JPS604836A - 振動クオ−ツダイアフラム圧力感知器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （１）発明の背景 イ）発明の分野 本発明は一般には圧力感知器に関するものであり、より
特定すれば、高度、対気速贋、マツ・・数お工び関連す
る航空機・（ラメータを飛行中に測定するために非常に
正確なディジタル対気データコノピユータての利用に適
した圧力感知器に関するものである。

口）先行技術の説明 現在の航空機は商業用でも軍事用でも、対気速度、高度
、マツノ・数および関連する航空力学的パラメータ金正
確に測定するために、非常に梢密なピトー圧ならびに静
圧の測定値を必要とする。多くの新らしい航空機は、梢
密圧力感ｌＰａ器、必要な対気データファンクションを
計算するディジタル処理装置ならびに、操縦室表示装置
會含むその他の航空機装置とインタフェースする出力回
路を備えたディジタル対気データコンピュータ全利用し
ている。

これらのコンピュータ用の圧力感昶装置は、先行技術に
よるアナログ／ディジタル変換器の性能を超える非常に
高レベルの精度と分解能會有していることを必要とする
。従って、該感知器は一秒当り、最低１６回更新される
処理装置に対して、２０乃至２４ビツトのディジタル入
力を与えるものとある両立しうる圧力の関数として出力
周波数すなわち時間周期を発生しなければならない。こ
れらの感知器は、非常に長い時間間隔の間較正を保持し
、かつ、航空機の電子機器の通常の環境において正確な
動作全実行することを要求される。

較正ならびに熱に対する補償は、通常、感知器と共に包
括されたディジタル記憶回路の中に記憶された係数を利
用するディジタル処理装置で達成される。

現代の航空機の利用目的に対する要件を満足させるよう
な感知器講成は数多くある。本出願人による米国特許第
３，４５６，５０８号では、軍事用、営業用ならびに一
般の航空システムで広く利用されているそのような感知
器の１つについて述べている。これらの装置は、製造上
の高度の専門技術奮一般に必要とし、かつ、現任のディ
ジクル対気データコンピュータの価格、大きさならびに
重量等に関する重要な部分を表わすものである。通常、
これらの感知器は、精度全保証するために、広い帯域に
わたる圧力と温度についての複雑な較正を必要とする。

ディジタル電子回路の大きさと価格の両方に関して絶え
ず節減しようとする傾向がある。

さらに、よシ強力なディジタルコンピュータ装置が普及
するにつれて、対気データファンクションを他の計算と
結合しようとする傾向も見られる。これらの傾向により
大きさ、重量ならびに生産価格全低減し、なお必要な精
度だけは備えた圧力感知器を開発することがますます重
要となっている。また、較正の複雑さおよびそのような
感知器較正に要する計算時間：を全低減することも梁丈
しい。

前述の特許第３，４５６，５０８号で述べられた振動ダ
イアフラム圧力感知器は、対気データ利用目的に現在利
用できる最良の圧力感知器である。それは、与えられた
圧力負荷の関数として、簡単な金塊ダイアフラムの固肩
周波数における変化を利用している。出力周波数は〃゛
イアフラム特性らびに印加圧力負荷にだけ関連する。該
タイアフラム特性は電子回路を駆動させ、周波数／ディ
ジクル変換電子回路は感知器出力精度に何ら重要な影響
企及ぼさないのである。該感知器ならびに他の同様な振
動感知装置は、その動作範囲内に゛おけるすべての周波
数においてその周辺から感知器成分を隔絶するような態
様で設置されている。感知装置のキャビティすなわち付
属する管には音波がおり、該管は熱感度に貢献すると共
に、これらの非常に正確な装置が差動圧力の測定に利用
されないようにするが、それは振動素子の音響的な影響
がガス密度の関数となっているからである。

