JPH0330134A - 情報記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、情報録媒体の製造方法に係り、特にビデオデ
ィスク、デジタルオーディオディスク、追記型ディスク
等の情報記録媒体を成形する際の原盤の製造方法に関す
る． （従来の技術） 従来、情報記録媒体の製造は以下に述べる工程（１）〜
（６）によって行なわれていた。

第２図（Ａ）〜（Ｅ）は従来の情報記録媒体の製造方法
を説明するための楕成図である．工程（１） まず、十分に平坦に研磨されたガラス基板１１上にポジ
型フォトレジスト１２を塗布し、乾燥後、レーザー光１
３で所望の信号を露光し記録する。

（第２図（Ａ）） 工程（２） 次に、現像を行ない、露光した部分を除去することによ
り、記録信号が凹状信号１４となる様に形成し、ガラス
マスター２０とする。

（同図（Ｂ）） 工程（３） このガラスマスター２０に、無電解メッキ等の方法によ
り金属薄膜を形成し、導通を図った後、１０法により、
記録信号が凸状のメタルマスター２１を作製する．　　
　　　　　（同図（Ｃ））工程（４） さらに、このメタルマスター２１上に所定の剥離処理を
行なった後、工程（３）と同様電功法により、前記ガラ
スマスター２０と同じく記録信号が凹状のマザー２２を
作製ずる。（同図（Ｄ））工程（５） 次に、工程（４）同様に、さらに電鋳法により、前記メ
タルマスター２１と同じく記録信号が凸状のスタンパ−
２３を作製する。　　（同図（Ｅ））工程《６→ このスタンバ−２３を使用して、ベレット状の導電性高
分子化合物材料を用いてプレスするプレス成形法により
ディスクを成形したり、ポリカーボネート等の樹脂を用
いた射出成形法により凹状の記録信号を有するディスク
基板を戊形した後、記録信号面上にアルミ等の金属反射
膜を付与してディスクを形成する。

上記の様に、電鈎により計３回の記録信号の転写（レプ
リカ）を行なっているが、その理由は次の通りである。

即ち、フォトレジスト１２からなる記録面は非常に脆い
ため、一度の電補により一枚のメタルマスター２１しか
作製することができない。そこで、メタルマスター２１
と同一形状の凸状の記録信号を得るためには、その後２
回の電鋳をしなければならないのである． この電鋳の時、同一のメタルマスター２１から複数のマ
ザー２２、及び、同一のマザー２２から複数のスタンバ
−２３をレプリカすることもできる． （発明が解決しようとする課題） この様に、従来の情報記録媒体の製造方法の製造方法に
おいては、一枚のメタルマスターから何枚ものスタンパ
−２３を得ることができるが、何回も電鋳を繰り返すこ
とにより、記録信号の形状が露光時よりも劣化し、また
、異物が付着したり六があくなどして結果的にディスク
の信号特性が悪くなるという問題点があった。また、電
鋳を何回も行なうために、コスト的にも不利なものであ
った。

上記の問題点を解決するために、特開昭５９１　１　４
　０　３　１に記載された「光ディスク用スタンバの作
製方法」も提案されている． この方法おいて、記録信号が形戒されたフォトレジスト
面上に，下地金属をコートし、紫外線硬化樹脂を用いて
レプリカを行ない下地金属をフォトレジストからなる記
録面の保護膜の様にして使用するものであるが、下地膜
の強度が十分でなく、すぐ破壊されてしまったり、数回
のレプリカに耐えられないといったｒＪ１ｗｉ点があっ
た。

また、上記ポジ型のフォトレジストとは全く別な、ネガ
型フォトレジストを用いて、レプリカ回数を減らすとい
う方法も考えられたが、現在市販されているネガ型フォ
トレジストにおいては、所望の情報を記録信号として露
光するためのレーザ一の波長に対して感度が悪く、必要
な解像度が得られないものであった。

