JP2017211377A - 力覚センサ - Google Patents

力覚センサ Download PDF

Info

Publication number
JP2017211377A
JP2017211377A JP2017095006A JP2017095006A JP2017211377A JP 2017211377 A JP2017211377 A JP 2017211377A JP 2017095006 A JP2017095006 A JP 2017095006A JP 2017095006 A JP2017095006 A JP 2017095006A JP 2017211377 A JP2017211377 A JP 2017211377A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
force sensor
piezoresistive
resistor
load
piezoresistive resistor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2017095006A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2017211377A5 (ja
JP6726639B2 (ja
Inventor
レリング フォルカー
Relling Volker
レリング フォルカー
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Minebea Intec Aachen GmbH and Co KG
Original Assignee
Minebea Intec Aachen GmbH and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Minebea Intec Aachen GmbH and Co KG filed Critical Minebea Intec Aachen GmbH and Co KG
Publication of JP2017211377A publication Critical patent/JP2017211377A/ja
Publication of JP2017211377A5 publication Critical patent/JP2017211377A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6726639B2 publication Critical patent/JP6726639B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00Measuring force or stress, in general
    • G01L1/18Measuring force or stress, in general using properties of piezo-resistive materials, i.e. materials of which the ohmic resistance varies according to changes in magnitude or direction of force applied to the material
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00Measuring force or stress, in general
    • G01L1/20Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress
    • G01L1/22Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress using resistance strain gauges
    • G01L1/2206Special supports with preselected places to mount the resistance strain gauges; Mounting of supports
    • G01L1/2231Special supports with preselected places to mount the resistance strain gauges; Mounting of supports the supports being disc- or ring-shaped, adapted for measuring a force along a single direction

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
  • Measurement Of Force In General (AREA)

Abstract

【課題】ボルト接合またはネジ接合における締付け力を測定するための改良された力覚センサまたはボルトセンサを提供する。
【解決手段】第1の部品と第2の部品とを含む力覚センサ1に関し、第1の部品と第2の部品との間に、少なくとも1つの第1のピエゾ抵抗性抵抗体401および少なくとも1つの第2のピエゾ抵抗性抵抗体402が設けられており、物体によって力覚センサに軸方向の圧力負荷がかかる場合、少なくとも第1のピエゾ抵抗性抵抗体401には軸方向の圧力負荷から生じる力によって負荷がかかるように、かつ、第2のピエゾ抵抗性抵抗体402には負荷がかからないままであるように、前記力覚センサは形成されている。
【選択図】図1

