JPH03272855A - インクジェットヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

［産業上の利用分野］ 本発明はインク滴を飛翔させ、記録紙等の媒体上にイン
ク像を形成するプリンタ等のインクジェット記録装置に
関し、さらに詳細にはインクジェットヘッドに関する。 ［従来の技術］ 従来のインクジュツトヘッドとして、特にオンデマンド
方式のインクジェットとしては大きく分けて４種類方式
が報告されている。その第１は独立したインクキャビフ
イを圧電素子により変形させその圧力によりぞＵぞ゛れ
のインクキャビうイに対応しまたノズルからインク苓突
出させる、カイザステム人　グールドなどの方式であり
、その第２は、圧電変換器とノズル形成基板とこの間を
満たすインクとをＨし、圧電変換器を変位さ一１ｉイン
クをノズルから突出させる特公１１ｉ１Ｅ　６０−８９
５３号に開示されている方式であり、さらに第３は電熱
素子によりインクを加熱させ気化したインクの圧力によ
りインクを突出させる方式であり、さらにまた第４の方
式は、圧電素子の振動を音響レンズ等で集束させたり、
また表面弾性波の集束効果を利用したりした、Ｕ　Ｓ　
Ｐ　４．７５１５３０、ＵＳＰ４６９７１９５等の方式
ががある。　　前述した第１、第２、第３の方式は、構
造が簡単であり小型化が可能で、普通紙への印字が可能
こいうような利点を有しており、さらに第４の方式はノ
ズルが不要であり、気泡、ごみ等の混入による信頼性の
低下を避けられるという利点を有し”Ｃいる。 ［発明が解決しようこする課題］ しかし従来の第１、第２、第３の技術では、駆動周波数
が甘いぜ“い１ＤＫＨｚ程度であるため階調データ等の
印刷をするとたいへん時間がかかり、そのため解像度を
落とさざるを得ないのが実状であり、実用的なフルカラ
ー印刷装置を実現するごとはたいへん難しい。また、第
４の従来技術の場合は、駆動周波数はメガヘルツ以上で
あり、原理的には２　第１、第２、第３の従来技術の欠
点は数軒されているものと思われるが、音響レンズを用
いる場合には圧力発生部材ど音響レンズこの整合等が難
し２く、音響レンズでのエネルギーロスも大きい。また
、表面弾性波を用いたものは数十Ｍ　Ｈ２以上の駆動周
波数でないと十分なエネルギー密度を得るための効率が
非常に悪くなり、これらの理由により多大のコストアッ
プは避ｉｊられない。 そこで本発明のインクジュツトヘッドはこのような問題
点を解決するもので、その目的とするεころはきわめて
低コストの、フルカラー印刷の可能なインクジェットヘ
ッドを提供することである。 「課題を解決するための手段］ 本発明のインフジエラ）・ヘッドは、インクを飛翔させ
記録像を得るインクジュツトヘッドにおいて、圧力発生
部材と、該圧力発生部材に電圧を印加する電ＪＩＥ印加
手段どをイイし、該圧力発生部材が表面に電極が形成さ
れた圧電材料］７あり、前記圧電印加４段が前記圧電手
１料を該圧電材料の厚み振動の固有周期で励振さセる手
段と、該圧電材料の厚み振動の励振数を制御する手段か
らなることを特徴とする。 さらに、前記電極が複数の対になるように、前記圧電材
料の両部に列内して形成された電極であることを特徴と
する。 また、さらに、前記圧電材料が凹面状に形成されている
ことを特徴とする。 また、さらに、前記圧電材料が該圧電材料の厚み振動の
１／４波長の厚みを持つ部材を介して取り付け部材に取
り０番づられていることを特徴とずまた、さらに、前記
電極が複数の同心円状に形成された電極であることを特
