JPH03284862A - 半導体装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 周波数特性試験及びバーンイン試験の可能なアナログ回
路を含む半導体装置に関し。

試験装置の開発工数を節減し、またアナログ波形発生器
のないバーンイン装置を用いてもＬＳＩのアナログ回路
部のバーンイン試験を可能にすることを目的とし。

アナログ波形発生器（２１，（３）と、被試験アナログ
回路（４）の入力側を断続するアナログスイッチ（５）
と。

該被試験アナログ回路の出力側を断続するアナログスイ
ッチ（６）と、試験用入力モニタ端子（７）と、試験用
出力端子（８）を有し、該アナログ波形発生器（２）。

（３）の出力は該試験用入力モニタ端子（７）に接続さ
れ。

該被試験アナログ回路（４）の入力端は該アナログスイ
ッチ（５）を経由して該試験用入力モニタ端子（７）に
接続され、該被試験アナログ回路（４）の出力側は該ア
ナログスイッチ（６）を経由して該試験用出力端子（８
）に接続されているように構成する。

〔産業上の利用分野〕

本発明は周波数特性試験及びバーンイン試験の可能なア
ナログ回路を含む半導体装置に関する。

近年、半導体ＬＳＩの短納期化、低価格化にともない、
その試験装置の開発工数の削減やバーンイン装置の開発
工数の削減が要求されている。

ここで、バーンインとは、　ＬＳＩの出荷前に特性の安
定化を図り初期不良を除去する目的で、　ＬＳＩに高温
環境で通電する処理で１通常試験工程で行われている。

通常、ディジタル回路においては、クロック発生器がＬ
ＳＩ内部に搭載されて、自発のクロックを用いてＬＳＩ
の試験やバーンイン処理を行っているが、アナログ回路
に関しては周波数特性の測定に必要なアナログ波形の発
生器はＬＳＩ内部に搭載されていないため、　ＬＳＩの
品種ごとに試験装置に組み込む必要があった。

そこで、試験装置の開発に時間と費用をかけないで、テ
スタビリデイを向上した半導体装置として本発明を利用
できる。

〔従来の技術〕

従来、半導体ＬＳＩのアナログ回路の周波数特性試験に
際しては、アナログ波形を外部から入力して試験を行っ
ていた。

そのため、測定装置ごとにアナログ波形発生器を持つ必
要があり、さらにＬＳＩの品種ごとに異なったアナログ
波形発生器を試験装置に組み込む必要があり、装置は高
価格となり、また装置の開発工数を必要としていた。

また、バーンイン装置についてもアナログ回路への実際
の動作条件での通電が困難であった。

〔発明が解決しようとする課題〕

従って、　ＬＳＩの周波数特性試験においては、測定装
置が煩雑になり、共通性がなくなるという欠点を生じ、
測定装置の開発工数が増大し、またバーンイン装置にお
いても、装置ごとにアナログ波形発生器を持つ必要があ
り、開発費が増大していた。

本発明は試験装置の開発工数を！５減してアナログ回路
の周波数特性が試験でき、またアナログ波形発生器のな
い通常のバーンイン装置を用いてもＬＳＩ内のアナログ
回路部のバーンイン試験が可能な半導体装置を提供する
ことを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

上記課題の解決は、アナログ波形発生器（２）、（３）
と、被試験アナログ回路（４）の入力側を断続するアナ
ログスイッチ（５）と、該被試験アナログ回路の出力側
を断続するアナログスイッチ（６）と、試験用入力モニ
タ端子（７）と、試験用出力端子（８）を有し、該アナ
ログ波形発生器（２１，＋３１の出力は該試験用入力モ
ニタ端子（７）に接続され、該被試験アナログ回路（４
）の入力側は該アナログスイッチ（５）を経由して該試
験用入力モニタ端子（７）に接続され、該被試験アナロ
グ回路（４）の出力側は該アナログスイッチ（６）を経
由して該試験用出力端子（８）に接続されている半導体
装置により達成される。