Description

本発明は、特に、ボルト接合またはネジ接合における締付け力を測定するために形成することができる、改良された力覚センサまたはボルトセンサに関する。
従来から、力覚センサの様々な実施形態が知られている。例となる力覚センサは、特許文献1に記載されている。例となる力覚センサは、厚膜技術においてキャリア材料に塗布される1つまたは複数の感圧抵抗体を利用している。特許文献1の一実施例においては、負荷がかかる6つの抵抗体と、負荷がかからない2つの基準抵抗体とをブリッジ接続して示す力覚センサが記載されている。
英国特許出願公開第2326719号明細書
本発明の課題は、改良された力覚センサを提供することである。本発明のさらなる課題は、改良された力覚センサと評価エレクトロニクスとを有するシステムを提供することである。さらなる課題は、以下の記載から明らかになる。
本発明の一態様に従えば、力覚センサは、フラットに形成されている第1の部品と第2の部品とを含む。力覚センサ、ひいては第1の部品および第2の部品は、軸方向に延伸する特に縦長の物体、たとえばボルト、シャフト、またはネジ棒を収容し、かつ縦長の物体と協働するために共通の開口部を備える。縦長の物体とは、ボルトおよび特にネジであってよい。第1の部品と第2の部品との間に、少なくとも1つの第1のピエゾ抵抗性抵抗体が設けられている。縦長の物体によって力覚センサに軸方向の圧力負荷がかかると、少なくとも第1のピエゾ抵抗性抵抗体に、軸方向の圧力負荷から生じる力によって負荷がかかるように、力覚センサは形成されている。
文脈において、「ボルト」という用語は、固定するために適した縦長の各物体、特にネジも含む。「負荷がかかる」および「負荷がかからない」という用語は、ピエゾ抵抗性抵抗体との関連において、軸方向に圧力負荷がかけられるか、または軸方向に力(つまり縦長の物体またはボルトの延伸方向に)が加わる場合に、抵抗体に負荷がかかるか、または負荷がかからないことと理解され得る。
有利には、第1の部品および第2の部品は、協働して好適には密に閉鎖された内室を画成するように形成されかつ設けられている。内室は、場合によっては保護ガス、たとえば窒素で満たされてよい。カプセル化することによって、センサを特に厳しい、たとえば腐食性の環境において使用することもできる。一般的に、センサの耐用年数が長くなる。
付加的に、本発明に係る力覚センサは、既存の力覚センサと比べてその構造が非常に平坦なので、容易に既存のボルト接合および/またはネジ接合に組み込むことができる。
本発明の有利な一態様によれば、力覚センサは、少なくとも1つの第2のピエゾ抵抗性抵抗体を備えてよく、力覚センサに軸方向の圧力負荷がかかる場合、第2のピエゾ抵抗性抵抗体には負荷がかからないままである。負荷がかからないピエゾ抵抗性抵抗体は、たとえば、抵抗体の温度依存性のような、測定値の正確性に対する望ましくない影響を最小限にするために、測定時および/または測定データの評価時に基準として使われる。
さらなる有利な一態様によれば、さらに力覚センサは、少なくとも1つの第3のピエゾ抵抗性抵抗体と第4のピエゾ抵抗性抵抗体とを備える。力覚センサに軸方向の圧力負荷がかかると、第3のピエゾ抵抗性抵抗体に生じる力によって負荷がかかることになる。力覚センサに軸方向の圧力負荷がかかると、第4のピエゾ抵抗性抵抗体には負荷がかからないままであってよい。このやり方で、測定の正確性をさらに改善することができる。少なくとも4つのピエゾ抵抗性抵抗体を利用する場合、これらのピエゾ抵抗性抵抗体は、たとえばホイートストン・ブリッジ接続において力覚センサ内で接続されていてよい。ホイートストン・ブリッジによって、負荷がかかる抵抗体の非常にわずかな抵抗変化を測定することもでき、かつ温度効果を相殺することができる。
さらなる有利な一態様によれば、付加的に力覚センサは、少なくとも1つの第5から第8のピエゾ抵抗性抵抗体を備えてよい。これによって力覚センサは、全部で8つのピエゾ抵抗性抵抗体を備えてよい。その際、第1の部品および第2の部品は、第1のピエゾ抵抗性抵抗体、第3のピエゾ抵抗性抵抗体、第5のピエゾ抵抗性抵抗体および第7のピエゾ抵抗性抵抗体にはそれぞれ、力覚センサの軸方向の圧力負荷から生じる力によって負荷がかかり、第2のピエゾ抵抗性抵抗体、第4のピエゾ抵抗性抵抗体、第6のピエゾ抵抗性抵抗体、第8のピエゾ抵抗性抵抗体には、負荷がかからないままであるように形成されている。有利には、これらの抵抗体も、ホイートストンのブリッジ接続において接続されていてよい。有利には、負荷がかかるそれぞれ2つのピエゾ抵抗性抵抗体あるいは負荷がかからない2つのピエゾ抵抗性抵抗体を統合して、ホイートストン・ブリッジ接続の1つの抵抗体を形成してよい。本発明の有利なこの態様に係る力覚センサは、有利な力の流れを有することができる。かくして力覚センサは、さらに良好なまたはより正確な結果を出す。
本発明のさらなる有利な一態様によれば、負荷がかかるピエゾ抵抗性抵抗体、つまり、たとえば、第1のピエゾ抵抗性抵抗体、第3のピエゾ抵抗性抵抗体、第5のピエゾ抵抗性抵抗体および第7のピエゾ抵抗性抵抗体は、内室において周方向に、好適には均等に、互いに離間されているおよび/または開口部から離間されて開口部の周囲に設けられていてよい。例として、2つのピエゾ抵抗性抵抗体の間が180度、または4つのピエゾ抵抗性抵抗体の間がそれぞれ90度であってよい。ピエゾ抵抗性抵抗体、特に負荷がかかるピエゾ抵抗性抵抗体をそのように設けることによって、力覚センサの軸方向の圧力負荷の力は、負荷がかかるピエゾ抵抗性抵抗体に、力の流れにおいて均等に分配されて導入されることになる。
