DE102016109433B4 - Kraftsensor - Google Patents

Kraftsensor Download PDF

Info

Publication number
DE102016109433B4
DE102016109433B4 DE102016109433.1A DE102016109433A DE102016109433B4 DE 102016109433 B4 DE102016109433 B4 DE 102016109433B4 DE 102016109433 A DE102016109433 A DE 102016109433A DE 102016109433 B4 DE102016109433 B4 DE 102016109433B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
force sensor
piezoresistive
resistor
loaded
resistors
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
DE102016109433.1A
Other languages
English (en)
Other versions
DE102016109433A1 (de
Inventor
Volker Relling
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Minebea Intec GmbH
Original Assignee
Minebea Intec GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Minebea Intec GmbH filed Critical Minebea Intec GmbH
Priority to DE102016109433.1A priority Critical patent/DE102016109433B4/de
Priority to JP2017095006A priority patent/JP6726639B2/ja
Publication of DE102016109433A1 publication Critical patent/DE102016109433A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE102016109433B4 publication Critical patent/DE102016109433B4/de
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00Measuring force or stress, in general
    • G01L1/18Measuring force or stress, in general using properties of piezo-resistive materials, i.e. materials of which the ohmic resistance varies according to changes in magnitude or direction of force applied to the material
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00Measuring force or stress, in general
    • G01L1/20Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress
    • G01L1/22Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress using resistance strain gauges
    • G01L1/2206Special supports with preselected places to mount the resistance strain gauges; Mounting of supports
    • G01L1/2231Special supports with preselected places to mount the resistance strain gauges; Mounting of supports the supports being disc- or ring-shaped, adapted for measuring a force along a single direction

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
  • Measurement Of Force In General (AREA)

Abstract

Kraftsensor (1) umfassend ein erstes Teil (10) und ein zweites Teil (20), wobei zwischen dem ersten Teil (10) und dem zweiten Teil (20) zumindest ein erster piezoresistiver Widerstand (401) sowie mindestens ein zweiter piezoresistiver Widerstand (402) angeordnet ist, und der Kraftsensor (1) derart ausgestaltet ist, dass bei einer axialen Druckbelastung des Kraftsensors (1) durch ein Objekt (2) zumindest der erste piezoresistive Widerstand (401) mit einer aus der axialen Druckbelastung resultierenden Kraft (Fres) belastet wird, und wobei der Kraftsensor (1) derart ausgestaltet ist, dass der zweite piezoresistive Widerstand (402) bei der axialen Druckbelastung des Kraftsensors (1) unbelastet bleibt, wobei das zweite Teil (20) zumindest einen hervorstehenden Bereich (201) sowie einen zweiten Bereich (202) aufweist, wobei der hervorstehende Bereich (201) in der axialen Richtung (Ax) auf einer dem ersten Teil (10) zugewandten und/ oder abgewandten Seite gegenüber dem zweiten Bereich (202) hervorsteht, um bei der axialen Druckbelastung des Kraftsensors die resultierenden Kräfte (Fres) lediglich in den oder die zu belastenden piezoresistiven Widerstände (401, 403, 405, 407) einzuleiten.

