JPH03277945A - ガス検知装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は半導体レーザを用いたガス検知装置に関する。

（従来技術） 特定波長のレーザ光かある種の気体に吸収され易いこと
を利用して気体の有無を検出てきることか知られており
、この原理を応用したセンシンク技術か工業計測、公害
監視などに広く用いられている。−例として、Ｈｅ−Ｎ
ｅレーザにより発生されるレーザ光の３．３９ｕＬｍ帯
には真空波長か３．３９２２終ｍ（λ１）と３．３９１
２弘ｍ（入、）の２つの発振線があり、入１はメタンに
強く吸収され、λ２はメタンにわずかしか吸収されない
。そこて回し強度をもつ２つの波長のレーザ光を測定ガ
スに当て、透過光強度の差から使ってメタンの有無を感
度よく検出することか可能である。メタンは都市ガスの
生成分であるのてメタンガスの検出によって都市ガスの
漏洩か検知てきる。

この種のメタン漏洩センサか米国特許第４．４８９，２
３９号に提案されている。このセンサは２台のレーザの
他に２台のチョッパーと２台のロックインアンプか必要
なため装置か大かかりである。この米国特許には、同時
に、このセンサ゛の欠点を解決できる２波長発振レーザ
を使ったセンサシステムも提案されているか、温度変化
などの原因により、２波長の出力を完全に等しく保つこ
とか困難であるという問題か残る。

別の方法として、１台のメカニカルチョッパーを用い、
２つのレーザからの２波長の出力を等しく調整する方法
も提案されているか、このような構成のメタン検知シス
テムは多数のミラーやハーフミラ−を用いるため光学系
か複雑て大きな体積を要する上、光軸調整が厄介であり
、レーザ光の損失も大きい。また信号処理か複雑な上、
メカニカルチョッパーを使うため高い周波数ての変調か
てきずＳＮ比（信号対漏音比）の点で不利であるなとの
問題かある。

そこて木発明者らは特開昭６２−２９０１９０号に３い
て、上記従来のガス検知システム、特にそれに用いるレ
ーザ装置の欠点を解消した新規な２波長発振レーザ装置
を提案した。この２波長発振レーザ装置は、駆動電流に
応じた波長および出力のレーザ光を発振する半導体レー
ザと特、定ガスを含む基準セルを用い、所定の電流を中
心として異なる２つの電流て半導体レーザを駆動して、
異なる２波長のレーザ光を交互に発振せしめ、かつレー
ザ光強度は一定になるように駆動電流にフィードバック
をかけるように構成されているのて、１台のレーザ装置
を用いて簡潔な構成てガス検知かてきる。

しかし、この手法ては、レーザ光の波長は特定ガスの吸
収線の中心からずれた位置に安定化される上、レーザ光
はすてに基準セルによりかなり減衰しているため、高感
度なガス検知かできない。

さらに、任意標的からのレーザ光の反射を用いてガス検
知を行なう場合、カスの量か同しても反射の条件か異な
ると異なった値を指示してしまい、定量測定かてきない
という問題かある。

（発明の［１的および構成） 本発明は上記の点にかんかみてなされたもので、高周波
て変調された半導体レーザを用いたカス検知装置におい
て、高感度のカス検知を行なうことを目的とし、この目
的を達成するために、駆動電流および温度に応じた波長
および出力のレーザ光を発振する半導体レーザな用い、
所定の電流を中心として特定の周波数て駆動電流を変調
することにより波長および強度か変調されたレーザ光を
発振せしめ、変調周波数の基本波検波信号または２倍波
検波信号か０となるように半導体レーザの駆動電流およ
び温度のいずれか一方または両方を制御するとともに、
そのレーザ光を未知濃度のガスを含む測定雰囲気に通し
、その通過レーザ光の２倍波検波信号または基本波検波
信号によりガスの濃度を検出するように構成した。

（以下余白） （実施例） 以下本発明を図面に基づいて説明する。

実施例の説明に先立って本発明の理解に必要な基本事項
を説明する。

（１）周波数変調法 分光測定において、測定感度を向上させる一つの方法に
周波数変調法という手法がある。光の周波数をなんらか
の手段で変調し、その光が対象吸収ガスを通過すると、
受光した赤外センサの出力信号は直流成分のほか変調周
波数と同じ基本波成分およびその高調波成分を持つ。そ
のうち、基本波成分、２倍波成分を位相敏感検波すると
、それぞれ吸収線の周波数に関する一次微分、二次微分
に対応する信号を得ることができる。ここで位相敏感検
波とは、信号のうちの特定の周波数、特定の位相をもつ
成分だけを抽出してその振幅を測定することを意味し、
同じ周波数の基準信号とロックインアンプと呼ばれる装
置を用いて実現される。

