JP4132726B2 - 拡張されたフィルム上の電子部品剥離装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品を拡張されたフィルムから剥離させる拡張されたフィルム上の電子部品剥離装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
集積回路のように1枚のウェハーに多数個の素子をバッチ処理で製造する電子部品は、ウェハーでの加工終了後、フィルムにウェハーを貼り付け、ウェハー分断機にてウェハーのみをそれぞれの電子部品に分断する。個々に分断された電子部品はフィルムに貼り付いたままになっており、次のウェハー拡張工程に運ばれる。
【0003】
ウェハー拡張工程では、ウェハー拡張機にてフィルムを拡張し、分断されたフィルム上の電子部品が個々に引き離される。図1は拡張されたフィルム1上に電子部品2が整列した状態を示す上面図と断面図である。電子部品2が搭載されたまま拡張されたフィルム1は、撓まないようにするための拡張リングに固定しておく。
【0004】
図2はフィルム1から電子部品2を剥離する動作について説明するためのもので断面図である。
(a)は拡張されたフィルム1上方に設けた吸引体3が電子部品2の上面に移動し吸引している状態。
(b)は拡張されたフィルム1の下方に、内部にフィルム1を突き破るための針4と電子部品2を押し上げるための押し上げ棒5を設けた吸引体6がセットされた状態。
(c)は吸引体6が電子部品2下面のフィルム1を下方に吸引した状態。
(d)は吸引体6の内部に設けた針4がフィルム1を突き破り、電子部品2の中央部を押し上げ棒5が押し上げ、電子部品2がフィルム1から剥離した状態。
を示す。
吸引体3に吸着された電子部品2はトレイなどの次工程流動用治具に搭載されるか、直接回路基板に実装される。(不図示)。
【0005】
吸引体6が必要なのは、拡張リングに固定されたフィルム1が拡張リングの中央部と周辺部とで張力の違いが発生するためである。すなわち、拡張されたフィルム1の拡張リング付近は張力が強いためフィルム1が撓まないので、フィルム1を突き破り、電子部品2を押し上げるために設けた針4はフィルム1を突き破り、電子部品2をフィルム1から剥離できる。ところが、拡張されたフィルム1の中央部はフィルム1の張力が弱いためフィルム1が撓んでしまう。フィルム1を突き破り電子部品2を押し上げるために設けた針4は、フィルム1の撓みによりフィルム1を突き破る事が出来ない事があり、結果として電子部品2をフィルム1から剥離させる事が出来ない。吸引体6はフィルム1の張力のばらつきを解消するための物である。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
前述した従来技術による電子部品2の剥離方法では、フィルム1から剥離させようとする電子部品2の構造によっては、中央部を押し上げる事により電子部品2の不良が発生する。
例として図3に液晶表示装置の基本的な構造の断面図を示す。液晶表示装置は上基板7、下基板8間にスペーサ9を設け、ギャップ10を極小に保ったまま2枚の基板7、8を接着させるシール材11により貼り合わせた構造を持ち、シール材11間にはボールスペーサのない所謂ギャップスペーサレス構造である。
図4に従来技術を用いて液晶表示装置をフィルム1から剥離させる断面図を示す。
従来技術を用いて基板中央部を針4が押し上げると基板8が変形し、中央部のギャップ12が狭くなってしまう不良が発生する。
【0007】
フィルムの張力のばらつきを解消するための吸引体6を備える電子部品剥離装置は構造が複雑になり、その分電子部品剥離装置の価格が高いものになっていた。
【0008】
そこで本発明は前記従来技術の課題を解消し、安定して電子部品2をフィルム1から剥離できる機能をもつ電子部品剥離装置を提供する事を目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
少なくとも、拡張されたフィルム下部よりフィルムを突き破り拡張されたフィルム上の電子部品を押し上げる為の針を備えた押し上げ棒と、電子部品上部に設けた真空を用いた電子部品吸引部と、電子部品周辺のフィルムを押し下げ、当該フィルムに一定の張力を加える機能を備えた押圧部とを備えた拡張されたフィルム上の電子部品剥離装置とする。
【0010】
吸引部と押圧部を一体にした拡張されたフィルム上の電子部品剥離装置とする。
吸引部と押圧部を一体にし、フィルムに張力を加える機能と電子部品を吸引し拾い上げる機能を同時に行えるようにする。
【0011】
前記押し上げ棒に設ける針を3本以上にしたフィルム上の電子部品剥離装置とする。
【0012】
前記構成において装置価格を抑え、拡張リング上のフィルム張力の違いの影響を受けず、液晶表示装置のように従来技術では不良の発生する電子部品を安定して拡張されたフィルムから剥離する事が出来る。
【0013】
【発明の実施の形態】
図5は本発明による拡張されたフィルム上の電子部品剥離装置を用いてフィルム1から集積回路13を剥離する実施形態1の動作について説明する為のもので断面図である。
(a)は拡張されたフィルム1上方に設けた吸引体14が集積回路13の上面に移動し、吸引体14の押圧部15により周りのフィルム1を下に押し付けている状態。吸引体14と押圧部15が一体に形成されているが、吸引体14に押圧部15を取り付ける構造でもよい。
(b)は拡張されたフィルム1の下方に設けた押し上げ棒16が集積回路13を押し上げて、上部の吸引体14に集積回路13が吸引されると同時に、吸引体14の押圧部15とフィルム1を突き破るために設けた針17が集積回路13を押し上げる事でフィルム1に張力18が加わった状態。
(c)は突き上げ棒16に設けた針17が張力18を得たフィルム1を突き破り、集積回路13をフィルム1から剥離させ吸引体14に吸着させた状態。
(d)はフィルム1より剥離された集積回路13を吸引体14にて拾い上げた状態。
を示す。
吸引体14に吸着された集積回路13はトレイ等の次工程流動用治具に搭載されるか、直接回路基板に実装される。(不図示)
【0014】