Description

  • GEBIET DER ERFINDUNG
  • Die Erfindung betrifft einen verbesserten Kraft- bzw. Bolzensensor, welcher insbesondere ausgebildet sein kann, um Spannkräfte in einer Bolzen- oder Schraubenverbindung zu messen.
  • TECHNISCHER HINTERGRUND
  • Aus dem Stand der Technik sind verschiedene Ausführungen von Kraftsensoren bekannt. Ein beispielhafter Kraftsensor ist in der britischen Patentanmeldung mit der Publikationsnummer GB 2 326 719 A beschrieben. Der beispielhafte Kraftsensor nutzt einen oder mehrere druckempfindliche Widerstände, welche in Dickfilmtechnik auf ein Trägermaterial aufgebracht werden. In einem Ausführungsbeispiel der Patentanmeldung ist ein Kraftsensor gezeigt, welcher sechs belastete Widerstände und zwei unbelastete Referenzwiderstände in einer Brückenschaltung zeigt.
  • US 2008/0 196 491 A1 offenbart einen integrierten Drucksensor mit hohem Vollmaßwert, bei dem ein monolithischer Körper aus Halbleitermaterial eine erste und eine zweite Hauptoberfläche aufweist, die gegenüber einer im wesentlichen gleichmäßigen Distanz gegenüberliegen und getrennt sind. Der monolithische Körper hat einen Schüttgutbereich mit einem empfindlichen Teil neben der ersten Hauptfläche, auf den Druck wirkt. Ein erstes piezoresistives Detektionselement ist in den empfindlichen Teil integriert und hat einen variablen Widerstand als Funktion des Drucks. Der Schüttgutbereich ist ein fester und kompakter Bereich und hat eine Dicke, die im Wesentlichen gleich der Entfernung ist.
  • DE 39 09 274 A1 offenbart einen Druck- oder Kraftsensor, der einen Messkörper aufweist, der der zu messenden Kraft ausgesetzt ist, und einem Referenzkörper, die beide über Kraftmesselemente am Gehäuse abgestützt sind. In einer Auswerteschaltung werden die Signale von den Kraftmesselementen, die zweiten zeitlichen Ableitungen dieser Signale und ggf. auch ihre ersten zeitlichen Ableitungen derart logisch gekoppelt, dass ein die zu messende Kraft repräsentierendes Signal erhalten wird, weitgehend unabhängig vom dynamischen Eigenverhalten des Drucksensors bei Schwingung des Gehäuses und bei schnellen Änderungen der zu messenden Kraft.
  • DE 36 07 491 C1 offenbart einen Kraft- oder Druckaufnehmer mit einer Plattenfeder, die an mindestens zwei Seiten mit einem überwiegend starren Rahmen verbunden ist, und schlägt vor, dass die Plattenfeder aus mindestens zwei Teilen (21, 22) besteht, wobei der erste, innere Teil (21) ausschließlich als deformierbare, im wesentlichen ebene Platte ausgebildet ist, während der zweite, äußere Teil den äußeren Bereich (22) der elastischen Plattenfeder sowie den anschließenden, überwiegend starren Rahmen (23) umfasst, dass die Verbindungsstelle zwischen den beiden Teilen der Plattenfeder sich dort befindet, wo das zur Verbindungsstelle normale Biegemoment verschwindend klein ist und dass nur der erste, innere Plattenfederteil (21) zur Detektion der durch die Kraft oder den Druck bewirkten Deformation herangezogen wird. Dadurch kann der Federkörper so aufgebaut werden, dass ein herstellungsgünstiger planer, elastischer Fühlerteil – z. B. eine Ronde (21) mit Dünnfilm-Dehnungsmessstreifen (4, 4') – verwendet werden kann, wobei aber die Befestigung dieses Fühlerteils in der massiven Fassung keine Rückwirkungen auf sein Federverhalten verursacht.
  • DE 103 25 943 A1 offenbart ein Instrument, das zwei Abstandshalter aufweist, die zueinander verstellbar und als Anschläge (4, 6) angeordnet sind. Der erste besteht aus elektrisch leitendem Material, das als Stopp dient und der andere aus nicht-leitendem Material, das als Stator dient. Ein Wirbelstromsensor ist vorgesehen. Beide Anschläge sind mit einem Ring (8) verbunden, wobei die geometrischen Abmessungen des Kraftmessgeräts durch Kraftanwendung veränderbar sind.
  • BESCHREIBUNG
  • Es ist eine Aufgabe der Erfindung einen verbesserten Kraftsensor bereitzustellen. Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung ein System mit einem verbesserten Kraftsensor und einer Auswerteelektronik bereitzustellen. Weitere Aufgaben ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung.
  • Gemäß einem Aspekt der Erfindung umfasst der Kraftsensor ein erstes und ein zweites Teil, welche flach ausgebildet sind. Der Kraftsensor, und somit auch das erste und das zweite Teil, weisen eine gemeinsame Öffnung auf, um ein sich in einer axialen Richtung erstreckendes, insbesondere längliches, Objekt, bspw. ein Bolzen, eine Welle oder eine Gewindestange aufzunehmen und mit dem länglichen Objekt zusammenzuwirken. Bei dem länglichen Objekt kann es sich um einen Bolzen und insbesondere um einen Schraube handeln. Zwischen dem ersten und dem zweiten Teil ist zumindest ein erster piezoresistiver Widerstand angeordnet. Der Kraftsensor ist derart ausgestaltet, dass bei einer axialen Druckbelastung des Kraftsensors durch das längliche Objekt zumindest der erste piezoresistive Widerstand mit einer aus der axialen Druckbelastung resultierenden Kraft belastet wird.
  • Im vorliegenden Kontext umfasst der Begriff „Bolzen“ jedes längliche Objekt, das zum Befestigen geeignet ist, insbesondere auch Schrauben. Die Begriffe „belastet“ und „unbelastet“ sind im Zusammenhang mit den piezoresistiven Widerständen so zu verstehen, dass die Widerstände bei einer axialen Druckbelastung bzw. axialen Kraft (also in Richtung der Erstreckung des länglichen Objekts bzw. des Bolzens) belastet bzw. unbelastet sind.
  • Das erste und das zweite Teil sind vorteilhaft so ausgestaltet und angeordnet, dass sie zusammenwirkend einen vorzugsweise hermetisch abgedichteten Innenraum definieren. Der Innenraum kann ggf. mit Schutzgas, bspw. Stickstoff gefüllt werden. Durch eine Kapselung kann der Sensor dann auch in besonders unwirtlichen, beispielsweise korrosiven Umgebungen eingesetzt werden. Allgemein wird die Lebensdauer des Sensors verlängert.
  • Zusätzlich kann der erfindungsgemäße Kraftsensor durch seine im Vergleich zu bestehenden Kraftsensoren sehr flache Bauart in einfacher Weise in bestehenden Bolzen- und/ oder Schraubenverbindung integriert werden.
  • Gemäß einem vorteilhaften Aspekt der Erfindung, kann der Kraftsensor mindestens einen zweiten piezoresistiven Widerstand aufweisen, wobei der zweite piezoresistive Widerstand bei der axialen Druckbelastung des Kraftsensors unbelastet bleibt. Der unbelastete piezoresistive Widerstand kann bei der Messung und/ oder der Auswertung der Messdaten als Referenz dienen, um unerwünschte Einflüsse auf die Genauigkeit des Messwertes, wie z.B. die Temperaturabhängigkeit des Widerstandes, zu minimieren.
