JPH03282183A - 空気液化分離によるアルゴン採取の制御方法及びその装置 - Google Patents
空気液化分離によるアルゴン採取の制御方法及びその装置Info
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野〕
本発明は、空気液化分離によるアルゴン採取の制御方法
及びその装置に関し、詳しくは、空気を原料として深冷
分離法により酸素、窒素、アルゴン等を気体及び／又は
液体で生産する装置において、生産量の増減、運転モー
ドの変更を効率よく短時間で行え、かつ最適な生産量を
得ることのできる空気液化分離によるアルゴン採取の制
御方法及びその装置に関する。
及びその装置に関し、詳しくは、空気を原料として深冷
分離法により酸素、窒素、アルゴン等を気体及び／又は
液体で生産する装置において、生産量の増減、運転モー
ドの変更を効率よく短時間で行え、かつ最適な生産量を
得ることのできる空気液化分離によるアルゴン採取の制
御方法及びその装置に関する。
従来から、酸素と粗アルゴン、又は酸素と窒素と粗アル
ゴンとを生産する場合、粗アルゴンを効率よく採取する
ためには、酸素生産量の制御が極めて重要であることが
知られている。
ゴンとを生産する場合、粗アルゴンを効率よく採取する
ためには、酸素生産量の制御が極めて重要であることが
知られている。
そこで、従来は、酸素は、該酸素の純度が一定になるよ
うにその採取量を制御するとともに、粗アルゴンは、該
粗アルゴン中の酸素濃度が規定値以下になるようにその
生産量を制御する方法が多く用いられている。
うにその採取量を制御するとともに、粗アルゴンは、該
粗アルゴン中の酸素濃度が規定値以下になるようにその
生産量を制御する方法が多く用いられている。
また、特開昭６４−９０９８２号公報には、粗アルゴン
塔に導入するガス中の窒素濃度をリアルタイムで分析し
、その結果に応じて各部の流量を制御する方法が記載さ
れている。
塔に導入するガス中の窒素濃度をリアルタイムで分析し
、その結果に応じて各部の流量を制御する方法が記載さ
れている。
しかしながら、上述の前者の方法では、複精留塔上部塔
（高圧塔）から膨張タービン流体として、あるいは液製
品として取り出される窒素量が多い場合には有効である
が、この窒素量が少ない場合には、酸素及び／又は粗ア
ルゴンの生産量増加により粗アルゴン中の窒素濃度が増
加してしまうという不都合がある。
（高圧塔）から膨張タービン流体として、あるいは液製
品として取り出される窒素量が多い場合には有効である
が、この窒素量が少ない場合には、酸素及び／又は粗ア
ルゴンの生産量増加により粗アルゴン中の窒素濃度が増
加してしまうという不都合がある。
また、後者の方法では、複精留塔上部塔（低圧塔）の操
作線を、下部塔から供給する液化窒素の還流液量を制御
して固定しているが、高収率でアルゴンを採取する装置
では、粗アルゴンの生産量が、酸素生産量の僅かな変化
にも影響を受けることに対する対策が不十分である。さ
らにこの方法では、粗アルゴン塔に導入するガス中の窒
素ガスの分析器を必要とする。
作線を、下部塔から供給する液化窒素の還流液量を制御
して固定しているが、高収率でアルゴンを採取する装置
では、粗アルゴンの生産量が、酸素生産量の僅かな変化
にも影響を受けることに対する対策が不十分である。さ
らにこの方法では、粗アルゴン塔に導入するガス中の窒
素ガスの分析器を必要とする。
第４図は下部塔から上部塔に供給する還流液量が比較的
多く、酸素生産量が高い運転状態下において上部塔から
導出される排ガス中の酸素濃度■と、粗アルゴン中の酸
素濃度■と、同じく粗アルゴン中の窒素濃度■との関係
を示すもので、実線はそれぞれある酸素生産量の時の粗
アルゴン生産量（二対する上記各濃度を示しており、破
線（■。
多く、酸素生産量が高い運転状態下において上部塔から
導出される排ガス中の酸素濃度■と、粗アルゴン中の酸
素濃度■と、同じく粗アルゴン中の窒素濃度■との関係
を示すもので、実線はそれぞれある酸素生産量の時の粗
アルゴン生産量（二対する上記各濃度を示しており、破
線（■。
■”、■°）は、それぞれ酸素生産量が増大した時の排
ガス中の酸素濃度■゛と、粗アルゴン中の酸素濃度■゛
と、粗アルゴン中の窒素濃度■°を示している。即ち、
このような条件下では、粗アルゴン中の窒素濃度■、■
゛は、酸素、粗アルゴンの生産量により影響を受け、そ
の変化は、排ガス中の酸素濃度■、■°に現れることが
わかる。
ガス中の酸素濃度■゛と、粗アルゴン中の酸素濃度■゛
と、粗アルゴン中の窒素濃度■°を示している。即ち、
このような条件下では、粗アルゴン中の窒素濃度■、■
゛は、酸素、粗アルゴンの生産量により影響を受け、そ
の変化は、排ガス中の酸素濃度■、■°に現れることが
わかる。
この排ガス中の酸素濃度の限界値は、下部塔から導出さ
れて上部塔に供給される窒素量あるいは外部から上部塔
に導入される還流用の液化窒素の量により異なるが、下
部塔から導出されて上部塔に導入される窒素の量が少な
い場合には、上記排ガス中の酸素濃度の監視がより重要
となる。
れて上部塔に供給される窒素量あるいは外部から上部塔
に導入される還流用の液化窒素の量により異なるが、下
部塔から導出されて上部塔に導入される窒素の量が少な
い場合には、上記排ガス中の酸素濃度の監視がより重要
となる。
また、製品の需要変動にともない製品採取量が増減した
場合には、これに合せて各部の流量を調整し、さらに流
量変更に伴う純度の変動により流量を微調整しなければ
ならず、最適な運転状態を得るためには長時間を要し、
あるいは収率を犠牲にした運転を行っている。
場合には、これに合せて各部の流量を調整し、さらに流
量変更に伴う純度の変動により流量を微調整しなければ
ならず、最適な運転状態を得るためには長時間を要し、
あるいは収率を犠牲にした運転を行っている。
例えば、酸素ガスの採取量を増減する場合、従来は、変
更後の酸素ガス採取量を制御器に入力すると、原料空気
量、タービン流体量、窒素採取量。
更後の酸素ガス採取量を制御器に入力すると、原料空気
量、タービン流体量、窒素採取量。
