JPH0331207B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0331207B2 JPH0331207B2 JP58028209A JP2820983A JPH0331207B2 JP H0331207 B2 JPH0331207 B2 JP H0331207B2 JP 58028209 A JP58028209 A JP 58028209A JP 2820983 A JP2820983 A JP 2820983A JP H0331207 B2 JPH0331207 B2 JP H0331207B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrator
- diaphragm
- pressure
- oscillation circuit
- sides
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 14
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 3
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
- G01H13/00—Measuring resonant frequency
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、振動子の固有振動数が振動子の軸方
向に与えられる力（軸力）によつて変化すること
を利用した振動式トランスデユーサに関し、さら
に詳しくは、被測定圧力を受けるダイヤフラム
と、このダイヤフラムの結合させた振動子とから
なり、振動子周囲の雰囲気の影響を受けないで被
測定圧力を検出できるようにした振動式トランス
デユーサに関する。
向に与えられる力（軸力）によつて変化すること
を利用した振動式トランスデユーサに関し、さら
に詳しくは、被測定圧力を受けるダイヤフラム
と、このダイヤフラムの結合させた振動子とから
なり、振動子周囲の雰囲気の影響を受けないで被
測定圧力を検出できるようにした振動式トランス
デユーサに関する。
振動子の固有振動数は、振動子周囲の流体圧力
や密度、温度あるいは振動子に与えられる力等各
種の物理量によつて変化するので、この固有振動
数を検出することによつて、各種の物理量を知る
ことができる。この様な原理に基づく振動式トラ
ンスデユーサは、例えば特開昭55−98314号公報
等で従来より公知である。
や密度、温度あるいは振動子に与えられる力等各
種の物理量によつて変化するので、この固有振動
数を検出することによつて、各種の物理量を知る
ことができる。この様な原理に基づく振動式トラ
ンスデユーサは、例えば特開昭55−98314号公報
等で従来より公知である。
しかしながら、この様な従来の振動式トランス
デユーサにおいては、例えば円筒形の振動子が用
いられていて、この振動子が外部から導かれた被
測定流体に直接接触するような構成であつて、被
測定流体が直接振動子に接触することによる各種
の問題点、例えば振動子が被測定流体により腐蝕
したり、ゴミなどが付着する等の問題点があつ
た。
デユーサにおいては、例えば円筒形の振動子が用
いられていて、この振動子が外部から導かれた被
測定流体に直接接触するような構成であつて、被
測定流体が直接振動子に接触することによる各種
の問題点、例えば振動子が被測定流体により腐蝕
したり、ゴミなどが付着する等の問題点があつ
た。
また、振動子の固有振動数が各種の物理量によ
つて変わるために、測定しようとする物理量以外
の外乱の影響を大巾に受け易いという問題点もあ
つた。
つて変わるために、測定しようとする物理量以外
の外乱の影響を大巾に受け易いという問題点もあ
つた。
本発明は、これらの問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、振動子が被測定流体に直接接
触しない構成とすると共に、振動子周囲の雰囲気
の影響を受けないで被測定圧力を高い精度で検出
できるようにした振動式トランスデユーサを提供
することにある。
ので、その目的は、振動子が被測定流体に直接接
触しない構成とすると共に、振動子周囲の雰囲気
の影響を受けないで被測定圧力を高い精度で検出
できるようにした振動式トランスデユーサを提供
することにある。
本発明に係わる装置は、
受圧面の外周が環状の支持部において支持され
たダイヤフラムと、 このダイヤフラムの両面に測定圧力が導入され
当該ダイヤフラムの両面側に圧力室を形成するケ
ースと、 ダイヤフラムの両面側に導入された圧力の差に
よつてダイヤフラムに生ずる力が軸力として加わ