（課題を解決するための手段） 本発明は上記課題を解決するためになされたものであり
、ポジ型フォトレジストが塗布された基板を露光する工
程と、上記基板をアンモニアまたはアミンを含有する雰
囲気中で加熟する工程と、所定の紫外線を照射した後に
現像し、凸状の記録信号を有するガラスマスターを得る
工程と、上記ガラスマスター上に金属薄膜を形成した後
、この金属薄膜を電極として電鋳を行ない、凹状の記録
信号を有するマザーを得る工程と、上記マザーに剥離処
理を施した後に電鋳を行ない、凸状の記録信号を有する
スタンパーを得る工程と、上記スタンパーから所望の材
質からなるディスクを或形する工程とからなることを特
徴とする情報記録媒体の製造方法を提供するものである
． （実施例） 第１図は本発明になる情報記録媒体の！！！遣方法の要
部（ａ）〜（ｄ）を示す構成図である。

以下に本発明になる情報記録媒体の製造方法の概要を工
程＜１）〜（６）の順に説明する。

工程（１） 従来と同様、ガラス基板１１上にポジ型フォトレジスト
１２を塗布し、乾燥した後に、レーザー光１３で所望の
信号を露光し記録する。

（第１図（ａ）） 工程（２） 次に、上記露光後のカラス基板１１を、アンモニアガス
中で、８０〜１１０゜Ｃで３０〜９０分間加熱する， 工程（３〉 ガラス基板の温度が常温に戻ったら、波長３００〜４３
５ｎｌの紫外線を露光量として３００〜２０００一程度
、全面に照射した後、アルカリ現像液を用いて、現像し
、ガラスマスター４　，Ｏを得る．上記の工程（１〉〜
（３）により得られたガラスマスター４０の記録信号３
０は、従来の場合と逆に、凸型に形成されている． （同図《ｂ〉） 工程〈４） この後、湿式、及び、乾式の無電解メッキ等により、例
えば、Ａｇ、Ｎｉ等の金属薄膜を上記ガラスマスター４
０上に５００〜１５００人付与し、Ｎｉ電η法により２
００〜３００μｍのＮｉを厚付けし、ガラスマスター４
０から剥離をすると、記録信号が凹部のマザー５０が得
られる。

（同図（Ｃ〉） 工程　（５） 次に、マザー５０の表面をアルカリ処理、酸処理などに
より洗浄し、適当な剥離処理をした後に、Ｎｉｔ鋳法に
より、２００〜３０（ｌｔｔ　ｌのＮ；を積層し、マザ
ー５０から剥離する．これにより、記録信号の凸型のス
タンバ−６０が得られる． （同図（ｄ〉） 工程（６） この様にして得られたスタンバ−６０を用いて、ベレッ
ト状の導電性高分子化合物材料をプレスするプレス戒形
法や、また、ポリカーボネート等の樹脂を用いた射出成
形法により凹状の記録信号を有する所望のディスクに成
形する． 上記に本実施例の要部を示したが、次に、下記実施例１
〜実施例４を示すことにより、具体的に詳述する． （実施例１） 工程（１） 十分に洗浄し、乾燥したガラス基板１１上に、例えば、
シプレイファーイースト（株）社製のポジ型フォトレジ
ストＭ　Ｐ−１４００を、膜厚が１２００となる様に塗
布し、よく乾燥させる．次にＡｒレーザー記録機により
所望の記録信号の記録を行なった後に、アンモニアガス
中で、１００℃に１時間加熱した後に放冷する。

ガラス基板が室温になったら、４００１４の高圧水銀ラ
ンプの下２０ＣＩｉの位置にこのガラス基板を置き、紫
外線を全面に５秒〜１０秒照射する。

次に、０．２Ｎのアルカリ現像液で、２０秒現像し、記
録信号が凸状のガラスマスターを得る．工程（２） このガラスマスターの信号面に、［Ｊｉ反応を用いて銀
を或膜し、これを電極として　５〜６０＾の電流で約１
．５時間Ｍｉ１！鋳を行ない、剥離して、記録信号の凸
型のマザーを得る。

このマザーに付着している、フォトレジストやその他の
異物を、Ｎ　ａ　Ｏ　ＩＩやアルカリ洗剤等で洗浄し、
その表面を中和するために約０．　０５８のＨ２　Ｓｏ
．で表面を洗浄する． （同図（Ｃ）） 工程（３） 次に、重クロム酸溶液により表面を酸化し、剥離処理を
した後、５〜６０Ａで約１．５時間Ｎ１電鋳を行ない、
マザーから剥離することによりスタンパーを得る． 工程（４） このスタンパーを所定の金型に取付けて、ポリカーボネ
ート樹脂でコンパクトディスク（ＣＤ）を戒形する． この様にして成形されたＣＤの信号特性を調べ。

