JPH033368A - 半導体圧力センサ素子の機能トリミング方法 - Google Patents
半導体圧力センサ素子の機能トリミング方法Info
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- JPH033368A JPH033368A JP13796289A JP13796289A JPH033368A JP H033368 A JPH033368 A JP H033368A JP 13796289 A JP13796289 A JP 13796289A JP 13796289 A JP13796289 A JP 13796289A JP H033368 A JPH033368 A JP H033368A
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- pressure sensor
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- semiconductor pressure
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 30
- 238000009966 trimming Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000005488 sandblasting Methods 0.000 description 1
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- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、半導体圧力センサ素子のオフセット電圧の零
調整に好適な機能トリミング方法に関する。
調整に好適な機能トリミング方法に関する。
［従来の技術］
一般に、半導体圧力センサ素子においては、圧力が印加
されていない状態における出力電圧、すなわち、オフセ
ット電圧の零調整などを機能トリミング方法によって行
っている。
されていない状態における出力電圧、すなわち、オフセ
ット電圧の零調整などを機能トリミング方法によって行
っている。
第１図は、かかる機能トリミングのための装置の概略構
成図であり、同図において、１はサンドブラスト法によ
るトリミングを行うトリマー本体、２は半導体圧力セン
サ素子、３はこの半導体圧力センサ素子２の受圧面に印
加する圧力を設定する圧力制御装置である。
成図であり、同図において、１はサンドブラスト法によ
るトリミングを行うトリマー本体、２は半導体圧力セン
サ素子、３はこの半導体圧力センサ素子２の受圧面に印
加する圧力を設定する圧力制御装置である。
従来の機能トリミング方法においては、オフセット電圧
の零調整は、圧力制御装置３によって、半導体圧力セン
サ素子２の受圧面に印加される圧力を０（ｍｍＨｇ）、
すなわち、真空に設定し、出力電圧が０になるように半
導体圧力センサ素子２の厚膜抵抗体をトリミングするこ
とにより行われている。
の零調整は、圧力制御装置３によって、半導体圧力セン
サ素子２の受圧面に印加される圧力を０（ｍｍＨｇ）、
すなわち、真空に設定し、出力電圧が０になるように半
導体圧力センサ素子２の厚膜抵抗体をトリミングするこ
とにより行われている。
［発明が解決しようとする課題］
このようにオフセット電圧の零調整は、半導体圧力セン
サ素子の受圧面に印加する圧力をＯ（＋ｎｉ＋Ｈｇ）、
すなわち、真空にするため１こ非常に時間がかかるとい
う難点がある。
サ素子の受圧面に印加する圧力をＯ（＋ｎｉ＋Ｈｇ）、
すなわち、真空にするため１こ非常に時間がかかるとい
う難点がある。
本発明は、上述の点に鑑みて為されたものであって、オ
フセット電圧の零調整のための時間を短縮することを目
的とする。
フセット電圧の零調整のための時間を短縮することを目
的とする。
［課題を解決するための手段］
本発明では、半導体圧力センサ素子における出力電圧Ｖ
ｏ ｕ ｔと印加圧力Ｐとの関係は、第２図の実線で示
されるように、直線関係であり、したがって、少なくと
も任意の２点ａ 、ｂにおける出力電圧値Ｖａ 、Ｖｂ
を測定することにより、これらに基づいて、オフセット
電圧Ｖｃの近似値を算出できるという点に着目して次の
ようにしている。
ｏ ｕ ｔと印加圧力Ｐとの関係は、第２図の実線で示
されるように、直線関係であり、したがって、少なくと
も任意の２点ａ 、ｂにおける出力電圧値Ｖａ 、Ｖｂ
を測定することにより、これらに基づいて、オフセット
電圧Ｖｃの近似値を算出できるという点に着目して次の
ようにしている。
すなわち、本発明は、半導体圧力センサ素子のオフセッ