  • Gemäß einem weiteren vorteilhaften Aspekt kann der Kraftsensor weiterhin mindestens einen dritten und einen vierten piezoresistiven Widerstand aufweisen. Bei der axialen Druckbelastung des Kraftsensors kann der dritte piezoresistive Widerstand mit einer resultierenden Kraft belastet werden. Der vierte piezoresistive Widerstand kann bei der axialen Druckbelastung des Kraftsensors unbelastet bleiben. Auf diese Weise kann die Messgenauigkeit weiter verbessert werden. Bei Nutzung von mindestens vier piezoresistiven Widerständen können diese beispielsweise in einer Wheatston’schen Brückenschaltung im Kraftsensor verschalten sein. Durch die Wheatston’sche Brücke können auch sehr kleine Widerstandsänderungen der belasteten Widerstände gemessen und Temperatureffekte kompensiert werden.
  • Gemäß einem weiteren vorteilhaften Aspekt kann der Kraftsensor zusätzlich mindestens einen fünften bis achten piezoresistiven Widerstand aufweisen. Der Kraftsensor kann somit insgesamt acht piezoresistive Widerstände aufweisen. Der erste Teil und der zweite Teil sind dabei so ausgebildet, dass der erste, der dritte, der fünfte und der siebte piezoresistive Widerstand jeweils mit einer aus der axialen Druckbelastung des Kraftsensors resultierenden Kraft belastet werden, und der zweite, der vierte, der sechste und der achte piezoresistive Widerstand undbelastet bleiben. Vorteilhaft können auch diese Widerstände in einer Wheatston’schen Brückenschaltung verschaltet sein. Vorteilhaft können hierbei jeweils zwei belastete piezoresistive Widerstände bzw. zwei unbelastete piezoresistive Widerstände zu einem Widerstand der Wheatston’schen Brückenschaltung zusammengefasst sein. Ein Kraftsensor gemäß diesem vorteilhaften Aspekt der Erfindung kann einen vorteilhaften Kraftfluss aufweisen. Der Kraftsensor liefert so noch bessere bzw. genauere Ergebnisse.
  • Gemäß einem weiteren vorteilhaften Aspekt der Erfindung können die belasteten piezoresistiven Widerstände, also bspw. der erste, der dritte, der fünfte und der siebte piezoresistive Widerstand, im Innenraum umfänglich, vorzugsweise gleichmäßig voneinander und/ oder von der Öffnung beabstandet, um die Öffnung herum angeordnet sein. Beispielhaft können zwischen zwei piezoresistiven Widerständen 180° liegen, oder zwischen vier piezoresistive Widerständen jeweils 90°. Eine solche Anordnung der piezoresistiven Widerstände, und insbesondere der belasteten piezoresistiven Widerstände, führt dazu, dass sich die Kraft der axialen Druckbelastung des Kraftsensors im Kraftfluss gleichmäßig aufteilt und in die belasteten piezoresistiven Widerstände eingeleitet wird.
  • Gemäß einem weiteren vorteilhaften Aspekt der Erfindung können die piezoresistiven Widerstände Widerstandspaare bilden und die Widerstandspaare jeweils einen der belasteten piezoresistiven Widerstände und einen der unbelasteten piezoresistiven Widerstände enthalten. Anders formuliert kann ein Kraftsensor mit acht piezoresistiven Widerständen, von denen vier belastete Widerstände und vier unbelastete Widerstände sein können, vier Widerstandspaare aufweisen. In jedem der vier Widerstandspaare können je ein belasteter piezoresistiver Widerstand und ein unbelasteter piezoresistiver Widerstand enthalten sein. Eine Gruppierung jeweils zweier Widerstände zu einem Widerstandspaar kann sich vorteilhaft auf die Produktionsprozesse auswirken, insbesondere dann, wenn jeweils identische Widerstandspaare in einem Kraftsensor Verwendung finden.
  • Gemäß einem weiteren vorteilhaften Aspekt der Erfindung können die belasteten piezoresistiven Widerstände näher an der Öffnung liegen als die unbelasteten piezoresistiven Widerstände. Zusammen mit weiteren vorteilhaften Aspekten der Erfindung kann eine solche Anordnung der Widerstände den Kraftsensor robuster und die Produktionsprozesse effizienter gestalten. Alternativ wäre es auch möglich die unbelasteten piezoresistiven Widerstände näher an der Öffnung und die belasteten piezoresistiven Widerstände weiter entfernt von der Öffnung zu plazieren.
  • Gemäß einem weiteren vorteilhaften Aspekt der Erfindung können die belasteten piezoresistiven Widerstände im Wesentlichen konzentrisch um einen Mittelpunkt der Öffnung angeordnet sein. Diese Anordnung kann sich positiv auf den Kraftfluss auswirken.
  • Gemäß einem weiteren vorteilhaften Aspekt der Erfindung kann das zweite Teil zumindest einen hervorstehenden Bereich aufweisen. Der hervorstehende Bereich kann in der axialen Richtung auf einer dem ersten Teil zugewandten oder abgewandten Seite des zweiten Teils im Vergleich zu einem zweiten Bereich des zweiten Teils hervorstehen. Der hervorstehende Bereich kann auch sowohl auf der dem ersten Teil zugewandten als auch der dem ersten Teil abgewandten Seite hervorstehen. Der hervorstehende Bereich kann bei der axialen Druckbelastung des Kraftsensors die resultierenden Kräfte in den oder die belasteten piezoresistiven Widerstände einleiten.
  • Gemäß einem weiteren vorteilhaften Aspekt der Erfindung können die Widerstandspaare umfänglich und vorzugsweise gleichmäßig voneinander und/ oder von der Öffnung beabstandet um die Öffnung herum angeordnet sein.
  • Zusammen mit weiteren vorteilhaften Aspekten der Erfindung kann eine solche Anordnung den Kraftsensor weiter optimieren.
  • Gemäß einem weiteren vorteilhaften Aspekt der Erfindung können die Widerstandspaare jeweils einen ersten bis dritten Kontakt aufweisen. Dabei kann der erste Kontakt mit dem belasteten piezoresistiven Widerstand elektrisch leitend verbunden sein. Der belastete piezoresistive Widerstand ist zusätzlich mit dem zweiten Kontakt elektrisch leitend verbunden. Der zweite Kontakt ist wiederum zusätzlich mit dem unbelasteten piezoresistiven Widerstand elektrisch leitend verbunden. Der unbelastete piezoresistive Widerstand wiederum ist zusätzlich mit dem dritten Kontakt elektrisch leitend verbunden. Die Widerstandspaare weisen somit eine Reihenschaltung auf. Anders formuliert folgt in der Reihenschaltung auf den ersten Kontakt der belastete piezoresistive Widerstand, auf diesen folgt der zweite Kontakt, auf den zweiten Kontakt folgt der unbelastete piezoresistive Widerstand und auf diesen wiederum folgt der dritte Kontakt. Die Ausgestaltung der Widerstandspaare mit den Kontakten in einer Reihenschaltung kann die elektrische Kopplung bzw. Verdrahtung innerhalb des Kraftsensors vereinfachen.
  • Gemäß einem weiteren vorteilhaften Aspekt der Erfindung können zumindest zwei der Widerstandspaare im Wesentlichen gleichartig und vorzugsweise identisch, insbesondere bezüglich ihres Layout und der Lage der Kontakte, ausgebildet sein. Auf diese Weise kann die Abstimmung der Messbrücke weiter vereinfacht werden und etwaige Messfehler werden verringert. Auch die Arbeitsschritte zur elektrischen Kopplung bzw. Verdrahtung der Widerstände können auf diese Weise effizienter gestaltet werden.
