JPH03278487A - ガスレーザ発振装置 - Google Patents
ガスレーザ発振装置Info
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- JPH03278487A JPH03278487A JP7666990A JP7666990A JPH03278487A JP H03278487 A JPH03278487 A JP H03278487A JP 7666990 A JP7666990 A JP 7666990A JP 7666990 A JP7666990 A JP 7666990A JP H03278487 A JPH03278487 A JP H03278487A
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- Japan
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- 238000010891 electric arc Methods 0.000 abstract description 3
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Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は横励起方式のガスレーザ発振装置に関する。
（従来の技術）
エキシマレーザやＴＥＡＣＯ２レーザ等の横励起形のガ
スレーザ発振装置では、安定して主放電を発生させるた
め一般に予備電離手段を設けている。この予備電離手段
には種々の方式があるが、その一つとして背面予備電離
手段があり、この手段を備えた装置としては第３図に示
すような構成が知られている。すなわち、横断面が環状
になる円筒状でガスレーザ媒質を所定の圧力で封入した
レーザ管（１）を有し、その内部には主放電電極（２）
および（２）、（３）、送風機（４）、熱交換器（５）
、除塵用のフィルター（６）が設けられている。一方の
主放電電極（２）はレーザ管（１）の軸方向を長手方向
とする板状電極体に形成されている。また、他方の主放
電電極（３）は同じく上記軸方向を長手方向とした容器
状になり１、上記一方の主放電電極（２）に対向する側
が複数の貫通部（７）を有した多孔板電極部に形成され
、その内部には予備電離電極としての複数対のピン電極
（８）が上記軸方向に沿って所定間隔で設けられている
。一方、（１０）は高圧電源でパルス発振させるための
サイラトロンからなるスイッチング素子＜１１）、充放
電コンデンサ（１２）および充電用インダクタンス（１
３）を経て上記主放電電極（２）、（３）に高圧パルス
を供給するようになっている。また、（１４）はピーキ
ングコンデンサで上記高圧電源（１０）の回路から分岐
してピン電極（８）に接続されている。
スレーザ発振装置では、安定して主放電を発生させるた
め一般に予備電離手段を設けている。この予備電離手段
には種々の方式があるが、その一つとして背面予備電離
手段があり、この手段を備えた装置としては第３図に示
すような構成が知られている。すなわち、横断面が環状
になる円筒状でガスレーザ媒質を所定の圧力で封入した
レーザ管（１）を有し、その内部には主放電電極（２）
および（２）、（３）、送風機（４）、熱交換器（５）
、除塵用のフィルター（６）が設けられている。一方の
主放電電極（２）はレーザ管（１）の軸方向を長手方向
とする板状電極体に形成されている。また、他方の主放
電電極（３）は同じく上記軸方向を長手方向とした容器
状になり１、上記一方の主放電電極（２）に対向する側
が複数の貫通部（７）を有した多孔板電極部に形成され
、その内部には予備電離電極としての複数対のピン電極
（８）が上記軸方向に沿って所定間隔で設けられている
。一方、（１０）は高圧電源でパルス発振させるための
サイラトロンからなるスイッチング素子＜１１）、充放
電コンデンサ（１２）および充電用インダクタンス（１
３）を経て上記主放電電極（２）、（３）に高圧パルス
を供給するようになっている。また、（１４）はピーキ
ングコンデンサで上記高圧電源（１０）の回路から分岐
してピン電極（８）に接続されている。
上記の構成で、送風機（４）の作動でガスレーザ媒質が
レーザ管（１）内を熱交農器（５）で温度制御されて循
環する状況下で、高圧電源（１０）から充放電コンデン
サ（１２）に充電用インダクタンス（１３）を通して充
電される。そこにスイッチング素子（１１）にトリガ信
号を入れてこのスイッチング素子（１１）を導通させる
。これで、充放電コンデンサ（１２）の充電電荷はスイ
ッチング素子（１１）を通してピーキングコンデンサ（
１４）にピン電極（８）を通して移行し、充電する。そ
の際、ピン電極（８）をから発生するアーク放電に伴っ
て発生した紫外線が主放電電極（３）の貫通部（７）か
ら主放電空間に照射され、予備電離を起す。この予備電
離後、ピーキングコンデンサ（１４）に充電された電荷
はピン電極（８）を上記とは反対方向に流れ、主放電空
間を主放電によって導通する。このとき、ガスレーザ媒