その他の各部の流量が変更後の酸素量に見合った量にセ
ットされ、各部の弁が所定の時定数に従ってセット値に
到達するように制御される。そしてセット値に到達後に
、製品の純度や熱バランスのズレをフィードバック方式
で修正する。従って、修正後に生じる製品純度や熱バラ
ンスのズレに基づいて何回も修正を繰返さなければなら
なくなるおそれがあり、規定の運転状態に移行するのに
長時間を必要としていた。
ットされ、各部の弁が所定の時定数に従ってセット値に
到達するように制御される。そしてセット値に到達後に
、製品の純度や熱バランスのズレをフィードバック方式
で修正する。従って、修正後に生じる製品純度や熱バラ
ンスのズレに基づいて何回も修正を繰返さなければなら
なくなるおそれがあり、規定の運転状態に移行するのに
長時間を必要としていた。
本発明は、上記実情に鑑みて成されたもので、製品酸素
は、その濃度が規定値以上に維持されるように採取し、
粗アルゴンは、該粗アルゴン中の酸素濃度が規定値以下
になるようにその生産量を制御するとともに、上部塔か
ら粗アルゴン塔に導入されるガス中の窒素濃度が規定値
以上になることを防止し、アルゴンを高収率で得ること
のできる空気液化分離によるアルゴン採取の制御方法及
びその装置を提供することを目的としている。
は、その濃度が規定値以上に維持されるように採取し、
粗アルゴンは、該粗アルゴン中の酸素濃度が規定値以下
になるようにその生産量を制御するとともに、上部塔か
ら粗アルゴン塔に導入されるガス中の窒素濃度が規定値
以上になることを防止し、アルゴンを高収率で得ること
のできる空気液化分離によるアルゴン採取の制御方法及
びその装置を提供することを目的としている。
上記した目的を達成するために、本発明の空気液化分離
によるアルゴン採取の制御方法は、原料空気を圧縮、精
製、冷却して精留塔に導入し、液化精留分離により酸素
、窒素、粗アルゴン、排ガス等に分離する空気液化分離
によるアルゴン採取の制御方法において、装置各部の流
量に基づいて現状の運転パターンを認識し、前回の運転
指令と最新の運転指令及び装置を構成する機器の能力等
の運転条件と、前記排ガス中の酸素濃度の測定値に基づ
いて、最適な運転パターンを推論し、該運転パターン及
び酸素濃度に応じて粗アルゴン採取量及び／又は製品酸
素量を算出するとともに、前記推論と該算出値に基づい
て上記以外の装置各部の最適流量を算出して制御するこ
とを特徴としている。
によるアルゴン採取の制御方法は、原料空気を圧縮、精
製、冷却して精留塔に導入し、液化精留分離により酸素
、窒素、粗アルゴン、排ガス等に分離する空気液化分離
によるアルゴン採取の制御方法において、装置各部の流
量に基づいて現状の運転パターンを認識し、前回の運転
指令と最新の運転指令及び装置を構成する機器の能力等
の運転条件と、前記排ガス中の酸素濃度の測定値に基づ
いて、最適な運転パターンを推論し、該運転パターン及
び酸素濃度に応じて粗アルゴン採取量及び／又は製品酸
素量を算出するとともに、前記推論と該算出値に基づい
て上記以外の装置各部の最適流量を算出して制御するこ
とを特徴としている。
また、本発明の空気液化分離によるアルゴン採取の制御
装置は、圧縮、精製、冷却した原料空気を液化精留分離
して酸素、窒素、排ガス等を導出する空気液化分離装置
において、前記排ガス中の酸素濃度を測定する測定手段
と、装置各部の流量に基づいて現状の運転パターンを認
識し、運転指令及び装置構成各機器の能力等の運転条件
と前記廃ガス中の酸素濃度の測定値に基づいて最適運転
パターンを推論し、最適な物質収支となる粗アルゴン量
、製品酸素量、製品窒素量、還流液量、膨張タービン流
量等の各部の流量を算出し、該算出値に基づいて各部の
流量を制御する制御手段とを備えたことを特徴としてい
る。
装置は、圧縮、精製、冷却した原料空気を液化精留分離
して酸素、窒素、排ガス等を導出する空気液化分離装置
において、前記排ガス中の酸素濃度を測定する測定手段
と、装置各部の流量に基づいて現状の運転パターンを認
識し、運転指令及び装置構成各機器の能力等の運転条件
と前記廃ガス中の酸素濃度の測定値に基づいて最適運転
パターンを推論し、最適な物質収支となる粗アルゴン量
、製品酸素量、製品窒素量、還流液量、膨張タービン流
量等の各部の流量を算出し、該算出値に基づいて各部の
流量を制御する制御手段とを備えたことを特徴としてい
る。
以下、本発明を第１図に示す空気液化分離装置の一例に
基づいて、さらに詳細に説明する。
基づいて、さらに詳細に説明する。
この空気液化分離装置１は、圧縮機２．精製段＃ｉ３．
主熱交換器４を経て液化点付近まで冷却された原料空気
Ａを精留する複精留塔５と、該複精留塔５の上部塔５ａ
に接続されたアルゴン堵６と、上部塔５ａ底部に配置さ
れた主凝縮蒸発器７と、下部塔５ｂ上部に分離する窒素
ガスを作動流体とする膨張タービン８とを備えている。
主熱交換器４を経て液化点付近まで冷却された原料空気
Ａを精留する複精留塔５と、該複精留塔５の上部塔５ａ
に接続されたアルゴン堵６と、上部塔５ａ底部に配置さ
れた主凝縮蒸発器７と、下部塔５ｂ上部に分離する窒素
ガスを作動流体とする膨張タービン８とを備えている。
上記空気液化分離装置１は、周知のごとく空気を原料と
して液化精留分離を行い、製品として上部塔下部の酸素
ガスＧＯ，上部塔頂部の窒素ガスＧＮ、上部塔底部の液
化酸素ＬＯ，主凝主凝縮器発器液化した液化窒素ＬＮ、
アルゴン塔上部の粗アルゴンＡＲをそれぞれ産出してお
り、また上部塔上部からは排ガスＷが、下部塔上部から
は、膨張タービン８を経て排窒素ガスＮが排出されてい
る。
して液化精留分離を行い、製品として上部塔下部の酸素
ガスＧＯ，上部塔頂部の窒素ガスＧＮ、上部塔底部の液
化酸素ＬＯ，主凝主凝縮器発器液化した液化窒素ＬＮ、
アルゴン塔上部の粗アルゴンＡＲをそれぞれ産出してお
り、また上部塔上部からは排ガスＷが、下部塔上部から
は、膨張タービン８を経て排窒素ガスＮが排出されてい
る。
本発明では、このように構成した空気液化分離装置１を
製品需要に応じた最適な運転状態に保持するために、各
部に各種の制御器、計測器２分析器等を配置するととも