本発明によるフォーツタイアフラノ・感知器は、現在の
先行技術による対気データ圧力感知装置よりかなり小さ
い。これは、非常に安定しり機械的特性ならひＫＭ晶ツ
クオーツ圧電特性を利用する装置を備えて、非常に安定
しまた、小型の、しかも低価格の圧力感知器全達成して
いる。圧力負荷の関数としての、結晶クォーツクーイア
フラムにおける圧電的に誘導された厚さモード発振の変
化は、適切な電子回路で利用され、ディジタル出力を発
生する。結晶クオーツタ゛イアフラムを利用することに
よって、金属製ダイアフラム感知器に必要とされる特別
の熱処理ならびに材料の制限なしに精度および較正安定
度に必要な非常に安定した機椋特性金偏えている。結晶
クォーツはまた、幾つかの先行技術の装置で利用されて
いる融解クォーツに比べてより安定性がある。結晶クォ
ーツの圧電特性は、厚さの剪断モード発振を励撮させる
簡単な装置を備えているが、該発振は感知器のキャビテ
ィにおいてはどんな測定できるほどの音響効果も与えな
い。この発振はタ゛イアフラム自体内で児全に隔絶され
ており、感知器の取付は装置には伝搬しない。前述の振
動ダイアフラム圧力感知器に関してと同様に、圧力関数
としての出力周波数の誤差すなわち変化の一因となるよ
うなどんな機械的連結すなわち電気的回路も存在しない
、同じ１片のクォーツの基準発振は、ディジタル変換に
適した差の周波数を発生し、同時に温度の関数としての
出力周波数の変化に対する補償を発生するために備えら
れている。

本発明の感知器は構造的には単純であり、かつ、長期安
定度を有する正確な周波数基準を必要とする腕時計なら
びにその他の応用例のための水晶発振器の生産において
利用されているような、自動化された、総括制御過程を
利用する製造に適している。そのように低い生産価格で
、かつ、大きな生産高を上げることができるのである。

またさらに、価格および７才たは大きさの面でこの部類
の精度を有する感知器全利用できないような多くの応用
例においても利用することができる。

（２）　発明の概要 本特許は固体圧力感知器について述べているのであるが
、該感知器は結晶クォーツの非常に安定した機械的、圧
電的特性を利用して、高度に正確な出力を発生し、かつ
、別のアナログ／ディジタル変換装置を必要とすること
なく、従ってそれに関連する精度の劣化なしに、直接デ
ィジタル装置に利用することができる。測定しようとす
る圧力は絶対（真空基準）でもあり得るし、差動的でも
あり得る。該圧力は第１のダイアフラム状の水晶共振器
に応力を加え、該共振器は相対的に血粉的態様で、印加
圧力の関数として、発振器固有周波敷金変化させる。こ
の圧力変化による周波数は、第２の同様ではあるが応力
を加えられていない水晶共振器によって作られた周波数
から減算され、差の周波数を得るのであるが、収差の周
波数は第１の水晶共振器における与えられた圧力負荷に
直接関連つけることができる。この差の周波数はディジ
タルカウンタおよび精密／隔間仮数クロック信号によっ
てディジタル数に変換される。

（３）　良好な災砲例の説明 第１図は本実施例の感知器の基本構成を示す機能図であ
る。変換器素子２０は絶対圧力の測定用に構成されてお
り、その動作はここではそれらに関して述べることにす
る。第２図に示されるように、変換器素子構成２０′に
おける非常に単純な、小さい変化によって差動圧力の測
定全可能にしているのである。

該変換器素子すなわち変換器アセンブリ２０は、共通の
結晶クオーソタ゛イアフラムプレート１の内部に一体的
に形成された基本的に等しい２つの水晶ダイアフラム１
ａならびに１ｂ全備えている。該水晶ダイアフラムのう
ちの１つ、１ａは圧力負荷を受ける。測定しようとする
圧力は、夕゛イアフラムプレート１とベースプレート６
との間に形成されるキャピテイ（空胴）１０ニ、ベース
ろの開口部３０を介して与えられる。

基準真空状態がカバープレート２とダイアフラムプレー
ト１との間に形成されるキャピテイ１１内に作り出され
、維持される。キャビティ１０ならびＶＣｌ２は、水晶
振動子１におけるそれぞれのダイアフラム１ａ、１ｂ、
さらに水晶振動子カバー２のキャビティ１１と１２およ
び水晶振動子ベース３の開口部６０を定めているが、こ
ねらはすべて当業者にとって周知の通常の仕上げ技術全
利用して構成される。