ト電圧の零調整のための機能トリミング方法であって、
前記半導体圧力センサ素子の受圧面に、互いに異なる圧
力をそれぞれ印加したときの各出力電圧値に基づいてオ
フセット電圧の近似値を予め算出し、前記算出されたオ
フセット電圧の近似値に対応する出力電圧分だけ前記半
導体圧力センサ素子の抵抗体をトリミングするようにし
ている。
ト電圧の零調整のための機能トリミング方法であって、
前記半導体圧力センサ素子の受圧面に、互いに異なる圧
力をそれぞれ印加したときの各出力電圧値に基づいてオ
フセット電圧の近似値を予め算出し、前記算出されたオ
フセット電圧の近似値に対応する出力電圧分だけ前記半
導体圧力センサ素子の抵抗体をトリミングするようにし
ている。
［作用］
上記構成によれば、互いに異なる圧力を印加したときの
出力電圧値からオフセット電圧の近似値を予め算出し、
このオフセット電圧の近似値に対応する出力電圧分だけ
トリミングを行うようにしているので、従来例のように
、半導体圧力センサ素子の受圧面を真空にする必要がな
くなり、オフセット電圧の零調整の時間が大幅に短縮さ
れることになる。
出力電圧値からオフセット電圧の近似値を予め算出し、
このオフセット電圧の近似値に対応する出力電圧分だけ
トリミングを行うようにしているので、従来例のように
、半導体圧力センサ素子の受圧面を真空にする必要がな
くなり、オフセット電圧の零調整の時間が大幅に短縮さ
れることになる。
［実施例コ
以下、本発明の実施例について詳細に説明する。
本発明の機能トリミング方法を実施するためのトリミン
グ装置は、上述の第１図の構成と同様であり、サンドブ
ラスト法によるトリミングを行うトリマー本体１と、半
導体圧力センサ素子２の受圧面に印加する圧力を設定す
る圧力制御装置３とを備えている。
グ装置は、上述の第１図の構成と同様であり、サンドブ
ラスト法によるトリミングを行うトリマー本体１と、半
導体圧力センサ素子２の受圧面に印加する圧力を設定す
る圧力制御装置３とを備えている。
この実施例の機能トリミング方法では、オフセット電圧
の零調整は、圧力制御装置３によって、半導体圧力セン
サ素子２の受圧面に、異なる圧力をそれぞれ印加し、各
出力電圧を測定する。例えば、第２図の特性図において
、圧力ａを印加したときの出力電圧Ｖａおよび圧力すを
印加したときの出力電圧ｖｂを測定する。そして、出力
電圧と印加電圧とがリニアの関係であるという点に着目
して、前記値ａ 、ｂ 、Ｖａ 、Ｖｂに基づいて、オ
フセット電圧Ｖｃの近似値を予め算出する。
の零調整は、圧力制御装置３によって、半導体圧力セン
サ素子２の受圧面に、異なる圧力をそれぞれ印加し、各
出力電圧を測定する。例えば、第２図の特性図において
、圧力ａを印加したときの出力電圧Ｖａおよび圧力すを
印加したときの出力電圧ｖｂを測定する。そして、出力
電圧と印加電圧とがリニアの関係であるという点に着目
して、前記値ａ 、ｂ 、Ｖａ 、Ｖｂに基づいて、オ
フセット電圧Ｖｃの近似値を予め算出する。
次に、この算出されたオフセット電圧Ｖｃの近似値に対
応する出力電圧分だけ半導体圧力センサ素子２の厚膜抵
抗体をトリミングする。すなわち、例えば、半導体圧力
センサ素子２に圧力ａを印加したときの出力電圧Ｖａが
、Ｖａ−Ｖｃになるようにトリミングしてオフセット電
圧の零調整を行い、これによって、第２図の仮想線で示
される特性としている。
応する出力電圧分だけ半導体圧力センサ素子２の厚膜抵
抗体をトリミングする。すなわち、例えば、半導体圧力
センサ素子２に圧力ａを印加したときの出力電圧Ｖａが
、Ｖａ−Ｖｃになるようにトリミングしてオフセット電
圧の零調整を行い、これによって、第２図の仮想線で示
される特性としている。
このように異なる圧力を印加したときの出力電圧値に基
づいて、オフセット電圧の近似値を予め算出し、このオ
フセット電圧の近似値に対応する出力電圧分だけトリミ
ングを行ってオフセット電圧の零調整を行うので、従来
例のように、半導体圧力センサ素子２？こ印加する圧力
を０（ＩＩｌｍＨｇ）、すなわち、真空にする必要がな
く、したがって、真空にするために長時間を要するとい
ったことがなくなり、オフセット電圧の零調整のための
時間が短縮されることになる。
づいて、オフセット電圧の近似値を予め算出し、このオ
フセット電圧の近似値に対応する出力電圧分だけトリミ
ングを行ってオフセット電圧の零調整を行うので、従来
例のように、半導体圧力センサ素子２？こ印加する圧力
を０（ＩＩｌｍＨｇ）、すなわち、真空にする必要がな
く、したがって、真空にするために長時間を要するとい
ったことがなくなり、オフセット電圧の零調整のための
時間が短縮されることになる。
［発明の効果］