に、これらの各機器から得られる情報及びあらかじめ定
められた各設定値に基いて前記各計測制御器を作動させ
て各部の流量を制御する制御手段９とを備えている。こ
の制御手段９には、制御用電算機及び／又はエキスノク
ートシステムが用いられる。尚、図中ｄはデータ入出力
を示す。
製品需要に応じた最適な運転状態に保持するために、各
部に各種の制御器、計測器２分析器等を配置するととも
に、これらの各機器から得られる情報及びあらかじめ定
められた各設定値に基いて前記各計測制御器を作動させ
て各部の流量を制御する制御手段９とを備えている。こ
の制御手段９には、制御用電算機及び／又はエキスノク
ートシステムが用いられる。尚、図中ｄはデータ入出力
を示す。
まず原料空気Ａを供給する管路１０には、原料空気Ａの
流量を計測する流量計３０ｇとガイドベーン３０ｂとか
らなる計測制御器３０が設けられている。この計測制御
器３０は、原料空気Ａの流量と共にガイドベーン３０ｂ
の開度を制御手段９に出力し、該制御手段９からの指示
によりガイドベーン３０ｂを開閉して原料空気Ａの供給
量を制御するもので、製品酸素ガスＧｏの生産量に応じ
て算定される値が設定値となる。尚、上記ガイドベーン
に代えて管路に自動弁を設けることによっても同様に行
うことができる。
流量を計測する流量計３０ｇとガイドベーン３０ｂとか
らなる計測制御器３０が設けられている。この計測制御
器３０は、原料空気Ａの流量と共にガイドベーン３０ｂ
の開度を制御手段９に出力し、該制御手段９からの指示
によりガイドベーン３０ｂを開閉して原料空気Ａの供給
量を制御するもので、製品酸素ガスＧｏの生産量に応じ
て算定される値が設定値となる。尚、上記ガイドベーン
に代えて管路に自動弁を設けることによっても同様に行
うことができる。
製品酸素ガスＧｏを導出する管路１１には、製品酸素ガ
スＧＯの流量を計測する流量計３１ａと自動弁３１ｂと
からなる計測制御器３１が設けられている。この計測制
御器３１は、製品酸素ガスＧｏの流量と共に自動弁３１
ｂの開度を制御手段９に出力し、該制御手段９からの指
示により自動弁３１ｂを開閉して製品酸素ガスＧｏの産
出量を制御するもので、製品酸素ガスＧＯの需要量１こ
応じて算定される値が設定値となり、かつ酸素純度が規
定の値を維持するように微調整される。この製品酸素ガ
ス用計測制御器３１に関連して上部塔５ａの製品酸素ガ
ス導出部近傍には、製品酸素ガスＧｏの純度を計測する
分析計３１Ｃが設けられており、該純度を制御手段９に
出力している。
スＧＯの流量を計測する流量計３１ａと自動弁３１ｂと
からなる計測制御器３１が設けられている。この計測制
御器３１は、製品酸素ガスＧｏの流量と共に自動弁３１
ｂの開度を制御手段９に出力し、該制御手段９からの指
示により自動弁３１ｂを開閉して製品酸素ガスＧｏの産
出量を制御するもので、製品酸素ガスＧＯの需要量１こ
応じて算定される値が設定値となり、かつ酸素純度が規
定の値を維持するように微調整される。この製品酸素ガ
ス用計測制御器３１に関連して上部塔５ａの製品酸素ガ
ス導出部近傍には、製品酸素ガスＧｏの純度を計測する
分析計３１Ｃが設けられており、該純度を制御手段９に
出力している。
製品窒素ガスＧＮを導出する管路１２には、製品窒素ガ
スＧＮの流量を計測する流量計３２ａと自動弁３２ｂと
からなる計測制御器３２が設けられている。この計測制
御器３２は、製品窒素ガスＧＮの流量と共に自動弁３２
ｂの開度を制御手段９に出力し、該制御手段９からの指
示により自動弁３２ｂを開閉して製品窒素ガスＧＮの産
出量を制御するもので、原料空気への供給量に応じて算
定される値が設定値となる。
スＧＮの流量を計測する流量計３２ａと自動弁３２ｂと
からなる計測制御器３２が設けられている。この計測制
御器３２は、製品窒素ガスＧＮの流量と共に自動弁３２
ｂの開度を制御手段９に出力し、該制御手段９からの指
示により自動弁３２ｂを開閉して製品窒素ガスＧＮの産
出量を制御するもので、原料空気への供給量に応じて算
定される値が設定値となる。
粗アルゴンＡＲを導出する管路１３には、粗アルゴンＡ
Ｒの流量を計測する流量計３３ａと自動弁３３ｂとから
なる計測制御器３３及び該粗アルゴン中の酸素濃度を測
定する分析器３３ｃが設けられている。この計測制御器
３３は、粗アルゴンＡＲの流量と共に自動弁３３ｂの開
度を制御手段９に出力し、該制御手段９からの指示によ
り自動弁３３ｂを開閉して粗アルゴンＡＲの産出量を制
御するもので、原料空気Ａの供給量に応じて算定される
値が設定値となり、かつ分析器３３Ｃから得られる粗ア
ルゴン中の酸素濃度が規定の値以下という条件を満たし
つつ、粗アルゴンＡＲの生産量が最大になるように微調
整される。
Ｒの流量を計測する流量計３３ａと自動弁３３ｂとから
なる計測制御器３３及び該粗アルゴン中の酸素濃度を測
定する分析器３３ｃが設けられている。この計測制御器
３３は、粗アルゴンＡＲの流量と共に自動弁３３ｂの開
度を制御手段９に出力し、該制御手段９からの指示によ
り自動弁３３ｂを開閉して粗アルゴンＡＲの産出量を制
御するもので、原料空気Ａの供給量に応じて算定される
値が設定値となり、かつ分析器３３Ｃから得られる粗ア
ルゴン中の酸素濃度が規定の値以下という条件を満たし
つつ、粗アルゴンＡＲの生産量が最大になるように微調
整される。
液化酸素ＬＯを導出する管路１４には、液化酸素ＬＯの
流量を計測する流量計３４ａと自動弁３４ｂとからなる
計測制御器３４が設けられている。
流量を計測する流量計３４ａと自動弁３４ｂとからなる
計測制御器３４が設けられている。
この計測制御器３４は、液化酸素ＬＯの流量と共に自動
弁３４ｂの開度を制御手段９に出力し、該制御手段９か
らの指示により自動弁３４ｂを開閉して液化酸素ＬＯの
産出量を制御するもので、あらかじめ設定された値、又
は寒冷上のバランスを維持するように制御される。
弁３４ｂの開度を制御手段９に出力し、該制御手段９か
らの指示により自動弁３４ｂを開閉して液化酸素ＬＯの
産出量を制御するもので、あらかじめ設定された値、又
は寒冷上のバランスを維持するように制御される。
