JPH03273140A - 光磁気デイスクの検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野） 本発明は、光磁気ディスクの検査装置に係り、特に、光
磁気ディスクの色々な欠陥を見落とすことなく検出でき
る光磁気ディスクの検査装置に関する。

Ｃ従来の技術〕 一般に、光磁気ディスク（Ｍ○ディスク〉では、情報は
例えば垂ｉｌ！磁化方向の反転によって記録されており
、再生時には、前記磁化方向に応して偏光面を正方向又
は負方向に回転した状態でディスク面から反射されて戻
って来た光を、１対の光検出器（該正方向に回転した偏
光面に合せた検光子の介在された光検出器と、負方向に
回転した偏光面に合せた検光子の介在された光検出器）
により検出し、両光検出器の検出出力信号の差をとるこ
とで情報信号を取り出すようにしている。

従来、この種の光磁気ディスクの品質の評価方法として
は、光磁気ディスクに一旦データパターンを上記のよう
な方法で書き込み、これを再生して雨検出器間の差信号
（すなわち情報信号）のレベルをａ測するだけで信号評
価を行ない、信号レベルが低下してうまく読めない場合
を欠陥ありと判定していた。

〔発明が解決しようとする！ｉ！！１Ｆ上記従来技術で
は、磁気記録層自体の欠陥についてはある程度検出でき
るけれども、記録ディスク上に発生したピンホールや記
録ディスク上に付着したごみ等による欠陥は、この差信
号だけで検出することが困難である。このようなピンホ
ール等による欠陥があると、将来、腐蝕などにより差信
号にも影響が出て来ることがあり、従って、従来技術の
ような差信号のみで判定する方法は、欠陥検出方法とし
て不十分である。

従って、本発明の目的番よ、上記従来技術の問題点を解
消し、将来差信号にも影響するおそれのあるピンホール
等による欠陥を１めで、欠陥検出洩れなどをなくすこと
により、高精度にかつ短時間でディスクを評価すること
のできる光磁気ディスクの検査装置を提供することにあ
る。

ご課題を解決するための手段〕 上記目的を達成するため、本発明の光磁気ディスクの検
査装置は、基準パターンの記憶部と、このパターンを予
め記録した光磁気ディスクを（光ビームで）走査してこ
れより前記パターンに対応する偏光角信号（磁気信号、
１対の光検出器の差信号）を検出再生する手段と、前記
走査による光磁気ディスクからの反射光量を表わす反射
信号（前記１対の光検出器の和信号）を検出する手段と
、偏光角信号を前記記憶部の基準パターンと照合してそ
の一致性を検出する手段と、この一致性が検出されかつ
前記反射信号が検出されなかった（所定レベル以上得ら
れなかった）とき、光磁気ディスクに準欠陥が存在する
と判定する手段とを備える。

また、前記一致性は検出されなくて反射信号のみが検出
されたときは磁気的欠陥、一致性および反射信号が共に
検出されたときは明白な欠陥と判定する。そして、これ
らの欠陥や前記の準欠陥をランク付けし、そのインデッ
クス（欠陥の種別発生個所、欠陥数などのデータ）を欠
陥管理情報として例えば光磁気ディスクの適当なエリア
に格納しておく。

〔作用〕

上記構成に基づく作用を説明する。

本発明によれば、偏光角信号（ｉｉｌｊ光検出器の差信
号）だけでなく反射信号（両光検出器の和信号）も検出
し、偏光角信号が予定通りのパターンで再生され（偏光
角信号が基準パターンと一致し）かつ反射信号が検出さ
れなかったときをもって、光磁気ディスクに準欠陥があ
ると判定される。このように、従来は見逃されていたピ
ンホール等による欠陥を準欠陥として早期に発見できる
ので、将来この準欠陥のため；こ再生信号に悪影響がで
てくるのを事前に防止することができる。

また、偏光角信号が現在すでに予定通りのパターンで再
生されない場合（一致性が得られない場合）を欠陥とし
、欠陥や準欠陥等の種別のランク付けを行ってそのリス
トを登録しておくことにより、光磁気ディスクの使用百
的に応して、欠陥・準欠陥部への記録を禁止するか否か
などの欠陥管理を適切に行なうここができる。

