JPH03288304A - 磁気ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、ＶＴＲ等に用いられ高周波信号を効率よく記
録再生するのに適した磁気ヘッドおよびその製造方法に
関する。

従来の技術 高密度記録を達成できる記録媒体として、メタルテープ
なとの高保磁力媒体が用いられている。

以下に従来の磁気ヘッドについて説明する。

第８図〜第１Ｏ図は従来の磁気ヘッドの正面図である。

これらの図において、１は金属磁性材、２はフェライト
、３は非磁性基板、４は磁気ギャップ、１０はガラスで
ある。

高保磁力媒体に対応する磁気ヘッドとして第８図や第９
図に示すような高飽和磁束密度を有する金属磁性材１を
磁気コアに用いたメタルインギャップヘッド（以下、Ｍ
ＩＧヘッドと称する）や積層型ヘッドが用いられている
。これらの磁気ヘッドでは記録時には磁気ギャップ４近
傍の高飽和磁束密度の金属磁性材１から強い記録磁界が
発生するため従来用いられてきたフェライトヘッドより
も優れた記録特性を得ることができる。再生時には、第
８図に示すＭＩＧヘッドの場合は渦電流損失の少ないフ
ェライト２により磁路の大半が構成されているために高
い周波数領域まで良好な再生特性を得ることができる。

しかし、このＭＩＣ，ヘッドではフェライト２が摺動面
内にあり、摺動ノイズが高周波で発生しやすいうえに、
フェライト２上に形成する金属磁性材ｌとフェライト２
との接合部にはごく薄い磁気的劣化層やフェライト２と
金属磁性材１の反応層が生じ、これが擬似ギャップとし
て動作して擬似信号が生じる。これを避けるためにフェ
ライト２と金属磁性材１の接合部を磁気ギャップ４と非
平行にするなどの複雑な製造プロセスを伴う対策が必要
となる。

また、第９図に示す積層型ヘッドの場合、摺動面内にフ
ェライトが無いため高周波での摺動ノイズは極めて小さ
く、また積層構成にして磁路を構成する金属磁性材１の
一層あたりの厚みを薄＜シ渦電流損失を減らすことで、
同様に高い周波数領域まで良好な再生特性を得ることが
できるが、磁路を構成するのが金属磁性材ｌのみである
ので、磁気抵抗がＭＩＧヘッドに比べて大きくなりやす
く再生効率も低くなりやすい。

この両者の長所を活かす磁気ヘッドとして第１０図に示
すハイブリ・ノド構造の磁気ヘッドが提案されている（
特開昭６０−２０６３１７号公報）。この磁気ヘッドで
は、ヘッドにアジマスをつけることで金属磁性材ｌとフ
ェライト２の接合部は必然的に磁気ギャップ４と非平行
になり、擬似ギャップ対策を講しる必要がなく、また積
層型ヘッドでありなから磁路の一部がフェライト２であ
るために高周波でも高い再生効率が得られる。

発明が解決しようとする課題 しかし、第１０図に示す従来の構成ではギヤ、ンプ面の
フェライト２と磁気ギャップ４のなす角が等しいため同
アジマスで記録された隣接トラックからの信号を磁気ギ
ャップ４の外側のフェライト２がクロストークとして読
み出すほか、ギヤツブ面のフェライトと対向面の金属磁
性材１のなす角が９０度と小さいためにフェライト２か
ら金属磁性材１へ漏れる磁束によりトラックの外側にま
で記録がなされて隣接トラックのトラック幅が挟まり、
Ｓ／Ｎが劣化するというｆＪＢを有していた。