この手法を用いると、通常、極めて高いＳＮ比で微小信
号の検出を行うことができる。

ここで、半導体レーザを光源としメタンを検知する場合
を例にとって周波数変調法で得られる信号の性質につい
て説明する。

メタンの濃度（分圧）をｃｌ　　光路長を２としたとき
のレーザ光の透過率Ｔは、よく知られた通り・Ｔ　＝　
ｅ　ｘ　ｐ　（−ａ　ｃ　Ｑ　）　　　　−（１）と表
される。αはメタンの吸収係数であり、大気圧中では、
一つの吸収線に着目すると次のようなローレンツ型の周
波数依存特性を有する。

Ω　　　：　先の周波数 ω、　　：　吸収線の中心周波数 αｏ１　γ：　定数 第１図（イ）は半導体レーザを用いて観測した１、６６
５μｍ付近のメタンの２ν、吸収帯の？収スペクトル、
同図（ロ）はその部分拡大図でおり、Ｑ（６）線（波長
１．６６５μｍ）の場合、中心周波数ω１は約１．８０
０ｘｌＯ”Ｈｚ　（波数表示では６００２．６ｃｍ−’
）である。２７は吸収線の半値幅を表し、１気圧空気中
のメタンでは約４Ｘ　１０’　Ｈｚ　（０，１３ｃｍ−
’）である。

また、α。は吸収線の中心での吸収係数を表し、１気圧
空気中ではＱ（６）線のα。は１６ｍ−’・ａｔｍ−’
である。

αｃ１２（１の場合、式（１）および（２）より、・・
・　（３） と近似できる。

半導体レーザの発振周波数Ωは温度と駆動電流の関数で
あるが、温度一定で駆動電流を周波数ωで変調すると、
Ωは次式にしたがって周波数ωで変調される。

Ω掌Ω。＋ΔΩｃｏｓωｔ　　　　　　　・・・（４）
Ω。　：半導体レーザの中心周波数 ΔΩ　：周波数変調振幅 ω　　：変調周波数 周波数変調振幅ΔΩは小さいのでＴをΩ；Ω。

においてテーラ−展開し、 ΔΩの２次の項まで計 算すると、 となり、直流成分のほか、ｅＯ５ωｔ　とｃｏｓ２ωｔ
にしたがって変化する成分から成る。ここで、Ｔ。、Ｔ
ｏ　　Ｔｏ　はそれぞれ透過率Ｔ１　　その一次微分ｄ
　Ｔ／ｄΩ、および二次微分ｄ２Ｔ／ｄΩ２のΩ＝Ω。

での値であり、以下のように与えられる。

・・・　（８） Ｔｏ、Ｔｏ　　Ｔ０′の形状を第２図（イ）、　（ロ）
、（ハ）に示す。式（５）で表わされる透過率Ｔのうち
ｃｏｓωｔＳｃｏｓ２ωを成分を位相敏感検波すれば、
それぞれＴ。　　Ｔ０′に比例した信号が得られる。

第２図かられかるようにレーザの中心周波数Ω。とメタ
ンの吸収線の中心ω。が一致したとき、Ｔｏは最小、Ｔ
ｏ　はＯＳ　Ｔｏ　は最大となる。

すなわち、式（６）、（７）、（８）よりそれぞれ、 Ｔｏ　　（Ωｇ＝（ｃ）、）　　＝　１−ａ。ｃ　Ｑ　
　　　・＝　　（９）Ｔｏ　　　（Ω。＝ω、）＝０　
　　　　　　　　　・・・　（１０）Ｔｏ　　　（Ω０
＝（ｌＪｊ　　＝２ａ。ｃ　　Ｑ／７２−　　（１１）
となる。一方、式（８）より、Ｔｏ　が０になるのは、 Ω　。　＝　　ω　。　　±　　　γ　／ＩＴ　　　　
　　　　　　・・・　（１２）のときであり、そのとき
Ｔｏ　は最大または最小となる。