本発明のさらなる有利な一態様によれば、ピエゾ抵抗性抵抗体は、抵抗体のペアを形成してよく、抵抗体のペアはそれぞれ、負荷がかかるピエゾ抵抗性抵抗体を1つと負荷がかからないピエゾ抵抗性抵抗体を1つ含んでよい。言い換えれば、8つのピエゾ抵抗性抵抗体を有する1つの力覚センサは、4つの抵抗体のペアを備えていてよい。8つのピエゾ抵抗性抵抗体のうち、4つは負荷がかかる抵抗体であり、4つは負荷がかからない抵抗体はであってよい。4つの抵抗体のペアの各々には、負荷がかかるピエゾ抵抗性抵抗体と負荷がかからないピエゾ抵抗性抵抗体がそれぞれ1つずつ含まれていてよい。それぞれ2つの抵抗体を1つの抵抗体のペアにグループ化すれば、特に1つの力覚センサにおいてそれぞれ同一の抵抗体のペアが用いられる場合、生産プロセスに有利な影響を及ぼすことができる。
本発明のさらなる有利な一態様によれば、負荷がかかるピエゾ抵抗性抵抗体は、負荷がかからないピエゾ抵抗性抵抗体よりも開口部の近くにあってよい。本発明のさらなる有利な態様とともに、抵抗体をそのように設けることによって、力覚センサをより頑丈にし、かつ生産プロセスをより効率的にすることができる。代替的に、負荷がかからないピエゾ抵抗性抵抗体を開口部のより近くに、負荷がかかるピエゾ抵抗性抵抗体を開口部からさらに遠くに配置することも可能である。
本発明のさらなる有利な一態様によれば、負荷がかかるピエゾ抵抗性抵抗体は、開口部の中心点の周りにほぼ同心状に設けられていてよい。このように設ければ、力の流れに有利な影響を及ぼすことができる。
本発明のさらなる有利な一態様によれば、第2の部品は、少なくとも1つの突出領域を備えてよい。突出領域は、第1の部品を臨む、または、第1の部品とは反対側を向く第2の部品の面において、第2の部品の第2の領域に対して軸方向に突出してよい。突出領域は、第1の部品を臨む面でも、第1の部品とは反対側を向く面でも突出してよい。突出領域は、力覚センサに軸方向の圧力負荷がかかると生じる力を、負荷がかかる1つまたは複数のピエゾ抵抗性抵抗体に導入することができる。
本発明のさらなる有利な一態様によれば、抵抗体のペアは、周方向にかつ好適には均等に互いに離間されているおよび/または開口部から離間されて、開口部の周囲に設けられていてよい。本発明のさらなる有利な態様とともに、そのように設けることによって、力覚センサをさらに最適化できる。
本発明のさらなる有利な一態様によれば、抵抗体のペアは、第1から第3の接触部をそれぞれ1つずつ備える。第1の接触部は、負荷がかかるピエゾ抵抗性抵抗体と導電的に接続されていてよい。付加的に、負荷がかかるピエゾ抵抗性抵抗体は、第2の接触部と導電的に接続されている。付加的に第2の接触部も負荷がかからないピエゾ抵抗性抵抗体と導電的に接続されている。さらに、負荷がかからないピエゾ抵抗性抵抗体も第3の接触部と導電的に接続されている。したがって、抵抗体のペアは、1つの直列接続を備える。言い換えれば、直列接続においては、第1の接触部に負荷がかかるピエゾ抵抗性抵抗体が続き、この負荷がかかるピエゾ抵抗性抵抗体に第2の接触部が続き、第2の接触部に負荷がかからないピエゾ抵抗性抵抗体が続き、この負荷がかからないピエゾ抵抗性抵抗体に第3の接触部が続く。接触部を有する抵抗体のペアを直列接続において形成すれば、力覚センサ内部での電気的連結もしくは配線を簡略化できる。
本発明のさらなる有利な一態様によれば、少なくとも2つの抵抗体のペアは、特にレイアウトおよび接触部の位置に関して、ほぼ同様かつ好適には同一に形成されていてよい。かくして、測定ブリッジの調整をさらに簡略化することができ、起こり得る測定不良が減る。このようにして、抵抗体を電気的に連結もしくは配線するための作業ステップも効率的にすることができる。
本発明のさらなる有利な一態様によれば、ピエゾ抵抗性抵抗体は、マンガニンまたはゼラニンのようなピエゾ抵抗性合金から成ってよい。両材料は、その他に通常は動的圧力覚センサの生産時に適用される。マンガニンという名称には、銅・マンガン合金、特に銅の割合が83〜87%、マンガンの割合が約12〜13%、ニッケルの割合が0〜4%の合金が含まれる。例として、マンガニンは、銅を84%、マンガンを12%、ニッケルを4%含んでよい。マンガニンは、大きい有利なピエゾ抵抗効果を備え、同時に抵抗は温度にあまり依存しない。マンガニンは、その材料特性ゆえに、薄膜技術またはフィルム技術での生産に、特に適している。代替的な材質として、ゼラニンを利用してよい。ゼラニンも、銅・マンガン化合物のことである。ゼラニンは、銅の割合が約90%、マンガンの割合が7%、スズの割合が約2.3%で、アルミニウムと鉄とニッケルとがわずかに混合されている。上記の合金および他の類似の材料は、その材料特性ゆえに、前述の目的に良好に適している。
本発明のさらなる有利な一態様によれば、ピエゾ抵抗性抵抗体は、薄膜技術またはフィルム技術で作成されていてよい。有利には、抵抗体のペアは、1つの部品から、あるいは1つの部品で作られてよい。キャリアシートおよび/またはカバーシートとして、有利にはポリイミドまたは他の高性能ポリマー(PEEK、ポリスルホンまたは同種のもの)が考慮される。
