JPH0334346A - デバイスキャリア包囲容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、デバイスキャリア包囲容器に関する。

（従来の技術） 一般に、半導体デバイスは精密写真転写技術笠を用いて
半導体ウェハ上に多数形成され、この後、個々の半導体
デバイスに切断されるが、このような半導体製造工程に
おいて、切断前（半導体ウェハの状態）の半導体デバイ
スおよび切断後の半導体デバイスは、樹脂等から容器状
あるいはトレー状に形成されこれらの半導体デバイスを
所定位置に複数収容可能に構成されたいわゆるデバイス
キャリア内に収容され、搬送される。

すなわち、一般に半導体製造工程では、工程間の搬送等
に上述したようなデバイスキャリアを用い、各工程では
、このデバイスキャリアから処理部にロード・アンロー
ドして各工程における処理を行う。

したがって、各工程の半導体処理装置は、デバイスキャ
リアから半導体ウェハ等を処理部にロード・アンロード
するオートローダ−を備えたものが多い。また、このよ
うなオートローダ−においては、半導体デバイスに塵埃
等が付着することを防止するため、デバイスキャリアを
包囲する如く覆うデバイスキャリア包囲容器を設けたも
のが多い。

例えば、切断前（半導体ウェハの状態）の半導体デバイ
スの電気的な特性の検査を行うプローブ装置においては
、通常、半導体ウェハをＸ−Ｙ−２方向に移動させて、
この半導体ウェハ上に形成された半導体デバイスの電極
パッドをプローブカードの探針に接触させる測定ステー
ジ部の側方にオートローダ−が設けられている。そして
、このようなオートローダ−には、例えば端部に設けら
れた蝶つがい等により回動する如く開閉自在に構成され
、デバイスキャリアをロード・アンロードするための開
口部を形成する板状の蓋体等を備えたデバイスキャリア
包囲容器が設けられている。

（発明が解決しようとする課題） 上述したような半導体製造工程においては、周知のよう
に塵埃の存在が半導体デバイスの歩留りを低下させる大
きな要因となるため、従来からそのほとんどの工程はク
リーンルーム内で実施されている。また、近年では、半
導体デバイスの高集積化に伴い、クリーンルームにも、
例えばクラス１０等の超クリーン化が要求されており、
その単位床面積当りのコストは非常に高価になっている
。

このため、上述したようなデバイスキャリア包囲容器に
おいても、設置面璋を縮小して省スペース化を実現する
ことが当然要求される。

本発明は、かかる従来の事情に対処してなされたもので
、従来に較べて設置面積を縮小することができ、省スペ
ース化を実現してスペースファクタの向上を図ることの
できるデバイスキャリア包囲容器を提供しようとするも
のである。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） すなわち本発明は、デバイスが収納されたデバイスキャ
リアを包囲する如く覆うデバイスキャリア包囲容器にお
いて、複数に分割され前記デバイスキャリアの上面を覆
う如く配列された蓋体が、順次重なる如くスライドする
ことによって前記デバイスキャリアのロード・アンロー
ド′相開口部を形成するよう構成されていることを特徴
とする。

（作　用） 上記構成の本発明のデバイスキャリア包囲容器では、複
数に分割されデバイスキャリアの上面を覆う如く配列さ
れた蓋体が、順次重なる如くスライドすることによって
デバイスキャリアのロード・アンロード用開口部を形成
するよう構成されている。

したがって、例えば装置の周囲に蓋体を開閉するための
スペース等を設ける必要がなく、従来に較べて設置面積
を縮小することができ、省スペース化を実現してスペー
スファクタの向上を図ることができる。

（実施例） 以下、本発明のデバイスキャリア包囲容器をプローブ装
置に適用した実施例を図面を参照して説明する。

第２図に示すように、プローブ装置１は、中央部に設け
られたオートローダ一部２と、このオートローダ一部２
の両側に設けられた測定ステージ部３　ａ　ｓ　３　ｂ
とから構成されている。

上記測定ステージ部３ａ、３ｂには、例えば真空チャッ
ク等により、その上面に半導体ウェハ４を吸着保持し、
この半導体ウェハ４をｘ−ｙ−ｚ方向に移動させる測定
ステージ５が設けられている。また、測定ステージ５の
上方には、円形開口６が設けられており、この円形開口
６内には、多数の探針７を植設されたプローブカード８
が固定される。そして、７１？１定ステージ５をｘ−ｙ
−ｚ方向に移動させることにより、この上面に保持され
た半導体ウェハ４上に形成された半導体デバイスの電極
パッドと探針７を順次接触させ、各半導体デバイスの電
気的な特性の検査を行うよう構成されている。

一方、上記オートローダ一部２は、第１図にも示すよう
に複数枚の半導体ウェハ４を収容可能に構成されたデバ
イスキャリア（ウェハカセット）９を複数収容可能に構
成されており、例えばこれらのデバイスキャリア９を上
下動させる機構、デバイスキャリア９からから半導体ウ
ェハ５を測定ステージ部３ａ、３ｂの測定ステージ５に
ロード・アンロードする搬送アーム（いずれも図示せず
）等からなるオートローダ−が設けられている。

