JPH0330443A - Ｉｃベアーチップの移載装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、ＩＣベアーチップをＩＣリードフレームや回
路基板にボンディングする際に用いるＸＣベアーチップ
の移載装置に関するものである。

従来の技術 近年、電子部品、特にＩＣ生産の伸びは著しく、また付
加価値を上げるため、部品メーカー、アッセンブリーメ
ーカーの別を問わず、自社内でＩＣの実務をするケース
が多く見受けられる。従ってＩＣのベアーチップが広く
取り扱われるようになり、それだけ、信頼性の高いＩＣ
ベアーチップの移載手段が望まれている。

従来のＩＣベアーチップの移載（取り外し）は、第３図
に示したような環状部材１によって保持されている粘着
シート２に粘着保持されているＩＣベアーチップ３を、
非粘着面側よシ粘着シート２に一定の張力を与えるため
に、突き上げロッド４によりａだけ突き上げたのち、Ｉ
Ｃベアーチップ３表面を吸着保持する吸着ノズル５が下
降し、第４図に示すようになる。さらに、突き上げロッ
ド４に内蔵されたＩＣベアーチップ突き上げのための針
状部材ｅにより突き上げながら、この針状部材ｅと同期
して、吸着ノズル５も上昇して、ＩＣベアーチップ３を
取り出す。

発明が解決しようとする課題 ＩＣベアーチップを粘着シートより取り外す際には粘着
シートにある一定の張力を与えることが重要になる。従
来はこの張力を得る方法として、粘着シートの一部を突
き上げ、粘着シート全体が、一定量伸びることにより張
力を得ていた。この方法によれば、粘着シート全体に繰
り返し引つ張シカが加わるため、突き上げ回数が増すに
つれて粘着シート全体がたるみをおび１くる。また、Ｉ
Ｃベアーチップを取シ外していくにつれて粘着シートに
は針状部材が突き破った多数の小穴があき、張力に変化
をもたらす。この張力の変化は、特に微小チップの場合
に、ＩＣベアーチップの微妙な位置づれを引き起こし、
針状部材が正確にＩＣベアーチップの中心を突き上げら
れなくなる。このことはまた、ＩＣベアーチップの突き
上げ時の姿勢にも影響を及ぼし、取り出し信頼性に重大
な影響を与える。これらの影響はウエノ・サイズが大き
くなる程重大になってくる。

本発明は、上記の点に鑑みてなされたもので、粘着シー
トに安定した張力を与えるとともに、ＩＣベアーチップ
の姿勢が安定するようにしたＩＣベアーチップの移載装
置を提供するものである。また、微小チップから、比較
的大きなものまで安定して取り外すことができるＩＣベ
アーチップの移載装置を提供するものである。更に、特
に矩形穴付長尺材にＩＣベアーチップを収納する部品集
合体を作る場合には、取り外した後のＩＣベアーチップ
を吸着保持するノズルを省き、直接粘着シート上からＩ
Ｃベアーチップを長尺材の矩形穴に収納するＩＣベアー
チップの移載方法を提供するものである。

課題を解決するだめの手段 そこで本発明は、この粘着シート上に保持されているＩ
Ｃベアーチップと、粘着シートの非粘着面におけるＩＣ
ベアーチップの周辺部のみを吸着することの可能な突き
上げロッドと、このロッドに内蔵され、粘着シートを突
き破ってＩＣベアーチップを突き上げる針状部材と、突
き上げられたＩＣベアーチップを吸着保持するノズルと
を備えた構成としだものである。またＩＣベアーチップ
を突き上げる針状部材は複数本あシ、これらを切換える
ことが可能なように構成したものである。

作　　　用 上記構成によれば、粘着シートの非粘着面のＩＣペア＝
チップの周辺部のみを吸着することにより、局部的に安
定した張力を発生させることができ、また、粘着シート
自身の張力変化があった場合でも、張力を与える部分が
限られているため、ＩＣベアーチップの位置ずれは極め
て少ない。また、粘着シートを突き破ってＩＣベアーチ
ップを突き上げる針状部材を切如換えることによυ微小
チップから比較的大きなチップまで、広い範囲で信頼性
の高いＸＣベアーチップの取り外しが実現できる。

実施例 以下図面を参照して実施例を詳細に説明する１、第１図
は、本発明の一実施例を示したもので、６は真空吸着回
路８を有した突き上げロッドで、空洞部子の部分を真空
にし、て粘着シート２を吸着する。９および１０は粘着
シート２を突き破ってＩＣベアーチップ３または１１を
突き上げる針状部材である。１１は小さいサイズのＩＣ
ベアーチップを示したものである。ＩＣベアーチップの
取り外し動作としては、図示し、ない移動手段により粘
着シート２を保持している環状部材１を移動位置決めし
、ＩＣベアーチップ３の中心と突き上げロッド６および
吸着ノズル５の中心を合わせる。

この移動時に突き上げロッドｅおよび吸着ノズル５は粘
着シート２や、ＩＣベアーチップ３とわずかのすきまを
持つ位置まで退避し７ている。ＩＣベアーチップ３の位
置決めが完了すると、突き上げロッド６はＩＣ突き上げ
のための針状部材９および１０と同時に上昇し、粘着シ
ート２に接触する。