本発明のさらなる有利な一態様によれば、力覚センサの第2の部品は、第1の支持領域および第2の支持領域において、第1の部品に接続されていてよい。言い換えれば、第2の部品は、第1の支持領域および第2の支持領域において、第1の部品の上に載置されてよい。有利には、第1の部品および第2の部品は、形状接続的にまたは材料接続的に連結されていてよい。例として、第2の部品および第1の部品は、第1の支持領域および第2の支持領域において、互いに係合する輪郭を備えてよく、支持領域の全長にわたって溶接されていてよい。
本発明のさらなる有利な一態様によれば、第2の部品は、第1のバネ領域と第2のバネ領域とを備えてよく、バネ領域は、第2の部品を軸方向に弾性変形できるようにするために形成されている。すでに言及された突出領域は、第1のバネ領域と第2のバネ領域との間に設けられていてよい。例として、第2の部品は、突出領域の両側で薄くなっていてよい。バネ領域は、第2の部品の有利な弾性変形を可能にするので、第2の部品の突出領域は、負荷がかかる抵抗体の方向に押し型のように動き、これらの抵抗体に接触して、力覚センサの軸方向の圧力負荷から生じる力を、負荷がかかるそれぞれのピエゾ抵抗性抵抗体に導入する。
本発明のさらなる有利な一態様によれば、力覚センサの内室は、内法の高さが0.2mmから3mmで、内法の幅が少なくとも0.2mmから3mmであってよい。内室の寸法は、抵抗体の容易な接触を可能にし、さらに、負荷がかからない抵抗体に、力覚センサの軸方向の圧力負荷によって負荷がかからないようにする。
本発明のさらなる有利な一態様によれば、第1の部品は、外部を周回する周面にライン開口部を備えてよい。接続ラインは、ライン開口部を通って内室に通されていてよく、当該内室において電気的に、たとえば接触部を用いて、抵抗体と接続されていてよい。これによって、力覚センサによりディスクリングの単純な取り付けまたは使用を容易にすることができる。
本発明のさらなる有利な一態様によれば、内室は、第2の部品を臨む第1の部品の表面に通路を有する。好適には、通路は、第1の部品の外側の領域において、部分的にまたは完全に周回してよい。好適には、通路は、0.2mmから3mmの通路高さおよび通路幅を有していてよい。接続ラインは、少なくとも部分的に、通路内に敷設されていてよい。
本発明のさらなる有利な一態様によれば、内室は、少なくとも部分的にポリマーで充填されていてよい。有利には、少なくとも通路は、内室の密なシールを保証するために、ライン開口部の周りにおいて充填されていてよい。
本発明のさらなる一態様によれば、本発明に係る力覚センサおよび評価エレクトロニクスを有するシステムが準備される。評価エレクトロニクスは、力覚センサの測定信号を評価することに適している。さらに評価エレクトロニクスは、メッセージを、たとえばネットワークインフラストラクチャおよび/またはメッセージバスを用いて、メッセージ受信器に送信することに適している。メッセージは、評価もしくは評価の一部または他のデータを含んでいてよい。システムにより、ボルト接合またはネジ接合の予圧のコントロールを簡略化することができる。
本発明のさらなる有利な一態様によれば、システムは、エネルギー貯蔵器を有していてよく、評価エレクトロニクスは、エネルギー貯蔵器内に貯蔵されたエネルギーによって自立して運転することができる。自立した運転により、たとえばネジ接合またはボルト接合の測定または継続的な監視を、アクセスできない箇所でも実行することができる。
本発明のさらなる有利な一態様によれば、さらに評価エレクトロニクスは、エネルギー貯蔵器を利用可能なエネルギーで充電することに適していてよい。利用可能なエネルギーは、たとえばソーラーセルや風力発電機から、またはエナジーハーベスティングによって準備することができる。エナジーハーベスティングは、環境からの電磁波をいわば寄生利用するための方法のことである。
本発明に係る力覚センサの平面図である。 A−A線に沿った力覚センサの断面図である。 図2の領域Xの部分拡大図である。 図2の領域Yの部分拡大図である。 線B−Bに沿った力覚センサの断面図である。 図5の領域Y′の部分拡大図である。 図5の領域X′の部分拡大図である。 接続ラインを有する図1の力覚センサを示す図である。 図8に記載の力覚センサの回路図である。 力覚センサの抵抗体のペアを示す図である。 ワッシャおよびボルトを有する力覚センサの分解図である。 力覚センサを有する本発明に係るシステムを示す図である。
以下、本発明の特徴および態様を、実施の形態および図に基づいてより詳細に説明する。
図1から図11は、例示的な本発明に係る力覚センサを示している。
図1は平面図であり、力覚センサ1は、フラット(平坦)かつリング状に形成されており、貫通する開口部50を有する。図11に示すように、開口部を通ってボルトまたはネジを案内することができる。第1の部品10と図示されていない第2の部品20との間に、第1のピエゾ抵抗性抵抗体401が設けられている。
図2のA−A線の断面において示すように、縦長の物体2によって力覚センサ1に軸方向の圧力負荷がかかると、第1のピエゾ抵抗性抵抗体401に軸方向の圧力負荷から結果的に生じる力Fresによる負荷がかかる。具体的には、力覚センサ1の軸方向の圧力負荷は、軸方向において下方からは第1の部品10によって、上方からは第2の部品20によって作用する力のペアFresをもたらす。図4において拡大して示すように、突出領域201を通じて、力Fresは、第1のピエゾ抵抗性抵抗体401に導入される。
