JPH0328811A - 原盤露光機のレンズ変位量測定方法 - Google Patents
原盤露光機のレンズ変位量測定方法Info
- Publication number
- JPH0328811A JPH0328811A JP11994189A JP11994189A JPH0328811A JP H0328811 A JPH0328811 A JP H0328811A JP 11994189 A JP11994189 A JP 11994189A JP 11994189 A JP11994189 A JP 11994189A JP H0328811 A JPH0328811 A JP H0328811A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- displacement
- master
- actuator
- amount
- objective lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、光ディスクにおける原盤露光機のレンズ変位
量測定方法に関する。
量測定方法に関する。
従来の技術
従来、対物レンズをアクチュエータで原盤の回転面と直
交する方向に変位させることにより、フォーカス制御す
るようにした原盤露光機が有る。
交する方向に変位させることにより、フォーカス制御す
るようにした原盤露光機が有る。
発明が解決しようとする課題
対物レンズは原盤の回転面と直交する方向に変位する時
に原盤の回転面に沿う方向に微動することがある。この
方向の変位量は微小でもトラッキング・グループのピッ
チの乱れになるが、微小であるが故に測定精度が悪く、
対処することが困難である。
に原盤の回転面に沿う方向に微動することがある。この
方向の変位量は微小でもトラッキング・グループのピッ
チの乱れになるが、微小であるが故に測定精度が悪く、
対処することが困難である。
課題を解決するための手段
対物レンズが一体的に組み込まれたアクチュエータに正
弦波電圧を印加してこのアクチュエータを原盤の回転面
と直交する方向に変位させ、前記アクチュエータの中心
の両側に配設した複数の変位検出センサにより前記アク
チュエータの変位量出力を検出し、このアクチュエータ
の変位量出力により前記原盤の回転面と直交する方向の
前記対物レンズの変位量を検出するとともに複数の前記
変位検出センサによる前記アクチュエータの変位量出力
の位相差により前記原盤の回転面方向に沿う前記対物レ
ンズの変位量を測定するようにした。
弦波電圧を印加してこのアクチュエータを原盤の回転面
と直交する方向に変位させ、前記アクチュエータの中心
の両側に配設した複数の変位検出センサにより前記アク
チュエータの変位量出力を検出し、このアクチュエータ
の変位量出力により前記原盤の回転面と直交する方向の
前記対物レンズの変位量を検出するとともに複数の前記
変位検出センサによる前記アクチュエータの変位量出力
の位相差により前記原盤の回転面方向に沿う前記対物レ
ンズの変位量を測定するようにした。
作用
アクチュエータの変位量出力を複数の変位検出センサで
検出することにより、原盤の回転面と直交する方向の対
物レンズの変位量を検出することができ、この時に、こ
れらの変位検出センサによる検出電圧の波形の位相差に
より原盤の回転面方向に沿うレンズ支持体の変位量を同
時に測定することができ、しかも、そのトラッキング・
グループのピッチ方向の変位量をアクチュエータの変位
量出力の位相差により正確に測定することができる。
検出することにより、原盤の回転面と直交する方向の対
物レンズの変位量を検出することができ、この時に、こ
れらの変位検出センサによる検出電圧の波形の位相差に
より原盤の回転面方向に沿うレンズ支持体の変位量を同
時に測定することができ、しかも、そのトラッキング・
グループのピッチ方向の変位量をアクチュエータの変位
量出力の位相差により正確に測定することができる。
実施例
本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第１図に示す１はガラス製の原盤で、この原盤１に対向
するレンズ支持体２が設けられている。このレンズ支持
体２の内方に対物レンズ３が内蔵され、外周にはアクチ
ュエータとしての電磁コイル４が巻回されている。また
、電磁コイル４はドライバ５を介して発振器６に接続さ
れている。さらに、レンズ支持体２の端面にはこのレン
ズ支持体２の中心を間にして対向する二つの変位検出セ
ンサ７，８が設けられている，これらの変位検出センサ
７，８は変位検出ユニット９に接続されている。なお、
電磁コイル４はその外周に固定的に設けた磁気回路（図
示せず）中に設けられているものである。
するレンズ支持体２が設けられている。このレンズ支持
体２の内方に対物レンズ３が内蔵され、外周にはアクチ
ュエータとしての電磁コイル４が巻回されている。また
、電磁コイル４はドライバ５を介して発振器６に接続さ
れている。さらに、レンズ支持体２の端面にはこのレン
ズ支持体２の中心を間にして対向する二つの変位検出セ
ンサ７，８が設けられている，これらの変位検出センサ
７，８は変位検出ユニット９に接続されている。なお、
電磁コイル４はその外周に固定的に設けた磁気回路（図
示せず）中に設けられているものである。
しかして、発振器６から発する正弦波電圧をドライバ５
から電磁コイル４に印加することにより、レンズ支持体
２が原盤ｌの回転面と直交する方向に変位する。この変
位量は電磁コイル４に印加される正弦波電圧に対応し、