（２）レーザの強度変調の影響 以上の議論では、レーザの発振周波数だけが変調される
と考えたが、半導体の駆動電流を変調すると、発振強度
も同時に変調を受ける。そのため、位相敏感検波した信
号には、吸収に無関係な成分が加わる。

いま、半導体レーザの駆動電流を周波数ωで変調すると
発振周波数は式（４）で与えられるのに対し、発振強度
Ｉは、 Ｉ＝１０＋ΔＩｃｏｓ（ωｔ＋φ）・（１３）■ｏ　：
レーザ出力の中心強度 ΔＩ：強度変調振幅 と表わされる。ここで、φは周波数変調との間に生じる
位相差である。

メタンを通過後のレーザ光強度Ｐは、発振強度ｌと透過
率Ｔに比例するので、 Ｐ＝Ａ−１−Ｔ　　　　　　　　　　・・・（１４）と
表わされる。ここで係数Ａは反射条件などに依存する定
数で、任意反射面を標的として利用するシステムでは、
標的までの距離やその反射率により異なった値を取る。

式（１４）に式（５）および（１３）を代入して、 Ｐ＝Ａ　［１０＋ΔＩ　ｃｏｓ　（（ＩＪ　を十φンコ
Ｘ　　［ＣＯ＋ΔΩ　Ｔ（ＩＣＯ５ｃ＋Ｊｔと書かれる
。ただし、 である。

式（１５）を展開してみると、周波数ωで変化する部分
は、微小項を無視して、 ＡＣｏΔＩ　ｃｏｓ　（ωｔ＋φ） ＋ＡＩ。ΔΩＴ、）　　ｃｏｓωｔ　　　＝・（１７）
となり、位相の異なる２つの項から成る。したがって、
位相敏感検波をするときに、基準信号の位相の選び方に
よって、２つの項の寄与が異なる。

まず、式（１７）の第１項の寄与が最大になる位相で基
本波検波して得られる信号をＰ（ω）、。

とすると、 Ｐ（ω）□８＝Ａ［Δ■Ｃ０ 十　■　。　　Δ　Ω　Ｔ（、’ｃｏｓ　φ　コ　　　
　・　　　（１８）と計算される。式（１８）の第２項
は式（１７）の第２項からの寄与である。ここで、第２
項の寄与を求める際に、 ｃｏｓωｔ　＝　ｃｏｓ　（ωｔ＋φ−φ）＝ｃｏｓφ
ｃｏｓ　　（ω　ｔ　＋φ）＋ｓｉｎφｓｉｎ　　（ω
を十φ）　・・・（１９）を用いた。

一方、式（１７）の第１項の寄与が０になる位相で基本
波検波した信号をＰ（ω）１゜とすると、Ｐ（（ｒ）　
）　１１１＋１　；Ａ　Ｉ　。ΔΩＴ（、ｓｉｎφ　・
　（２０）となる。

第３図の上段および下段の図は式（２ｏ）と（１８）に
対応して、それぞれ強度変調信号が最小および最大にな
る基本波検波出力を示す。

次に、以上の予備的考察に基づき本発明によるメタンの
検知の手法を説明する。

メタンの吸収は、レーザの駆動電流を周波数ωで変調し
、透過光の基本波または２倍波での位相敏感検波信号に
より検知することができる。いずれの場合も最大感度を
得るためには、レーザの中心周波数をあらかじめ吸収線
の決められた位置に安定化することが必要となる。安定
化は、レーザ光の一部を、メタンの入った基準セルに通
すことによって実現できる。

まず、基本波検波でメタンを検出する場合には、中心周
波数Ω。を式（１２）で与えられる周波数に安定化しな
くてはならない。そのためには、基準セルを通った光の
二次微分信号、すなわち２倍波検波信号を誤差信号とし
、それをＯにするようにそのレーザ周波数を制御すれば
よい。

一方、２倍波検波でメタンを検出する場合には、中心周
波数Ω。をメタンの吸収線の中心に安定化しなければな
らない。そのためには、基準セルを通った光によって、
・式（２０）で与えられる基本波検波信号Ｐ（ω）１１
を測定し、それを０にするようにレーザの周波数を制御
すればよい。

レーザの周波数の制御は、温度および駆動電流への誤差
信号のフィードバックで行うことができる。

以上の２つの手法のどちらも実際に利用できることが確
認されているが、以下の実施例では基本波検波信号で周
波数を吸収線の中心に安定化させ、２倍波検波信号でメ
タンの検出を行う手法を採用する。