徴とする。 また、さらに、前記電極が、前記圧電材料の駆動用の電
極ど、前記圧電材料の変位状態を検出するための電極か
らなり前記電圧印加手段が前記汁力発生部材の発生部材
の変形状態を検出し２て電Ｊ、１：の印加を行うことを
特徴２・する。 また、さらに、前記圧電材料の前記電極部を他の箇所よ
り厚くなるように構成したことを特徴こする。 また、さら（ご、前記圧力発生部材に対向Ｌ’ｒ、複数
のノズルを有するノズル形成基板を有し、該圧力発生部
材と、該ノズル形成基板の間にインクを導くことを特徴
とする。 また、さらに、前記圧力発生部材の中央部を濡れ性の良
い材料゛Ｃ１また、該中央部以外は、撥水処理を施した
材料で構成したことを特徴こする。 また、さらに、前記圧力発生部材の前記インク側の面が
前記斤力発生部材の厚み振動の半分の厚さのコート層を
有することを特徴とする。 ［作用］ 本発明の構成によれば、圧力発生部材の構造がｐＨＩ単
６であり、圧力発生、部祠の固有周期が極めて高く、ま
た、その固有周期で駆動し、その駆動時間を制御させる
ことができる。、留って、極めて低コスＥで、解像度を
落とすここなく十分な階調性を得るここができるインク
ジェットヘッドを提供できる。 ［実施例］ 以下、本発明に基づき、その一実施例（：ついて図面を
用いて詳細に説明する。まず、第１の実施例について第
］〜第４図を用いて説明する。第１図は、本発明の一実
施例のインフジエラＩ・ヘッドの全体斜視図である。１
０は／＜−ス基板であり、この上に圧力発生部材である
圧電材料３ｊが積層されている。圧電材料３１とベース
基鈑】０この間には共通電極３２が配設されており、こ
れと交差するように駆動電極３１が配設されている。ベ
ース基板１０はアルミナ等のセラミックスで厚さ１、　
ｍ、　ｍ、圧電材料３０はチタン酸、ジルコン酸鉛系複
合ペロブスカイトセラミックス、チタン酸鉛、。 Ｚｎ○等の圧電セラミックスであり、厚さは０゜］、、
　ｍ　ｍである。駆動電極３］、および共通電極３２は
Ｃｒ、Ｎｉ、Ａｕ笠の圧電材料３１との密Ｍ作に優れ、
導電率の良い拐料より構成されてｊ；す、総厚１ないし
３μｍである。さらに、駆動電極３１は幅０．３ｍｎ］
、０．５ｍｍピッチＴ・、半ピツチずれた形て″、片側
３２本、計６４本配設習れている。共通電極３２は幅０
２３ｍｍでｉ、　ｍ　ｍの間隔をおい′Ｃ配配設れてい
る。従って、共通電極３１ど駆動電極３２とが幻面する
領域、４　すなわち活性化領域３３は一辺０．３ｍｍの
正方形’ｒある。 圧電材料３０の上には、スベーザ１】を挟んでノズルプ
レート２０に形成されているノズル２１が、活性化領域
３３と対面するように配設されている。 第２図は本発明の一実施例のインクジェットヘッドの断
面図である。第１図での説明で不足していた部分につい
て説明するここにする。第１図と各部の符号は共通化し
である。圧電材料３０はベース基板１０上に接着Ｎ３４
を介して接着されている。接着層は、樹脂等の共通電極
３２よりも、表しくヤング十の低い＋ａ利が望ましい。 共通電極３２は′″（−ス：１１１−板上に形成し２て
あ・つても、圧電材料：３０上に形成してあっても良い
。ノズルプレート２０と圧電材料３０との間隔は、数十
、１１ｒｒｉであり、イ、１″′ｉ−はインク４０が満
たされている。 次に第３図、第４図を交λ″で：４．発明の動作原理及
び駆動法にすいて説明”する。第３図及び第４図は本発
明の駆動説明図である。第３図（ａ）は駆動電極３１に
印加する電圧を示

【７．たもσ）て′ある。 月二電材料３０の活性部３；３の固有周期と回し周期Ｉ