  • Gemäß einem weiteren vorteilhaften Aspekt der Erfindung können die piezoresistiven Widerstände aus einer piezoresistiven Legierung wie Manganin oder Zeranin bestehen. Beide Materialien finden ansonsten üblicherweise Anwendung bei der Produktion von dynamischen Drucksensoren. Unter die Bezeichnung Manganin fallen Kupfer – Mangan – Legierungen, insbesondere solche mit einem Anteil von 83–87 Prozent Kupfer, etwa 12–13 Prozent Mangan und 0–4 Prozent Nickel. Beispielhaft kann Manganin 84 Prozent Kupfer, 12 Prozent Mangan und 4 Prozent Nickel enthalten. Manganin weist einen großen positiven piezoresistiven Effekt auf, und gleichzeitig eine geringe Abhängigkeit des Widerstandes von der Temperatur. Aufgrund seiner Materialeigenschaften ist Manganin für die Produktionen in Dünnschichttechnik oder Folientechnik besonders geeignet. Als alternativer Werkstoff kann Zeranin genutzt werden. Auch bei Zeranin handelt es sich um eine Kupfer – Mangan – Verbindung. Zeranin weist einen ca. 90-prozentigen Kupferanteil, einen 7-prozentigen Mangananteil, einem etwa 2,3-prozentigen Zinnanteil, und weiteren Beimengungen von Aluminium, Eisen und Nickel auf. Aufgrund ihrer Materialeigenschaften eignen sich die genannten Legierungen und weitere vergleichbare Materialien für den vorgesehenen Zweck gut.
  • Gemäß einem weiteren vorteilhaften Aspekt der Erfindung können die piezoresistiven Widerstände in Dünnschichttechnik oder Folientechnik gefertigt sein. Vorteilhaft können die Widerstandspaare dabei aus einem, bzw. in einem Stück gefertigt werden. Als Träger- und oder Deckfolie kommen vorteilhaft Polyimide oder andere Hochleistungspolymere (PEEK, Polysulfone oder ähnliches) in Betracht.
  • Gemäß einem weiteren vorteilhaften Aspekt der Erfindung kann das zweite Teil des Kraftsensors in einem ersten Lagerbereich und in einem zweiten Lagerbereich mit dem ersten Teil in Verbindung stehen. Anders formuliert, kann das zweite Teil in einem ersten und in einem zweiten Lagerbereich auf dem ersten Teil auflagern. Vorteilhaft können das erste und das zweite Teil dabei formschlüssig oder stoffschlüssig verbunden sein. Beispielhaft können das zweite Teil und das erste Teil in dem ersten und zweiten Lagerbereich eine ineinander greifende Kontur aufweisen, und über die gesamte Länge der Lagerbereiche verschweißt sein.
  • Gemäß einem weiteren vorteilhaften Aspekt der Erfindung kann das zweite Teil einen ersten und einen zweiten Federbereich aufweisen, wobei die Federbereiche ausgestaltet sind, um eine elastische Verformung des zweiten Teils in axialer Richtung zu ermöglichen. Der zuvor erwähnte hervorstehende Bereich kann dabei zwischen dem ersten und dem zweiten Federbereich angeordnet sein. Beispielhaft kann das zweite Teil beidseits des hervorstehenden Bereiches verdünnt sein. Die Federbereiche ermöglichen eine vorteilhafte elastische Verformung des zweiten Teils, sodass der hervorstehende Bereich des zweiten Teils sich stempelartig in Richtung der belasteten Widerstände bewegt, diese berührt und eine aus der axialen Druckbelastung des Kraftsensors resultierenden Kraft in die jeweiligen belasteten piezoresistiven Widerstände einleitet.
  • Gemäß einem weiteren vorteilhaften Aspekt der Erfindung kann der Innenraum des Kraftsensors eine lichte Höhe von 0,2 mm bis 3 mm und eine lichte Breite von zumindest 0,2 mm bis 3 mm aufweisen. Die Abmaße des Innenraums ermöglichen eine einfache Kontaktierung der Widerstände, und stellen weiterhin sicher, dass die unbelasteten Widerstände nicht durch die axiale Druckbelastung des Kraftsensors belastet werden.
  • Gemäß einem weiteren vorteilhaften Aspekt der Erfindung kann das zweite Teil eine Leitungsöffnung in einer außen umlaufenden Randfläche aufweisen. Anschlussleitungen können durch die Leitungsöffnung in den Innenraum geführt und dort elektrisch, z.B. mittels der Kontakte, mit den Widerständen verbunden sein. Dies kann eine unkomplizierte Montage, bzw. den Ersatz von Scheibenringen durch den Kraftsensor ermöglichen.
  • Gemäß einem weiteren vorteilhaften Aspekt der Erfindung kann der Innenraum auch einen Kanal in einer dem zweiten Teil zugewandten Oberfläche des ersten Teils umfassen. Vorzugsweise kann der Kanal in einem äußeren Bereich des ersten Teils teilweise oder ganz umlaufen. Auch der Kanal kann vorzugsweise eine Kanalhöhe und eine Kanalbreite zwischen 0,2 mm und 3 mm aufweisen. Die Anschlussleitungen können zumindest abschnittsweise in dem Kanal verlegt sein.
  • Gemäß einem weiteren vorteilhaften Aspekt der Erfindung kann der Innenraum zumindest teilweise mit einem Polymer verfüllt sein. Vorteilhaft kann zumindest der Kanal um die Leitungsöffnung verfüllt sein, um eine hermetische Abdichtung des Innenraums zu gewährleisten.
  • Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung wird ein System mit einem erfindungsgemäßen Kraftsensor und einer Auswerteelektronik bereitgestellt. Die Auswerteelektronik ist geeignet, um ein Messsignal des Kraftsensors auszuwerten. Die Auswerteelektronik ist weiterhin geeignet, eine Nachricht, beispielsweise mittels Netzwerkinfrastruktur und/ oder Nachrichtenbus an einen Nachrichtenempfänger zu versenden. Die Nachricht kann die Auswertung oder Teile der Auswertung, bzw. weitere Daten umfassen. Das System kann die Kontrolle der Vorspannkraft einer Bolzen- oder Schraubenverbindung vereinfachen.
  • Gemäß einem weiteren vorteilhaften Aspekt der Erfindung kann das System einen Energiespeicher umfassen, wobei die Auswerteelektronik mit in dem Energiespeicher gespeicherter Energie autark betrieben werden kann. Durch den autarken Betrieb können Messungen, bzw. die kontinuierliche Überwachung von etwa Schrauben- oder Bolzenverbindungen auch an unzugänglichen Stellen durchgeführt werden.
  • Gemäß einem weiteren vorteilhaften Aspekt der Erfindung kann die Auswerteelektronik weiterhin geeignet sein, den Energiespeicher mit verfügbarer Energie zu laden. Die verfügbare Energie kann beispielsweise aus Solarzellen, einem Windgenerator, oder mittels Energy-Harvesting bereitgestellt werden. Energy-Harvesting beschreibt ein Verfahren zur quasi-parasitären Nutzung elektromagnetischer Strahlung aus der Umwelt.
  • BESCHREIBUNG DER FIGUREN
  • Im Folgenden werden die Merkmale und Aspekte der Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen und unter Bezugnahme auf die Figuren näher erläutert, dabei zeigt
  • 1 eine Draufsicht auf einen erfindungsgemäßen Kraftsensor,
  • 2 eine Schnittdarstellung durch den Kraftsensor an der Schnittlinie A-A,