〔作用〕

本発明はアナログ波形発生器と被試験アナログ回路の入
出力側を断続するアナログスイッチと試験用入力モニタ
端子と試験用出力端子をＬＳＩ内に搭載し、アナログ波
形発生器の出力は試験用入力モニタ端子に接続され、各
被試験アナログ回路の入力側はそれぞれアナログスイッ
チを介して試験用入力モニタ端子に接続され、各被試験
アナログ回路の出力側はそれぞれアナログスイッチを介
して試験用出力端子に接続されている。

成るアナログ回路の周波数試験を行う場合はそのアナロ
グ回路の入出力端のアナログスイッチをＯＮにしてアナ
ログ波形発生器の出力をそのアナログ回路に入れ、試験
用入力モニタ端子と試験用出力端子で周波数特性を測定
する。　゛また。各アナログ回路をバーンインする場合
は。

各アナログ回路の入力側のアナログスイッチをすべてＯ
Ｎにし、出力側のアナログスイッチをすべてＯＦＦにし
て各アナログ回路にアナログ信号を入力する。

本発明では、　ＬＳＩチップ内に試験のための余分な面
積を占有するが、この面積増加分はＬＳＩ全体の構成か
ら見れば微小であり１本発明の効果はこの欠点を補償し
て尚余りあるものである。

〔実施例〕

第１図は本発明の一実施例を説明する半導体ＬＳＩの構
成図である。

この図は、アナログ回路の試験に必要な構成のみを示す
チップの平面図であり、試験用の端子以外の端子はＬＳ
Ｉ本来の目的の端子を示す。

図において、１はＬＳＩ、　　２はランダムノイズ発生
器、３はフィルタ、４は被試験アナログ回路。

５はアナログ回路の入力側アナログスイッチ、６はアナ
ログ回路の出力側アナログスイッチ、７は試験用入力モ
ニタ端子、８は試験用出力端子であり、　ＬＳＩ本来の
端子は本発明に特に関係がないので符号を省略する。

ランダムノイズ発生器２とフィルタ３で所定の周波数帯
域のアナログ波形発生器を構成する。

ランダムノイズ発生器２は９例えば１７ビントのＳ／Ｒ
（シフトレジスタ）の途中ビットの２つをＥＯＲで結合
して最初のビットに帰還する方式を用いたＰＮパターン
（擬似ランダムノイズパターン）発生器を用いる。

また、ランダムに書き込んだＲＯＭからの信号を入力し
たＤＡＣ（Ｄ／Ａコンバータ）の出力を用いてもよい。

フィルタ３はランダムノイズ発生器２の出力の所定周波
数帯域を選択するフィルタである。

被試験アナログ回路４としては７例えば、フィルタ、電
子ボリューム、アンプ等がある。

以上のように構成されたＬＳＩは、アナログ波形発生器
なしの試験装置を用いて周波数特性の試験が可能である
ため、ロジックＬＳＩの試験装置を用いてもアナログ回
路の測定が可能になり、またアナログ波形発生器なしの
バーンイン装置においてもアナログ回路部のバーンイン
試験が行える。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、試験装置の開発工
数を節減してアナログ回路の周波数特性が試験でき、ま
たアナログ波形発生器のない通常のバーンイン装置を用
いてもＬＳＩ内のアナログ回路部のバーンイン試験が可
能な半導体ＬＳＩが得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を説明する半導体しＳＩの構
成図である。 図において。 １はＬＳＩ。 ２はランダムノイズ発生器。 ３はフィルタ。 ４は被試験アナログ回路。 ５はアナログ回路の入力側アナログスイッチ。 ６はアナログ回路の出力側アナログ回路・ノチ。 ７は試験用入力モニタ端子。 ８は試験用出力端子

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　アナログ波形発生器（２）、（３）と、被試験アナロ
   グ回路（４）の入力側を断続するアナログスイッチ（５
   ）と、該被試験アナログ回路の出力側を断続するアナロ
   グスイッチ（６）と、試験用入力モニタ端子（７）と、
   試験用出力端子（８）を有し、 該アナログ波形発生器（２）、（３）の出力は該試験用
   入力モニタ端子（７）に接続され、該被試験アナログ回
   路（４）の入力側は該アナログスイッチ（５）を経由し
   て該試験用入力モニタ端子（７）に接続され、該被試験
   アナログ回路（４）の出力側は該アナログスイッチ（６
   ）を経由して該試験用出力端子（８）に接続されている
   ことを特徴とする半導体装置。