第４図は２値化回路で得られる２値化二次元映像
パターン図、第５図は投影図形（ヒストグラム）
の一例である。 図において、１はガイド、２は半導体集積回路
装置、３は撮像装置（固体カメラ）、４は光源、
５はＡ／Ｄ変換器、６は２値化回路、７はヒスト
グラム作成回路、８はピーク位置検出回路、９は
ピーク間隔検出回路、１０は方向判別回路、２１
はノツチである。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を
示す。
ツク図、第２図はICの外形斜視図、第３図はIC
への光の照射と撮像状況を示す拡大部分側面図、
第４図は２値化回路で得られる２値化二次元映像
パターン図、第５図は投影図形（ヒストグラム）
の一例である。 図において、１はガイド、２は半導体集積回路
装置、３は撮像装置（固体カメラ）、４は光源、
５はＡ／Ｄ変換器、６は２値化回路、７はヒスト
グラム作成回路、８はピーク位置検出回路、９は
ピーク間隔検出回路、１０は方向判別回路、２１
はノツチである。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を
示す。
Claims (1)
- １ パツケージの上面の一方の端部のみにノツチ
を有しガイドによつて所定位置に導かれた半導体
集積回路装置の一方の端部の上方から当該端部を
撮像する撮像装置、上記撮像装置が撮像する上記
半導体集積回路装置の端部をその両側斜上方から
照明する光源、上記撮像装置によつて得られる２
次元映像信号を当該２次元マトリクスの要素毎に
デイジタル化するＡ／Ｄ変換器、このＡ／Ｄ変換
器でデイジタル化された各信号を所定しきい値を
用いて２値化する２値化回路、上記２値化後の２
値化２次元映像信号パターンを所定方向に投影し
てヒストグラムを得るヒストグラム作成回路、上
記ヒストグラムをしきい値処理してピークの数
と、当該ピークの中心位置を求めるピーク位置検
出回路、ピークの数が２つのときその間隔を求め
るピーク間隔検出回路、及びピークの数が２つで
ありその間隔が所定範囲にあるときに当該半導体
集積回路装置が所定方向にあると判定する方向判
定回路を備えた半導体集積回路装置の方向判別装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20225284A JPS6177707A (ja) | 1984-09-25 | 1984-09-25 | 半導体集積回路装置の方向判別装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20225284A JPS6177707A (ja) | 1984-09-25 | 1984-09-25 | 半導体集積回路装置の方向判別装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6177707A JPS6177707A (ja) | 1986-04-21 |
| JPH0334802B2 true JPH0334802B2 (ja) | 1991-05-24 |
Family
ID=16454466
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20225284A Granted JPS6177707A (ja) | 1984-09-25 | 1984-09-25 | 半導体集積回路装置の方向判別装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6177707A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5060276A (en) * | 1989-05-31 | 1991-10-22 | At&T Bell Laboratories | Technique for object orientation detection using a feed-forward neural network |
| JPH04236317A (ja) * | 1991-01-21 | 1992-08-25 | Nec Corp | 表面実装ｉｃ極性検査装置 |
-
1984
- 1984-09-25 JP JP20225284A patent/JPS6177707A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6177707A (ja) | 1986-04-21 |
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