第1の部品10および第2の部品20は、協働して、有利には密にシールされた(密閉された)内室30を画成する。
有利には力覚センサは、ここで示すように、第2のピエゾ抵抗性抵抗体402を有する。力覚センサ1は、当該力覚センサ1に軸方向の圧力負荷がかかる場合、第2のピエゾ抵抗性抵抗体402には負荷がかからないままであるように形成されている。図3の詳細図から見られるように、第2のピエゾ抵抗性抵抗体は、第2の部品を通じて第2のピエゾ抵抗性抵抗体402に力が導入されることがないように配置されている。特に、軸方向の圧力負荷がかかっても、第2のピエゾ抵抗性抵抗体402は、第2の部品20に接触しないように配置されている。
図1は同様に、第3のピエゾ抵抗性抵抗体403および第4のピエゾ抵抗性抵抗体404を示している。第3のピエゾ抵抗性抵抗体403においても、軸方向の圧力負荷によって作用する力のうち所定の割合の力Fresが、このピエゾ抵抗性抵抗体403に導入される。第4のピエゾ抵抗性抵抗体404は同様に、負荷がかからない基準となっている。
図1の力覚センサ1は、全部で8つのピエゾ抵抗性抵抗体401〜408を有する、特に有利な実施の形態を示しており、抵抗体のうち4つには、力覚センサ1に軸方向の圧力負荷がかかると圧力Fresが加えられ、その他の4つのピエゾ抵抗性抵抗体402、404、406、408は、負荷がかからない基準として機能することができる。
図示の力覚センサは、均等に互いに距離を置いて周方向において一様に分配されているピエゾ抵抗性抵抗体の有利な配置を示している。
図8において同様に、図1の力覚センサ1が描かれている。それぞれ1つの負荷がかかる抵抗体と負荷がかからない抵抗体とを1つの抵抗体のペア441〜444にグループ化していることを認めることができる。図1および図8または図2および図5に示されるように、負荷がかかるピエゾ抵抗性抵抗体401、403、405、407が、負荷がかからないピエゾ抵抗性抵抗体402、404、406、408よりも開口部50の近くにあれば、ラインの案内は非常に簡略化される。
代替的に、負荷がかからないピエゾ抵抗性抵抗体を開口部50のより近くに配置し、負荷がかかるピエゾ抵抗性抵抗体を開口部50からさらに遠くに配置することも可能である。
負荷がかかるピエゾ抵抗性抵抗体401、403、405、407の配置が示されているが、ここでは、前述の抵抗体が開口部50の中心点51の周りに同心状に設けられている。
図10に示されているように、抵抗体のペアは、類似して形成されており、第1の部品10と第2の部品20との間の内室30において90度のステップ幅で回転対称的に設けられていることを明確に認識することができる。
図2および図5に示されているように、突出領域201は、有利な実施の形態において厚みを帯びて構成されているので、突出領域201は、第1の部品10とは反対側の方向に別の領域へ突出している。同時に、第2の部品20の厚みを帯びた領域201は、第1の部品10に向かっても軸方向に突出している。したがって、突出領域は、本実施の形態においては、押し型のように構成されており、負荷がかかるピエゾ抵抗性抵抗体への力の導入を可能にする。
さらなる有利な特徴は、図2おいて図5においてよく認識することができる。したがって、第1の部品10は、開口部50を取り囲む内側の領域および外側の領域においてそれぞれ、軸方向に延伸するそれぞれ1つの縁辺部を備える。外側の縁辺部のすぐ隣には、内側の通路31を認めることができる。内室30と同様に、通路31は、容易にかつ信頼性をもって接続ラインを敷設することを可能にする寸法を有する。有利には、通路高さKHと通路幅KBは、少なくとも0.2mmから3mmであってよい。ライン開口部32を、図7に拡大して描く。図示されていない接続ラインは、ライン開口部32を通って案内され、通路31内で周方向に沿って敷設される。
第2の部品20は、突出領域201の両側に、より薄く構成されたバネ領域221、222を備える。周回するバネ領域221は、開口部50に並接しており、第2のバネ領域222よりも半径方向Raにおいて明らかに小さい幅を有していることを認識することができる。本構成においては、ピーク負荷を回避するために、短い第1のバネ領域221とは反対側で内側に向いた縁部231は、R部を有している。バネ領域221、222の幅が異なっていることによって、本実施の形態においてはリングとして構成されている突出領域201は、わずかにねじれることになる。内側の支持領域211および外側の支持領域212において、第2の部品20は、第1の部品10の縁辺部の対応する凹部に載っている。圧力負荷時の形状接続に加えて、第1の部品および第2の部品は、支持領域212、211において全長にわたって溶接によって接合されてよい。
有利には、通路31および内室30は、少なくとも、内室30の密閉が確保されていて、かつ敷設されたラインが固定されている程度にポリマーで満たされる。ラインは、抵抗体のペア441〜444の接触部411〜414、421〜424、431〜434を介して、ピエゾ抵抗性抵抗体401〜408と電気的に接続されてよい。
図1から図12の力覚センサにおいて用いられるような、抵抗体のペアの有利な構成が図10に描かれている。