〃゛イアフラムプレート１カバープレート２、ならびに
ベースプレート６はそれぞれ基本的には等しい結晶方向
を有する結晶クォーツで構成されており、かつ、結晶軸
調整を保持するような態様で、すなわち、６つの全部材
間で相互に平行的に、接着されている。キャビティ１０
の圧力とキャビティ１１の真空状態とで〃“イアフラム
１２［かかる圧力負荷を構成する。ダイアフラム１ｂは
キャビティ１２ならびに１３内の等化された圧力を受け
るが、必ずしも真空状態であるとは限らず、従って圧力
負荷は受け１ｊい。

その上うな零負荷を保証する、これらのキャビティを相
互接続している通路３１に注目されたい。また、該通路
３１はダイアフラム１ｂあるいはその周辺のプレート１
の支えの特性を妨害しないように位置していることにも
注目されたい。厚さの剪断モード発振器は、両ダイアフ
ラムの中心地帯で、電極６，７．８ならびに９、および
２つの発振回路１４と１５とによって圧電的に励起され
る。第１図および第５図で示されるように、電極７と９
はキャビティ１０と１３の全域におよんでおり、かつ、
導電ストＩＪツブを介してプレート１の延長部分の下側
にある外側のタブに接続している。電極６と８は夕゛イ
アフラム１ａと１ｂそれぞれの中央Ｖｃ６る比較的小さ
い環状！極であって、該電極もプレート１の延長部分の
上側にある外側タブに導電スト１１ツブを介して同様に
接続されている。従って、該小環状電極６と８は、ダイ
アフラム１ａと１ｂの中央部分にある厚さの剪断圧縮共
振全励起させる。全電極、接続ストリップおよびタブは
、通常のマスキング手法ならびに蒸着技術を利用して結
晶表面上に形成される。発振回路１４と１５は、回路パ
ラメータの変化とはそれぞれ独立的に、ダイアフラム１
ａと１ｂの基本的厚さの剪断モード周波数ｆ、とｆＲｅ
励起し、維持する。

クォーツプレートの厚さの剪断共振周波数は−Ｆ記のよ
うに簡単に表わすことができるよう良好に構成されてい
る。

但し、ｆは共振周波数、ｔはプレートの厚さ、ρはクォ
ーツの密度およびＣ６６は該プレートの特定方向に対す
る弾性係数となっている。さらに、これも周知のことで
あるが、プレートの周辺で力が加えられる場合、共振周
波数は、該プレートの結晶軸に関する方向、該グレート
面の内部において力の加わる方向、および核力の大きさ
に依存している量を変化さぜる。該周波数変化は２つの
別々の物理現象の結合的影響によってもたらされること
は明らかである。その第１は、加えられた力に工って生
じた静的変形の影響であって、その結果厚さと密度のパ
ラメータを変化させる。その第２は、結晶体の非線形弾
性特性によってもたらされたＣ６６係数の変化から生ず
る。本発明においては、ダイアフラム（薄い水晶板１ａ
および１ｂ）は、該ダイアプラムプレート１の厚い剛構
成による環状外包内部に垂下されている。圧力が夕゛イ
アフラム１ａに加えられる場合、それは剛性の外周支材
の外包内部で曲がったり伸びたりして変形する。夕゛イ
アフラムが伸長することによって幾何学的弾性係数に変
化を起こし、従って共振周波数ｆＰに印加圧力の関数と
して減少を生じさせる。第２タイアフラム１ｂは同様に
は励起されず、従ってその共振周波数ｆＲは変化するこ
とがないので、圧力変化周波数ｆＰの変化を測定する正
確な基準として利用される。

２つの発振周波数の差、ｆＲ−ｆＰは、従って、２つの
ダイアフラムの特性にだけ依存する関係を有し、ダイア
フラム１ａにかかつて加えられる圧力の直接関数となっ
ている。第１図で示されているように、アップダウンカ
ウンタ／適切な論理回路１６は出力１７を構成するのに
利用されており、該出力は周波数差ｆＲ−ｆＰの逆数に
相関するパルス幅すなわち時間間隔を有する。