るように一端が当該ダイヤフラムの中心部に他端
がケースにそれぞれ固着された第１の振動子と、 この第１の振動子が配置されている圧力室と同
じ雰囲気中に前記軸力が加わらないように設置さ
れた第２の振動子と、 前記第１の振動子を含んで形成される第１の発
振回路と、 前記第２の振動子を含んで構成される第２の発
振回路と、 前記第１の発振回路から得られる周波数信号f1
と前記第２の発振回路から得られる周波数信号f2
とを入力し、f2／f1またはf1／f2なる演算を含む
所定の演算を行なう演算手段とを備えている点に
特徴がある。
たダイヤフラムと、 このダイヤフラムの両面に測定圧力が導入され
当該ダイヤフラムの両面側に圧力室を形成するケ
ースと、 ダイヤフラムの両面側に導入された圧力の差に
よつてダイヤフラムに生ずる力が軸力として加わ
るように一端が当該ダイヤフラムの中心部に他端
がケースにそれぞれ固着された第１の振動子と、 この第１の振動子が配置されている圧力室と同
じ雰囲気中に前記軸力が加わらないように設置さ
れた第２の振動子と、 前記第１の振動子を含んで形成される第１の発
振回路と、 前記第２の振動子を含んで構成される第２の発
振回路と、 前記第１の発振回路から得られる周波数信号f1
と前記第２の発振回路から得られる周波数信号f2
とを入力し、f2／f1またはf1／f2なる演算を含む
所定の演算を行なう演算手段とを備えている点に
特徴がある。
第１図は、本発明に係わる装置の電気回路の一
例を示す構成ブロツク図である。この図におい
て、１は第１の振動子で、ここでは平行ビームで
構成されたものを示すが他の構造の振動子でもよ
い。この第１の振動子１には、例えば測定すべき
力Ｆが与えられている。11は振動子１の励振手
段、12は振動子１の振動検出手段で、これらは例
えば圧電素子が使用される。２は第２の振動子
で、ここでは音叉形のものを示しているが、他の
構造のものが使用可能である。21は振動子２の励
振手段、22は振動子２の振動検出手段である。３
１，３２はそれぞれ増幅器で、入出力端間に振動
検出手段１２，２２、励振手段１１，２１を介し
て第１、第２の振動子１，２が結合しており、こ
れらの各振動子を含んで、第１の自励振回路
OSC1、第２の自励振回路OSC2をそれぞれ形成し
ている。
例を示す構成ブロツク図である。この図におい
て、１は第１の振動子で、ここでは平行ビームで
構成されたものを示すが他の構造の振動子でもよ
い。この第１の振動子１には、例えば測定すべき
力Ｆが与えられている。11は振動子１の励振手
段、12は振動子１の振動検出手段で、これらは例
えば圧電素子が使用される。２は第２の振動子
で、ここでは音叉形のものを示しているが、他の
構造のものが使用可能である。21は振動子２の励
振手段、22は振動子２の振動検出手段である。３
１，３２はそれぞれ増幅器で、入出力端間に振動
検出手段１２，２２、励振手段１１，２１を介し
て第１、第２の振動子１，２が結合しており、こ
れらの各振動子を含んで、第１の自励振回路
OSC1、第２の自励振回路OSC2をそれぞれ形成し
ている。
第１の振動子１と、第２の振動子２とは、同一
の雰囲気となるように、ケース１０内に設置され
ている。
の雰囲気となるように、ケース１０内に設置され
ている。
４は、演算表示手段で、第１の自励振回路
OSC1から得られる周波数信号f1と、第２の自励
振回路OSC2から得られる周波数信号f2とを入力
している。この演算表示手段において、４１は周
波数信号f1を分周する分周器、４２は周波数信号
f2の極性を反転するインバータ、４３は分周器４
１からの信号及びインバータ４２からの信号を入
力するゲート回路、４４はゲート回路４３を介し
て印加される周波数信号f2をクロツク信号として
計数するカウンタ、４５はカウンタ４４からの計
数値を入力する演算表示回路である。この演算表
示手段４は、f2／f1なる演算を含む所定の演算を
行ない、その演算結果を表示する。
OSC1から得られる周波数信号f1と、第２の自励
振回路OSC2から得られる周波数信号f2とを入力
している。この演算表示手段において、４１は周
波数信号f1を分周する分周器、４２は周波数信号
f2の極性を反転するインバータ、４３は分周器４
１からの信号及びインバータ４２からの信号を入
力するゲート回路、４４はゲート回路４３を介し
て印加される周波数信号f2をクロツク信号として
計数するカウンタ、４５はカウンタ４４からの計
数値を入力する演算表示回路である。この演算表
示手段４は、f2／f1なる演算を含む所定の演算を
行ない、その演算結果を表示する。
このように構成した装置において、第１の自励
振回路OSC1から得られる周波数信号f1（振動子１
の固有振動数に対応）及び、第２の自励振回路