抵抗体のペア441は、負荷がかかるメアンダ形状のピエゾ抵抗性抵抗体401と、負荷がかからないメアンダ形状のピエゾ抵抗性抵抗体402と、3つの接触部411、421、431とを備える。第1の接触部411が一端部で、負荷がかかるメアンダ形状の抵抗体401に接続されている直列接続が明らかになっている。第1の負荷がかかる抵抗体401には、第2の接触部421が接続しており、それから当該第2の接触部421には、第2のピエゾ抵抗性抵抗体402が接続している。第2のピエゾ抵抗性抵抗体402には、力覚センサ1に軸方向の圧力負荷がかかっても負荷がかからない。第3の接触部431は、負荷がかからないピエゾ抵抗性抵抗体402に接続されており、第1の接触部411および第2の接触部421とともに、抵抗体のペア441を1つの電気回路に統合するために寄与する。
第1のピエゾ抵抗性抵抗体401および第2のピエゾ抵抗性抵抗体402は、図示のメアンダ形状の構成において、たとえば、マンガニンまたはゼラニンのような電流が流れるピエゾ抵抗性材料の全長が同一である。
メアンダ形状の構造において、左を向いた導体ループ500にそれぞれ、規定の長さ501で断面が小さい導体が続く。導体には、右を向いた導体ループ502、および他のピエゾ抵抗性導体503が接続される。このピエゾ抵抗性導体503にもやはり左を向いた他の導体ループ504が続く。
抵抗体のペア441の図示のレイアウトは、そのコンパクト性という点において際立っている。
接触部411、421、431は、たとえば、ろう接されたタグとして形成されていてよい。
内側にある負荷がかかるピエゾ抵抗性抵抗体401および外側にある負荷がかからないピエゾ抵抗性抵抗体402の配置、並びに3つの接触部によって、上述の簡単な接触接続を達成することができる。特に導体を圧力負荷がかかる領域に通す必要はない。
図示のホイートストン・ブリッジ接続を達成するために、第1のピエゾ抵抗性抵抗体のペア441の第1のピエゾ抵抗性抵抗体401は、第3の抵抗体のペア443内の第5のピエゾ抵抗性抵抗体405と接合される。同様に第3の抵抗体のペア443内にある第6のピエゾ抵抗性抵抗体406は、第2の抵抗体のペア442の第4のピエゾ抵抗性抵抗体404と接合される。同様に第2の抵抗体のペア442内にある第3のピエゾ抵抗性抵抗体403も同様である。このピエゾ抵抗性抵抗体403は、第4の抵抗体のペア444の第7のピエゾ抵抗性抵抗体407と接合される。第8のピエゾ抵抗性抵抗体408は、第1の抵抗体のペア441の第2のピエゾ抵抗性抵抗体402に接続される。
それぞれ第3および第4の抵抗体のペア443、444の第2の接触部423、424に電圧を印加すると、第1および第2の抵抗体のペア441、442のそれぞれの第2の接触部421、422に目当ての測定値が発生する。
導体52〜55を用いて、力覚センサ1は、図12に示されるように、評価エレクトロニクス(評価電子装置)5に接続することができる。力覚センサ1と評価エレクトロニクス5とを有するシステム4はさらに、測定信号の評価を有するメッセージを、たとえばネットワークインフラストラクチャを介して送信することに適した通信手段を含む。好適には、ネットワークインフラストラクチャは、ワイヤレスにより形成することができるが、有線により形成されていてもよい。
メッセージは、適したメッセージ受信器によって受信されて処理することができる。メッセージ受信器は、力覚センサを有する複数の評価エレクトロニクスのメッセージを処理し、かつ適した箇所においてオペレータに出力することができる。
有利な一実施の形態において、評価エレクトロニクスおよび力覚センサを有するシステムは、付加的にエネルギー貯蔵器を含む。かくして評価エレクトロニクスは、外部からのエネルギー供給がなくても自立して運転することができる。
特に有利な構成において、付加的に評価エレクトロニクスは、たとえばソーラーセルや風力発電機からまたはエナジーハーベスティングによる利用可能なエネルギーによってエネルギー貯蔵器を充電することに適している。
1 力覚センサ
2 縦長の物体
3 ワッシャ
4 測定システム
5 評価エレクトロニクス
6 エネルギー貯蔵器
10 第1の部品
20 第2の部品
30 内室
31 通路
32 ライン開口部
50 開口部
51 中心点
52 導体
53 導体
54 導体
55 導体
107 負荷がかかるピエゾ抵抗性抵抗体
108 負荷がかからないピエゾ抵抗性抵抗体
201 突出領域
202 第2の領域
211 第1の支持領域
212 第2の支持領域
221 薄くなったバネ領域
222 薄くなったバネ領域
231 背向する縁部
401 ピエゾ抵抗性抵抗体
402 ピエゾ抵抗性抵抗体
403 ピエゾ抵抗性抵抗体
404 ピエゾ抵抗性抵抗体
405 ピエゾ抵抗性抵抗体
406 ピエゾ抵抗性抵抗体
407 ピエゾ抵抗性抵抗体
408 ピエゾ抵抗性抵抗体
411 接触部
412 接触部
413 接触部
414 接触部
421 接触部
422 接触部
423 接触部
424 接触部
431 接触部
432 接触部
433 接触部
434 接触部
441 抵抗体のペア
442 抵抗体のペア
443 抵抗体のペア
444 抵抗体のペア
500 導体ループ
501 規定された長さ
502 導体ループ
503 ピエゾ抵抗性導体
504 導体ループ
Ax 軸方向
Fres 結果的に生じる力
KB 通路幅
KH 通路高さ
LB 内法の幅
LH 内法の長さ
Ra 半径方向