液化窒素ＬＮを導出する管路１５には、液化窒素ＬＮの
流量を計測する流量計３５ａと自動弁３５ｂとからなる
計測制御器３５が設けられている。
流量を計測する流量計３５ａと自動弁３５ｂとからなる
計測制御器３５が設けられている。
この計測制御器３５は、液化窒素ＬＮの流量と共に自動
弁３５ｂの開度を制御手段９に出力し、該制御手段９か
らの命令により自動弁３５ｂを開閉して液化窒素ＬＮの
産出量を制御するもので、あらかじめ設定された値、又
は寒冷上のバランス及び純度を維持するように制御され
、さらに下部塔５ｂの還流液化窒素の純度を維持できる
ように、膨張タービン流体の流量との関連において制御
される。
弁３５ｂの開度を制御手段９に出力し、該制御手段９か
らの命令により自動弁３５ｂを開閉して液化窒素ＬＮの
産出量を制御するもので、あらかじめ設定された値、又
は寒冷上のバランス及び純度を維持するように制御され
、さらに下部塔５ｂの還流液化窒素の純度を維持できる
ように、膨張タービン流体の流量との関連において制御
される。
膨張タービン８に窒素ガスＮを導入する管路１６には、
該窒素ガスＮの流量を計測する流量計３６ａと自動弁３
６ｂとからなる計測制御器３６が設けられている。この
計測制御器３６は、窒素ガスＮの流量と共に自動弁３６
ｂの開度を制御手段９に出力し、該制御手段９からの指
示により自動弁３６ｂを開閉して膨張タービン導入流体
量を制御するもので、原料空気量から算出された値が設
定値となり制御されるが、寒冷上のバランスや運転目的
に応じた還流液化窒素流量との関連において設定された
値により調整される。
該窒素ガスＮの流量を計測する流量計３６ａと自動弁３
６ｂとからなる計測制御器３６が設けられている。この
計測制御器３６は、窒素ガスＮの流量と共に自動弁３６
ｂの開度を制御手段９に出力し、該制御手段９からの指
示により自動弁３６ｂを開閉して膨張タービン導入流体
量を制御するもので、原料空気量から算出された値が設
定値となり制御されるが、寒冷上のバランスや運転目的
に応じた還流液化窒素流量との関連において設定された
値により調整される。
上部塔５ａに還流液を導入する管路１７には、該管路１
７内の液化窒素の流量を計測する流量計３７ａと自動弁
３７ｂとからなる計測制御器３７が設けられている。こ
の計測制御器３７は、液化窒素の流量と共に自動弁３７
ｂの開度を制御手段９に出力し、該制御手段９からの指
示により自動弁３７ｂを開閉して還流液量を制御するも
ので、原料空気量から算出された値が設定値となり制御
される。
７内の液化窒素の流量を計測する流量計３７ａと自動弁
３７ｂとからなる計測制御器３７が設けられている。こ
の計測制御器３７は、液化窒素の流量と共に自動弁３７
ｂの開度を制御手段９に出力し、該制御手段９からの指
示により自動弁３７ｂを開閉して還流液量を制御するも
ので、原料空気量から算出された値が設定値となり制御
される。
下部塔５ｂの底部の液化空気を上部塔５ａに導入する管
路１８には、液化空気の流量を制御する自動弁３８ｂが
設けられるとともに、下部塔底部には該底部の液面を計
測する液面計３８ｃが設けられている。この自動弁３８
ｂと液面計３８ａとからなる計測制御器３８は、下部塔
底部の液化空気の液面高さに応じて自動弁３８の開度を
制御し、下部塔底部の液面が一定になるように制御され
る。
路１８には、液化空気の流量を制御する自動弁３８ｂが
設けられるとともに、下部塔底部には該底部の液面を計
測する液面計３８ｃが設けられている。この自動弁３８
ｂと液面計３８ａとからなる計測制御器３８は、下部塔
底部の液化空気の液面高さに応じて自動弁３８の開度を
制御し、下部塔底部の液面が一定になるように制御され
る。
また、下部塔底部の液化空気を粗アルゴン塔６の凝縮器
６ａに導入する管路１９には、液化空気の流量を計測す
る流量計３９ａと自動弁３９ｂとからなる計測制御器３
９が設けられている。この計測制御器３９は、凝縮器６
ａに導入する液化空気の流量と共に自動弁３９ｂの開度
を制御手段９に出力し、該制御手段９からの指示により
自動弁３９ｂを開閉して液化空気量を制御するもので、
原料空気量から算出された値が設定値となり制御される
。
６ａに導入する管路１９には、液化空気の流量を計測す
る流量計３９ａと自動弁３９ｂとからなる計測制御器３
９が設けられている。この計測制御器３９は、凝縮器６
ａに導入する液化空気の流量と共に自動弁３９ｂの開度
を制御手段９に出力し、該制御手段９からの指示により
自動弁３９ｂを開閉して液化空気量を制御するもので、
原料空気量から算出された値が設定値となり制御される
。
上部塔上部から排ガスＷを排出する管路２０には、排ガ
ス中の酸素濃度を計測する分析器４０が設けられており
、該管路２０内の排ガス中に含まれる酸素濃度を制御手
段９に出力する。さらに該管路２０には、排ガスの流量
を制御する流量計４１８と自動弁４１ｂとからなる計測
制御器４１が設けられている。
ス中の酸素濃度を計測する分析器４０が設けられており
、該管路２０内の排ガス中に含まれる酸素濃度を制御手
段９に出力する。さらに該管路２０には、排ガスの流量
を制御する流量計４１８と自動弁４１ｂとからなる計測
制御器４１が設けられている。
そして前記制御手段９は、例えば分散型制御装置９ａと
ＡＩステーション（エキスパートシステム）からなる推
論計算手段９ｂにより構成されており、前述のごとく、
各機器から得られる情報と、あらかじめ定められた各運
転パターンにおける適正流量設定値に基いて前記各計測
制御器を作動させて各部の流量を制御する。即ち、空気
液化分離装置１では、物質収支の変化が排ガスＷ中の酸
素濃度の変化に現れるという特性を生かして、該排ガス
Ｗ中の酸素濃度の変化をとらえ、その変化がいかなる物
質収支上もしくは熱収支上の変化によるものかを、前記
各部の流量や濃度等をもとにした運転パターンを認識に
基いて、最適な運転状態となるように各部の流量を調整
する。
ＡＩステーション（エキスパートシステム）からなる推
論計算手段９ｂにより構成されており、前述のごとく、
各機器から得られる情報と、あらかじめ定められた各運
転パターンにおける適正流量設定値に基いて前記各計測