Ｃでその半分の時間ｒｄμ（″ｊ活付部３３に電圧を印
加する。すると、活性部３３は第２図、第３図（ｂ）の
ｘ−ｘ’　　第３図（ｂ　）に示したように変位する。 この時、イック４０に発生ずる圧力■）は（１）式のよ
うになる。 Ｐ＝　　　Ｃ＋＊　ｐ＊　　（ｄＶ／　ｄＴ）十Ｃ２＊
μ＊■ 十Ｃ３＊ρネ■２ （１） ここで、ＣＩ、　　Ｃ２、Ｃ３は定数、ρはインク４０
の密度、μはインク４０の粘度、Ｖは圧電材料３０の活
性部；３３の変位スピードである。■は活性層３３が近
づく場右苓正とした。第１項、第３項はインクに質量が
あるごとによ一層て発生する几：ノ、ノであり、第２項
はインクに粘性があるために発生するＪ王力“Ｃある。 第３同（ｅ）、　（ｄ）、　（、ｅ　）はそれぞれ（］
）式の第】項、第２項、第３項に幻応しでいる。以上よ
？フ明らかなよう（ご（１）式の第１項、第２項は時間
平均としてゼＵどなるが第３項は正の圧力を発生ずるこ
とがわかる。この時、活性部３３は他の圧電体の箇所よ
り、電極が両面に付いている分だＩ’′ｊ固有周期が長
くなる。このことにより、活性部３３の振動は面方向に
伝播しようとしても余、速に減衰し°Ｃしまい、活性部
３３の振動は活性部３３のどころのみに閉じ込められ、
この部分０みを選択的に振動させることができる。 第４図はよりマクロの駆動法について示した図である。 τａの周期でτｂの期間だ０第３図（ａ）のような駆動
を続ける。すると、この期間だ目（１）式の第ご３項に
示したまうなＪ〕゛力が＊ＩＬ、インク４０をインク滴
４１とし１°（突出させることができる。従ってτ１）
を変調させるここによってインク滴４１の量を制御させ
ることができる。こび）峙インク滴４１は−・つのイン
ク滴とし、”１１だ目ではなく、複数のインク滴としで
突出させるここが゛（きる。ノズルメニスカス面と活性
部３３が近（′、すれば辺い程、同じ量−ζ・もインク
滴の数を増やすこＬが可能である。 次に、第５図を用い゛Ｃ本発明の別の一実施例に伺いで
説明する。第５図は本発明の別の一実施例の断面図°（
′ある。図に用いた符号は全て面間と同じもの４示して
いる。この実施例は前実施例のベース基板］０と圧電材
料３０との間に反射層３５を設けたものである。反射層
３５は金属、セラミック等でよく、圧電祠料と、音響イ
ンビー・ダンスρＣの値が逝く、ベース基板１０と遠い
方がよい。 その厚さは、活性層３３から伝播しＣくる波長の１７／
４の厚さに設定する。このようにすることにより、活性
Ｊ！ｊ３３で・発生した振動のベース基板１０への漏れ
をより少なくし、活性層３３の振動をより効率的に励起
するここができる。 続いて、本発明のさらに別の一実施例に−）いＣ図を用
いて説明４′る。第６図は本発明のさらｌ：別の一実施
例の断面図である。図に用いた符号は全て荊図と同じも
のを示Ｉ９．又いる。この実施例は、第２の実施例の圧
電材料３０のインク４０例の面に透過層３６を設けたも
のである。透過層：３５は樹脂等のインク４０と音響イ
ンピーダンスρＣの値が近い材料がよい。イの厚さは、
活性層３３から伝播してくる波長の１／２の厚さに設定
する。 このようにすることにより、活性層３３で発生した振動
をより効率的にインク４０に伝播さゼることができる。 引き続いて、本発明の第４（７）−・実施例について第
７−・８図を用いて説明する。第７図は本発明のさらに
別の一実施例の全体斜視図であり、第８図は、その断面
図である。この実施例は第］の実施例のインク４０の供
給をよりスムーズ

【こイ”ｉうための発明゛Ｃある。図