レーザ周波数をメタンの吸収線の中心に安定化させたの
ち、測定雰囲気通過後の光検出信号からｃｏｓ２ωｔ　
成分を位相敏感検波して得られる信号Ｐ（２ω）は、 Ｐ　（２（１））　＝Ａ　Ｉａ　　（ΔΩ）’Ｔｏ’／
４−Ａ１．　　（ΔΩ）　　２ａ６ｃ　　Ｒ／　２７２
・・・　（２１） となり、メタンの濃度Ｃと光路長９との積ｃＱに比例す
る。すなわち、２倍波検波信号からメタンが検知できる
。もし、係数Ａが一定であれば、Ｐ（２ω）から直ちに
メ、タンの定量測定が可能である。しかし、Ａが変化す
るような測定条件下では、このままでは定量測定ができ
ない。その場合、次のようにして定量測定が可能となる
。

レーザの周波数がメタンの吸収線の中心ω、に安定化さ
れた状態で、基本波検波によりＰ（ω）□、を測定する
と、式（１８） ％式％ （２２） ） （） との比Ｒを とってみると、 Ｒ＝Ｐ　　（２ω）／Ｐ　（ω）、１８となる。このＲ
には１反射条件に依存する定数Ａが含まれていないので
、反射条件に関係なくＲからメタンの濃度・光路長積ｃ
Ｑを求めることができる。

第４図は一定量のメタンがあり、反射条件に依存する定
数Ａが変わったときに得られる信号Ｐ（２ω）とＰ（ω
）。６．およびその比Ｒの変化を示している。ただしＡ
の３つの値はＡ　１）　Ａ　２〉Ａｓの関係となってい
るものとする。同図（イ）および（ロ）のように、Ｐ（
２ω）およびＰ（ω）、、。

８が変化してもその比Ｒは同図（ハ）のように反射条件
によらず一定となる。すなわち、レーザの周波数を吸収
線の中心に安定化した状態で、基本波検波と２倍波検波
を同時に行うことにより、メタンの定量測定ができる。

このように、本発明によれば、反射条件に影響されず正
確なガス濃度検知ができる。

第５図はメタンの定量測定を目的とした本発明によるガ
ス検知装置の一実施例を示す。

図において、ｌは半導体レーザ、２は半導体レーザ１か
ら発生するレーザ光を平行光にするコリメートレンズ、
３はレーザ光を分割するビームスプリッタ、４は未知濃
度のメタンを含むガスを入れるためのテストセルでメタ
ンガスの濃度が調整できるようになっている。５はメタ
ンセル４を通過したレーザ光を集光する集光レンズ、６
はレーザ光の強度を検知するＰＩＮホトダイオードなど
の光検出器、７は既知濃度のメタンを含むガスを入れる
基準セル、８は基準セルフを通過したレーザ光を集光す
る集光レンズ、９は基準セルフを通過したレーザ光の強
度を検知するＰＩＮホトダイオードなどの光検出器、１
０は半導体レーザｌの温度を制御するためのペルチェ素
子、１１は周波数ωの基準信号を発振する発振器、１２
は周波数ωに同期して光検出器９の出力成分を検出する
ロックインアンプ、１３は周波数ωを２倍にする倍周器
、１４は周波数ωの２倍の周波数２ωに同期して検出器
６の出力成分を検出するロックインアンプ、１５はロッ
クインアンプ１２の出力を積分する積分器、１６はロッ
クインアンプ１２の出力に応じて出力電流を制御して一
定の電流を出力する定電流電源、１７は積分器１５の出
力に基づいて正極性または負極性の定電流を出力する両
極性定電流電源、１８はロックインアンプ１４の出力（
Ｐ（２ω））を記録するレフーダである。

次に上記装置の動作を説明する。

変調周波数ωが高いほど検知のＳＮ比が高いと予想され
るので、発振器１１の発振周波数ωを２５ＭＨｚに選ん
だ。発振器１１から出力する２６ＭＨｚの正弦波変ｇｉ
ｉｇは、コンデンサＣを介して定電流電源１６からの一
定電流に重畳して半導体レーザ１を駆動する。定電流電
源１６の出力側には、発振器１１の出力による影響を防
ぐためにインダクタンスＬが接続されている。