本発明は上記従来の課題を解決するもので、良好な！磁
変換特性を有し、クロストークの低減およびＳ／Ｎ向上
に有利でかつ大量生産に適した構造の磁気ヘッドおよび
その製造方法を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段 この目的を達成するために本発明の磁気ヘッドは、磁気
コアが強磁性酸化物基板とその強磁性酸化物基板上に形
成した金属磁性材からなり、前記金属磁性材が前記強磁
性酸化物基板と非磁性基板により挟持された構造の磁気
ヘッドで、前記非磁性基板と前記強磁性酸化物基板は切
り欠き溝を有し、その切り欠き溝と前記金属磁性材は磁
気ギャップ面において鋭角で交わり、かつ前記強磁性酸
化物基板が磁気ギャップ面に露呈していない構成を有し
ている 作用 この構成によって、磁気ギャップ近傍に高飽和磁化を有
する金属磁性材を配しているため強い記録磁界を発生す
ることができ、良好な記録特性を得ることができる。ま
た磁路の大部分を渦電流損失の低いフェライトで構成し
ており、金属磁性の周囲にフェライトが存在しているた
め、良好な再生効率が得られる。これらの点では従来の
ＭＩＧヘッドと同様の作用があるが、本発明の磁気ヘッ
ドでは従来のＭＩＧヘッドとは以下の点で異なる。

まず第１に、フェライトと金属磁性材の接合部は磁気ヘ
ッド走行方向と同一方向であるために、たとえフェライ
トと金属磁性材の接合部′に反応層や磁気特性の劣化層
が生じたとしても、その反応層や劣化層による漏洩磁界
は非常に小さくかつ信号の記録には寄与しない。また再
生時にも擬似ギャップにより記録された信号を再生する
ことはなく、擬似ギャップによるノイズの対策は不要と
なる。

第２に、記録トラック内に鋭角的なフェライトのエツジ
が存在する場合はその先端により、擬似信号の記録が行
なわれ、やはりノイズが発生するが、本発明の磁気ヘッ
ドにおいては、記録トラックは金属磁性材のみで構成さ
れるため、フェライトのエツジをトラック内に残さない
ための複雑な製造プロセスを必要としない。

第３に、高周波での再生効率を改善するためには、金属
磁性材の一層あたりの厚みを薄くして渦電流損失を抑え
ることが効果的であるが、従来のＭＩＧヘッドでは単純
に金属磁性材の膜厚を薄くすると、膜が飽和して強い記
録磁界を発生することが困難であり、また非磁性材を介
して積層して膜厚を厚くする場合では、基板であるフェ
ライトと平行な非磁性材の部分が擬似ギャップとなり、
再生時にノイズを生じてしまう、これに対し本発明の磁
気ヘッドでは金属磁性材を積層しても非磁性材はトラッ
クに直交する形で存在するので、ノイズを生じることは
ない。

第４に、従来のＭＩＧヘッドではフェライトの斜面に膜
を形成しているため膜厚分布が大きく、磁気ギャップ面
研磨時に磁気ギャップ面の精度とトラック幅精度が決ま
るため歩留まりが低下しやすい。これに対して本発明の
磁気ヘッドではトラック幅は形成する金属磁性材の膜厚
により決まるため、歩留まりが高い。

第５に、従来のＭＩＧヘッドに比べ、本発明の磁気ヘッ
ドではフェライトはトラック周辺部のみに存在するため
に、テープ摺動により発生する摺動ノイズはごくわずか
である。

第６に、本発明の磁気ヘッドにおいてはフェライトに切
り欠き溝があり、この切り欠き溝と金属磁性材は磁気ギ
ャップ面において鋭角で交わるために、磁気ギャップ近
傍のフェライトから対向面の金属磁性材への漏れ磁束に
よる記録は抑制され、また同アジマスで記録された隣接
トラックからの信号はアジマスによりほとんど再生され
ないためクロストークを低減することができる。

実施例 以下、本発明の一実施例について図面を参照しながら説
明する。第１図は本発明の一実施例における磁気ヘッド
の正面図すなわち摺動面の図を示し、第２図は同磁気ヘ
ッドの斜視図を示す。

本実施例の磁気ヘッドでは、第１図、第２図に示すよう
に主磁路は金属磁性材ｌにより構成され、フェライト２
と非磁性基板３により挟持されている。この場合のトラ
ンク幅は平坦なフェライト２上に形成された金属磁性材
ｌの厚みにより規定されるため、金属磁性材１の作製時
に膜厚を管理することで容易にトラック幅精度を向上で
き、量産に適している。この金属磁性材ｌにはセンダス
ト、パーマロイや非晶質合金等の高飽和磁束密度の金属
磁性材の単層膜あるいは非磁性膜を介して積層した積層
膜を用い、スパッタリングや蒸着などによって形成する
。これらは接着剤を介さずにフェライト２上に接着され
ているため、金属磁性材ｌとフェライト２の接合部にお
いては磁気抵抗の増加がない。