に用いた符ぢは全゛Ｃ前図と同じものを示している。第
゛１図、第８　＜１　ｉｒ示り、たように−＼・〜ス基
根］０、圧電祠料３０の中抜部（こス１ノッＩ・４２が
設けられ′Ｃおり、と、こを３Ｍ　ｌ−・てイン′す４
０をスムーズに活性層３３およびノズ／Ｌブレー）２０
からなる空間に導くことが″（゛きる。 さらに引き続いて、本発明のさらに別の・実施例、つま
り、第５の実施例に・、ついて第９〜１１園を用いて説
明する。第９図は本発明のさらに別の第１９〕の　実施
例の全体斜視図であり、第１０図ば、その馴動原理図ズ
ーある。どの実施例は第一の実施例において、活性層３
３の振動をより安定的に励起させることができる実施例
”（“ある。第９図に示すように駆動′磁極３２に隣採
しで検出電極３７が配置され−こいる。検出電極３７の
幅は３０　）１ｍ、検出電極３７と駆動電極３】との開
場は２０７．ｐｍである。これらの電極は、＋ｔｉｊ述
Ｉ４、た実施例全゛Ｃも同じであるが、ソオトリソ」：
程によって容易（：作成することができる。検出電極を
設けたために駒動電極の幅は２５０μｍとなっている。 次に第１０図を用いて第５の実施例の駆動原理番ごつい
て説明する。第１０図（ａ）は圧電材料３１と駆動電極
３２、検出電極３７との関係を示し。 た圧電材料電極配電図である６　６０は駆動電斤（■、
ｉ　）投入［１，６１は検出電圧（■０）出力用であり
、それぞれ（ｂ）図（：示す駆動回路に接続されている
。 第１０図（１））は駆動回路図である。検出室ｊｆ（Ｖ
Ｏ）は６１に投入され、微分回路５１を経て０クロスコ
ンパレータ５２へと伝えられる。ｃＬ５て、プリント信
号投入［］６５がら投入されたプリント信号（ｖｐ）と
共にアンド回路５３に入る。 アンド回路５３は抵抗５７を緑てトランジスタ５５のベ
ース（二つながる。５４のトランジスタはエミッタがＶ
ＣＣ投入ロ６４に、コレクタが駆動電力投入「コロ０に
つながっている。ベースは抵抗５８を経てトランジスタ
５５のコレクタとつながっている。 第１１図ｉこおいて、　（ａ）はプリント信号（Ｖｐ）
の状態を示し７た図であり、　（６）は駆動電圧（ｖｉ
）のレベルを示し、た図である。イれぞれ上側をプラス
にしである。（Ｃ）は圧電材料３ｏの駆動電極３１、検
出電ｉ３７例の変位置を示し１でおり５．上側に第１０
図においで（ａ）（ごホした午〔１］Ｘの方向を設定し
７である。　（ｄ）は検出室＄ｉ３７の電位（ＶＯ）を
示した図である。　（ｅ　）は微分囲路５１の出力波形
で・あり、　（ｆ）は０クロスコンパレータの出力波形
である。 続いて第１０図と第１１を用いて第５の実施例の駆動回
路の動作を説明する。インク４ｏを飛翔させようとした
こき、プリント信号をｏｎさせる。 すると、トランジスタ５５のベースにはコンデンサ５９
に電荷が充電されるまで電流が流れるため、トランジス
タ５５はｏｎ状態になる。これによりトランジスタ５４
もｏｎ状態になり、駆動電圧出力Ｄ　６０の電位（ｖｉ
）はＶｃｃレベルになる。圧電材料３０には電界がかが
るため、圧電材料３゜は収縮し図中矢印Ｘ゛の方向に変
位する。そしてオーバーシュートし図中矢印Ｘの方向に
変位する。 （第１１図（Ｃ）参照）するこ、検出電極３７と共通電
極３２εの間にも電位（ｖｏ）が発生ずる。 （第１１図（ｄ）参照〉これが微分回路５１（二人り、
波形整形され、　（第１１図（ｅ）参照）　　さらにＯ
クロス二ノンバレータ５２で波形整形され、（第１，１
図（ｆ）参照）プリント化ｇ（ｖｐ）と共にアンド回路
に投入される。０クロスコンパレータ５２で波形整形さ