質を励起し図示せぬ光共振器間でレーザ発振が起きる。
レーザ管（１）内を熱交農器（５）で温度制御されて循
環する状況下で、高圧電源（１０）から充放電コンデン
サ（１２）に充電用インダクタンス（１３）を通して充
電される。そこにスイッチング素子（１１）にトリガ信
号を入れてこのスイッチング素子（１１）を導通させる
。これで、充放電コンデンサ（１２）の充電電荷はスイ
ッチング素子（１１）を通してピーキングコンデンサ（
１４）にピン電極（８）を通して移行し、充電する。そ
の際、ピン電極（８）をから発生するアーク放電に伴っ
て発生した紫外線が主放電電極（３）の貫通部（７）か
ら主放電空間に照射され、予備電離を起す。この予備電
離後、ピーキングコンデンサ（１４）に充電された電荷
はピン電極（８）を上記とは反対方向に流れ、主放電空
間を主放電によって導通する。このとき、ガスレーザ媒
質を励起し図示せぬ光共振器間でレーザ発振が起きる。
（発明が解決しようとする課８）
ピン電極（８）による予備放電、主放電電極（２）、（
３）における主放電から発生する電極スプラッシュがガ
スレーザ媒質中に飛散し、放電の安定、レーザ発振光路
における光学的損失を増加させる。
３）における主放電から発生する電極スプラッシュがガ
スレーザ媒質中に飛散し、放電の安定、レーザ発振光路
における光学的損失を増加させる。
また、放電に伴って、ガスレーザ媒質自体が劣化し、い
わゆるガス寿命を短くしていた。
わゆるガス寿命を短くしていた。
本発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、ガスレー
ザ媒質の劣化に伴う欠点を解消し、長寿命を達成するガ
スレーザ発振装置を提供することを目的とする。
ザ媒質の劣化に伴う欠点を解消し、長寿命を達成するガ
スレーザ発振装置を提供することを目的とする。
［発明の構成コ
（課題を解決するための手段と作用）
ガスレーザ媒質を所定の圧力で封入したレザ管と、少な
くとも一方が放電面側に複数の貫通部を形成した孔開き
電極を有し所定の主放電空間をおいて上記レーザ管内に
設けられた主放電電極と、上記孔開き電極の背面側に設
けられた予備電離用のピン電極とを備えたガスレーザ発
振装置において、上記ピン電極を包囲して上記孔開き電
極の背面側を覆う覆体と、この覆体で覆われた上記背面
側空間内の気体を排気する排気手段とを備えたもので、
ピン電極近傍で発生したガス状物質はレーザ管外で処理
される。
くとも一方が放電面側に複数の貫通部を形成した孔開き
電極を有し所定の主放電空間をおいて上記レーザ管内に
設けられた主放電電極と、上記孔開き電極の背面側に設
けられた予備電離用のピン電極とを備えたガスレーザ発
振装置において、上記ピン電極を包囲して上記孔開き電
極の背面側を覆う覆体と、この覆体で覆われた上記背面
側空間内の気体を排気する排気手段とを備えたもので、
ピン電極近傍で発生したガス状物質はレーザ管外で処理
される。
（実施例）
以下、実施例を示す図面に基づいて本発明を説明する。
なお、従来例を示した第３図と共通する部分には同一符
号を付し、それらの部分の詳細な説明は省略する。１図
は本発明の第１の実施例で、第３図と異なる箇所は他方
の主放電電極（３）の背面に、ピン電極（８）包囲し主
放電電極（３）の背面側に閉じ込める覆体（２０）を設
け、さらに、この覆体（２０）にレーザ管（１）外に導
かれる排気管（２１）を接続し、この排気管（２１）ｒ
こ設けた除塵用のフィルター（２２）および環流ブロワ
−（２３）を経て、貫通部（７）から主放電電極（３）
内に流入したガスレーザ媒質を再度レーザ管（１）内に
戻す構成にしたことにある。なお、ピーキングコンデン
サ（１４）力）らの導線（２５）は覆体（２０）とは電
気的に非接触となっている。
号を付し、それらの部分の詳細な説明は省略する。１図
は本発明の第１の実施例で、第３図と異なる箇所は他方
の主放電電極（３）の背面に、ピン電極（８）包囲し主
放電電極（３）の背面側に閉じ込める覆体（２０）を設
け、さらに、この覆体（２０）にレーザ管（１）外に導
かれる排気管（２１）を接続し、この排気管（２１）ｒ
こ設けた除塵用のフィルター（２２）および環流ブロワ
−（２３）を経て、貫通部（７）から主放電電極（３）
内に流入したガスレーザ媒質を再度レーザ管（１）内に
戻す構成にしたことにある。なお、ピーキングコンデン
サ（１４）力）らの導線（２５）は覆体（２０）とは電
気的に非接触となっている。
この実施例ではレーザ管（１）内は送風機（４）でガス
レーザ媒質が循環されているが、ピン電極（８）による
予備電離アーク放電からの生成物、貫通部（７）部分の
電極面、貫通部（７）の穴内面、等；こ発生したガス状
物質は環流ブロワ−（２３）でフィルター（２２）に向
かって送られる。排気管（２１）にお０ては、レーザ管
（１）内での流量より格段に少な０流量となるので、フ
ィルター（２３）はフィルター（６）よりきめの細かい
ものにすることが可能である。
レーザ媒質が循環されているが、ピン電極（８）による
予備電離アーク放電からの生成物、貫通部（７）部分の
電極面、貫通部（７）の穴内面、等；こ発生したガス状
