JPH0326927A - センサ構造およびセンサの製造方法 - Google Patents

センサ構造およびセンサの製造方法

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JPH0326927A
JPH0326927A JP16323589A JP16323589A JPH0326927A JP H0326927 A JPH0326927 A JP H0326927A JP 16323589 A JP16323589 A JP 16323589A JP 16323589 A JP16323589 A JP 16323589A JP H0326927 A JPH0326927 A JP H0326927A
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JP
Japan
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metal container
sealing
powder
sensor
glass
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Application number
JP16323589A
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English (en)
Inventor
Kenzou Nagiri
名桐 健三
Naonobu Mizushima
水嶋 尚信
Yukiyoshi Hattori
服部 幸義
Makoto Yogo
余郷 誠
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Niterra Co Ltd
Original Assignee
NGK Spark Plug Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野コ 本発明は、管状の金属容器内にセンサ素子が充填材を介
して配され、振動等に対する強度を向上するために、金
属容器の径を減少するための絞り加工が施され、またセ
ンサ素子を容器内に密封するためのシール材によって金
属容器の開口が封鎖されるセンサと、その製造方法に関
する。
[従来の技術] 金属容器内にセンサ素子が封入されたセンサとして、例
えば、第3図に示すように、所定温度以上の高温を検知
するための温度センサ20では、感熱溶断線21は2つ
の貫通孔を有するセラミックス管体22を貫通する2本
のリード線23、24と接続されていて、これらが図示
しないガラス系の接着剤で一体化されてセンサ感知部を
形成している。
このセンサ感知部は、金属容器25内に耐熱性の粉末に
よる充填材26を介して配されており、センサ感知部を
金属容器25内に密封するために、シール材としてのガ
ラス27 (LS−500>が金属容器25の開口部に
充填されている。
ここで、ガラス27は、センサ感知部が充填材26を介
して配された後に粉末状のものが充填、プレス(加圧)
され、金属容器25とセンサ感知部との間の充填材26
の密度を高めるために、金属容器25の径を小さくする
絞り加工(スエージング)が行われてから、熱処理が施
されてガラス27が溶融して金属容器25の開口部を密
封し、センサ感知部を金属容器25内に封入する.この
場合、粉末状のガラス27は熱処理が施されるどきに、
発泡して金属容器25から外へ吹き出しやすいため、発
泡および吹き出しを防止するために、ガラス27の粉末
を充填、プレスした後に、さらにシリコンとマグネシア
との混合物28を金属容器25内に充填、プレスしてい
る。
また、絞り加工(スエージング〉は、ガラス27を溶融
させるための熱処理の前に行われるため、絞り加工時に
シリコンとマグネシアとの混合物28が金属容器25か
ら飛散しないようにするとともに、絞り加工時に用いら
れる加工用油の浸入を防ぐために、金属容器25の開口
部にはシリコン製のゴム栓29が取り付けられ、開口部
が封鎖された状態で絞り加二[が行われる。
さらに、絞り加工で使用された加工用油で金属容器25
の表面が汚れるため、絞り加[と熱処理との間には、金
属容器25の表面を洗浄する洗浄工程があり、また、洗
浄工程の後にはゴム栓29を取り外さなければならない
[発明が解決しようとするa題コ このように、従来では、センサ素子を密封するために、
熱処理時に発泡しやすいガラスが用いられていることか
ら、密封性が安定しに<<、歩留りが低い。また、ガラ
ス粉末を允填、プレスした後にシリコンとマグネシアと
の混合物をさらに充填、プレスしなければならないため
、各粉末の充填と、プレス機によるプレス処理とをそれ
ぞれ2度行う必要があるとともに、センサ素子には2本
のリード線が接続されている。リード線は通常その直径
が0.5m+程度であり、曲り、反り等が生じ易く、取