Claims (27)

  1. 第1の部品(10)と第2の部品(20)とを含む力覚センサ(1)であって、
    前記第1の部品(10)と前記第2の部品(20)との間に、少なくとも1つの第1のピエゾ抵抗性抵抗体(401)および少なくとも1つの第2のピエゾ抵抗性抵抗体(402)が設けられており、
    物体(2)によって前記力覚センサ(1)に軸方向の圧力負荷がかかる場合、少なくとも前記第1のピエゾ抵抗性抵抗体(401)に軸方向の圧力負荷から生じる力(Fres)によって負荷がかかるように、かつ
    前記力覚センサ(1)に前記軸方向の圧力負荷がかかる場合、前記第2のピエゾ抵抗性抵抗体(402)には負荷がかからないままであるように、前記力覚センサ(1)は形成されている、力覚センサ(1)。
  2. 前記第1の部品(10)および前記第2の部品(20)は、協働して密に閉鎖された内室(30)を画成するように形成されかつ設けられていることを特徴とする請求項1に記載の力覚センサ(1)。
  3. 当該力覚センサ(1)は、軸方向(Ax)に延伸する前記物体(2)を収容するように、開口部(50)をもって形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の力覚センサ(1)。
  4. 少なくとも1つの第3のピエゾ抵抗性抵抗体と第4のピエゾ抵抗性抵抗体とを有し、前記力覚センサ(1)に前記軸方向の圧力負荷がかかる場合、前記第3のピエゾ抵抗性抵抗体(403)には前記軸方向の圧力負荷から生じる力(Fres)によって負荷がかかり、前記第4のピエゾ抵抗性抵抗体(404)には負荷がかからないままであるように、前記力覚センサ(1)は形成されている、請求項1に記載の力覚センサ(1)。
  5. 少なくとも1つの第5から第8のピエゾ抵抗性抵抗体を有し、前記力覚センサ(1)に前記軸方向の圧力負荷がかかる場合、第5および第7のピエゾ抵抗性抵抗体(405、407)には前記軸方向の圧力負荷から生じる力(Fres)によってそれぞれ負荷がかかり、第6および第8のピエゾ抵抗性抵抗体(406、408)には負荷がかからないままであるように、前記力覚センサ(1)は形成されている、請求項4に記載の力覚センサ(1)。
  6. 前記負荷がかかるピエゾ抵抗性抵抗体(401、403、405、407)および前記負荷がかからないピエゾ抵抗性抵抗体は、前記第1の部品(10)と前記第2の部品(20)との間の内室(30)において、軸方向(Ax)に延伸する前記物体(2)を収容する開口部(50)の中心点(51)の周囲にそれぞれ同心状に設けられている、請求項4または5に記載の力覚センサ(1)。
  7. 前記負荷がかかるピエゾ抵抗性抵抗体および前記負荷がかからないピエゾ抵抗性抵抗体はそれぞれ、互いに離間されているおよび/または前記中心点(51)から離間されていることを特徴とする請求項6に記載の力覚センサ(1)。
  8. 前記負荷がかかるピエゾ抵抗性抵抗体および前記負荷がかからないピエゾ抵抗性抵抗体はそれぞれ、均等に離間されていることを特徴とする請求項7に記載の力覚センサ(1)。
  9. 前記ピエゾ抵抗性抵抗体(401〜408)は、抵抗体のペア(441〜444)を形成し、前記抵抗体のペア(441〜444)はそれぞれ、前記負荷がかかるピエゾ抵抗性抵抗体(401、403、405、407)を1つと、前記負荷がかからないピエゾ抵抗性抵抗体(402、404、406、408)を1つ含んでいる、請求項3から6のいずれか1項に記載の力覚センサ(1)。
  10. 前記負荷がかかるピエゾ抵抗性抵抗体(401、403、405、407)は、前記負荷がかからないピエゾ抵抗性抵抗体(402、404、406、406)がある半径とは異なる半径上にある、請求項3から6のいずれか1項に記載の力覚センサ(1)。
  11. 前記第2の部品(20)は、少なくとも1つの突出領域(201)と第2の領域(202)とを備え、前記突出領域(201)は、前記第1の部品(10)を臨むおよび/または前記第1の部品(10)とは反対側を臨む面が第2の領域(202)に対して軸方向(Ax)に突出しており、前記力覚センサに前記軸方向の圧力負荷がかかる場合、前記軸方向の圧力負荷から生じる力(Fres)を1つまたは複数の前記負荷がかかるピエゾ抵抗性抵抗体(401、403、405、407)にのみ導入する、請求項1から10のいずれか1項に記載の力覚センサ(1)。
  12. 前記抵抗体のペア(441〜444)は、同心状に互いに離間されているおよび/または軸方向(Ax)に延伸する前記物体(2)を収容する開口部(50)の中心点(51)から離間されて前記中心点(51)の周囲に設けられている、請求項9に記載の力覚センサ(1)。
  13. 前記抵抗体のペア(441〜444)は、同心状に均等に互いに離間されているおよび/または前記中心点(51)から離間されて前記中心点(51)の周囲に設けられている、請求項12に記載の力覚センサ(1)。
  14. 前記抵抗体のペア(441〜444)は、第1から第3の接触部(411〜414、421〜424、431〜434)をそれぞれ1つずつ備え、第1の接触部(411〜414)は、前記負荷がかかるピエゾ抵抗性抵抗体(401、403、405、407)と導電的に接続されており、前記負荷がかかるピエゾ抵抗性抵抗体は、付加的に第2の接触部(421〜424)と導電的に接続されており、前記第2の接触部(421〜424)は、付加的に、前記負荷がかからないピエゾ抵抗性抵抗体(402、404、406、408)と導電的に接合されており、前記負荷がかからないピエゾ抵抗性抵抗体(402、404、406、408)は、付加的に、第3の接触部(431〜434)と導電的に接合されているので、前記抵抗体のペア(441〜444)はそれぞれ、1つの直列接続を備える、請求項9に記載の力覚センサ(1)。
  15. 前記力覚センサ(1)は、前記抵抗体のペア(441〜444)を少なくとも2つ含み、前記抵抗体のペアは、同様にまたは同一に形成されている、請求項9または12から14までのいずれか1項に記載の力覚センサ(1)。
  16. 前記ピエゾ抵抗性抵抗体(401〜408)は、マンガニンまたはゼラニンのようなピエゾ抵抗性合金から成る、請求項1から15のいずれか1項に記載の力覚センサ(1)。
  17. 前記ピエゾ抵抗性抵抗体は、薄膜技術および/またはフィルム技術により製造されている、請求項1から16のいずれか1項に記載の力覚センサ(1)。
  18. 前記第2の部品(20)は、その外周部(211)で前記第1の部品(10)と連結されている、請求項1から17のいずれか1項に記載の力覚センサ(1)。
  19. 前記第2の部品(20)は、肉薄化された第1および第2のバネ領域(221、222)を備え、前記突出領域(201)は、半径方向において前記第1のバネ領域(221)と前記第2のバネ領域(222)との間に設けられている、請求項11に記載の力覚センサ(1)。
  20. 前記負荷がかからないピエゾ抵抗性抵抗体(402、404、406、408)と前記第2の部品(20)の前記第2の領域(202)との間の内室(30)は、内法の高さ(LH)が0.2mmから3mmで、内法の幅(LB)が少なくとも0.2mmから3mmである、請求項11または19に記載の力覚センサ(1)。
  21. 前記第1の部品(10)は、周回する縁面にライン開口部(32)を備え、接続ライン(52〜54)は、前記ライン開口部(32)を通って前記内室(30)に通される、請求項20に記載の力覚センサ(1)。
  22. 前記内室(30)は、前記第1の部品(10)に通路(31)を有し、前記通路(31)は、前記第1の部品(10)の外側の領域において、少なくとも部分的に周回し、前記接続ライン(52〜54)は、少なくとも部分的に前記通路(31)内に敷設されている、請求項21に記載の力覚センサ(1)。
  23. 前記通路(31)は、完全に周回し、0.2mmから3mmの間の通路幅(KB)および通路高さ(KH)を有している、請求項22に記載の力覚センサ(1)。
  24. 前記内室(30)は、少なくとも部分的にポリマーにより充填されている、請求項2、6、または20から23までのいずれか1項に記載の力覚センサ(1)。
  25. 請求項1から24のいずれか1項に記載の力覚センサ(1)と評価エレクトロニクス(5)とを含む測定システム(4)であって、
    前記評価エレクトロニクス(5)は、前記力覚センサ(1)の測定信号を評価し、かつ評価を作成することに適しており、
    前記評価エレクトロニクス(5)は、さらに、前記評価を含むメッセージを、たとえばネットワークインフラストラクチャおよび/またはメッセージバスを用いてメッセージ受信器に送信することに適している、測定システム(4)。
  26. さらにエネルギー貯蔵器(6)を有し、前記評価エレクトロニクス(5)は、前記エネルギー貯蔵器(6)内に貯蔵されたエネルギーによって自立して運転することができる、請求項25に記載の測定システム(4)。
  27. さらにエネルギー貯蔵器(6)を有し、前記評価エレクトロニクス(5)は、たとえばソーラーセルや風力発電機からの、またはエナジーハーベスティングによる利用可能なエネルギーにより、前記エネルギー貯蔵器(6)を充電することに適している、請求項25に記載の測定システム(4)。
JP2017095006A 2016-05-23 2017-05-11 力覚センサ Active JP6726639B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102016109433.1A DE102016109433B4 (de) 2016-05-23 2016-05-23 Kraftsensor
DE102016109433.1 2016-05-23