物質は環流ブロワ−（２３）でフィルター（２２）に向
かって送られる。排気管（２１）にお０ては、レーザ管
（１）内での流量より格段に少な０流量となるので、フ
ィルター（２３）はフィルター（６）よりきめの細かい
ものにすることが可能である。
第２図は本発明の第２の実施例で、導線（２５）をピン
電極（８）の他に覆体（２０）に電気的に接続させ、こ
の覆体（２０）を通して他方の主放電電極（３）とピー
キングコンデンサ（１４）とを導通させたものである。
電極（８）の他に覆体（２０）に電気的に接続させ、こ
の覆体（２０）を通して他方の主放電電極（３）とピー
キングコンデンサ（１４）とを導通させたものである。
すなわち、上記第１の実施例ではピン電極（８）を通り
ピーキングコンデンサ（１４）にいったん充電された電
荷が再びピン電極（８）を反対方向に放電するように構
成したが、この第２の実施例ではＩ！！１の実施例のよ
うに初めだけ放電し、主放電ではピン電極（８）を通ら
ず、主放電電極（３）へ電荷が流れる。
ピーキングコンデンサ（１４）にいったん充電された電
荷が再びピン電極（８）を反対方向に放電するように構
成したが、この第２の実施例ではＩ！！１の実施例のよ
うに初めだけ放電し、主放電ではピン電極（８）を通ら
ず、主放電電極（３）へ電荷が流れる。
［発明の効果］
以上説明したように、予備電離の段階で生じた放電生成
物であるガス状物質はレーザ管（１）外で処理されるよ
うになったので、レーザ管（１）内において、フィルタ
ー（６）をガス流速を低下させない程度のガス抵抗の少
ないフィルターを使用できるから、主放電を高速にパル
ス繰返しするに当っての条件である高速ガス流を維持す
ることができる。この結果、主放電が安定し、安定な出
力特性を得ることができた。
物であるガス状物質はレーザ管（１）外で処理されるよ
うになったので、レーザ管（１）内において、フィルタ
ー（６）をガス流速を低下させない程度のガス抵抗の少
ないフィルターを使用できるから、主放電を高速にパル
ス繰返しするに当っての条件である高速ガス流を維持す
ることができる。この結果、主放電が安定し、安定な出
力特性を得ることができた。
第１図は本発明の第１の実施例を示す構成図、第２図は
本発明の第２の実施例を示す構成図、第３図は従来例を
示す構成図である。 （２）、（３） ・主放電電極 （８） ・ピン電極 （２０）・ 覆体 （２１）・ 排気管
本発明の第２の実施例を示す構成図、第３図は従来例を
示す構成図である。 （２）、（３） ・主放電電極 （８） ・ピン電極 （２０）・ 覆体 （２１）・ 排気管
Claims (1)
- ガスレーザ媒質を所定の圧力で封入したレーザ管と、少
なくとも一方が放電面側に複数の貫通部を形成した孔開
き電極を有し所定の主放電空間をおいて上記レーザ管内
に設けられた主放電電極と、上記孔開き電極の背面側に
設けられた予備電離用のピン電極とを備えたガスレーザ
発振装置において、上記ピン電極を包囲して上記孔開き
電極の背面側を覆う覆体と、この覆体で覆われた上記背
面側空間内の気体を排気する排気手段とを備えたことを
特徴とするガスレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7666990A JPH03278487A (ja) | 1990-03-28 | 1990-03-28 | ガスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7666990A JPH03278487A (ja) | 1990-03-28 | 1990-03-28 | ガスレーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03278487A true JPH03278487A (ja) | 1991-12-10 |
Family
ID=13611824
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7666990A Pending JPH03278487A (ja) | 1990-03-28 | 1990-03-28 | ガスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03278487A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06237029A (ja) * | 1993-02-09 | 1994-08-23 | Nec Corp | 放電励起エキシマレーザ装置 |
-
1990
- 1990-03-28 JP JP7666990A patent/JPH03278487A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06237029A (ja) * | 1993-02-09 | 1994-08-23 | Nec Corp | 放電励起エキシマレーザ装置 |
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