〔実施例〕

以下に、本発明の実施例を図面により説明する。

図である。又、第２図は第１図の検出器による検出タイ
尖ング動作を説明するための波形図である。

第１図において、■は光磁気ディスクの記録面、２はデ
ィスク記録面１上に光を集束させるオートフォーカス用
レンズ、３は反射光と入射光を分離する偏光ビームスプ
リンタ（以下ｒＰＢＳコ辷略す）、４は光検出器に光を
集光させるレンズ、５は偏波面を回転させるλ／２　（
２分の１波長）仮、６はヒ″−ム整形用プリズム、７は
光を２つに分ける偏光ビームスプリッタ、７ａはＳ偏光
を最も通し易い検光子、７ｂはこれと垂直のＰ偏光を最
も通し易い検光子、３ａ、８ｂは反射光を検出する１対
の光検出器（ディテクタ）、９は反射光に含まれている
偏光角信号（記録情報）を取り出す差動増幅器、１０は
反射光の強度を検出する和動増幅器、１１は差信号、１
２は和信号、１３＋よ半導体レーザである。

ここで、検光子７ａ、７ｂは、記録面の正磁化（数値「
１」）または負磁化（数値「０」）に応じて、偏光面を
Ｐ軸およびＳ軸（互いに垂直）とそれぞれ４５°をなす
方向から正または負の向きに所定角（十〇二または一θ
二）回転した反射光を受けるので、再検光子７ａおよび
７ｂを通った光を受ける検出器８ａおよび８ｂの出力の
差（差信号または差動信号ともいう）１１は、正また番
よ負の磁化に応じた正または負しヘルの電圧となり、雨
検出器８ａおよび８ｂの出力の和（和信号または和動信
号ともいう）１２は、磁化状態に無関係に全反射光量に
比例した電圧となる。

次に、１４は差動増幅器で検出した差信号（偏光角信号
、すなわち、光磁気信号）１１を微分する微分増幅器、
１５は微分信号（１４の出力）をハイレベルでスライス
し２（ｉｆ！化する）＼イスライスコンパレータ、１６
は微分信号をローレベルでスライスし２値化するロース
ライスコンパレータ、１７はコンパレータ１６の出力を
反転するインノく一タ、１８はコンパレータ回路１５．
１６の出力によりセット／リセットされて記録データで
ある検出データパターンを生成するフリップフロップ回
路、１９ａは検出データパターンをクロック信号ＣＬＫ
と同期させる同期回路、１９ｂは基準ｌ〈ターンをクロ
ック信号ＣＬＫと同期させて読み出す同期回路、２０は
検出データパターンと基準ノくターンを比較して両パタ
ーンが不一致のとき差動欠陥信号（磁気的な欠陥信号）
２１を発生（抽出）する（排他論理和回路より戒る）検
出回路、２２は、予め、光磁気ディスクに記録したデー
タノくターンと同じデータパターンを基準データパター
ンとして記憶（格納）しである記憶装置である。２３は
和信号（すなわち反射信号）１２から和動欠陥信号（反
射信号欠陥）２４を抽出する検出回路（本実施例では、
信号２１および２４の論理積出力と信号２１との論理和
として得る）、２６は和動欠陥信号２４と差動欠陥信号
２１との論理和信号、２７は、磁気的な信号（差信号）
１１には現れていないが反射信号（和信号）１２には現
われている欠陥を“準欠陥“として示す準欠陥信号（本
実施例では、信号２１と信号２６の排他論理和出力とし
て得る）である。

次に、第１図の実施例の動作を、その各部の波形を示す
第２図を参照して説明する。

第１図で、光ディスクｌからの反射光はＰＨ１０により
光路が９０°曲げられ、そしてＰＢＳ７により２つの光
ビームに分けられ、検光子７ａ。

７ｂ、および光検出器１３ａ、８ｂを含む信号検出系に
導かれる。光検出器８ａ、８ｂに導かれた信号は、ここ
で電気信号に変換され、差動増幅器９および和動増幅器
１０によりそれぞれ和信号（反射信号）１２および差信
号（磁気信号）１１に変換される。この両方の信号を以
下のようにして評価することにより、欠陥のレベル分け
（種別分け、ランク付け）を行なう。