またＩＣベアーチップの吸着ノズル５も同時に下降し、
ＩＣベアーチップ３に接触するか、もしくは、わずかに
すきまを持つ位置に位置決めする。

こののち、ＩＣベアーチップの周辺部のみを、突き上げ
四ツドｅ内部の空間７を真空にすることにより吸着し、
一定の張力を与える。次に、ＩＣベアーチップの大きさ
に応じてＩＣ突き上げ用の針状部材９のみ、もしくは、
針状部材９と１０の両方を突き上げる。例えばＩＣベア
ーチップ３の大きさの場合には針状部材９および１０を
動作させ、ＩＣベアーチップ１１の大きさでは針状部材
９のみを動作させる。この針状部材９および１０の突き
上げと同期して、ＩＣベアーチップ吸着ノズル６は上昇
する。

このようにすることによって、ＩＣベアーチップの周辺
部のみに一定の安定した張力を与え、また針状突き上げ
部材９および１ｏによって突き上げられた際に、粘着シ
ート２の変形は、ＩＣベアーチップの周辺のごく限られ
た部分にとどまるため、極めて信頼性よ＜ＩＣベアーチ
ップを突き上げ、取シ外すことができる。

なお、本実施例では突き上げ後のＩＣベアーチップを保
持する手段を真空吸着としたが、他の方法でも良い。

さらに、矩形穴を有する長尺材にＩＣベアーチップを収
納する場合には、第２図に示すようにＩＣベアーチップ
３を吸着保持する吸着ノズル６を省キ、代っ−（ＩＣベ
アーチップ３の下に矩形穴を有する長尺材１２を配置す
る。長尺材１２にはＩＣベアーチップ３の大きさに見合
った矩形穴の空間１３がある。第２図の例では、ＩＣベ
アーチップ３の粘着面は下を向いており、突き上げロッ
ド６およびＩＣベアーチップ３を突き出す針状部材９は
上部に配置されている。作用は、第１の実施例と同様、
ＩＣベアーチップ３を粘着保持している粘着シート２と
この粘着シートを保持している環状部材１を図示しない
移動手段により移動させ、ＩＣベアーチップ３の中心と
突き上げロッドｅの中心および長尺材に有る矩形穴１３
の中心を合わせる。長尺材１２はＩＣベアーチップを収
納するごとにＡの矢印方向に１ピッチ送り、次の矩形穴
１３を突き出しロッド６の位置に移動させる。この状態
で突き出しロッドｅをわずかに下降させたのち空間７を
真空にして粘着シート２を吸着する。

次に、ＩＣべ゛アーチツブを突き出す針状部材９を突き
出すと、粘着シート２を突き破り、ＩＣペアーップ３を
突き落とすと長尺材２の矩形穴１３に収納される。

発明の詳細 な説明したように、本発明によれば、粘着シートに粘着
保持されたＩＣベアーチップを取シ外す際、その取シ外
すＩＣベアーチップの周辺の非粘着面のみを真空吸着す
ることによシ安定した張力を粘着シートに与え、これに
よって安定したＩＣベアーチップの取り外しが実現でき
る。更に粘着シートを突き破り、ＩＣベアーチップを突
き上げる針状部材を複数本もたせ、ＩＣベアーチップの
大きさに応じて切換えて使用することにより、多種のＩ
Ｃベアーチップにわたって安定した姿勢でＩＣベアーチ
ップを取り外すことが可能となる。

このことは、ＩＣベアーチップの屯り外しにおいて信頼
性を高めるばかりではなく、ＩＣベアーチップの取り扱
いが容易になることにより、特別な分野だけでなく、広
く一般の業種においてＩＣベアーチップを取り扱うこと
ができ付加価値の向上か実現できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例の断面図、第２図は本発明
の第２の実施例の断面図、第３図は従来例の断面図、第
４図は同動作状態図である。 ２・・・・・・粘着シート、３・・・・・・ＩＣベアー
チップ、６・・・・・・吸着ノズル、ｅ・・・・・・突
き上げロッド、７・・・・・・真空吸着空間、９，１０
・・・・・・ＩＣ突き上げ針状部材。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）ＩＣベアーチップがある一定の間隔で貼り付いて
   いる粘着シートと、前記粘着シートの非粘着面のＩＣベ
   アーチップの周辺部を局部的に真空吸着する吸着ロッド
   と、この吸着ロッドに内蔵され前記ＩＣベアーチップを
   前記粘着シートから取り外すために前記粘着シートを突
   き破りＩＣベアーチップを突き上げる針状部品と、突き
   上げられたＩＣベアーチップを吸着保持する吸着ノズル
   とを備えたＩＣベアーチップの移載装置。
2. （２）ＩＣベアーチップを粘着シート裏側より突き上げ
   る針状部品を複数本備え、ＩＣベアーチップの大きさに
   応じて、突き上げる針の本数を切り換えることを特徴と
   する請求項（１）記載のＩＣベアーチップの移載装置。
3. （３）下面にＩＣベアーチップがある一定の間隔で貼り
   付いている粘着シートと、この粘着シートの上方に位置
   し、前記粘着シートの非粘着面のＩＣベアーチップの周
   辺部を局部的に真空吸着する吸着ロッドと、この吸着ロ
   ッドに内蔵され、前記ＩＣベアーチップを前記粘着シー
   トから取り外すために、前記粘着シートを突き破りＩＣ
   ベアーチップを突き下げる針状部品と、針状部品の突き
   下げにより落下するＩＣベアチップを受ける矩形穴を等
   間隔に有し、ＩＣベアーチップを収納する集合体を構成
   する長尺材とを備えたＩＣベアーチップの移載装置。