  • 3 eine Ausschnittvergrößerung des Bereichs X der 2,
  • 4 eine Ausschnittvergrößerung des Bereichs Y der 2,
  • 5 eine Schnittdarstellung durch den Kraftsensor an der Schnittlinie B-B,
  • 6 eine Ausschnittvergrößerung des Bereichs S der 5,
  • 7 eine Ausschnittvergrößerung des Bereichs T der 5,
  • 8 den Kraftsensor von 1 mit Anschlussleitungen,
  • 9 das Schaltbild des Kraftsensors nach 8,
  • 10 ein Widerstandspaar des Kraftsensors,
  • 11 eine Explosionszeichnung des Kraftsensors mit einer Unterlegscheibe und einem Bolzen,
  • 12 ein erfindungsgemäßes System mit einem Kraftsensor.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG
  • Die 111 zeigen einen exemplarischen erfindungsgemäßen Kraftsensor.
  • 1 zeigt eine Draufsicht, wobei das zweite Teil 20 nicht dargestellt ist. Der Kraftsensor ist flach und ringartig ausgebildet und weist eine durchgehende Öffnung 50 auf. Wie in 11 gezeigt, kann ein Bolzen bzw. eine Schraube durch die Öffnung geführt werden. Zwischen dem ersten Teil 10 und dem nicht dargestellten zweiten Teil 20 ist ein erster piezoresistive Widerstand 401 angeordnet.
  • Wie im Schnitt A-A von 2 dargestellt, wird bei einer axialen Druckbelastung des Kraftsensors 1 durch das längliche Objekt 2 der erste piezoresistive Widerstand 401 mit einer aus der axialen Druckbelastung resultierenden Kraft Fres belastet. Konkret führt eine axiale Druckbelastung des Kraftsensors 1 zu einem Kräftepaar Fres, dass in axialer Richtung von unten durch das erste Teil 10 und von oben durch das zweite Teil 20 wirkt. Durch den hervorstehenden Bereich 201, wie er in 4 vergrößert dargestellt ist, wird die Kraft Fres in den ersten piezoresistiven Widerstand 401 eingeleitet.
  • Das erste Teil 10 und das zweite Teil 20 definieren zusammenwirkend den vorteilhafterweise hermetisch abgedichteten Innenraum 30.
  • Vorteilhafterweise umfasst der Kraftsensor, wie hier gezeigt, einen zweiten piezoresistiven Widerstand 402, wobei der Kraftsensor 1 derart ausgestaltet ist, dass der zweite piezoresistive Widerstand 402 bei der axialen Druckbelastung des Kraftsensors 1 unbelastet bleibt. Wie in der Detailansicht in 3 zu sehen, ist der zweite piezoresistive Widerstand derart angeordnet, dass keine Kraft in den zweiten piezoresistiven Widerstand 402 durch das zweite Teil eingeleitet werden kann. Insbesondere ist der zweite piezoresistive Widerstand 402 derart angeordnet, dass er auch unter einer axialen Druckbelastung keinen Kontakt zum zweiten Teil 20 hat.
  • 1 zeigt ebenfalls einen dritten und einen vierten piezoresistiven Widerstand 403, 404, wobei auch in den dritten piezoresistiven Widerstand 403 ein Anteil Fres der durch die axiale Druckbelastung wirkenden Kräfte in diesen eingeleitet wird. Der vierte piezoresistive Widerstand 404 stellt ebenfalls eine unbelastete Referenz dar.
  • Der Kraftsensor 1 aus 1 zeigt eine besonders vorteilhafte Ausführungsform mit insgesamt acht piezoresistiven Widerständen 404408, wobei vier der Widerstände bei einer axialen Druckbelastung des Kraftsensors 1 mit Druckkräften Fres beaufschlagt werden, und vier weitere piezoresistive Widerstände 402, 404, 406, 408 als unbelastete Referenz dienen können.
  • Der dargestellte Kraftsensor zeigt eine vorteilhafte Anordnung der piezoresistiven Widerstände, welche regelmäßig beabstandet voreinander, gleichmäßig um den Umfang verteilt sind.
  • In 8 ist ebenfalls der Kraftsensor 1 von 1 dargestellt. Zu erkennen ist die Gruppierung jeweils eines belasteten Widerstandes und eines unbelasteten Widerstandes zu einem Widerstandspaar 441444. Wenn sich die belasteten piezoresistiven Widerstände 401, 403, 405, 407, wie in den 1 und 8, bzw. in 2 und 5 gezeigt, näher an der Öffnung 50 befinden als die unbelasteten piezoresistiven Widerstände 402, 404, 406, 408, so vereinfacht dies die Leitungsführung stark.
  • Alternativ wäre es auch möglich die unbelasteten piezoresistiven Widerstände näher an der Öffnung 50 zu platzieren und die belasteten piezoresistiven Widerstände weiter von der Öffnung 50 entfernt.
  • Gezeigt ist eine Anordnung der belasteten piezoresistiven Widerstände 401, 403, 405, 407, in welcher die genannten Widerstände konzentrisch um einen Mittelpunkt 51 der Öffnung 50 anordnet sind.
  • Deutlich zu erkennen ist, dass die Widerstandspaare, wie sie in 10 gezeigt sind, ähnlich ausgebildet sind und rotationssymmetrisch mit einer Schrittweite von 90° im Innenraum 30 zwischen dem ersten Teil 10 und dem zweiten Teil 20, angeordnet sind.
  • Wie in den 2 und 5 gezeigt, ist der hervorstehende Bereich 201 in einer vorteilhaften Ausführungsform verdickt ausgeführt, sodass der hervorstehende Bereich 201 in einer vom ersten Teil 10 abgewandten Richtung über die anderen Bereiche hervorsteht. Gleichzeitig steht der verdickte Bereich 201 des zweiten Teils 20 auch in axialer Richtung zum ersten Teil 10 hingewandt hervor. Der hervorstehende Bereich ist hier demnach stempelartig ausgeführt und ermöglicht die Krafteinleitung in die belasteten piezoresistiven Widerstände.
  • Weitere vorteilhafte Merkmale sind in den 2 und 5 gut zu erkennen. So weist das erste Teil 10 in einem inneren, die Öffnung 50 umschließenden Bereich und in einem äußeren Bereich jeweils einen sich in axialer Richtung erstreckenden Rand auf. Direkt neben dem äußeren Rand ist ein innenliegender Kanal 31 zu erkennen. Ebenso wie der Innenraum 30, sollte der Kanal 31 Abmessungen aufweisen, die es erlauben, einfach und zuverlässig Anschlussleitungen zu verlegen. Die Kanalhöhe KH und die Kanalbreite KB kann vorteilhaft zumindest 0,2 mm bis 3 mm betragen. Die Leitungsöffnung 32 ist in 7 noch einmal vergrößert dargestellt. Die nicht dargestellten Anschlussleitungen werden durch die Leitungsöffnung 32 geführt und in dem Kanal 31 am Umfang entlang gelegt.
  • Das zweite Teil 20 weist beidseits des hervorstehenden Bereichs 201 dünner ausgeführte Federbereiche 221 und 222 auf. Gut zu erkennen ist, dass der umlaufende Federbereich 221 nebenliegend zur Öffnung 50 ist, und eine deutlich kürzere Breite in radialer Richtung Ra aufweist, als der zweite Federbereich 222. Im vorliegenden Fall weist die nach innen gerichtete, dem ersten, kürzeren Federbereich 221 abgewandte Kante 231 eine Rundung auf, um Belastungsspitzen zu vermeiden. Durch die unterschiedlich breiten Federbereiche 221, 222 kann der hervorstehende Bereich 201, hier als Ring ausgeführt, leicht tordieren. In einem inneren Lagerbereich 211 und einem äußeren Lagerbereich 212 liegt das zweite Teil 20 in einer entsprechenden Ausnehmung in den Rändern des ersten Teils 10 auf. Zusätzlich zu dem Formschluss bei Druckbelastung können das erste und das zweite Teil in den Lagerbereichen 212, 211 auf ganzer Länge durch schweißen verbunden werden.