まず、光ディスク１には、前もって、メモリ（記憶装置
）２２内に格納しである基準データパターンを全面に亘
って書き込んで置く。次に、光ディスクのデータを読み
に行き、比較回路（差動欠陥信号検出回路）２０により
、光ディスクからの検出データパターンと基準パターン
とのマツチングをとって、ミスマツチのとき欠陥を示す
差動欠陥信号（磁気信号の欠陥）２１を得ると共に、検
出回路２３により和動欠陥信号（反射信号の欠陥）２４
を得る。第２図の（イ）、（ロ）、（ハ）に各種の欠陥
が発生する場合の具体例を示す。

（イ）は磁気的欠陥、（ロ）は反射信号の欠陥、（ハ）
は磁気的欠陥と反射信号欠陥が共に発生した場合を示す
、（イ）の場合は、磁気信号のみの欠陥であり、反射信
号には現れない、これは、記縁膜等に欠陥がある場合で
、パターンマツチングの信号（差動欠陥信号〉２１によ
って検出できる。

（ロ）の場合は、反射信号の欠陥であるが、ごく細いた
め磁気的にはほとんど現われない。これは、ピンホール
等の原因により生じるもので、既存のデータパターンマ
ツチングでは検出できないが、和信号から検出すること
ができる（和動欠陥信号２４）、（ハ）は、反射信号と
磁気信号の両方に欠陥がある場合で、これは明白な欠陥
である。記＆ｉｌｌの欠陥や基板上にごみが付着した場
合が考えられる。

ここで、記録膜の欠陥とは、第３図（ａ）の（イ）に示
すように記録膜の磁気がない場合であり、光ビームの反
射率等は変らないため、磁気信号のみに発生する欠陥で
ある。ピンホールとは、第３図（ａ）の（ロ）に示すよ
うに、反射膜に泡のような空間ができ、部分的に反射率
が低下するものをいう。

ここで問題なのは、同図（ａ）の（ロ）に示すようなピ
ンホールの欠陥である。光ディスクを検査した時点では
差信号に欠陥にほとんど現れないので、問題ないが、そ
の後何年か経つとそこから水分が入りこみ、磁性金属膜
で構成される記録膜が腐蝕するなど侵されるおそれがあ
る。そこで、本実施例の特徴として、同図（ａ＞の（ロ
）の場合、今は問題がなくても将来は磁気的な欠陥とな
り得る可能性があるものを“準欠陥”として検出し、準
欠陥のある個所や数を登録してお（。なお、本実施例で
は、検出信号２７中、第２図（ハ）の部分（これは準欠
陥ではない）に準欠陥信号パルスが出ているが、これに
対処するため、例えばソフト等で、信号２１と２４とが
前後に接近して（例えば前後に２パルス以内のクロック
ｒｊＩ隔で）欠陥を出力した場合は、準欠陥とはせず連
続した（同し個所の）欠陥とみなす、という処理を施す
ことによって、（ハ）の部分のパルスを除き、準欠陥で
ある（口）の部分のみでパルス出力があるようにすれば
よい。

欠陥・準欠陥を登録（リストアツブ）する部分としては
、第４図に斜線で示すように、光ディスクの最外周側エ
リアまたは最内周エリアに欠陥・準欠陥記録部を設け、
ここにそのデータ（欠陥・準欠陥を管理するための情報
）を登録しておくことが考えられる。管理情報としては
、欠陥の種類（ランク〉、欠陥の発生個所（トラック番
号、セクタ番号等）、欠陥の数などがある。ユーザが光
ディスクをドライブ装置にかけた時点で、ドライブ装置
倒または上位コンピュータがこの登録データすなわち、
欠陥・準欠陥管理情報を読みに行き、ユーザが記録しよ
うとする情報の種類に従って、準欠陥部が多い部分の使
い方を分ける０例えば、ユーザが記録しようとする情報
データが画像情報であれば、多生、準欠陥があり、将来
これが欠陥になっても、あまり影響が出ないと考えられ
るので、この場合は準欠陥が多い部分にもデータを記録
することとする。これに対し、データがプログラムの場
合には、後でこれを読み出すときにエラーとなって回復
不能になる場合が多いので、準欠陥の多い部分にはデー
タを書き込まないようにする。

欠陥・準欠陥部は、セクタ単位で登録しておき、核部へ
のデータの書き込み禁止は、セクタ単位で行なうことが
できる。

また、上記欠陥の種類別にランク付けしておき、上記第
３図（イ）のような欠陥は少なくても第３図（ロ）のよ
うな準欠陥の多い光磁気ディスクは、場合によって欠陥
ディスクとして扱い、出荷を停止することも考えられる
。