制御器を作動させて各部の流量を制御する。即ち、空気
液化分離装置１では、物質収支の変化が排ガスＷ中の酸
素濃度の変化に現れるという特性を生かして、該排ガス
Ｗ中の酸素濃度の変化をとらえ、その変化がいかなる物
質収支上もしくは熱収支上の変化によるものかを、前記
各部の流量や濃度等をもとにした運転パターンを認識に
基いて、最適な運転状態となるように各部の流量を調整
する。
また、酸素ガスＧＯ及び粗アルゴンＡＲの生産量の変動
により排ガスＷ中の酸素濃度が変化し、該酸素濃度が規
定値以下になると粗アルゴンＡＲ中の窒素濃度が増加す
るという特性から、該排ガスＷ中の酸素濃度が、運転モ
ードにより定まる下限値以下にならないように、酸素ガ
スＧＯ及び粗アルゴンＡＲの生産量を制御する。
により排ガスＷ中の酸素濃度が変化し、該酸素濃度が規
定値以下になると粗アルゴンＡＲ中の窒素濃度が増加す
るという特性から、該排ガスＷ中の酸素濃度が、運転モ
ードにより定まる下限値以下にならないように、酸素ガ
スＧＯ及び粗アルゴンＡＲの生産量を制御する。
さらに前記各部の流量と、あらかじめ設定されている各
運転パターンにおける最適設定値とを比較して現在の運
転パターンを認識し、前記排ガスＷ中の酸素濃度の下限
値の設定を行うとともに、例えば製品酸素ガス需要量の
変化による酸素ガス流量の変化により、酸素の増減産に
対応する各部の流量を設定し、各自動弁の開度変更を行
い、各分析器の出力に応じてこれを微調整し、装置を最
適な運転状態に速やかに移行亭せる。
運転パターンにおける最適設定値とを比較して現在の運
転パターンを認識し、前記排ガスＷ中の酸素濃度の下限
値の設定を行うとともに、例えば製品酸素ガス需要量の
変化による酸素ガス流量の変化により、酸素の増減産に
対応する各部の流量を設定し、各自動弁の開度変更を行
い、各分析器の出力に応じてこれを微調整し、装置を最
適な運転状態に速やかに移行亭せる。
例えば、空気液化分離装置の制御を上記のごとく構成し
たエキスパートシステムにより行い、酸素ガスの採取量
を増減する場合、変更後の酸素ガス採取量を制御器に人
力すると、まず前記各部の流量や濃度から現状の運転パ
ターン及び前回の運転指令を認識する。次いで今回の運
転指令による製品採取量に応じてあらかじめ定められた
各部の適正流量設定値に基いて前記各部の最適流量を算
出し、該算出値に基づいて各部の流量を制御するが、こ
れに先だって、新しい指令による運転に移行後、前回の
指令による運転を続行できるか否か又は変更すべきか否
かを推論する。この推論は、優先すべき事項、例えば製
品の純度、各運転モードにおいて確保すべき各々の製品
量、熱バランスの確保等をベースにして、原料空気圧縮
機の減量限界や液化ガス製品の需要情報（貯槽内保有量
の情報）、さらに前回の運転指令等の情報から最適な運
転パターンを選択するものであり、また変化量に応じて
運転移行までの時定数を設定する。例えば酸素ガスの減
量が指令され、前回の指令が液化窒素採取運転であった
場合、原料空気量を酸素ガス採取量に応じて減らしたと
きに確保すべき窒素ガス量や空気圧縮機の減量限界等か
ら採取する液化窒素量及び各部の流量を推論する。この
結果各部の流量がそれぞれの時定数でセットされた値に
到達するように制御される。そしてセット値に到達後に
、生じる製品純度や熱バランスのズレは現状の運転パタ
ーンからどの部分をどの程度修正すべきかを推論し、そ
の結果に基づいて制御を行う。例えば、成製品を採取し
ない運転であれば、熱バランス調節用の系の流量又は弁
開度が所定の範囲に入るように、タービン流体置設定値
を各部の流量との関連において微調整する。
たエキスパートシステムにより行い、酸素ガスの採取量
を増減する場合、変更後の酸素ガス採取量を制御器に人
力すると、まず前記各部の流量や濃度から現状の運転パ
ターン及び前回の運転指令を認識する。次いで今回の運
転指令による製品採取量に応じてあらかじめ定められた
各部の適正流量設定値に基いて前記各部の最適流量を算
出し、該算出値に基づいて各部の流量を制御するが、こ
れに先だって、新しい指令による運転に移行後、前回の
指令による運転を続行できるか否か又は変更すべきか否
かを推論する。この推論は、優先すべき事項、例えば製
品の純度、各運転モードにおいて確保すべき各々の製品
量、熱バランスの確保等をベースにして、原料空気圧縮
機の減量限界や液化ガス製品の需要情報（貯槽内保有量
の情報）、さらに前回の運転指令等の情報から最適な運
転パターンを選択するものであり、また変化量に応じて
運転移行までの時定数を設定する。例えば酸素ガスの減
量が指令され、前回の指令が液化窒素採取運転であった
場合、原料空気量を酸素ガス採取量に応じて減らしたと
きに確保すべき窒素ガス量や空気圧縮機の減量限界等か
ら採取する液化窒素量及び各部の流量を推論する。この
結果各部の流量がそれぞれの時定数でセットされた値に
到達するように制御される。そしてセット値に到達後に
、生じる製品純度や熱バランスのズレは現状の運転パタ
ーンからどの部分をどの程度修正すべきかを推論し、そ
の結果に基づいて制御を行う。例えば、成製品を採取し
ない運転であれば、熱バランス調節用の系の流量又は弁
開度が所定の範囲に入るように、タービン流体置設定値
を各部の流量との関連において微調整する。
また、アルゴンを採取する空気液化分離装置における粗
アルゴンの採取量は、上部塔に導入される還流液量及び
酸素の採取量の微妙な変化により大きく変化を受ける。
アルゴンの採取量は、上部塔に導入される還流液量及び
酸素の採取量の微妙な変化により大きく変化を受ける。
そのためアルゴン運転は、上部塔への還流液量に応じた
制御、即ち各部の流量管理が必要であり、酸素採取量の
微妙な調節が求められる。ここで、下部塔から上部塔へ
導入する液化空気と液化窒素との最適な比率は計算によ
り容易に決定することが可能であるが、酸素及び粗アル
ゴンの採取量の管理指標は上部塔から導出される排ガス
中の酸素濃度であり、この酸素濃度は酸素及び粗アルゴ
ンの採取量を減らすことにより増加し、採取量を増すこ
とにより減少する。
制御、即ち各部の流量管理が必要であり、酸素採取量の