この変位量の変化を変位検出センサ７，８で検出するこ
とにより、原盤１の回転面と直交する方向の変位量を検
出する。
から電磁コイル４に印加することにより、レンズ支持体
２が原盤ｌの回転面と直交する方向に変位する。この変
位量は電磁コイル４に印加される正弦波電圧に対応し、
この変位量の変化を変位検出センサ７，８で検出するこ
とにより、原盤１の回転面と直交する方向の変位量を検
出する。
また、この時の変位の電圧変換波形を見て、第２図に示
すように、変位検出センサ７による検出波形Ａと、変位
検出センサ８による検出波形Ｂとが一致した状態をもっ
て、原盤１の回転面に沿うレンズ支持体２の変位量を零
と判断することができる。この時、レンズ支持体２は板
ばね（図示せず）に保持されて垂直姿勢から僅かに倒れ
ることが考えられ、これにより、対物レンズ３が原盤ｌ
の回転面に沿って変位するが、この状態は、第３図に示
すように、変位検出センサ７による検出波形Ａと、変位
検出センサ８による検出波形Ｂとに位相差Δφが生じる
ので、この位相差Δφを検出することで、原盤ｌの回転
面に沿うレンズ支持体２の変位量を検出することができ
る゛。
すように、変位検出センサ７による検出波形Ａと、変位
検出センサ８による検出波形Ｂとが一致した状態をもっ
て、原盤１の回転面に沿うレンズ支持体２の変位量を零
と判断することができる。この時、レンズ支持体２は板
ばね（図示せず）に保持されて垂直姿勢から僅かに倒れ
ることが考えられ、これにより、対物レンズ３が原盤ｌ
の回転面に沿って変位するが、この状態は、第３図に示
すように、変位検出センサ７による検出波形Ａと、変位
検出センサ８による検出波形Ｂとに位相差Δφが生じる
ので、この位相差Δφを検出することで、原盤ｌの回転
面に沿うレンズ支持体２の変位量を検出することができ
る゛。
発明の効果
本発明は上述のように構威したので、アクチュエータの
変位量出力を複数の変位検出センサで検出することによ
り、原盤の回転面と直交する方向の対物レンズの変位量
を検出することができ、この時に、これらの変位検出セ
ンサによる検出電圧の波形の位相差により原盤の回転面
方向に沿うレンズ支持体の変位量を同時に測定すること
ができ、しかも、そのトラッキング・グループのピッチ
方向の変位量をアクチュエータの変位量出力の位相差に
より正確に測定することができる効果を有する。
変位量出力を複数の変位検出センサで検出することによ
り、原盤の回転面と直交する方向の対物レンズの変位量
を検出することができ、この時に、これらの変位検出セ
ンサによる検出電圧の波形の位相差により原盤の回転面
方向に沿うレンズ支持体の変位量を同時に測定すること
ができ、しかも、そのトラッキング・グループのピッチ
方向の変位量をアクチュエータの変位量出力の位相差に
より正確に測定することができる効果を有する。
図面は本発明の一実施例を示すもので、第１図はレンズ
支持体と電磁コイルとの関係を示す側面図及び電磁コイ
ルの駆動回路を示すプロ・ソク図，第２図及び第３図は
変位検出センサの検出波形を示すグラフである。
支持体と電磁コイルとの関係を示す側面図及び電磁コイ
ルの駆動回路を示すプロ・ソク図，第２図及び第３図は
変位検出センサの検出波形を示すグラフである。
Claims (1)
- 対物レンズが一体的に組み込まれたアクチュエータに正
弦波電圧を印加してこのアクチュエータを原盤の回転面
と直交する方向に変位させ、前記アクチュエータの中心
の両側に配設した複数の変位検出センサにより前記アク
チュエータの変位量出力を検出し、このアクチュエータ
の変位量出力により前記原盤の回転面と直交する方向の
前記対物レンズの変位量を検出するとともに複数の前記
変位検出センサによる前記アクチュエータの変位量出力
の位相差により前記原盤の回転面方向に沿う前記対物レ
ンズの変位量を測定するようにしたことを特徴とする原
盤露光機のレンズ変位量測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11994189A JPH0328811A (ja) | 1989-03-07 | 1989-05-12 | 原盤露光機のレンズ変位量測定方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1-54566 | 1989-03-07 | ||
| JP5456689 | 1989-03-07 | ||
| JP11994189A JPH0328811A (ja) | 1989-03-07 | 1989-05-12 | 原盤露光機のレンズ変位量測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0328811A true JPH0328811A (ja) | 1991-02-07 |
Family
ID=26395336
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11994189A Pending JPH0328811A (ja) | 1989-03-07 | 1989-05-12 | 原盤露光機のレンズ変位量測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0328811A (ja) |
-
1989
- 1989-05-12 JP JP11994189A patent/JPH0328811A/ja active Pending
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