以上の上ゲに本発明によれば、半導体圧力センサ素子の
受圧面に、互いに異なる圧力をそれぞれ印加したときの
各出力電圧値に基づいてオフセット電圧の近似値を予め
算出し、この算出されたオフセット電圧の近似値に対応
する出力電圧分だけ半導体圧力センサ素子の抵抗体をト
リミングすることによりオフセット電圧の零調整を行う
ようにしているので、半導体圧力センサ素子に印加する
圧力を、従来例のように長時間かけてＱ（ｍｍＨｇ）に
する必要がなくなり、これによって、オフセット電圧の
零調整の時間が大幅に短縮されることになる。
受圧面に、互いに異なる圧力をそれぞれ印加したときの
各出力電圧値に基づいてオフセット電圧の近似値を予め
算出し、この算出されたオフセット電圧の近似値に対応
する出力電圧分だけ半導体圧力センサ素子の抵抗体をト
リミングすることによりオフセット電圧の零調整を行う
ようにしているので、半導体圧力センサ素子に印加する
圧力を、従来例のように長時間かけてＱ（ｍｍＨｇ）に
する必要がなくなり、これによって、オフセット電圧の
零調整の時間が大幅に短縮されることになる。
第１図はトリミング装置の概略構成図、第２図は半導体
圧力センサ素子の出力電圧と印加圧力との関係を示す特
性図である。 １・・・トリマー本体、２・・・半導体圧力センサ素子
、３・・・圧力制御装置。
圧力センサ素子の出力電圧と印加圧力との関係を示す特
性図である。 １・・・トリマー本体、２・・・半導体圧力センサ素子
、３・・・圧力制御装置。
Claims (1)
- （１）半導体圧力センサ素子のオフセット電圧の零調整
のための機能トリミング方法であって、前記半導体圧力
センサ素子の受圧面に、互いに異なる圧力をそれぞれ印
加したときの各出力電圧値に基づいてオフセット電圧の
近似値を予め算出し、 前記算出されたオフセット電圧の近似値に対応する出力
電圧分だけ前記半導体圧力センサ素子の抵抗体をトリミ
ングすることを特徴とする半導体圧力センサ素子の機能
トリミング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13796289A JPH033368A (ja) | 1989-05-31 | 1989-05-31 | 半導体圧力センサ素子の機能トリミング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13796289A JPH033368A (ja) | 1989-05-31 | 1989-05-31 | 半導体圧力センサ素子の機能トリミング方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH033368A true JPH033368A (ja) | 1991-01-09 |
Family
ID=15210797
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13796289A Pending JPH033368A (ja) | 1989-05-31 | 1989-05-31 | 半導体圧力センサ素子の機能トリミング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH033368A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010045135A (ko) * | 1999-11-03 | 2001-06-05 | 방국범 | 퍼터 |
| WO2002063265A1 (en) * | 2001-02-08 | 2002-08-15 | Tgk Co., Ltd. | Method for adjusting pressure sensor |
-
1989
- 1989-05-31 JP JP13796289A patent/JPH033368A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010045135A (ko) * | 1999-11-03 | 2001-06-05 | 방국범 | 퍼터 |
| WO2002063265A1 (en) * | 2001-02-08 | 2002-08-15 | Tgk Co., Ltd. | Method for adjusting pressure sensor |
| US6889554B2 (en) | 2001-02-08 | 2005-05-10 | Tgk Co., Ltd. | Method of adjusting pressure sensor |
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