微妙な調節が求められる。ここで、下部塔から上部塔へ
導入する液化空気と液化窒素との最適な比率は計算によ
り容易に決定することが可能であるが、酸素及び粗アル
ゴンの採取量の管理指標は上部塔から導出される排ガス
中の酸素濃度であり、この酸素濃度は酸素及び粗アルゴ
ンの採取量を減らすことにより増加し、採取量を増すこ
とにより減少する。
従って、酸素及び粗アルゴンの採取量の調節は、ｊＩ２
図示す手順により行うことができる。即ち、ステップ１
０１で排ガス中の酸素濃度の変化を検出した時、まず上
述のごとく各部の流量等がら現状の運転パターンを認識
し、該パターンに応じた排ガス中の酸素濃度の下限値を
求める（ステップ１０２）。排ガス中の酸素濃度と前記
下限値とを比較しくステップ１０３）、下限値よりも酸
素濃度が低い場合には、粗アルゴン採取量を減量し、及
び／又は製品酸素の採取量を減量する（ステラ、ｒ１０
４）。前記下限値よりも酸素濃度が高い場合は、粗アル
ゴン採取量を増量し、及び／又は製品酸素の採取量を増
量する（ステップ１ｏ５）。
図示す手順により行うことができる。即ち、ステップ１
０１で排ガス中の酸素濃度の変化を検出した時、まず上
述のごとく各部の流量等がら現状の運転パターンを認識
し、該パターンに応じた排ガス中の酸素濃度の下限値を
求める（ステップ１０２）。排ガス中の酸素濃度と前記
下限値とを比較しくステップ１０３）、下限値よりも酸
素濃度が低い場合には、粗アルゴン採取量を減量し、及
び／又は製品酸素の採取量を減量する（ステラ、ｒ１０
４）。前記下限値よりも酸素濃度が高い場合は、粗アル
ゴン採取量を増量し、及び／又は製品酸素の採取量を増
量する（ステップ１ｏ５）。
上記各ステップの制御のみで所定の製品酸素濃度及び粗
アルゴン濃度を維持しつつ運転指令通りの各製品採取量
が保持されれば、本発明の制御システムにおける粗アル
ゴン採取系統の制御はこれで十分である。
アルゴン濃度を維持しつつ運転指令通りの各製品採取量
が保持されれば、本発明の制御システムにおける粗アル
ゴン採取系統の制御はこれで十分である。
しかし上記ステップの制御では、流量計の指示。
多様な運転パターンに対応する各部の流量設定等から多
少の誤差を生じるため、酸素及び粗アルゴンの生産量の
微調整を行うことが望ましい。
少の誤差を生じるため、酸素及び粗アルゴンの生産量の
微調整を行うことが望ましい。
この場合は、酸素及び粗アルゴンの採取量の調節は、第
３図示す手順により行うことができる。
３図示す手順により行うことができる。
即ち、前記同様に、ステップ１０１で排ガス中の酸素濃
度の変化を検出した時、まず上述のごとく各部の流量等
から現状の運転パターンを認識し、該パターンに応じた
排ガス中の酸素濃度の下限値を求める（ステップ１０２
）。排ガス中の酸素濃度と前記下限値とを比較しくステ
ップ１０３）、下限値よりも酸素濃度が低い場合には、
通過回数上限を設定したカウンター（ステップ１０６）
を経た後に、酸素採取量を減量する方向の制御が行われ
る（ステップ１０７）。このステップ１０７における制
御は、前回の調節量の半量分の調節が行われ、ステップ
１０３に戻る。このステップ１０３．１０６，１０７の
ループは、カウンターにより制御回数がカウントされ、
制御回数が設定回数を超えた場合には、それ以上の制御
を行わないようにする（ステップ１０８）。
度の変化を検出した時、まず上述のごとく各部の流量等
から現状の運転パターンを認識し、該パターンに応じた
排ガス中の酸素濃度の下限値を求める（ステップ１０２
）。排ガス中の酸素濃度と前記下限値とを比較しくステ
ップ１０３）、下限値よりも酸素濃度が低い場合には、
通過回数上限を設定したカウンター（ステップ１０６）
を経た後に、酸素採取量を減量する方向の制御が行われ
る（ステップ１０７）。このステップ１０７における制
御は、前回の調節量の半量分の調節が行われ、ステップ
１０３に戻る。このステップ１０３．１０６，１０７の
ループは、カウンターにより制御回数がカウントされ、
制御回数が設定回数を超えた場合には、それ以上の制御
を行わないようにする（ステップ１０８）。
前記ステップ１０３において酸素濃度が下限値よりも高
い場合には、ステップ１０９で、酸素ガス純度と製品と
して要求される純度の下限値とが比較される。この純度
が下限値と等しく、かつ粗アルゴン中の酸素濃度が上限
にある場合（ステップ１１０）には、排ガス中の酸素濃
度が高くてもこのループ内での設定の変更を行わない（
ステップ１０８）。
い場合には、ステップ１０９で、酸素ガス純度と製品と
して要求される純度の下限値とが比較される。この純度
が下限値と等しく、かつ粗アルゴン中の酸素濃度が上限
にある場合（ステップ１１０）には、排ガス中の酸素濃
度が高くてもこのループ内での設定の変更を行わない（
ステップ１０８）。
また、ステップ１０９で、酸素ガス純度が下限値より高
い場合には、粗アルゴン中の酸素濃度が上限値と比較さ
れ（ステップ１１１）、これが等しい時には酸素ガス採
取量を微量増加しくステップ１．１２）、ステップ１０
３に戻る。また、ステップ１１１で粗アルゴン中の酸素
濃度が上限値より低い時には、粗アルゴンの採取量を僅
かに増量しくステップ１１３）、ステップ１０３に戻る
。
い場合には、粗アルゴン中の酸素濃度が上限値と比較さ
れ（ステップ１１１）、これが等しい時には酸素ガス採
取量を微量増加しくステップ１．１２）、ステップ１０
３に戻る。また、ステップ１１１で粗アルゴン中の酸素
濃度が上限値より低い時には、粗アルゴンの採取量を僅
かに増量しくステップ１１３）、ステップ１０３に戻る
。
尚、このループ内で適当な制御が行なえない場合には、
さらに他の部分の流量を見直して最適な制御を行う。
さらに他の部分の流量を見直して最適な制御を行う。
このようにして各部の流量を制御することにより、各種
製品を効率よく採取することが可能となり、運転モード
の切り替えも短時間で行うことが可能となる。特にアル
ゴンを採取する空気液化分離装置では、粗アルゴン中Ｒ
中の窒素濃度を高めずに粗アルゴンＡＲを高い収率で生
産することが可能となり、他の酸素や窒素の収率も向上