OSC2から得られる周波数信号f2（振動子２の固有
振動数に対応）は、(1)式及び(2)式で示すことがで
きる。
振回路OSC1から得られる周波数信号f1（振動子１
の固有振動数に対応）及び、第２の自励振回路
OSC2から得られる周波数信号f2（振動子２の固有
振動数に対応）は、(1)式及び(2)式で示すことがで
きる。
f1≒g1（α1，E1，L1，ρ11，ρ12，V1，Q1）
｛１＋Ｋ（F0−F1）｝1/2 (1)
f2≒g2（α2，E2，L2，ρ21，ρ22，V2，Q2）(2)
ただし、
（F0−F1）：振動子１に与えられる力
α1，α2：第１、第２の振動子の振動モードにより
決まる定数 E1，E2：第１、第２の振動子の弾性定数 L1，L2：第１、第２の振動子の形状によつて決
まる定数 ρ11，ρ21：第１、第２の振動子の密度 ρ12，ρ22：第１、第２の振動子周囲の流体密度 V1，V2：ボアソン比 Q1，Q2：その他、例えば圧電素子の接着の影響
等総括した定数 演算表示回路４において、分周器４１は周波数
信号f1を分周し、ゲート回路４３に印加し、ゲー
ト回路４３は、これが開となつている間、インバ
ータ４２を介して印加される周波数信号f2をカウ
ンタ４４に印加する。カウンタ４４は、この周波
数信号f2をクロツクパルスとして計数するもの
で、その計数値Ｎは(3)式に示すようにf2／f1なる
演算をしたものとなる。
決まる定数 E1，E2：第１、第２の振動子の弾性定数 L1，L2：第１、第２の振動子の形状によつて決
まる定数 ρ11，ρ21：第１、第２の振動子の密度 ρ12，ρ22：第１、第２の振動子周囲の流体密度 V1，V2：ボアソン比 Q1，Q2：その他、例えば圧電素子の接着の影響
等総括した定数 演算表示回路４において、分周器４１は周波数
信号f1を分周し、ゲート回路４３に印加し、ゲー
ト回路４３は、これが開となつている間、インバ
ータ４２を介して印加される周波数信号f2をカウ
ンタ４４に印加する。カウンタ４４は、この周波
数信号f2をクロツクパルスとして計数するもの
で、その計数値Ｎは(3)式に示すようにf2／f1なる
演算をしたものとなる。
Ｎ＝f2／f1≒g2（α2，E2，L2，ρ21，ρ22，V2，Q2）
／g1（α1，E1，L1，ρ11，ρ12，V1，Q1）｛１＋Ｋ（F
0−F1）｝1/2(3) (3)式において、第１、第２の振動子の各定数
（α、Ｅ、Ｌ、ρ、Ｖ、Ｑ）をそれぞれ等しくな
るように設計すれば、演算結果Ｎは、これらの各
定数の変化による外乱の影響が除去され、第１の
振動子１に与えられる力（F0−F1）に対応した
ものとなり、これが表示回路４５に表示される。
なお、演算表示回路４は、第１図に示すブロツク
図に限定されず、例えばマイクロプロセツサ等を
利用してもよく、f1／f2なる演算を行なうように
してもよい。
／g1（α1，E1，L1，ρ11，ρ12，V1，Q1）｛１＋Ｋ（F
0−F1）｝1/2(3) (3)式において、第１、第２の振動子の各定数
（α、Ｅ、Ｌ、ρ、Ｖ、Ｑ）をそれぞれ等しくな
るように設計すれば、演算結果Ｎは、これらの各
定数の変化による外乱の影響が除去され、第１の
振動子１に与えられる力（F0−F1）に対応した
ものとなり、これが表示回路４５に表示される。
なお、演算表示回路４は、第１図に示すブロツク
図に限定されず、例えばマイクロプロセツサ等を
利用してもよく、f1／f2なる演算を行なうように
してもよい。
第２図は、本発明に係る装置の具体的な構成例
を示す説明図である。
を示す説明図である。
この図において、１は第１の振動子、２は第２
の振動子で、これらは共通のケース１０内に設置
されている。ここでケース１０は、上部ケース６
０、下部ケース７０で構成されている。５０はダ
イヤフラム、８０はベース、OSC1，OSC2はそれ
ぞれ第１、第２の発振回路である。
の振動子で、これらは共通のケース１０内に設置
されている。ここでケース１０は、上部ケース６
０、下部ケース７０で構成されている。５０はダ
イヤフラム、８０はベース、OSC1，OSC2はそれ
ぞれ第１、第２の発振回路である。
第１の振動子１は、加えられる軸力に応じて共
振周波数が変化するものであつて、ここでは平行
な２本の横振動梁１ａ，１ｂ，これら梁１ａ，１
ｂの両端をそれぞれ連結する連結部１３，１４、
フレクシヤ１５，１６、取付部１７，１８等が共
通の部材をプレス加工することにより一体成形さ
れている。なお、連結部１４の両側には圧電素子
１１，１２が設けられている。第２の振動子２
は、ここで音叉形のものを示す。
振周波数が変化するものであつて、ここでは平行
な２本の横振動梁１ａ，１ｂ，これら梁１ａ，１
ｂの両端をそれぞれ連結する連結部１３，１４、