  • Vorteilhaft werden der Kanal 31 und der Innenraum 30 zumindest soweit mit einem Polymer aufgefüllt, dass die hermetische Abdichtung des Innenraums 30 sichergestellt ist, und dass die verlegten Leitungen festgesetzt sind. Die Leitungen können über Kontakte 411414, 421424, 431434, der Widerstandspaare 441444 mit dem piezoresistiven Widerständen 401408 elektrisch verbunden werden.
  • Eine vorteilhafte Ausführung eines Widerstandspaares, wie sie in dem Kraftsensor von 1 bis 12 Verwendung findet, ist in 10 dargestellt.
  • Das Widerstandspaar 441 weist einen mäanderförmigen belasteten piezoresistiven Widerstand 401 und einen mäanderförmigen unbelasteten piezoresistiven Widerstand 402, sowie drei Kontakte 411, 421, 431, auf. Wie ersichtlich, handelt es sich um eine Reihenschaltung, in der ein erster Kontakt 411 an einem Ende an den mäanderförmigen belasteten Widerstand 401 angeschlossen ist. An den ersten belasteten Widerstand 401 schließt sich der zweite Kontakt 421 an, auf welchen dann der zweite piezoresistive Widerstand 402 anschließt. Der zweite piezoresistive Widerstand 402 ist auch bei einer axialen Druckbelastung des Kraftsensors 1 unbelastet. Ein dritter Kontakt 431 schließt sich an den unbelasteten piezoresistiven Widerstand 402 an, und dient zusammen mit dem ersten Kontakt 411 und dem zweiten Kontakt 421 dazu, das Widerstandspaar 441 in eine elektrische Schaltung zu integrieren.
  • Der erste piezoresistive Widerstand 401 und der zweite piezoresistive Widerstand 402 weisen in der gezeigten mäanderförmigen Ausgestaltung eine identische Gesamtlänge des von einem Strom durchflossenen piezoresistiven Materials, wie z.B. Manganin oder Zeranin auf.
  • In der mäandernden Struktur folgt jeweils auf eine links gerichtete Leiterschleife 500 ein Leiter definierter Länge 501 mit einem geringen Querschnitt, an welchen sich eine nach rechts gerichtete Leiterschleife 502 und ein weiterer piezoresistiver Leiter 503 anschließt. Auf diesen wiederum folgt eine weitere links gerichtete Leiterschleife 504.
  • Das dargestellte Layout des Widerstandpaares 441 zeichnet sich durch seine Kompaktheit aus.
  • Die Kontakte 411, 421, 431 können beispielsweise als Lötfahnen ausgestaltet sein.
  • Durch die Anordnung des innen liegenden belasteten piezoresistiven Widerstands 401 und des außen liegenden unbelasteten Widerstands 402, sowie die drei Kontakte, lässt sich eine ausgesprochene einfache Kontaktierung erreichen. Insbesondere müssen Leiter nicht im druckbelasteten Bereich geführt werden.
  • Um wie dargestellt eine Wheatston’sche Brückenschaltung zu erreichen, wird der erste piezoresistive Widerstand 401 des ersten piezoresistiven Widerstandpaar 441 mit dem fünften piezoresistiven Widerstand 405 im dritten Widerstandspaar 443 verbunden. Der sechste piezoresistive Widerstand 406, welcher ebenfalls im dritten Widerstandspaar 443 liegt, wird mit dem vierten piezoresistiven Widerstand 404 aus dem zweiten Widerstandspaar 442 verbunden. Ebenso verhält es sich mit dem dritten piezoresistiven Widerstand 403, welcher ebenfalls im zweiten Widerstandspaar 442 liegt. Dieser wird mit dem siebten piezoresistiven Widerstand 407 des vierten Widerstandspaares 444 verbunden. Der achte piezoresistive Widerstand 408 wird an den zweiten piezoresistiven Widerstand 402 aus dem ersten Widerstandspaar 441 angeschlossen.
  • Legt man an den zweiten Kontakt 423, 424 des jeweils dritten und vierten Widerstandspaares 443, 444 eine Spannung an, so ergibt sich die gesuchte Messgröße in den jeweils zweiten Kontakten 421, 422 des ersten und des zweiten Widerstandpaares 441, 442.
  • Mittels der Leiter 5154 kann der Kraftsensor 1 an eine Auswerteelektronik 5, wie in 12 gezeigt, angeschlossen werden. Das System 4 mit einem Kraftsensor 1, und einer Auswerteelektronik 5 umfasst weiterhin Kommunikationsmittel, welche geeignet sind, Nachrichten mit einer Auswertung des Messsignals beispielsweise über eine Netzwerkinfrastruktur zu versenden. Die Netzwerkinfrastruktur kann vorzugsweise drahtlos, aber auch drahtgebunden ausgestaltet sein.
  • Die Nachrichten können durch einen geeigneten Nachrichtenempfänger empfangen und verarbeitet werden. Der Nachrichtenempfänger ist in der Lage, die Nachrichten einer Vielzahl von Auswerteelektroniken mit Kraftsensor zu verarbeiten und an geeigneter Stelle an einen Bediener auszugeben.
  • In einer vorteilhaften Ausführungsform umfasst das System mit der Auswerteelektronik und dem Kraftsensor zusätzlich einen Energiespeicher, wodurch die Auswerteelektronik ohne eine externe Energieversorgung autark betrieben werden kann.
  • In besonders vorteilhafter Ausführung, ist die Auswerteelektronik zusätzlich geeignet, den Energiespeicher mit verfügbarer Energie, beispielsweise aus Solarzellen, einem Windgenerator oder mittels Energy-Harvesting zu laden.
  • Bezugszeichenliste
  • 1
    Kraftsensor
    2
    Längliches Objekt
    3
    Unterlegscheibe
    4
    Messsystem
    5
    Auswertelektronik
    6
    Energiespeicher
    10
    Erstes Teil
    20
    Zweites Teil
    30
    Innenraum
    31
    Kanal
    32
    Leitungsöffnung
    50
    Öffnung
    51
    Mittelpunkt
    52
    Leiter
    53
    Leiter
    54
    Leiter
    55
    Leiter
    107
    Belasteter piezoresistiver Widerstand
    108
    Unbelasteter piezoresisitver Widerstand
    201
    Hervorstehender Bereich
    202
    Zweiter Bereich
    211
    Erster Lagerbereich
    212
    Zweiter Lagerbereich
    221
    Verdünnter Federbereich
    222
    Verdünnter Federbereich
    231
    Abgewandte Kante
    401
    Piezoresistiver Widerstand
    402
    Piezoresistiver Widerstand
    403
    Piezoresistiver Widerstand
    404
    Piezoresistiver Widerstand
    405
    Piezoresistiver Widerstand
    406
    Piezoresistiver Widerstand
    407
    Piezoresistiver Widerstand
    408
    Piezoresistiver Widerstand
    411
    Kontakt
    412
    Kontakt
    413
    Kontakt
    414
    Kontakt
    421
    Kontak
    422
    Kontakt
    423
    Kontakt
    424
    Kontakt
    431
    Kontakt
    432
    Kontakt
    433
    Kontakt
    434
    Kontakt
    441
    Widerstandspaare
    442
    Widerstandspaare
    443
    Widerstandspaare
    444
    Widerstandspaare
    500
    Leiterschleife
    501
    Definierte Länge
    502
    Leiterschleife
    503
    Piezoresistiver Leiter
    504
    Leiterschleife
    Ax
    Axiale Richtung
    Fres
    resultierende Kraft
    KB
    Kanalbreite
    KH
    Kanalhöhe
    LB
    Lichte Breite
    LH
    Lichte Höhe
    Ra
    Radiale Richtung