させることができ、空気液化分離装置の生産効率を大幅
に向上させることができる。
製品を効率よく採取することが可能となり、運転モード
の切り替えも短時間で行うことが可能となる。特にアル
ゴンを採取する空気液化分離装置では、粗アルゴン中Ｒ
中の窒素濃度を高めずに粗アルゴンＡＲを高い収率で生
産することが可能となり、他の酸素や窒素の収率も向上
させることができ、空気液化分離装置の生産効率を大幅
に向上させることができる。
尚、装置各部の気液の流れについては、一般の空気液化
分離装置と同様のため詳細な説明は、これを省略する。
分離装置と同様のため詳細な説明は、これを省略する。
また、空気液化分離装置の構成は、上記実施例に限らず
、従来から用いられている各種能力向上設備を備えたも
のにも、本発明を適用することが可能であり、実施例で
挙げた製品を全て併産するものに限るものでもない。
、従来から用いられている各種能力向上設備を備えたも
のにも、本発明を適用することが可能であり、実施例で
挙げた製品を全て併産するものに限るものでもない。
以上説明したように、本発明の空気液化分離装置の制御
方法は、装置各部の気液の流量や濃度等をもとにして現
状の運転パターンを認識し、これに基いて各部の流量を
制御するから、各運転パターンにおける最適な運転状態
で各製品を製出することができ、粗アルゴンとともに各
製品の収率を向上することができる。特に製品需要の変
動による運転モードの移行を迅速に行え、特に粗アルゴ
ン中の窒素濃度を規定値以下に保ちながら最大限の収率
を得ることが可能となる。
方法は、装置各部の気液の流量や濃度等をもとにして現
状の運転パターンを認識し、これに基いて各部の流量を
制御するから、各運転パターンにおける最適な運転状態
で各製品を製出することができ、粗アルゴンとともに各
製品の収率を向上することができる。特に製品需要の変
動による運転モードの移行を迅速に行え、特に粗アルゴ
ン中の窒素濃度を規定値以下に保ちながら最大限の収率
を得ることが可能となる。
第１図は本発明の一実施例を示す空気液化分離装置の系
統図、第２図及び第３図は制御の一例を示すフローチャ
ート、第４図は粗アルゴンの採取量に対する排ガス中の
酸素濃度、粗アルゴン中の酸素濃度、及び粗アルゴン中
の窒素濃度の関係を示す図である。 １・・・空気液化分離装置 ２・・・圧縮機 ３・
・・精製設備 ４・・・主熱交換器 ５・・・複精
留塔６・・・アルゴン塔 ７・・・主凝縮蒸発器
８・・・膨張タービン ９・・・制御手段 ３０．
３１，３２．３３，３４，３５，３６．３７，３８，３
９゜４１・・・計測制御器 ４０・・・分析器 Ａ
・・−原料空気 ＡＲ・・・粗アルゴン Ｇｏ・・
・酸素ガスＧＮ・・・窒素ガス ＬＯ・・・液化酸素
ＬＮ・・・液化窒素 Ｗ・・・排ガス
統図、第２図及び第３図は制御の一例を示すフローチャ
ート、第４図は粗アルゴンの採取量に対する排ガス中の
酸素濃度、粗アルゴン中の酸素濃度、及び粗アルゴン中
の窒素濃度の関係を示す図である。 １・・・空気液化分離装置 ２・・・圧縮機 ３・
・・精製設備 ４・・・主熱交換器 ５・・・複精
留塔６・・・アルゴン塔 ７・・・主凝縮蒸発器
８・・・膨張タービン ９・・・制御手段 ３０．
３１，３２．３３，３４，３５，３６．３７，３８，３
９゜４１・・・計測制御器 ４０・・・分析器 Ａ
・・−原料空気 ＡＲ・・・粗アルゴン Ｇｏ・・
・酸素ガスＧＮ・・・窒素ガス ＬＯ・・・液化酸素
ＬＮ・・・液化窒素 Ｗ・・・排ガス
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、原料空気を圧縮、精製、冷却して精留塔に導入し、
液化精留分離により酸素、窒素、粗アルゴン、排ガス等
に分離する空気液化分離によるアルゴン採取の制御方法
において、装置各部の流量に基づいて現状の運転パター
ンを認識し、前回の運転指令と最新の運転指令及び装置
を構成する機器の能力等の運転条件と、前記排ガス中の
酸素濃度の測定値に基づいて、最適な運転パターンを推
論し、該運転パターン及び酸素濃度に応じて粗アルゴン
採取量及び／又は製品酸素量を算出するとともに、前記
推論と該算出値に基づいて上記以外の装置各部の最適流
量を算出して制御することを特徴とする空気液化分離に
よるアルゴン採取の制御方法。 ２、原料空気を圧縮、精製、冷却して精留塔に導入し、
液化精留分離により酸素、窒素、粗アルゴン、排ガス等
を導出する空気液化分離装置の制御方法において、前記
排ガス中の酸素濃度を測定するとともに、採取する粗ア
ルゴン中の酸素濃度及び製品酸素純度を測定し、該粗ア
ルゴン中の酸素濃度、製品酸素純度と前記排ガス中の酸
素濃度とに応じて粗アルゴンの採取量及び酸素採取量を
算出し制御することを特徴とする請求項１記載の空気液
化分離によるアルゴン採取の制御方法。 ３、前記各部の最適流量の算出は、あらかじめ定められ
た所定の優先順位に基づいて行うとともに、前記各部の
流量の制御は、あらかじめ定められた所定の時定数に基
づいて行うことを特徴とする請求項１又は２記載の空気
液化分離によるアルゴン採取の制御方法。 ４、前記制御は、制御用電子計算機又はエキスパートシ
ステムにより行うことを特徴とする請求項１乃至３いず
れかに記載の空気液化分離によるアルゴン採取の制御方
法。 ５、圧縮、精製、冷却した原料空気を液化精留分離して
酸素、窒素、排ガス等を導出する空気液化分離装置にお
いて、前記排ガス中の酸素濃度を測定する測定手段と、
装置各部の流量に基づいて現状の運転パターンを認識し
、運転指令及び装置構成各機器の能力等の運転条件と前
記廃ガス中の酸素濃度の測定値に基づいて最適運転パタ
ーンを推論し、最適な物質収支となる粗アルゴン量、製
品酸素量、製品窒素量、還流液量、膨張タービン流量等
の各部の流量を算出し、該算出値に基づいて各部の流量
を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする空気液
化分離によるアルゴン採取の制御装置。 ６、請求項５記載の空気液化分離によるアルゴン採取の
制御装置において、前記排ガス中の酸素濃度を測定する