たところ、従来の製造方法になるスタンパーから得られ
たディスクよりも、エラーレートで０．１〜０．２、バ
ーストエラーで１〜２向上し、従来のメタルマスターを
ディスク成形用のスタンパーとして使用した場合の信号
特性とほぼ同様の特性を得ることができた。

（実施例２） 工程（１） 実施例１と同様。

工程（２） ガラスマスターの信号面に、Ｎｉスバッタにより、約１
０００人のＮｆ薄膜を形成し、このＮｉ薄膜を電極とし
てＮｉ電鋳を行ないマザーを得る．工程（３） マザー表面のフォトレジストや異物等をアルカリ洗浄や
プラズマ灰化処理等により除去する．工程（４）〜（６
） 実施例ｌと同様． この実施例２においても、実施例１とほぼ同様の信号特
性を得ることができた． （実施例３） 工程〈１〉 実施飼１と同様． 工程（２） ガラスマスターの信号面に、Ｎｉイオン液と還元液を反
応させ、Ｎｉ薄膜を形成させる。

このＮｉＶｉ膜を乾燥させた後、この上に０．３重量部
の過酸化ベンゾイルと０．５重量部の１−プチルナフタ
リンースルホン産−２−夕ロライドを添加し、熟重合に
より粘度を３０〜１００ｃｐに調整したグリシルメタク
リレートの１レボリマーをＺＯＯ重量部注入し、上から
透明シートで押圧し、１２５Ｗの高圧水銀ランプの下で
約３分間紫外線を照射し、上記樹脂を反応させ硬化させ
ることによりガラス基板より剥離しマザーとする。

工程（３）〜（６） このマザーの前記Ｎｉ薄膜の形威された表面を実施例１
と同様に酸化させた後、実施例１と同様にしてディスク
を得る． なお、上記各実施例においては、アンモニアを用いたが
、加熱した状態でアンモニアを生成する物質であれば良
く、アミンであっても良いのはもちろんのことである． （発明の効果） 上述の様に本発明によれば、ポジ型フォトレジストが塗
布された基板を露光する工程と、上記基板をアンモニア
またはアミンを含有する雰囲気中で加熱する工程と、所
定の紫外線を照射した後に現像し、凸状の記録信号を有
するガラスマスターを得る工程と、上記ガラスマスター
上に金属薄膜を形成した後、この金属薄膜を電極として
電鋳を行ない、凹状の記録信号を有するマザーを得る工
程と、上記マザーに剥離処理を施した後に電鋳を行ない
、凸状の記録信号を有するスタンパーを得る工程と、上
記スタンパーから所望の材質からなるディスクを成形す
る工程とからなることを特徴としたので、電鋳の回数を
減らすことができ、信号特性の劣化を防ぐことができ、
コスト的にも有利な情報記録媒体の製造方法の提供を可
能とする．

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明になる情報記録媒体の製造方法の要部（
ａ）〜（ｄ）を示す構成図、第２図（Ａ）〜（Ｅ）は従
来の情報記録媒体の製造方法を説明するための楕戒図で
ある． １１・・−ガラス基板、１２・・・フォ・トレジスト、
１３・・・レーザー光、４０・・・ガラスマスター　５
０・・・マザー　６０・・・スタンパー

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ポジ型フォトレジストが塗布された基板を露光する工程
   と、 上記基板をアンモニアまたはアミンを含有する雰囲気中
   で加熱する工程と、所定の紫外線を照射した後に現像し
   、凸状の記録信号を有するガラスマスターを得る工程と
   、 上記ガラスマスター上に金属薄膜を形成した後、この金
   属薄膜を電極として電鋳を行ない、凹状の記録信号を有
   するマザーを得る工程と、 上記マザーに剥離処理を施した後に電鋳を行ない、凸状
   の記録信号を有するスタンパーを得る工程と、 上記スタンパーから所望の材質からなるディスクを成形
   する工程とからなることを特徴とする情報記録媒体の製
   造方法。