また、このオートローダ一部２には、デバイスキャリア
９を包囲する如く覆うデバイスキャリア包囲容器１０が
設けられている。このデバイスキャリア包囲容器１０に
は、第１図に示す如くデバイスキャリア９の上部および
側部を覆う如く構成され、前後方向に複数に分割、例え
ば２つに分割された蓋体１１ａ、ｌｌｂが設けられてい
る。これらの蓋体１１ａ、ｌｌｂは、前後にスライド可
能に構成されており、蓋体１１ａ、ｌｌｂを後方にスラ
イドさせると、蓋体１１ｂが蓋体１１ａ内に収容される
如＜蓋なった状態となるよう構成されている。また、前
部に配置された蓋体１１ａの前面には、例えば半透明な
アクリル系樹脂等からなる板状の前カバー１２が設けら
れている。この前カバー１２は、第１図に一点鎖線で示
すように、その上端部を軸として回転させる如く跳ね上
げ、蓋体１１ａの上部に挿入可能に構成されており、こ
の前カバー１２を蓋体１１ａ内に挿入した状態で、蓋体
１１ａと蓋体１１ｂとが重なるように後部にスライドさ
せ、デバイスキャリア９のロード・アンロード用開口部
を形成するよう構成されている。

なお、上記蓋体１１ａ、ｌｌｂをスライドさせる機構に
は、ロック機構が設けられており、前カバー１２を蓋体
１１ａ内に挿入しないと蓋体１１ａ、ｉｌｂが後方へス
ライドしないように、また、後部から前方へスライドさ
せる際には、蓋体１１ａ、ｌｌｂを所定位置まで前方へ
スライドさせた後でなければ前カバー１２を引き出すこ
とができないよう構成され、前カバー１２とデバイスキ
ャリア９および他の機械構成部品が干渉することを防止
することができるような構造となっている。

すなわち、例えばｍ３図に示すように、蓋体１１ａの両
側（第３図には片側のみ示す）には、長さ調節機構２０
を有し、上下動可能とされたシャフト２１が設けられて
おり、その上端部および下端部にはそれぞれベアリング
２２．２３が設けられている。また、下端部に設けられ
たベアリング２３がＭ置される如く、蓋体１１ａのスラ
イド方向に沿ってガイドレール２４が設けられており、
このガイドレール２４には、蓋体１１ａが最前部の所定
位置に位置した時にベアリング２３が落下しシャフト２
１が下降する如く溝２５が形成されている。一方、前カ
バー１２の側部には、前カバー１２の蓋体１１ａ上部へ
の挿入動作に伴って、シャフト２１が上昇する如くこの
シャフト２１上端部に設けられたベアリング２２をガイ
ドするガイド満２６が設けられている。

つまり、第３図（ａ）に示すように蓋体１１ａが最前部
の所定位置に位置し、ベアリング２３が溝２５内に落下
した状態では、蓋体１１ａは後方へスライドせず、第３
図（ｂ）に示すように前カバー１２を蓋体１１ａの上部
へ挿入し、ベアリング２２がガイド溝２６内に入りシャ
フト２１が上昇した状態となって始めて蓋体１１ａが後
方へスライドできるように構成されている。なお、逆に
、ベアリング２３が溝２５内に落下可能な位置、すなわ
ちシャフト２１が下降可能な位置でなければ、前カバー
１２を蓋体１１ａの上部から引き出すこともできないよ
う構成されている。

さらに、１６２図に示すように、オートローダ−部２の
後部には、支柱３１が設けられており、この支柱３１に
は、支持アーム３２を介して顕微鏡３３が支持されてい
る。そして、所望によりこの顕微鏡３３を測定ステージ
部３ａおよび測定ステージ部３ｂのプローブカード８上
方へ配置し、この顕微ｖ１３３の拡大像を目視しながら
、探針７と半導体ウェハ４上に形成された半導体デバイ
スの電極パッドとの初期位置合せ（ティーチング）等の
調整を行うことができるよう構成されている。

すなわち、上記構成のこの実施例では、デバイスキャリ
ア包囲容器１０が、前カバー１２を跳ね上げて蓋体１１
ａ内に挿入し、蓋体１１ａ、１１ｂが重なるように、こ
れらの蓋体１１ａ、ｌｌｂを後部にスライドさせ、デバ
イスキャリア９のロード・アンロード用開口部を形成す
るよう構成されている。このため、例えばプローブ装置
１の周囲に蓋体を開閉するためのスペース等を設ける必
要がなく、従来に較べて設置面積を縮小することができ
る。したがって、単位床面積当りのコストの高いクリー
ンルーム内に設置する場合であっても、省スペース化を
実現してスペースの有効利用を図ることができる。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明のデバイスキャリア包囲容
器によれば、従来に較べて設置面積を縮小することがで
き、省スペース化を実現してスペースファクタの向上を
図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の要部構成を示す図、第２図
は第１図の実施例の全体構成を示す図、第３図は第１図
の実施例のロック機構の動作を説明するための図である
。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）デバイスが収納されたデバイスキャリアを包囲す
   る如く覆うデバイスキャリア包囲容器において、 複数に分割され前記デバイスキャリアの上面を覆う如く
   配列された蓋体が、順次重なる如くスライドすることに
   よって前記デバイスキャリアのロード・アンロード用開
   口部を形成するよう構成されていることを特徴とするデ
   バイスキャリア包囲容器。