Claims (23)

  1. Kraftsensor (1) umfassend ein erstes Teil (10) und ein zweites Teil (20), wobei zwischen dem ersten Teil (10) und dem zweiten Teil (20) zumindest ein erster piezoresistiver Widerstand (401) sowie mindestens ein zweiter piezoresistiver Widerstand (402) angeordnet ist, und der Kraftsensor (1) derart ausgestaltet ist, dass bei einer axialen Druckbelastung des Kraftsensors (1) durch ein Objekt (2) zumindest der erste piezoresistive Widerstand (401) mit einer aus der axialen Druckbelastung resultierenden Kraft (Fres) belastet wird, und wobei der Kraftsensor (1) derart ausgestaltet ist, dass der zweite piezoresistive Widerstand (402) bei der axialen Druckbelastung des Kraftsensors (1) unbelastet bleibt, wobei das zweite Teil (20) zumindest einen hervorstehenden Bereich (201) sowie einen zweiten Bereich (202) aufweist, wobei der hervorstehende Bereich (201) in der axialen Richtung (Ax) auf einer dem ersten Teil (10) zugewandten und/ oder abgewandten Seite gegenüber dem zweiten Bereich (202) hervorsteht, um bei der axialen Druckbelastung des Kraftsensors die resultierenden Kräfte (Fres) lediglich in den oder die zu belastenden piezoresistiven Widerstände (401, 403, 405, 407) einzuleiten.
  2. Kraftsensor (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Teil (10) und der zweite Teil (20) derart ausgestaltet und angeordnet sind, um zusammenwirkend einen hermetisch verschlossenen Innenraum (30) zu definieren.
  3. Kraftsensor (1) nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, dass dieser Kraftsensor (1) mit einer Öffnung (50) derart ausgestaltet ist, um das sich in einer axialen Richtung (Ax) erstreckende Objekt (2) aufzunehmen.
  4. Kraftsensor (1) nach Anspruch 1, umfassend mindestens einen dritten und einen vierten piezoresistiven Widerstand, wobei der Kraftsensor (1) derart ausgestaltet ist, dass bei der axialen Druckbelastung des Kraftsensors (1) der dritte piezoresistive Widerstand (403) mit einer resultierenden Kraft (Fres) belastet wird und der vierte piezoresistive Widerstand (404) unbelastet bleibt.
  5. Kraftsensor (1) nach Anspruch 4, umfassend mindestens einen fünften bis achten piezoresistiven Widerstand, wobei der Kraftsensor (1) derart ausgestaltet ist, dass bei der axialen Druckbelastung des Kraftsensors (1) der fünfte und der siebte piezoresistive Widerstand (405, 407) mit jeweils einer resultierenden Kraft (Fres) belastet werden und der sechste und der achte piezoresistiver Widerstand (406, 408) unbelastet bleiben.
  6. Kraftsensor (1) nach einem der Ansprüche 4 oder 5, wobei die belasteten piezoresistiven Widerstände (401, 403, 405, 407) sowie die unbelasteten piezoresistiven Widerstände im Innenraum (30) jeweils konzentrisch um einen Mittelpunkt (51) herum angeordnet sind.
  7. Kraftsensor (1) nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die belasteten piezoresistiven Widerstände sowie die unbelasteten piezoresistiven Widerstände jeweils vorzugsweise gleichmäßig voneinander und/ oder von dem Mittelpunkt (51) beabstandet sind.
  8. Kraftsensor (1) nach einem der Ansprüche 3 bis 6, wobei die piezoresistiven Widerstände (401408) Widerstandspaare (441444) bilden und die Widerstandspaare (441444) jeweils einen der belasteten piezoresistiven Widerstände (401, 403, 405, 407) und einen der unbelasteten piezoresistiven Widerstände (402, 404, 406, 408) enthalten.
  9. Kraftsensor (1) nach einem der Ansprüche 3 bis 6, wobei die belasteten piezoresistiven Widerstände (401, 403, 405, 407) auf einem anderen Radius liegen als die unbelasteten piezoresistiven Widerstände (402, 404, 406, 406) liegen.
  10. Kraftsensor (1) nach Anspruch 8, wobei die Widerstandspaare (441444) konzentrisch, vorzugsweise gleichmäßig voneinander und/ oder von dem Mittelpunkt (51) beabstandet, um den Mittelpunkt (51) herum angeordnet sind.
  11. Kraftsensor (1) nach Anspruch 8, wobei die Widerstandspaare (441444) jeweils einen ersten bis dritten Kontakt (411414, 421424, 431434) aufweisen und der erste Kontakt (411414) mit dem belasteten piezoresistiven Widerstand (401, 403, 405, 407), der belastete piezoresistive Widerstand zusätzlich mit dem zweiten Kontakt (421424), der zweite Kontakt (421424) zusätzlich mit dem unbelasteten piezoresistiven Widerstand (402, 404, 406, 408), und der unbelastete piezoresistive Widerstand (402, 404, 406, 408) zusätzlich mit dem dritten Kontakt (431434) elektrisch leitend verbunden ist, so dass die Widerstandspaare (441444) jeweils eine Reihenschaltung aufweisen.
  12. Kraftsensor (1) nach einem der Ansprüche 8 bis 11, wobei der Kraftsensor (1) zumindest zwei der Widerstandspaare (441444) nach Anspruch 8 enthält und die Widerstandspaare gleichartig oder identisch ausgebildet sind.
  13. Kraftsensor (1) nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei die piezoresistiven Widerstände (401408) aus einer piezoresistiven Legierung wie Manganin oder Zeranin bestehen.
  14. Kraftsensor (1) nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei die piezoresistiven Widerstände in Dünnschichttechnik und/oder Folientechnik gefertigt sind.
  15. Kraftsensor (1) nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei das zweite Teil (20) an seinem Außenumfang (211) mit dem ersten Teil (10) in Verbindung steht.
  16. Kraftsensor (1) nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei das zweite Teil (20) einen ersten und einen zweiten verdünnten Federbereich (221, 222) aufweist und der hervorstehende Bereich (201) radial zwischen dem ersten und zweiten Federbereich (211, 212) angeordnet ist.
  17. Kraftsensor (1) nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei der Innenraum (30) zwischen den nicht belasteten piezoresistiven Widerständen (402, 404, 406, 408) und dem zweiten Bereich (202) des zweiten Teils (20) eine lichte Höhe (LH) von 0,2 mm bis 3 mm und eine lichte Breite (LB) von zumindest 0,2 mm bis 3 mm aufweist.
  18. Kraftsensor (1) nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei das erste Teil (10) eine Leitungsöffnung (32) in einer umlaufenden Randfläche aufweist, wobei Anschlussleitungen (5154) durch die Leitungsöffnung (32) in den Innenraum (30) geführt werden.
  19. Kraftsensor (1) nach Anspruch 17, wobei der Innenraum (30) einen Kanal (31) im ersten Teil (10) umfasst, wobei der Kanal (31) in einem äußeren Bereich des ersten Teils (10) zumindest teilweise und vorzugsweise ganz umläuft und vorzugsweise eine Kanalbreite (KB) und eine Kanalhöhe (KH) zwischen 0,2 mm und 3 mm aufweist, und wobei die Anschlussleitungen (5154) zumindest abschnittsweise in dem Kanal (31) verlegt sind.
  20. Kraftsensor (1) nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei der Innenraum (30) zumindest teilweise mit einem Polymer verfüllt ist.
  21. Messsystem (4), einen Kraftsensor (1) nach einem der vorherigen Ansprüche und eine Auswerteelektronik (5) umfassend, wobei die Auswerteelektronik (5) geeignet ist, um ein Messsignal des Kraftsensors (1) auszuwerten und eine Auswertung zu erstellen, und die Auswerteelektronik (5) weiterhin geeignet ist, eine Nachricht die Auswertung umfassend, beispielsweise mittels Netzwerkinfrastruktur und/ oder Nachrichtenbus, an einen Nachrichtenempfänger zu versenden.
  22. Messsystem (4) nach Anspruch 21, weiterhin einen Energiespeicher (6) umfassend, wobei die Auswerteelektronik (5) mit in dem Energiespeicher (6) gespeicherter Energie autark betrieben werden kann.
  23. Messsystem (4) nach Anspruch 21, wobei die Auswerteelektronik (5) geeignet ist, den Energiespeicher (6) mit verfügbarer Energie, beispielsweise aus Solarzellen, einem Windgenerator oder mittels Energy-Harvesting, zu laden.
DE102016109433.1A 2016-05-23 2016-05-23 Kraftsensor Active DE102016109433B4 (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102016109433.1A DE102016109433B4 (de) 2016-05-23 2016-05-23 Kraftsensor
JP2017095006A JP6726639B2 (ja) 2016-05-23 2017-05-11 力覚センサ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102016109433.1A DE102016109433B4 (de) 2016-05-23 2016-05-23 Kraftsensor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE102016109433A1 DE102016109433A1 (de) 2017-11-23
DE102016109433B4 true DE102016109433B4 (de) 2018-03-01