フェライト２は金属磁性材１を保持するだけでなく磁路
としても動作するため本実施例の磁気ヘッドは高周波で
の再生特性がよい。またトラック内にはフェライト２は
存在しないので、テープ摺動時に大きな摺動ノイズの発
生がなく、またフェライト２のエツジによる擬似信号の
記録は起こらない。

またこのフェライト２には磁気ギャップ４においてフェ
ライト２が頂角をなし、磁気ギヤ・ンプ４に対して鋭角
的に交わる切り欠き溝６があり、ガラス１０が充填され
ている。この切り欠き溝６がない場合、磁気ギャップ４
のフェライト２から対向する側の金属磁性材１へ磁束が
漏れるために、サイドフリンジングによりトラックの外
側でもテープ上に信号が記録される。この現象は長波長
はど大きいため、記録されるトラック幅も長波長はど実
際のトラック幅より広くなる。また同一アジマスで記録
された隣接トラックからの信号をクロストークとして再
生する。しかし、切り欠き溝６を設けて、金属磁性材１
と切り欠き溝６のなす角度を６０度以下にすると、フェ
ライト２から対向面の金属磁性材１に漏れる磁束は少な
くなるためにこのサイドフリンジングを小さく抑えるこ
とができ、記録されるトラック幅も実際のトラック幅と
ほぼ等しくなり、また磁気ギャップ４はフェライト２に
対して３０度以上のアジマス角を持つため同一アジマス
で記録された隣接トラックの信号はフェライト２の端部
によってほとんど再生されず、クロストークを減少する
ことができる。切り欠き溝６の角度を変えた時の本実施
例の磁気ヘッドを用いて記録されるトラック幅と切り欠
き溝６の角度の関係は第３図のようになり、６０度以下
の角度であれば記録トラック幅は実際のトラック幅に近
い値となる。切り欠き溝６中のガラス１０とフェライト
２の界面には反応防止とガラスの流れをよくするための
金属膜５を形成している。

またフェライト２と金属磁性材１の接合部は磁気ヘッド
走行方向と同一方向であるために、たとえフェライト２
と金属磁性材１の接合部に反応層や磁気特性の劣化層が
生じたとしても、その面による漏洩磁界は非常に小さく
かつ信号の記録には寄与しない。また再生時にも擬似ギ
ャップにより記録された信号を再生することはなく、擬
似ギャップによるノイズは発生しない。

次に本発明の一実施例における磁気ヘッドの製造方法に
ついて第４図〜第７図に沿って説明する。

第４図（ａ）〜（ｆ）は本発明の一実施例における磁気
ヘッドの製造工程の第１の工程を説明する工程図である
。

まず第４図（ａ）に示すように、表面を鏡面研磨したフ
ェライト２上に同図（ｂ）のようにスハ、７タリングや
蒸着などにより高飽和磁束密度を有する金属磁性材１を
直接被着させる。この場合、金属磁性材１としてセンダ
スト、パーマロイ、非晶質合金等の軟磁性合金を用いる
。この金属磁性材１を被着させたフェライト２と非磁性
基板３を、同図（ｃ）に示すように結晶化ガラスなどの
接着ガラスにより交互に積層接着し、同図（ｄ）のよう
な積層ブロック８を作製する。この積層ブロック８を同
図（ｅ）の−点鎖線で示すように所定のアジマス角で切
り出し、同図（ｆ）のコアブロック９を得る。

第５図（ａ）〜（Ｃ）は第２の工程を説明する工程図で
ある。

同図（ａ）に示すように、片側のコアブロック９内のフ
ェライト２と非磁性基板３の接合面に、頂角が非磁性基
板３内にあり、一辺が非磁性基板３内で、他の一辺が非
磁性基板３とフェライト２と金属磁性材１にまたがり金
属磁性材ｌと鋭角で交わる谷型の切り欠き溝６を形成す
る。次に同図（ｂ）のようにこの上にガラス１０の流れ
を良くして金属磁性材１およびフェライト２とガラス１
０の反応を防止するための金属膜５を形成する。次に同
図（Ｃ）のように切り欠き溝６を非磁性ガラス１０でガ
ラスモールドする。次に、巻線窓として用いる溝加工を
施した後に、金属磁性材１が全膜厚分磁気ギャップ面に
露呈し、かつフェライト２が磁気ギャップ面に露呈しな
いところまで、磁気ギヤ、プ面研磨を行ない、一方のコ
アブロック９を形成する。