れた信号は圧電材料；３０が図中Ｘ”の方向に変位して
いるときはハイレベル、図中Ｘの方向に変位していると
きにはローレベルとなる。プリント信号（ｖｐ）がｏｎ
のとき（こはアンド回路の出力どしてＯクロスコンパレ
ータ５２を通った検出信号（第１１図（ｆ）参照）ε同
じ信号がトランジスタ５５のベースに投入される。 従って、プリント信号（ｖｐ）がｏｎ状態の時、圧電材
料３０　ｌ”はその固有周期（τＣ）と同じ周期°ｒそ
の半分の時間（τｄ）だけ駆動電圧がかかることになる
。、（第１〕図（ｂ）参照）これにより圧電材料３０は
安定して振動することができる。 さらに続いて本発明の第６の一実施例について第１２〜
１３図を用いて説明する。第１２図は本実施例の全体斜
視図であり、第１３図は断面図である。本実施例におい
ては、第１の実施例においてノズルを廃してノズルの１
ｊ詰まり等番５：よる信頼例の低ドを防止すると共に、
活性Ｊｆｉ３３Ｊ二のインク層苓薄＜コントロールし、
インク滴４１を細かく分割し、・て飛翔させるよう（・
τし７、印刷の階調性の向−１をはかっている。図中の
符号は全で前図と同しにしである。第１２図において、
圧電材料３０の表面にフッ素コーディングにより撥水処
理した撥水部３８を設ｉ′：ｌである。これにＪ、す、
活性層３３士にインク４０が遵かれるス・テーラ３９が
形成される。ステージ３９は活性層３３の中央部に直径
１００μｎ］で形成され−Ｃいる。インク４０はインク
供給板４３によりステージ３９の近傍まで導かれ、ぞこ
からインクの濡れ性により、インク４０はステージ３９
まで到達する。第】３図を用いて補足説明をする。ステ
ージ３ｇにインクが導かれた状態において活性層３３を
図中矢印ｘ−ｘ’方向に励振させ、インク４０を複数の
インク滴４］として飛翔させる。なお、ステージ３９等
の圧電材料３（）上のインク濡れ部は７゛ルミナ等を溶
射し、たり、Ｓ　、ｉ、　０２をスパッタリングする客
して、インクの濡れ竹を向上さヤておくことが好まし２
い。 さら（：引き統いで４゛発明の第７の〜実施例ハ：・ン
いて第１４−１５図を用いて説明する。第１４１Ａは本
発明の一実施例のきらい別の第７の実施例θ）全体斜視
図である。第１５図はその断面図である。 ベース基板：１．、１０８：は輻１ｍｍ、深さ３　ＯＯ
μｍの半円形の溝コア］］が形成されている。この溝１
゜１１のにに、溝１１１ε回し幅で共通電極１３２が形
成され１、さらに、圧電材料１３０、駆動電動］：３１
が形成されでいる。駆動電極１３】の幅は３００μｍ、
ピッチは５００μｍである。圧電材料１３０どし、てポ
リフッ化ビニリデン等の圧電プラスチックフィルムをこ
のベース基板１１０の形状に沿って接着しである。圧電
材料１３０の厚さ１００μｍで・ある。勿論、他の圧電
材料をスパッタリング等によ・、）で形成しても良い。 第１５図を用いて第７の実施例の動作について説明する
。溝１１］の部分には活性Ｍ１３３が形成されることに
なり、ここを図中矢印Ｘ−Ｘ、　’　７：ｉ向に励振さ
せることにより、ノズルブ１．−　ト１２０と圧電ヰＡ
料］３０との間にあるインク］４０を加肚しインク滴１
４１をノズル］２］から飛翔させる。ざ、のとき、活性
Ｎ１３３が半円形をしでいるために、活性［１３：’１
の振動エネルギーがノズル］、、　２　：１．　（７）
部分！、７集束されインク飛翔力を向ｊ二させる３、°
どがで゛きる。従−）て、ポリフッ化ビニリデンのよう
な圧電定数の低い材料Ｘ・も活性Ｍ】３３を大きくしで
使用することがて−きる。ポリフッ化ビニリデンは′０
′響インピーダンスがインク番ご近くインクへの振動ユ