フレクシヤ１５，１６、取付部１７，１８等が共
通の部材をプレス加工することにより一体成形さ
れている。なお、連結部１４の両側には圧電素子
１１，１２が設けられている。第２の振動子２
は、ここで音叉形のものを示す。
ダイヤフラム５０は、受圧面の外周が環状の支
持部５２において支持されるとともに、受圧面の
中心部において第１の振動子１の一端が固着され
ており、ダイヤフラム５０が受ける圧力によつて
生ずる力を、第１の振動子１に軸力として加える
ものである。
持部５２において支持されるとともに、受圧面の
中心部において第１の振動子１の一端が固着され
ており、ダイヤフラム５０が受ける圧力によつて
生ずる力を、第１の振動子１に軸力として加える
ものである。
ベース８０の一端にはダイヤフラム５０の支持
部５２の内周に嵌め合う環状の段付部８１が形成
され、他端には振動子１の他端を固着するための
筒状の取付部８２が形成されている。なお、ベー
ス８０の外周にも、上部ケース６０の嵌め合う環
状の段付部８３が形成されている。また、ベース
８０の中央部には、振動子１を配置するための連
通筒８４が形成されている。
部５２の内周に嵌め合う環状の段付部８１が形成
され、他端には振動子１の他端を固着するための
筒状の取付部８２が形成されている。なお、ベー
ス８０の外周にも、上部ケース６０の嵌め合う環
状の段付部８３が形成されている。また、ベース
８０の中央部には、振動子１を配置するための連
通筒８４が形成されている。
上部ケース６０は、ダイヤフラム５０を内包す
るようにして、ベース８０の外周の段付部８３に
嵌め合わされている。この上部ケース６０には、
被測定圧力Pxの入力孔８１が設けられている。
るようにして、ベース８０の外周の段付部８３に
嵌め合わされている。この上部ケース６０には、
被測定圧力Pxの入力孔８１が設けられている。
下部ケース７０は、ベース８０の下部に嵌め合
わされている。この下部ケース７０には、第１の
振動子１に設けられた圧電素子１１，１２を外部
の第１の発振回路OSC1に接続するための端子７
１，７２が設けられている。
わされている。この下部ケース７０には、第１の
振動子１に設けられた圧電素子１１，１２を外部
の第１の発振回路OSC1に接続するための端子７
１，７２が設けられている。
また、第２の振動子２に設けられた圧電素子２
１，２２を外部の第２の発振回路OSC2に接続す
るための端子７３，７４が設けられている。この
下部ケース７０の側壁には、圧力P0の入力孔75
が設けられている。
１，２２を外部の第２の発振回路OSC2に接続す
るための端子７３，７４が設けられている。この
下部ケース７０の側壁には、圧力P0の入力孔75
が設けられている。
このように構成された装置の動作について次に
説明する。
説明する。
ダイヤフラム５０と上部ケース６０との間に
は、圧力Pxが導入される圧力室Ｒが形成されて
おり、ダイヤフラム５０は圧力Pxと、圧力P0と
の差圧に応じた力を受け、この力を第１の振動子
１に軸力として加える。これにより、第１の振動
子１の固有振動数は加えられる軸力及び、第１の
振動子１の周囲の雰囲気に応じて変化する。
は、圧力Pxが導入される圧力室Ｒが形成されて
おり、ダイヤフラム５０は圧力Pxと、圧力P0と
の差圧に応じた力を受け、この力を第１の振動子
１に軸力として加える。これにより、第１の振動
子１の固有振動数は加えられる軸力及び、第１の
振動子１の周囲の雰囲気に応じて変化する。
一方、第２の振動子２は、このような差圧によ
つて生ずる力は加えられておらず、もつぱらケー
ス１０内の雰囲気（圧力P0の流体）に応じた固
有振動数で変化する。
つて生ずる力は加えられておらず、もつぱらケー
ス１０内の雰囲気（圧力P0の流体）に応じた固
有振動数で変化する。
ここで、ケース１０において、第１の振動子１
と第２の振動子２が配置されているダイヤフラム
５０で仕切られた一方の部屋は、例えばゴミなど
が除去された標準の圧力流体が導入されていて、
同一雰囲気内にあるので、演算表示回路４で、前
記(3)式の演算を行うことにより、雰囲気の変化に
よる影響を除去することができる。
と第２の振動子２が配置されているダイヤフラム
５０で仕切られた一方の部屋は、例えばゴミなど
が除去された標準の圧力流体が導入されていて、
同一雰囲気内にあるので、演算表示回路４で、前
記(3)式の演算を行うことにより、雰囲気の変化に
よる影響を除去することができる。
以上詳細に説明したように、本発明によれば、
被測定圧力流体をおダイヤフラムの方の面に導
き、他方の面には例えば標準の圧力を持つ流体を
導く構成にできもので、第１の振動子および第２
の振動子が直接被測定流体に接触せず、従つて、
振動子が外部流体に汚染されたり、これに埃やゴ