Family

ID=60255055

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102016109433.1A Active DE102016109433B4 (de) 2016-05-23 2016-05-23 Kraftsensor

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP6726639B2 (de)
DE (1) DE102016109433B4 (de)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102019103625A1 (de) * 2019-02-13 2020-08-13 Fischerwerke Gmbh & Co. Kg Kraftmessvorrichtung
AT521702B1 (de) * 2019-03-11 2020-04-15 Piezocryst Advanced Sensorics Messsystem, geeignet für den einbau zwischen moment- und/oder kraftübertragenden maschinenteilen
DE102019119414B3 (de) * 2019-07-17 2020-06-18 Pilz Gmbh & Co. Kg Manipulationsdetektionssystem für einen Abfüllstutzen einer Abfüllanlage und Verfahren zum Detektieren einer Manipulation an einem Abfüllstutzen einer Abfüllanlage
CN110657976B (zh) * 2019-10-12 2021-09-17 北京工业大学 一种保证同轴度的螺栓紧固实验装置
CN111820014A (zh) * 2020-07-21 2020-10-27 河南科技大学 一种纵轴流谷子柔撕脱粒滚筒

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0128737A2 (de) 1983-06-10 1984-12-19 Honeywell Inc. Schwingquarzmembran-Druckmessfühler
DE3607491C1 (de) 1986-03-07 1987-07-30 Sartorius Gmbh Kraft- oder Druckaufnehmer mit biegemomentfrei geteilter Plattenfeder
DE3909274A1 (de) 1988-03-24 1989-10-05 Zach Johann Druck- oder kraftmessvorrichtung
GB2326719A (en) 1997-06-19 1998-12-30 John Karl Atkinson Force sensitive devices
DE10325943A1 (de) 2003-06-07 2004-12-30 Continental Aktiengesellschaft Elektromagnetische Kraftmesseinrichtung
US20080196491A1 (en) 2005-07-22 2008-08-21 Stmicroelectronics S.R.L. Integrated pressure sensor with a high full-scale value

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0128737A2 (de) 1983-06-10 1984-12-19 Honeywell Inc. Schwingquarzmembran-Druckmessfühler
DE3607491C1 (de) 1986-03-07 1987-07-30 Sartorius Gmbh Kraft- oder Druckaufnehmer mit biegemomentfrei geteilter Plattenfeder
DE3909274A1 (de) 1988-03-24 1989-10-05 Zach Johann Druck- oder kraftmessvorrichtung
GB2326719A (en) 1997-06-19 1998-12-30 John Karl Atkinson Force sensitive devices
DE10325943A1 (de) 2003-06-07 2004-12-30 Continental Aktiengesellschaft Elektromagnetische Kraftmesseinrichtung
US20080196491A1 (en) 2005-07-22 2008-08-21 Stmicroelectronics S.R.L. Integrated pressure sensor with a high full-scale value

Also Published As

Publication number Publication date
DE102016109433A1 (de) 2017-11-23
JP2017211377A (ja) 2017-11-30
JP6726639B2 (ja) 2020-07-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102016109433B4 (de) Kraftsensor
DE102010001308B4 (de) Hubsensor
DE2758986C2 (de) Kapazitive Kraftmessvorrichtung
DE112013002711B4 (de) Lasterfassungsvorrichtung
WO2014161624A1 (de) Messwiderstand und entsprechendes messverfahren
DE102012020932A1 (de) Kraftmessplatte
EP3384263A1 (de) Drucksensoranordnung sowie messumformer zur prozessinstrumentierung mit einer derartigen drucksensoranordnung
DE102016214668A1 (de) Lager mit einem Zustandsüberwachungssensor
DE112021001705T5 (de) Detektor und detektionssystem
DE3714613C2 (de)
DE1573613B1 (de) Druckmesser
DE2202838A1 (de) Wandler
EP3671142B1 (de) Wägezelle und wiegefuss
DE102015105576A1 (de) Systeme und Verfahren zur Reduzierung der Schwächung in Strommesswertgebern
DE2227106A1 (de) Mikrowellenueberwachungsgeraet
DE1473698A1 (de) Elektrischer Dehnungsmessstreifen
DE102017101385B4 (de) Kriechanpassung bei piezoresistiven Messstreifen
EP3581837A1 (de) Flanschdichtungsring mit integrierter thermoelektrischer messeinrichtung und rohrleitungsanordnung
DE102010024850A1 (de) Rotierbares Bauelement und Verfahren zur Ermittlung der Drehzahl eines rotierbaren Bauelements
EP3853620B1 (de) Batteriesensor zur temperaturunabhängigen strommessung mit einem shunt
EP3913347A1 (de) Messvorrichtung zur erfassung der dehnung eines elastomeren schlauches
DE102016116181A1 (de) Ein- oder mehrachsige Kraftmesseinrichtung mit kurzer Verformungszone
DE2825489C2 (de) Verfahren zur Herstellung einer Spannvorrichtung
EP0215232B1 (de) Elektrischer Fühler für Druck- und Kraftmessungen
EP4012428B1 (de) Widerstandselement und verfahren zur herstellung eines widerstandselements

Legal Events

Date Code Title Description
R163 Identified publications notified
R082 Change of representative

Representative=s name: PRINZ & PARTNER MBB PATENTANWAELTE RECHTSANWAE, DE

R012 Request for examination validly filed
R018 Grant decision by examination section/examining division
R020 Patent grant now final
R082 Change of representative

Representative=s name: PRINZ & PARTNER MBB PATENT- UND RECHTSANWAELTE, DE

Representative=s name: PRINZ & PARTNER MBB PATENTANWAELTE RECHTSANWAE, DE

R082 Change of representative

Representative=s name: PRINZ & PARTNER MBB PATENTANWAELTE RECHTSANWAE, DE