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2017211377A true JP2017211377A (ja) 2017-11-30
JP2017211377A5 JP2017211377A5 (ja) 2020-05-07
JP6726639B2 JP6726639B2 (ja) 2020-07-22

Family

ID=60255055

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017095006A Active JP6726639B2 (ja) 2016-05-23 2017-05-11 力覚センサ

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP6726639B2 (ja)
DE (1) DE102016109433B4 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112238987A (zh) * 2019-07-17 2021-01-19 皮尔茨有限及两合公司 用于灌装设备的灌装接管的操作检测系统和用于检测在灌装设备的灌装接管处的操作的方法

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102019103625A1 (de) * 2019-02-13 2020-08-13 Fischerwerke Gmbh & Co. Kg Kraftmessvorrichtung
AT521702B1 (de) * 2019-03-11 2020-04-15 Piezocryst Advanced Sensorics Messsystem, geeignet für den einbau zwischen moment- und/oder kraftübertragenden maschinenteilen
CN110657976B (zh) * 2019-10-12 2021-09-17 北京工业大学 一种保证同轴度的螺栓紧固实验装置
CN111820014A (zh) * 2020-07-21 2020-10-27 河南科技大学 一种纵轴流谷子柔撕脱粒滚筒

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4479070A (en) 1983-06-10 1984-10-23 Sperry Corporation Vibrating quartz diaphragm pressure sensor
DE3607491C1 (de) 1986-03-07 1987-07-30 Sartorius Gmbh Kraft- oder Druckaufnehmer mit biegemomentfrei geteilter Plattenfeder
DE3909274A1 (de) 1988-03-24 1989-10-05 Zach Johann Druck- oder kraftmessvorrichtung
GB9712835D0 (en) 1997-06-19 1997-08-20 Atkinson John K Improvements in or relating to force sensitive devices
DE10325943A1 (de) 2003-06-07 2004-12-30 Continental Aktiengesellschaft Elektromagnetische Kraftmesseinrichtung
EP1907808A1 (en) 2005-07-22 2008-04-09 STMicroelectronics S.r.l. Integrated pressure sensor with a high full-scale value

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112238987A (zh) * 2019-07-17 2021-01-19 皮尔茨有限及两合公司 用于灌装设备的灌装接管的操作检测系统和用于检测在灌装设备的灌装接管处的操作的方法

Also Published As

Publication number Publication date
DE102016109433B4 (de) 2018-03-01
JP6726639B2 (ja) 2020-07-22
DE102016109433A1 (de) 2017-11-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2017211377A (ja) 力覚センサ
US10240989B2 (en) Magnetoelastic sensor using strain-induced magnetic anisotropy to measure the tension or compression present in a plate
US20150340744A1 (en) Battery cell health monitoring using eddy current sensing
US20180113161A1 (en) Remotely powered line monitor
Sommer et al. Embedded fiber optic sensing for accurate state estimation in advanced battery management systems
JP2017211377A5 (ja)
JP2023522720A (ja) 方法および装置
US20200284672A1 (en) Magnetostriction type torque detection sensor
US9853333B2 (en) Temperature sensor and method for detecting a temperature of a battery cell
US7913570B2 (en) Environmental damage sensor
JP3736853B2 (ja) バッテリ再充電装置
EP3346524A1 (en) Battery module with thermocouple unit
US9103652B2 (en) Non-contact sheet conductivity measurements implementing a rotating magnetic braking system
KR20100044407A (ko) 파우치 전지셀의 절연성 검사 방법 및 시스템
CN106574942A (zh) 用于对电荷储存器件进行测试的测量仪器
CN101285724B (zh) 负载和负载方向检测装置
CN208443927U (zh) 分布电极式三维电场传感器
CN110146733A (zh) 非接触电压测量装置及非接触电压测量方法
US10054501B2 (en) In-situ stress detector for an electrode and a method of use
US9581620B2 (en) Integrated semiconductor device comprising a hall effect current sensor
US20160109524A1 (en) Arrangement for Determining Characteristic Variables of an Electrochemical Energy Store
JP6374805B2 (ja) トルク検出装置、及びトルク検出方法
JP2000003734A (ja) 組電池のための温度センサ−取り付け構造および充電方法
JP2008002927A (ja) 圧力計測装置及び圧力計測方法
JP6423579B2 (ja) 導電率測定計及びその測定値補正方法

Legal Events

Date Code Title Description
A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711

Effective date: 20171114

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20200323

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20200323

A871 Explanation of circumstances concerning accelerated examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871

Effective date: 20200323

A975 Report on accelerated examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005

Effective date: 20200324

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20200409

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20200508

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20200528

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20200629

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6726639

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250