ミなどが付着して振動条件が時間の経過と共に変
化するという事態を解決できる。
被測定圧力流体をおダイヤフラムの方の面に導
き、他方の面には例えば標準の圧力を持つ流体を
導く構成にできもので、第１の振動子および第２
の振動子が直接被測定流体に接触せず、従つて、
振動子が外部流体に汚染されたり、これに埃やゴ
ミなどが付着して振動条件が時間の経過と共に変
化するという事態を解決できる。
また、第１の振動子にダイヤフラムに発生する
力を軸力として与え、第２の振動子にはこの軸力
を与えず、両振動子を同一雰囲気中に配置する構
成としたことから、簡単な構成で、かつ周囲の雰
囲気に影響されないで被測定流体の圧力を高い精
度で検出することができる。
力を軸力として与え、第２の振動子にはこの軸力
を与えず、両振動子を同一雰囲気中に配置する構
成としたことから、簡単な構成で、かつ周囲の雰
囲気に影響されないで被測定流体の圧力を高い精
度で検出することができる。
第１図は本発明に係る装置の一例を示す構成ブ
ロツク図、第２図は本発明に係る装置の具体的な
構成例を示す説明図である。 １……第１の振動子、２……第２の振動子、
OSC1……第１の発振回路、OSC2……第２の発振
回路、４……演算表示手段、１０……ケース。
ロツク図、第２図は本発明に係る装置の具体的な
構成例を示す説明図である。 １……第１の振動子、２……第２の振動子、
OSC1……第１の発振回路、OSC2……第２の発振
回路、４……演算表示手段、１０……ケース。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 受圧面の外周が環状の支持部において支持さ
れたダイヤフラムと、 このダイヤフラムの両面に測定圧力が導入され
当該ダイヤフラムの両面側に圧力室を形成するケ
ースと、 ダイヤフラムの両面側に導入された圧力の差に
よつてダイヤフラムに生ずる力が軸力として加わ
るように一端が当該ダイヤフラムの中心部に他端
がケースにそれぞれ固着された第１の振動子と、 この第１の振動子が配置されている圧力室と同
じ雰囲気中に前記軸力が加わらないように設置さ
れた第２の振動子と、 前記第１の振動子を含んで形成される第１の発
振回路と、 前記第２の振動子を含んで構成される第２の発
振回路と、 前記第１の発振回路から得られる周波数信号f1
と前記第２の発振回路から得られる周波数信号f2
とを入力し、f2／f1またはf1／f2なる演算を含む
所定の演算を行なう演算手段とを備えた振動式ト
ランスデユーサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58028209A JPS59153130A (ja) | 1983-02-22 | 1983-02-22 | 振動式トランスデユ−サ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58028209A JPS59153130A (ja) | 1983-02-22 | 1983-02-22 | 振動式トランスデユ−サ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59153130A JPS59153130A (ja) | 1984-09-01 |
| JPH0331207B2 true JPH0331207B2 (ja) | 1991-05-02 |
Family
ID=12242258
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58028209A Granted JPS59153130A (ja) | 1983-02-22 | 1983-02-22 | 振動式トランスデユ−サ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59153130A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010101708A (ja) * | 2008-10-22 | 2010-05-06 | Digi I's Ltd | 荷重センサ、秤 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61212737A (ja) * | 1985-03-18 | 1986-09-20 | Yokogawa Electric Corp | 力検出装置 |
| JP2550054Y2 (ja) * | 1988-12-13 | 1997-10-08 | 日産ディーゼル工業株式会社 | 車両の自動変速装置 |