以上のように、和信号および差信号を同時に検査して、
差信号のみの欠陥が検出される場合は磁気的な欠陥、和
信号のみの欠陥が検出される場合は準欠陥、和信号と差
信号の欠陥が共に検出される場合は明白な欠陥というよ
うに、欠陥のレベル（種別）が判別できる。また、これ
により、差信号では見逃していた欠陥を高速で検出でき
ると共に、光ディスクの有効利用が図れる。

〔発明の効果〕

以上詳しく説明したように、本発明によれば、偏光角信
号（磁気信号）と基準パターンとの一致性の有無を調べ
ることで光磁気ディスクの磁気的な（磁性膜の）欠陥を
検出できるだけでなく、該光磁気ディスクからの反射光
量を表わす反射信号を調べることで、現在は光磁気的な
再生信号に現れていないが将来は劣化して再生できなく
なる可能性のある部分を準欠陥として早期に見逃すこと
なく短時間で発見することができるという効果を奏する
。

また、光磁気ディスクの各種の欠陥・準欠陥をランク付
けして管理する管理情報を登録しておくことにより、該
光磁気ディスクの使用目的に応じて欠陥または準欠陥部
に対する記録を禁止するかどうか等の管理をすることが
できるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の構成図、第２図は第１図の
各部におけるタイミング動作を説明するための波形図、
第３図は光磁気ディスクにおける各種の欠陥の発生原因
の説明図、第４図は光磁気ディスクの欠陥管理情報の格
納状況の説明図である。 １・・・・・・・・・光デイスク面、２・・・・・・・
・・ＡＦ用レンズ、３・・・・・・・・・偏光ビームス
プリッタ、４・・・・・・・・・レンズ、５・・・・・
・・・・２分の１波長板、６・・・・−・・・・ビーム
整形プリズム、７・・・・・・・・・偏向ビームスプリ
ッタ、７ａ７ｂ・・・・・・・・・検光子、３ａ、１３
ｂ・・・・・・・・・光検出器、９・・・・・・・・・
差動増幅器、１０・・・・・・・・・和動増幅器、１１
・・・・・・・・・作動信号、１２・・・・・・・・・
和動信号、１３・旧・・・・・半導体レーザ、１４・・
・・・・・・・微分アンプ、１５・・・・・・・・・ハ
イスライスコンパレータ、１６・・・・・・・・・ロー
スライスコンパレータ、１７・・・・・・・・・インバ
ータ、１８・・・・・・・・・フリップフロップ、１９
ａ、１９ｂ−°。 ・・・・・・同期回路、２０・・・・・・・・・差動欠
陥信号検出回路、２１・・・・・・・・・差動欠陥信号
、２２・・・・・・・・・基準信号パターンメモリ（記
憶部）、２３・・・・・・・・・和動欠陥信号検出回路
、２４・・・・・・・・・和動欠陥信号、２６・・・・
・・・・・和動信号中差動信号、２７・・・・・・・・
・準欠陥信号。 第二図 第２図 五庄シ大胎　　　導火１虐 （イ）　　　　　　　（ロ） 欠陥 （ハ） 農１を鰐 ｖｌ岑快 第 図 に） 第 図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、基準のパターンの記憶部と、予め前記パターンの記
   録された光磁気ディスクを走査して該光磁気ディスクか
   ら前記パターンを偏光角信号として再生する手段と、前
   記走査により同時に前記光磁気ディスクからの反射光量
   を表わす反射信号を検出する手段と、前記偏光角信号を
   前記記憶部からの基準のパターンと照合してその一致性
   を検出する手段と、前記一致性が検出されかつ前記反射
   信号が検出されなかつたとき光磁気ディスクに準欠陥が
   存在すると判定する手段とを備えたことを特徴とする光
   磁気ディスクの検査装置。 ２、前記一致性が検出されず反射信号が検出されたとき
   を光磁気ディスクの欠陥と判定し、一致性および反射信
   号が共に検出されたときを光磁気ディスクの明白な欠陥
   と判定し、これらの欠陥を前記準欠陥と共にランク付け
   したことを特徴とする請求項１記載の光磁気ディスクの
   検査装置。 ３、前記各種のランク付けした欠陥を管理する管理情報
   を格納するエリアを前記光磁気ディスク上に設けたこと
   を特徴とする請求項２記載の光磁気ディスクの検査装置
   。