第２の高速カウンタ／適切な論理回路１８は、安定水晶
クロック基準周波数ｆＣと共に利用されて、カウンタレ
ジスタディジタル出力１９を発生するのであるが、該出
力も韮だ周波数差（ｆＲｆｐ）の逆数に比例している。

該クロック周波数ｆｃは２つの発振周波数よりかなり高
であって、アップダウンカウンタ論理回路でも利用され
て、ｆＰとｆＰが相互に一致しそうになる場合、アップ
ダウンカウンタ動作におけるいかなる曖昧さをも阻止す
る。一方、２つの周波数ｆＲとｆＰは、周知の回路技術
を利用して、混合され、フィルタされることもできるの
であって、ｆ、とｆ、との間の差に等しい周波数を有す
る信号全達成する。収差の周波数は、通常のカウント回
路技術を利用して、差の周波数ｆＲ−ｆＰの逆数に比例
するディジタル出力に容易に変換することができる。

変換器に与えられた加速力も才た、空気圧負荷とほとん
ど同じ態様で、ダイアフラム１ａと１ｂ上の配分負荷と
して動作する。しかし、そのような加速力はダイアフラ
ム１ａおよび１ｂの双方によって固有的に受けられてお
り、従って、ｆＲとｆ６の双方に等しいンフト全もたら
す。

両方の夕゛イアフラムが同一、すなわち形状および結晶
方向において実質的に同一であるので、周波数における
これらシフトは基本的には等しくなシ、前述の周波数差
データ変換において打消される。同様に、温度も両方の
ダイアフラム１ａと１ｂの幾何学的弾性パラメータに影
響を与える。再び、周波数ｆＲとｆＰＫおける合成変化
が、同様にして周波数差電子回路によって除去される。

従って、本発明による対気データ感知器は、それを利用
する乗物の加速による誤差および該乗物の受ける周囲の
温度変化による誤差等のない出力を発生するのである。

この事は、これらの影響を低減するために大規模な較正
と補償を必要とする先行技術の振動による圧力感知器に
対する非常に実質的な改善となっている。

圧力感知器の温度感度はさらに、温度による発振器周波
数の最小変化に対する結晶軸方向全選択することによっ
て低減される。結晶の特定方向は、最小温度感度を有す
る発振器を生産するための業界では周知である。より一
層の精度全も要求される場合に、いかなる残余の熱感度
でも出力２１で測定することができるし、変換器の出力
１９を受信し、かつ処理する同様のディジタル処理装置
によって、ｆＲの関数として従来辿りに修正することが
できる。

〃°イアフラム１ａならびに１ｂは、図示されているよ
うに、基本的厚さの剪断モードのエネルギートランピッ
グを発生するような、形状、〜、さならびに電極構成を
有して設計されている。

これに裏って発振器のクォリティファクタ「Ｑ」を最大
にし、かつ、振動エネルギーをダイアフラムの中央部分
に抑制する。この同じダイアフラムの外形は、圧力負荷
ダイアフラムにおける強さのピークを最小限度にするた
めに必要な形状と矛盾していない。従って、■示されて
いるように、ダイアフラム１ａと１ｂは、電極６と８に
隣接して厚くなっている中央部分を有しておシ、その厚
さはプレート１に接合する前の比較的薄い部分へとテー
パーしている。該夕゛イアフラムは製造を簡単にするた
めに１方が平らになっているけれども、両側ともその厚
くなった中央部分からその外周のプレート１との接合部
分に向ってチー・く−できることは理解されるであろう
。さらに該夕゛イアフラムの外形は、その厚さの剪断モ
ード発振器の構成と一致するような他の形状をとること
もできる。