図6は本発明による拡張されたフィルム上の電子部品剥離装置を用いてフィルム1から液晶表示装置19を剥離する実施形態2の動作について説明する為のもので断面図である。
(a)は拡張されたフィルム1上方に設けた吸引体20が液晶表示装置19の上面に移動し、吸引体20の押圧部21により周りのフィルム1を下に押し付けている状態。
(b)は液晶表示装置19を変形させずに押し上げるために、2枚の基板7,8を接着させるスペーサ9を含む周辺シール材11下方に配置された3本以上の針22を設けた押し上げ棒23が拡張されたフィルム1の下方から液晶表示装置19を押し上げる。上部の吸引体20に液晶表示装置19が吸引されると同時に、吸引体20の押圧部21とフィルム1を突き破るために設けた針22が液晶表示装置19を押し上げる事でフィルム1に張力24が加わった状態。
(c)は突き上げ棒23に設けた針22が張力24を得たフィルム1を突き破り、液晶表示装置19をフィルム1から剥離させ吸引体20に吸着させた状態。
(d)はフィルム1より剥離された液晶表示装置19を吸引体20にて拾い上げた状態。
を示す。
吸引体20に吸着された液晶表示装置19はトレイ等の次工程流動用治具に搭載される。
【0015】
3本以上の針22を、液晶表示装置のシール材に合わせて配置するのは、液晶表示装置の安定した押し上げのためであり、三角配置、四角配置等が好ましい。電子部品により配置を選択することでどのような電子部品にも対応することができる。
【0016】
【発明の効果】
電子部品周辺のフィルムを押し下げる押圧部を備えたので、フィルムの張力を一定にでき、下部の吸引体が必要なくなるので、拡張されたフィルム上の電子部品剥離装置構造が単純化され価格を抑えることができた。
【0017】
吸引体と押圧部を一体にすることで、拡張されたフィルム上の電子部品剥離装置構造が単純化され価格を抑えることができた。従来構造の吸引体に押圧部を取り付けることも可能である。
【0018】
針を3本以上として、電子部品構造にあわせて適宜配置することで、どのような電子部品でも剥離時に不良にしない拡張されたフィルム上の電子部品剥離装置が実現できた。
【図面の簡単な説明】
【図1】拡張されたフィルム上に電子部品が整列した状態の上面図と断面図
【図2】従来技術によるフィルムから電子部品を剥離する動作について説明する断面図
【図3】液晶表示装置の基本的構造の断面図
【図4】従来技術を用いて液晶表示装置をフィルムから剥離させる断面図
【図5】本発明による拡張されたフィルム上の電子部品剥離装置を用いてフィルム1から集積回路13を剥離する実施形態1の動作について説明する為のもので断面図
【図6】本発明による拡張されたフィルム上の電子部品剥離装置を用いてフィルム1から液晶表示装置19を剥離する実施形態2の動作について説明する為のもので断面図
【符号の説明】
1 拡張フィルム
2 電子部品
3 吸引体
4 針
5 押し上げ棒
6 吸引体
7 上基板
8 下基板
9 スペーサ
10 スペーサによって得られたギャップ幅
11 上下基板接着用シール材
12 変形したギャップ
13 集積回路
14 吸引体
15 吸引体の押圧部
16 押し上げ棒
17 針
18 フィルムの張力
19 液晶表示装置
20 吸引体
21 吸引体の押圧部
22 針
23 押し上げ棒
24 フィルムの張力
Claims (3)
- 少なくとも、拡張されたフィルム下部よりフィルムを突き破り拡張されたフィルム上の電子部品を押し上げる為の針を備えた押し上げ棒と、電子部品上部に設けた真空を用いた電子部品吸引部と、電子部品周辺のフィルムを押し下げ、当該フィルムに一定の張力を加える機能を備えた押圧部とを備えた事を特徴とする拡張されたフィルム上の電子部品剥離装置。
- 前記吸引部と押圧部が一体であることを特徴とする請求項1記載の拡張されたフィルム上の電子部品剥離装置。
- 前記押し上げ棒に設けた針が3本以上であることを特徴とする請求項1または2記載の拡張されたフィルム上の電子部品剥離装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001164573A JP4132726B2 (ja) | 2001-05-31 | 2001-05-31 | 拡張されたフィルム上の電子部品剥離装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001164573A JP4132726B2 (ja) | 2001-05-31 | 2001-05-31 | 拡張されたフィルム上の電子部品剥離装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002359274A JP2002359274A (ja) | 2002-12-13 |
JP4132726B2 true JP4132726B2 (ja) | 2008-08-13 |
Family
ID=19007382
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001164573A Expired - Fee Related JP4132726B2 (ja) | 2001-05-31 | 2001-05-31 | 拡張されたフィルム上の電子部品剥離装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4132726B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014239090A (ja) * | 2013-06-06 | 2014-12-18 | 株式会社日立ハイテクインスツルメンツ | ピックアップシステム |
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---|---|
JP2002359274A (ja) | 2002-12-13 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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