一方、倍周器１３は発振器１１から出力する基準信号の
周波数ω（２５ＭＨｚ）を２倍にして５０ＭＨｚの参照
信号を作る。

まず、テストセル４にメタン１％を含む窒素ガス１気圧
を入れ、半導体レーザ１の周波数を掃引したときの２倍
波検波信号は第６図に示すようになる。この図かられか
るように、メタンの吸収線のうちＱ（６）線が最も大き
な信号を与えているので、測定した範囲内ではメタン検
知に用いる線としてはＱ（６）線が最適であることがわ
かる。

そこで、竿導体し−ザエの発振周波数をこのＱ（６）線
の中心に安定化するために、基準セルフに全圧が１気圧
のメタン混合ガスを入れ、検出器９からの出力をロック
インアンプ１２により検出し、その基本波検波信号Ｐ（
ω）、１を誤差信号として積分器１５で積分し、その積
分値を用いて両極性定電流電源１７からペルチェ素子１
０に正または負の電流を流して半導体レーザｌの温度を
制御する。同時に、定電流ｉｉ！源１６はロックインア
ンプ１２の出力に基づいて半導体レーザ１の駆動電流を
制御する。

このようにして、半導体レーザ１の周波数をＱ（６）線
の中心に安定化したのち、検出器６の出力から周波数２
ωに同期したロックインアンプ１４によりＰ（２ω）を
測定し、テストセル４中のメタンガスを検出する。この
Ｐ（２ω）はレコーダ１８に記録される。式（２１）か
られかるように、このＰ（２ω）には反射条件に依存す
る定数Ａが含まれているが、測定環境が変化せずＡが一
定である場合は、濃度Ｃと光路長Ｑとの積ｃｇ１が求め
られ、さらに２がわかっていればメタン濃度Ｃを測定す
ることができる。

上に述べた方法により、半導体レーザ１の発振周波数を
Ｑ（６）線の中心に合わせたのち、テストセル４に最初
真空の状態からメタン１％を含む窒素ガス１気圧を入れ
、続いて排気した。そのとき得られた２倍波検波信号は
第７図のようになる。

同図の右側に１００倍に拡大した雑音を示す。第７図よ
り、ＳＮ比は約４０００となる。検知限界のＳＮ比を１
とすると、検知可能な濃度・光路長積ｃ９はｆ、３ｐｐ
ｍ−ｍと計算され、この感度は２波長発振Ｈｅ−Ｎｅレ
ーザを用いた場合の感度に匹敵する。

上記実施令において、メタンセル４として入射レーザ光
をミラーにより複数回反射させて光路長を３０ｍにした
多重反射セルを用い、セル内に１゜６ｐｐｍのメタンを
含む空気を入れて実験したところ、そのメタンをＳＮＮ
ｉ２Ｏ３測定することができた。この場合の検知可能な
メタン濃度は約１０ｐｐｂと計算される。このように多
重反射セルを用いる等の方法で光路長を長（とると、検
出感度は飛躍的に向上することがわかる。

第８図は任意の反射面を利用したメタンの遠隔定量測定
用の本発明によるガス検知装置の他の実施例である。図
において、第１図と同じ参照数字は同じ構成部分を示し
ている。

この実施例はレーザ光源から発生されるレーザ光を測定
雰囲気に通した後反射面で反射させ、その反射光を検出
して測定雰囲気中のメタン濃度を測定しようとするもの
である。装置の構成要素は第４図に示した実施例とほと
んど同じであるが、ＬＤコントローラ１００は、第４図
に示した実施例の発振器１１、ロックインアンプ１２、
倍周器１３、積分器１５、定電流電源１６、両極性定電
流電源１７とから成るものであり、ＬＤモジュール２０
０は、半導体レーザ１と、コリメータレンズ２と、ビー
ムスプリッタ３と、基準セルフと、集光レンズ８と、光
検出器９と、ペルチェ素子ｌＯとから成るものである。

この実施例が第５図の実施例と構成上具なる点は、テス
トセル４を通過し反射面３００で反射したレーザ光を集
光するための大口径の集光レンズ２１が設けられている
点と、測定環境の変化による影響をなくすために、ロッ
クインアンプ１４と並列に変調周波数ωに同期して光検
出器６の出力（Ｐ（ω）　、、、、　）を検出するもう
１つのロックインアンプ１９と、さらに、ロックインア
ンプ１４の出力Ｐ（２ω）をロックインアンプ１９の出
力Ｐ（ω）４６．で割算してＲ＝Ｐ　（２ω）／Ｐ（ω
）、、、を求める割算器２０とを設けた点であり、この
割算器２０の出力Ｒをレコーダ１８に記録するようにし
ている。