１９で発生される出力は、周波数差ｆＲ−ｆＰの逆数に
比例する。この出力は下記のような方程式で表わすこと
ができる。

但し、Ｋは任意の較正定数であり、Δｆｏはダイアフラ
ム１ａにかかつてどんな圧力も加えられていない場合の
周波数差ｆＲ−ｆＰであシ、さらにΔｆＰは圧力負荷に
よって生ずる該部分の周波数差ｆＲ−ｆＰである。圧力
負荷を有する周波数の変化例、ΔｆＰは圧力により基本
的には線形となっており、従って、出力関数に／△ｆは
、第３図で示されるように双曲線となっている。

第６図は、圧力範囲４０　Ｈｇに対して１に等しいＫｉ
備えてプロットされている。この関数の形状は飛行中の
対気データコンピュータ利用に関して％に有用であるが
、それは、該関数の傾斜ならびに分解能が低圧において
増加し、一定の高度感度および分解能にかなり近くまで
近似する感度および分解能を発生するからである。

圧力関数がより直線的になることを所望する場合、Δ１
ｏを感知器の製造プロセスにおいて増加することができ
る。零印加圧力における２つの発振器間の周波数差は、
標準的な水晶発振器製造技術を利用する製造プロセスに
おいて、容易に変化したり調整したりすることができる
。この水晶振動子を利用することによって本発明の圧力
変換器の設計上ならびに較正上の強力な支援となってい
る。

第４図および第５図は、圧力変換器２０がその必要とす
る電気的ならびに空気的な接続および環境の保膿手段金
偏えたハウジング内に組み立てられているように図示し
ている。このアセンブリは、通常のプリント配線板２８
に載置するのに特に適している。該・・ウジングは都合
の良いことに薄い金属板の基板２２およびその接合端２
４においてハーメチック正射されている同様に薄い金属
板カバー２３から成っている。

このクォーツ変換器アセンブリ２０は好ましいことに該
ハウジング内で、適切に成型されたフオームラバー（多
孔質ゴム）あるいは同種のもののような３つの弾力性支
持材２５によって懸下されている。測定しようとする圧
力は、ノ・ウジフグにはんだ付けあるいはそうでなけれ
ばハウジングと一体になっている管２６を介して与えら
れる。ハウジング全体が測定しようとする圧力に露里さ
れていて、よって変換器２０と管２６との間もれを防止
していることに注目されたい。電極６，７．８ならひに
９に接続された外側のタブから個々のフィードスル一端
子２７へ電気的に接続されていて、該端子２７は次いで
通常のプリント配線板手法を利用してその対応する発振
器１４と１５に接続される。

差動圧力変換器２０′の構成ならびに動作はく第２図】
前述の絶対圧力感知器のそれと実質的に等しい。最も重
要な差は、単に、ダイアフラム１′の圧力負荷が２つの
可変圧力の差の結果となっているということである。対
気データコンピュータの応用例においては、これらの２
つの圧力は通常航空機のピトー管から発生される。より
高圧のＰ金”０ＴＡＬは圧力変換器のキャビディ１０’
に与えられ、ＰＳＴＡＴＩＣはキャビティ１１′に与え
られる。差動圧力は下記のように示される。

Ｑｃ　””　ＰＴＯＴＡＬ　ＰＳＴＡＴＩＣもらろん、
変換器ハウジングの上部と下部２３ど２４は相互に密閉
的に隔絶されていることは分るであろう。

本発明の良好な実施例について説明して来たが、使用し
た用語は限定するものではなく説明のためのものであっ
て、その広い観点において本発明の真の範囲および発明
の精神〃・ら逸脱せずに、特許請求の範囲内で種々の変
更がなされ得る点を理解されたい。