| JP5285861B2 (ja) * | 2007-02-22 | 2013-09-11 | 新光電子株式会社 | 荷重変換用音叉振動装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5598314A (en) * | 1979-01-19 | 1980-07-26 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Detecting device |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5937715Y2 (ja) * | 1979-01-19 | 1984-10-19 | 横河電機株式会社 | 圧力計 |
-
1983
- 1983-02-22 JP JP58028209A patent/JPS59153130A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5598314A (en) * | 1979-01-19 | 1980-07-26 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Detecting device |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010101708A (ja) * | 2008-10-22 | 2010-05-06 | Digi I's Ltd | 荷重センサ、秤 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59153130A (ja) | 1984-09-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5323638A (en) | Sensor apparatus | |
| JPS604836A (ja) | 振動クオ−ツダイアフラム圧力感知器 | |
| JPH08105912A (ja) | 加速度センサ | |
| US6230565B1 (en) | Pressure-compensated transducers, pressure-compensated accelerometers, force-sensing methods, and acceleration-sensing methods | |
| EP0777116B1 (en) | Pressure sensor with rectangular layers and transverse transducer | |
| JPH0331207B2 (ja) | ||
| US6079266A (en) | Fluid-level measurement by dynamic excitation of a pressure- and fluid-load-sensitive diaphragm | |
| JPH0129550Y2 (ja) | ||
| JPS5857693B2 (ja) | 温度計 | |
| GB2209219A (en) | Vibrating tube pressure sensor | |
| JPS6118450Y2 (ja) | ||
| JPS5937715Y2 (ja) | 圧力計 | |
| JPS5844321A (ja) | 振動式力検出器 | |
| SU847094A1 (ru) | Пьезоэлектрический манометр | |
| SU585413A1 (ru) | Устройство дл измерени нат жени | |
| JPS6139609B2 (ja) | ||
| JPS59128405A (ja) | 水晶歪ゲ−ジ | |
| JPS646837A (en) | Vibration type differential pressure sensor | |
| SU742762A1 (ru) | Камертонный плотномер дл жидких сред | |
| JPH02161323A (ja) | 質量測定器 | |
| SU1186977A1 (ru) | Датчик давлени с частотным выходным сигналом | |
| SU1161828A1 (ru) | Устройство дл определени разбаланса ветвей камертона кварцевого резонатора | |
| KR840001177B1 (ko) | 압력계 | |
| SU1000806A1 (ru) | Частотный датчик давлени | |
| JPS6033057A (ja) | 加速度センサ |