この実施例の動作は第５図に示した実施例と実質的に同
じであるが、上述した式（２３）かられかるように、割
算器２０から得られるＲには測定環境の反射条件に依存
する定数Ａが含まれていないので、反射条件の影響を受
けずに、濃度・光路長積ｃ９が測定できる。

この実施例は第５図の実施例が据付は型であるのに対し
て、携帯型の１ガス検知装置として利用でき、測定雰囲
気に向けてレーザ光を発することによりガス漏れ検知が
できる。

上記２つの実施例はいずれもレーザ光の変調周波数の基
本波検波信号を用いて半導体レーザの発振周波数を安定
化し、２倍波検波信号によりガス濃度を検知するように
したが、逆に２倍波検波信号を用いて半導体レーザの発
振周波数を安定化し、基本波検波信号によりガス濃度を
検知するようにしてもよい。この場合は、ロックインア
ンプ１２を２ωで、ロックインアンプ１４をωで同期さ
せるようにすればよい。

（以下余白） （発明の効果） 以上説明したように、本発明に３いては、駆動電流およ
び温度に応じた波長および出力のレーザ光を発振する半
導体レーザを用い、所定の電流を中心として特定の周波
数で、波長および出力か変調されたレーザ光を発振せし
め、変調周波数の基本波検波信号または２倍波検波信号
が０となるように半導体レーザの駆動電流および温度の
一方または両方を制御するとともに、そのレーザ光を未
知濃度のガスを含む測定雰囲気に通し、その通過レーザ
光の２倍波検波信号または基本波検波信号によりガスの
濃度を検出するように構成したのて、ガス濃度を高感度
て且つ正確に検出てきる。

またレーザ光の周波数の基本波成分Σよび２倍波酸分を
検出して両者の比を求めることにより測定環境に影響を
受けずに正確なガス濃度検知かできる。従って、携帯型
として任意の雰囲気中のガス漏れ検知などに有効に利用
できる。また、本発明は、複数のガスか混在する雰囲気
の中から特定のガスを選択してその濃度を検出すること
かできることはもちろんである。

【図面の簡単な説明】

第１図（イ）はメタンの吸収スペクトル線図、第１図（
ロ）は同吸収スペクトル線図の部分拡大図、第２図（イ
）はメタンの吸収に基づく透過率、第２図（ロ）は第２
図（イ）に示したメタン吸収線の一次微分信号、第２図
（ハ）は同メタン吸収線の二次微分信号、第３図はメタ
ン吸収線の位相敏感検波出力を示す図、第４図（イ）、
（ロ）、（ハ）は本発明による検出信号および測定結果
を示す図、第５図は本発明によるガス検知装置の実施例
のブロック線図、第６図はメタンの２倍波検波信号の波
形図、第７図は２倍波検波によるメタンの検知信号、第
８図は本発明によるガス検知装置の他の実施例のブロッ
ク線図である。 ｌ・・・半導体レーザ、２−・・コリメートレンズ、３
・・・ビームスプリッタ、４・・・テストセル、５，８
・・・集光レンズ、６．９−・・光検出器、７・・・基
準セル。 １０・・・ベルチェ素子、１１・・・発振器、１２．１
４・・・ロツ”クインアツブ、１３・・・倍周器、１５
・・・積分器、 １ ６・・・定電流電源、 ７・・・両極性定電流電 源。 １８−・・レコーダ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）駆動電流および温度に応じた波長および強度のレ
   ーザ光を発振するレーザと、所定の温度で且つ所定の電
   流値を中心にして所定の振幅で該レーザの駆動電源を変
   調するレーザ駆動回路と、前記レーザにより発振するレ
   ーザ光の中心波長を特定のガスの吸収線の所定の位置に
   安定化させる波長安定化手段と、測定雰囲気通過後のレ
   ーザ光の強度を検出する光検出器と、該光検出器の出力
   に基づいて測定雰囲気中の特定ガスの定量測定を行なう
   測定手段からなることを特徴とするガス検知装置。
2. （２）前記波長安定化手段は、レーザ光の変調周波数の
   基本検波信号が０となるかまたは２倍波検波信号か０と
   なるように半導体レーザの駆動電流および温度のいずれ
   か一方または両方を制御する請求項１に記載のガス検知
   装置。