【図面の簡単な説明】

第１図は絶対測定製鎖として、＠成されたクォーツ圧力
変換器の断面１會データ変換電子回路の回路図と共に示
しでおり、第２図は差動測定装置として構成されたクォ
ーツ圧力変換器の断面図、第３図は圧力負荷関数として
の差動周波数の逆数のプロット、第４図は第５図の４−
４のラインで切断した総圧変換アセンブリの縦方向の断
面図であり、第５図は駆４図の５−５のラインで切断し
た該アセンブリの横方向の断面図である。 図中、１は結晶クォーツダイアフラムプレート、１ａと
１ｂはダイアフラム、２はカバープレート、３はベース
プレート、６，７．Ｂおよび９は１払１０．１１．１２
お工ひ１３はキャビティ、１４は基準発振器、１５は圧
力感知発振器、１６はアップタウンカウンタ／論理回路
、１８は出力カウンタ／論理回路、２ｏは変換器アセン
ブリ、５ｏは開口部、３１は通路、をそれぞれ示す。 ％　ｉＦ　出１４　人　スベリ−コーポレイション代理
人　っ。３．ゎ（’　、］ １ 圧力Ｔ〕（Ｈｇ） ＦＩＧ、　４゜ ２）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　振動クォーツダイアフラム圧力感知器であって。 第１プレートと、 該第１プレートに形成された所定の厚さを有するダイア
   フラムと、 ダイアフラムに結合されて前記ダイアプラムの厚さの剪
   断モード発振を圧電的に励起させる電極装置と、 前記ダイアフラムの少なくとも１表面を前記発振の周波
   数を変化させる可変圧力に露呈させている装置と、およ
   び 前記可変発振周波数に応答して前記可変圧力を測定する
   装置、 とを備えていること’に特徴とする前記圧力感知器。 ２、特許請求の範囲第１項に記載の圧力感知器において
   、前記プレートは結晶クォーツから成ることを特徴とす
   る前記圧力感知器。 ３、特許請求の範囲第２項に記載の圧力感知器において
   、前記励振電極は、前記夕゛イアフラムの前記厚さの剪
   断モード発振が前記所定の厚さに支配的に加わるように
   接続されており、がっ、前記圧力露呈装置は前記夕゛イ
   アフラムに直角の方向で前記可変圧力を加えていること
   を特徴とする前記圧力感知器。 ４　特許請求の範囲第２項に記載の圧力感知器であって
   さらに、 前記第１グレートに接着された第２プレートを備えてお
   り、 これらのル−トの１っは前記ダイアフラムの前記１方に
   隣接する第１のキャビティを有しておυ、かつ 前記圧力露呈装置は、前記可変圧力を前記キャビティに
   入れる開口部全前記第２プレートに備えていることを特
   徴とする前記圧力感知器。 ５、特許請求の範囲第４項に記載の圧力感知器において
   、前記第２のプレートは、前記第１プレートの結晶軸に
   対応する所定の結晶軸を有する結晶クォーツから成って
   いて、かつ前記第２プレートは、両者の軸が平行になる
   ように前記第１プレートに接着されていることを特徴と
   する前記圧力感知器。 ６、％許請求の範囲第４項に記載の圧力感知器において
   、前記＠１のキャビティは前記第１プレートに形成され
   ておシ、かつ、前記夕゛イアフラムは前記キャビティの
   壁を構成していることを特徴とする前記圧力感知器。 Ｚ　％、許請求の範囲第５項に記載の圧力感知器であっ
   てさらに、前記第２のプレートと反対側で前記第１のプ
   レートに接着された第６のプレートラ備えており、前記
   第１と第６のプレートのうちの１つは前記ダイアフラム
   の他の％ＩＪＫＨ接する第２のキャビティを有しておシ
   、前記第２のキャビティは第２の流体圧力を受けている
   ことを特徴とする前記圧力感知器。 ８、％許請求の範囲第７項に記載の圧力感知器において
   、前記第２のキャビティは前記第３のプレートに形成さ
   れていることを特徴とする前記圧力感知器。 ９、　％許請求の範囲第７項に記載の圧力感知器におい
   て、前記第３のプレートは前記第１と第２のプレートの
   結晶軸に対応する所定の結晶軸を有する結晶クォーツか