第６図（ａ）〜（ｂ）は第３の工程を説明するための工
程図である。

同図（ａ）に示すように、研磨したギャップ面に所望の
厚みのギャップ材をスハソタリングなどで付着した後に
、同様にして作製した他方のコアブロックを同図（ｂ）
に示すように突き合わせて磁気ギヤツブ形成を行なう。

第７図（ａ）〜（ｂ）は第４の工程を説明するための工
程図である。

最後に同図（ａ）のように得られたバーを一点鎖線で示
す切断線に沿って各チップに切断し同図（ｂ）に示す磁
気ヘッドチップとする。

発明の効果 以上のように本発明は、高保磁力媒体に対して良好な記
録再生特性が得られるＭＩＧヘッドの構造を有しつつ、
擬似ギャップ等によるノイズの対策が不要であり、しか
もきわめて容易に作製することができる優れた磁気ヘッ
ドを実現できる。また本発明の磁気ヘッドの製造方法は
、良好な電磁変換特性が得られる本発明の磁気ヘッドを
極めて容易にしかも大量に作製することができるもので
ある。したがって本発明の磁気ヘッドおよびその製造方
法は極めて産業上の利用価値が高いものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例における磁気ヘッドの正面図
、第２図は同磁気ヘッドの斜視図、第３図は切り欠き溝
と金属磁性材のなす角度と記録されたトラック幅を実際
のトラック幅で割った値の関係を示す図、第４図〜第７
図は本発明の一実施例における磁気ヘッドの製造工程図
、第８図〜第１０図は従来の磁気ヘッドの正面図である
。 １・・・・・・金属磁性材、２・・・・・・フェライト
（強磁性酸化物基板）、３・・・・・・非磁性基板、４
・・・・・・磁気ギャップ、６・・・・・・切り欠き溝
。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）磁気コアが強磁性酸化物基板とその強磁性酸化物
   基板上に形成した金属磁性材からなり、前記金属磁性材
   が前記強磁性酸化物基板と非磁性基板により挟持された
   構造の磁気ヘッドで、前記非磁性基板と前記強磁性酸化
   物基板は切り欠き溝を有し、その切り欠き溝と前記金属
   磁性材は磁気ギャップ面において鋭角で交わり、かつ前
   記強磁性酸化物基板が磁気ギャップ面に露呈していない
   ことを特徴とする磁気ヘッド。
2. （２）強磁性酸化物基板に設けた切り欠き溝と金属磁性
   材とが磁気ギャップ面においてなす角度θが６０°以下
   であることを特徴とする請求項（１）記載の磁気ヘッド
   。
3. （３）強磁性酸化物基板上に金属磁性材を形成し、非磁
   性基板と前記金属磁性材を形成した前記強磁性酸化物基
   板を交互に積層接着して積層ブロックを形成し、前記積
   層ブロックを所定の角度をもって切断し磁気コアブロッ
   クを作成する第１の工程と、前記磁気コアブロック内の
   前記強磁性酸化物基板と前記非磁性基板の接合面にその
   頂角が前記非磁性基板内にあり、一辺が前記非磁性基板
   内で他の一辺が前記非磁性基板と前記強磁性酸化物基板
   と前記金属磁性材にまたがり金属磁性材と鋭角で交わる
   谷型の切り欠き溝を形成し、前記切り欠き溝をガラスモ
   ールドする第２の工程と、前記ガラスモールドした面を
   鏡面研磨し、巻線溝を入れる第３の工程と、前記鏡面研
   磨した面を磁気ギャップ面とし、もう一方の磁気コアブ
   ロックを接合して所定の角度を持って切断し磁気ヘッド
   チップを得る第４の工程とを有する磁気ヘッドの製造方
   法。