、ネルキーの放出特性は優れＣいる。 さらに引き続いて本発明の第８の実施例について図面を
用いて説明する。第１６図は本発明の−・実施例のさら
に別の第８の一実施例の全体斜視図である。図中の符号
は第１４図、第１５図と共通化しである。ごの実施例は
第７の実施例の半円形の溝１．１　］の替わりに球面形
の溝１１２が形成さｔ［ている。溝１〕２の１ら径は７
５０μｍで、、深さ２００μｍ、ピッチは］、　ｍ　ｒ
ｌ’ｌである。他の諸元については第７の実施例（・：
準じ゛（いる。 さらに引き続いて本発明の第９の実施例に−１）いて第
］、　７−１８図を用いて説明する。第１　’７図は第
９の実施例の全体斜視図である。この一実施例は圧電祠
料片面にのみ電極を構成した例である。 第１７図はこの＝一実施例の全体斜視図であり、第１８
図はこの一実施例の動作掠理図で・ある。第１７図にお
い”Ｃ１２］０はｌ゛＼−ス基根、２３０は圧電材料、
２３１は駆動電極、２３２は共通電極゛て・ある。圧電
材料２３０はアルミナ等で形成されたベース草根２１０
Ｌに１０ないＩ７．２０μｍの前８種の実施例よりもは
るかに薄くチタン酸ジルコン酸鉛系複合ペロブスカイト
セラミックス、Ｚ　ｎ　Ｏ、チタン酸鉛等の圧電材料を
スパッタリング等により形成する。この上に、駆動電極
２３１、および、共通電極２３２を図にあるＪ：うに同
心円状に形成し、活性部２３３をつくる。電極厚みは２
μｍ程度、電極幅は１５μｎ１、電極ピッチは６０μｍ
である。活性部２３３の大きさは直径４００μｍの円形
であり、６活性部間のピッチは７５０７１ｍである。 次に第１８図を用いて第９の実施例の動作原理り説明す
る。第１８図（ａ）は活性部２３３の上面（：λ］、　
（１））は断面図である。（ｂ　）　Ｌ：：示したよう
に、Ｊモミ材料２３０は電極ピッチに比べはるかに小さ
いため、はとんど電界は図に示したように圧電材料２３
０の面方向に向かう。従って、駆動電極２３１に電Ｈ８
を所定の周期で印加すると（ａ）ｃ′矢矢印示したよう
に面方向の振動を励起させることが一ζ゛き、これと同
期し、で、厚み振動が励起される。この接は第１の実施
例と同じようにしてインクを飛翔させることができるａ
　この実施例の場合はＩすみ振動の周期が短いため、イ
ンク滴を小さくすることが可能であり、インクの飛翔を
より細かく制御するここが”ｒきる。 ［発明の効果］ 以上述べてきたように、本発明のインクジゴツトヘッド
は圧力発生部材の構造が簡単であり、圧力発生部１１の
固有周期が極めて高く、また、その固有周期で駆動し、
その駆動時間を制御させることがて・きる。従って、極
めて低コストで、解像度を落とすことなく十分な階調性
を得ることができるインクジェットヘッドを提供できる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のインクジェットヘッドの第１の一実施
例の全体斜視図。 第２図は本発明のインクジェットヘッドの第１の一実施
例の断面図。 第３図、第益図は本発明のインクジェットヘッドの第１
の実施例の駆動原理説明図。 第５図、第６ｆｊｊｆｉは本発明のインクジェットヘッ
ドの第２、第３の実施例の断面図。 第７図は本発明のインクジェットヘッドの第４の実施例
の全体斜視図。 第８図は本発明のインクジェットヘッドの第４の実施例
の断面図。 第９図は本発明のインクジェットヘッドの第５の実施例
の全体斜視図。 第１０図、第１１図は本発明のインクジェットヘッドの
第５の実施例の駆動原理説明図。 第１２図は本発明のインクジェットヘッドの第６の実施