   ら成っていて、かつ、すべての前記軸は相互に平行して
   いることを特徴とする前記圧力感知器。 １０　特許請求の範囲第１項に記載の圧力感知器におい
   て、前記ダイアフラムは環状であシ、かつ、前記所定の
   厚さはその中央で最大となっており、その外周に向って
   最小になるように低減しており、よって前記厚さの剪断
   モード発振は前記〃゛イアフラム外周おい−Ｃ抑制され
   ていることを特徴とする前記圧力感知器。 １１、特許請求の範囲第１項ｒ記載の圧力感知器であっ
   てさらに、前記電極装置に接続されて、前記ダイアフラ
   ム発振をその固有振動周波数で励起させ、かつ持続して
   いる発振装置金偏えていることを特徴とする前記圧力感
   知器。 １２、特許請求の範囲第１項に記載の圧力感知器であっ
   てさらに、 前記第１のプレートに形成されている所定の厚さを有す
   るもう１つのダイアフラムと、前記もう１つのダイアフ
   ラムに結合され、前記ダイアフラムの厚さの剪断モード
   発振を圧電的に励起させるもう１つの電極装置と、 前記ダイアフラムを、前記発振周波数を一定に維持する
   一定圧力に露呈させる装置と、および 前記可変のならびに一定の発振周波数に応答して、前記
   可変圧力を測定する装置、 と全備えていることを特徴とする前記圧力感知器。 １ｓ、ｒ待ＷＦ請求の範囲第１２項に記載の圧力感知器
   において、前記所定のダイアプラムの厚さは実質的に同
   一であることｆ：％徴とする前記圧力感知装置。 １４、特許請求の範囲第１２項に記載の圧力感知器であ
   ってさらに、前記第１のプレートに接着された第２のプ
   レートを備え、前記プレートのうちの１つは、前記１つ
   のならびにもう１つの夕゛イアフラムにそれぞれ隣接す
   る第１と第２のキャビティを有し、かつ、前記圧力露呈
   装置は前記可変圧力を前記第１のキャビティに入れ、さ
   らに前記一定圧力を前記第２のキャビティ内にシールす
   る第１の開口部を前記第２プレートに備えていることを
   特徴とする前記圧力感知器。 １５、特許請求の範囲第１４項に記載の圧力感知器にお
   いて、前記第２のプレートは前記第１プレートの結晶軸
   に対応する所定の結晶軸を有する結晶クォーツから成り
   、かつ前記第２プレートは両者の軸が平行するように前
   記第１プレートに接着されていること全特徴とする前記
   圧力感知器。 １６、特許請求の範囲第１４項に記載の圧力感知器にお
   いて、前記ダイアフラムの各々の前記厚さの剪断モード
   発振は前記所定の厚さに支配的に加わっておシ、かつ、
   前記圧力に呈装飯は前記町変圧力と前記一定圧力をそれ
   ぞれ前記ダイアフラムに直角の方向に加えていることを
   特徴とする前記圧力感知器。 １１　特許請求の範囲第１４項に記載の圧力感知器にお
   いて、前記第１と第２のキャビティは前記第１プレート
   に形成されており、かつ、前記ダイアフラムはそれぞれ
   のキャビティの壁を構成していることを特徴とする前記
   圧力感知器。 １８　特許請求の範囲第１７項に記載の圧力感知器であ
   ってさらに、前記第２プレートの反対側で前記第１プレ
   ートに接着された第６プレート全備えており、前記第１
   と第５のプレートのうちの１つは、前記１つのおよびも
   う１つのダイアフラムのそれぞれのもう一方に゛隣接す
   る第６ならびに第４のキャビティを有しており、さらに
   前記第３のキャビティは第２の流体圧力を受け、かつ、
   前記第４のキャビティは前記一定圧力金堂けていること
   を特徴とする前記圧力感知器。 １９、特許請求の範囲第１８項に記載の圧力感知器にお
   いて、前記第５と第４のキャビティは前記第６プレート
   に形成されていることを特徴とする前記圧力感知器。 ２、特許請求の範囲第１８項に記載の圧力感知器におい
   て、前記第３プレートは前記第１と第２プレートの結晶
   軸に対応する所定の結晶軸を有する結晶クォーツから成
   っており、かつ、前記第６プレートはそれらの結晶軸が