測定手段に加えて、採取する粗アルゴン中の酸素濃度及
び製品酸素純度を測定する測定手段を設け、前記制御手
段は、該粗アルゴン中の酸素濃度と前記排ガス中の酸素
濃度と製品酸素純度とに応じて粗アルゴン及び製品酸素
の採取量を制御することを特徴とする空気液化分離によ
るアルゴン採取の制御装置。 ７、前記制御は、制御用電子計算機及び／又はエキスパ
ートシステムにより行うことを特徴とする請求項５又は
６記載の空気液化分離によるアルゴン採取の制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2084425A JP2967421B2 (ja) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | 空気液化分離によるアルゴン採取の制御方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2084425A JP2967421B2 (ja) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | 空気液化分離によるアルゴン採取の制御方法及びその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03282183A true JPH03282183A (ja) | 1991-12-12 |
| JP2967421B2 JP2967421B2 (ja) | 1999-10-25 |
Family
ID=13830230
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2084425A Expired - Fee Related JP2967421B2 (ja) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | 空気液化分離によるアルゴン採取の制御方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2967421B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002340477A (ja) * | 2001-05-14 | 2002-11-27 | Nippon Sanso Corp | 空気液化分離装置の制御方法 |
| JP2005114349A (ja) * | 2003-10-06 | 2005-04-28 | L'air Liquide Sa Pour L'etude & L'exploitation Des Procede S Georges Claude | 空気分離ユニットでのアルゴン回収を最適化するための、方法およびシステム |
| JP2010528245A (ja) * | 2007-05-11 | 2010-08-19 | レール・リキード−ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード | 深冷蒸留装置の制御方法 |
| WO2019135817A1 (en) * | 2018-01-02 | 2019-07-11 | Praxair Technology, Inc. | System and method for flexible recovery of argon from a cryogenic air separation unit |
-
1990
- 1990-03-30 JP JP2084425A patent/JP2967421B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002340477A (ja) * | 2001-05-14 | 2002-11-27 | Nippon Sanso Corp | 空気液化分離装置の制御方法 |
| JP2005114349A (ja) * | 2003-10-06 | 2005-04-28 | L'air Liquide Sa Pour L'etude & L'exploitation Des Procede S Georges Claude | 空気分離ユニットでのアルゴン回収を最適化するための、方法およびシステム |
| JP2010528245A (ja) * | 2007-05-11 | 2010-08-19 | レール・リキード−ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード | 深冷蒸留装置の制御方法 |
| WO2019135817A1 (en) * | 2018-01-02 | 2019-07-11 | Praxair Technology, Inc. | System and method for flexible recovery of argon from a cryogenic air separation unit |
| US11262125B2 (en) | 2018-01-02 | 2022-03-01 | Praxair Technology, Inc. | System and method for flexible recovery of argon from a cryogenic air separation unit |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2967421B2 (ja) | 1999-10-25 |
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| Date | Code | Title | Description |
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| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
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