例の全体斜視図。 第１８３図は本発明のインクジェットヘッドの第６の実
施例の断面図。 第１４図は本発明のインクシュ、ットｌ＼ツドの第７の
実施例の全体斜視図。 第１５図は本発明のインクジェットヘッドの第７の実施
例の断面図。 第１６図は本発明のインクジェットヘッドの第８の実施
例の全体斜視図。 第１７図は本発明のインクジェットヘッドの第９の実施
例の全体斜視図。 第１８図は本発明のインクジェット′＼ツドの第９の実
施例の駆動原理説明図。 １０・・・・ベース基板 ２０・・・・ノズルプレート ３０　・ ・圧電材料 ３１　・　・ ３２　・　・ ３３　・　・ ４０　・　・ ４１　・ ４２　・ ５１　・ ５０　・ ・駆動電極 ・共通電極 ・活性化＠域 ・インク ・インク滴 ・インク供給スリット ・微分回路 ・０クロスコンパレータ ２０、　ノス″ノｉ／１ルート

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. （１）インクを飛翔させ記録像を得るインクジェットヘ
   ッドにおいて、圧力発生部材と、該圧力発生部材に電圧
   を印加する電圧印加手段とを有し、該圧力発生部材が表
   面に電極が形成された圧電材料であり、前記圧電印加手
   段が前記圧電材料を該圧電材料の厚み振動の固有周期で
   励振させる手段と、該圧電材料の厚み振動の励振数を制
   御する手段からなることを特徴とするインクジェットヘ
   ッド。
2. （２）前記電極が複数の対になるように、前記圧電材料
   の両面に対向して形成された電極であることを特徴とす
   る請求項１記載のインクジェットヘッド。
3. （３）前記圧電材料が凹面状に形成されていることを特
   徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
4. （４）前記圧電材料が該圧電材料の厚み振動の１／４波
   長の厚みを持つ部材を介して取り付け部材に取り付けら
   れていることを特徴とする請求項１記載のインクジェッ
   トヘッド。
5. （５）前記電極が複数の同心円状に形成された電極であ
   ることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッ
   ド。
6. （６）前記電極が、前記圧電材料の駆動用の電極と、前
   記圧電材料の変位状態を検出するための電極からなり前
   記電圧印加手段が前記圧力発生部材の発生部材の変形状
   態を検出して電圧の印加を行うことを特徴とする請求項
   １記載のインクジェットヘッド。
7. （７）前記圧電材料の前記電極部を他の箇所より厚くな
   るように構成したことを特徴とする請求項１記載のイン
   クジェットヘッド。
8. （８）前記圧力発生部材に対向して、複数のノズルを有
   するノズル形成基板を有し、該圧力発生部材と、該ノズ
   ル形成基板の間にインクを導くことを特徴とする請求項
   １記載のインクジェットヘッド。
9. （９）前記圧力発生部材の中央部を濡れ性の良い材料で
   、また、該中央部以外は、撥水処理を施した材料で構成
   したことを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘ
   ッド。
10. （１０）前記圧力発生部材の前記インク側の面が前記圧
    力発生部材の厚み振動の波長の半分の厚さのコート層を
    有することを特徴とする請求項１記載のインクジェット
    ヘッド。