   相互にすべて平行であるように前記第１プレートに接着
   されていることを特徴とする前記圧力感知器。 ２、特許請求の範囲第１２項に記載の圧力感知器におい
   て、前記両ダイアフラムは環状であり、かつ、前記所定
   の厚さはその中央で最大となっており、その外周に向っ
   て最小となるよう低減し、よって前記厚さの剪断モード
   発掘は前記ダイアフラムの外周において抑制されている
   ことを特徴とする前記圧力感知器。 ２２、特許請求の範囲第１２項に記載の圧力感知器であ
   ってさらに、前記電極装置に接続されて前記１つのなら
   びにもう１つのダイアフラムの発振をそれらの固有振動
   周波数でそれぞれ励起させかつ持続させる第１と第２の
   発振装置を備えていることを特徴とする前記圧力感知器
   。 ２５　％許請求の範囲第２２項に記載の圧力感知器であ
   ってさらに、前記第１と第２の発振装置に応答してそれ
   ぞれの発振周波数間９差に応答する出力を発生する装置
   を備えていることを特徴とする前記圧力感知器。 ２、特許請求の範囲第１８項に記載の圧力感知器であっ
   てさらに、前記第２と第４のキャビティを接続する通路
   を備え、よって前記もう１つのダイアプラムの両側が前
   記一定圧力を受けていることを特徴とする前記圧力感知
   器。 ２５　振動ダイアフラム圧力感知器であって、各７レー
   トが所定の結晶軸を有し、かつ、それぞれの結晶軸が平
   行になるように相互に接着されている、結晶クォーツか
   ら作られたサンドイノ千秋の第１、第２ならびに第６の
   プレートと、 前記第１と第２のプレート間に形成され、ｆ９ｒ定の厚
   さを有する第１と第２のダイアプラムを定めている第１
   と第２のキャビティと、前記第１と第２のダイアフラム
   ならびに第３のプレート間に形成される第３と第４のキ
   ャビティと、 前記第１のキャビティを測定しようとする流体圧力に露
   呈させている前記第２プレートにおける開口部と、 前記第３のキャビティ内の第２の流体圧力と、前記第２
   と第４のキャビティ内の基準流体圧力と、 前記第１と第２のダイアフラムにそれぞれ結合されて、
   前記ダイアフラムの剪断モード発振を圧電的に励起させ
   る第１と第２の電極装置と、および 前記第１と第２の電極装置に接続されて、前記第１と第
   ２のダイアプラムの前記発振をその固有発振周波数にお
   いて励起させ〃・つ持続させる第１と第２の発振装置、 と金備えていることを特徴とする前記振動タイアフラム
   圧力感知器。 ２、特許請求の範囲第２５項に記載の圧力感知器であっ
   てさらに、 前記第１と第２の発振器に応答し、それぞれの発振周波
   数間の差に比例する出力を発生する装Ｒを備えているこ
   とを特徴とする前記圧力感知器。 ２、特許請求の範囲第２５項に記載の圧力感知器であっ
   てさらに、 前記クォーツプレートサンドイッチのために密封された
   ハウジングと、 前記ハウジングにシールされ、測定しようとする圧力を
   前記ハウジング内部に入れる管手段、と全備えているこ
   とを特徴とする前記圧力感知器。 ２８　特許請求の範囲第２７項に記載の圧力感知器であ
   ってさらに、 前記クォーツプレートサンドイッチ全前記ノ・ウジフグ
   内に弾力的に支持している弾力的支持手段を備えている
   ことを特徴とする前記圧力感知器。 ２９　特許請求の範囲第２５項に記載の圧力感知器にお
   いて、前記の測定しようとする流体圧力はピトー静圧な
   らひにピトー総圧の１つであり、かつ、前記感知器はさ
   らに、前記第５のキャビティを前記ピトー静圧、ならび
   にピトー総圧のもう１つに露呈させる前記第３プレート
   の開口部を備えていること全特徴とする前記圧力感知器
   。 ６０　特許請求の範囲第２９項に記載の圧力感知器であ
   ってさらに、 前記第２と第４のキャビティの間に接続されて、前記第
   ２のタイアフラムの両側に前記基準圧力を伝達する通路
   金偏えていることを特徴とする前記圧力感知器。