扱いが困難である.そのため、リード線を整線後、各プ
レス時に、2木のリード線をプレス機に設けられた穴へ
整合、挿入させてからプレスする必要がある。このため
、リード線の処理のためには手作業の必要があり、自動
化を図りにくいという問題がある。
一方、絞り加工時にシリコンとマグネシアとの混合物が
飛散しないようにするために、ゴム栓を用いているため
、開栓時にはプレス時と同様にリード線をゴム栓の穴へ
整合、挿入させなければならないため、手作業の必要が
あり、自動化を図りにくい。
また、ゴム栓の穴はリード線との気密を{装っため、リ
ード線の径よりやや細くしてあり、リード線をゴム栓の
穴に貫通させることは1個ずつ手{ヤ業で行っている。
また、ゴム栓では金属容器に対する気密性が得られ難い
。このため、洗浄工程ではセンサ全体を洗浄液に漫し゛
ζ洗浄することができず、洗浄液がゴム栓の穴から金属
容器内へ浸入しないようにセンサを1個ずつ注意して洗
浄する必要があり、また、洗浄後にはゴム栓を1閣ずつ
取り外さなければならないため、機械化等の自動化を図
りにくいという問題がある。
本発明は、金属容器内にセンサ素子を配するセンサにお
いて、センサの密封性が向上し、歩留りが向上するとと
もに、製造工程の工数を減少し、自動化を図りゃすいセ
ンサ構造を提供することを第1の目的とし、また、自動
化を図りやすい製造方法を提供することを第2の目的と
する。
[課題を解決するための手段コ 本発明の第1発明は、一方の端部が閉鎖された管状の金
属容器と、該金属容器内に充填材を介して配されたセン
サ素子と、該センサ素子に接続されたリード線と、前記
センサ素子および前記充填材を前記金属容器内に密封す
るとともに前記リード線を前記&属容器外へ露出させる
ための密封材とからなり、該密封材の表面を封鎖部材に
より1.1鎖して前記&属容器の径を小さくする絞り処
理が行われるとともに、該絞り処理後に加熱して前記セ
ンサ素子および前記充填材が前記密封材により密エイさ
れるセンサ構造において、前記密封材としてガラスとマ
グネシアとの混合粉末を用いたことを技術的手段とする
. 本発明の第2発明は、一方が閉鎖された管状の金属容器
内に、リード線が接続されたセンサ素子を充填材を介し
て配し、前記リード線を露出させて前記金属容器の開口
に粉状密封材を充填、加圧するとともに、前記粉状密封
材の表面を封鎖材により封鎖し、前記金属容器の径を小
さくする絞り処理を行い、その後、前糺粉状密封材を加
熱して前記センサ素子および前記充填材を前記金属容器
内に密封するセンサの製造方法において、前記封蛸材と
して接着剤を用いたことを技術的手段とする。
[作用] 第1発明のセンサ横遣では、センサ素子および充填材を
密封するために、密封材としてガラスとマグネシアとの
混合粉末を用いている。
このため、加熱されたとき、マグネシアがガラスの骨材
として作用するため、ガラスの発泡が少なくなる. 第2発明のセンサの製遣方法では、封鎖材として接着剤
を用いているため、粉状密封材の表面の封鎖処理が簡単
になるとともに、封鎖能力が向上する。
[発明の効果] 第1発明では、ガラスの発泡が少なくなるため、ガラス
の発泡(吹き出し)を防止するために、従来のように、
ガラス層に加えてさらに発泡防止層を設ける必要がない
. &tって、密封材としてのガラスとマグネシアとの混合
粉末を一度充填、プレスするだけでよいため、製造工程
の工数が減少し、処理が面倒なリード線の処理回数が減
少するため、プレス後の自動1ヒを図りやすい. 第2発明では、粉状密封材の表面の封鎖処理が接着剤に
よって行われるため、封錯の際に、面倒なリード線の処
理を行う必要がなくなり、また、封鎖能力が向上するた
め、絞り処理の際に表面に付着した油を洗浄する洗浄工
程において、センサ全体を洗浄液に浸すことができるた
め、自動化を図りやすい。
さらに、接着剤には、高温で熟分解させるものを用いる
ことによって、従来のように、ゴム栓の収り付け収り外
しの必要がなくなるため、さらに製造工程の自動化を図
りやすくなる。
[実施PA] 次に本発明を実施例に基づい゛C説明する。
第1図は、製造過程にある温度センサ1を示す.温度セ
ンサ1は、金属管の一端に閉鎖部材を溶接した管状の金
属容器2、所定温度になると溶断するU字形のヒューズ
線3、2つの員通孔を看するセラミックス製の管体4,
耐熱性を有するマグネシア粉末からなる充填材5、密封
材としてのシール用粉末6、ヒューズ線3の両端に抵抗
溶接された耐熱合金製のリード線7、8からなり、9は
、図中の製造過程においてのみ用いられる接着剤である
. 以上の構成を有する温度センサ1は、第2図に示すとお
り、以下に説明する工程によって製造される. (1)センサ部配置二[程 両端にリード線7、8が抵抗溶接されたU字型のヒュー
ズ線3の各リード線7、8を、管体4の貫通孔に貫通さ
せてガラス系の接着剤であらかじめ固定したセンサ部を
、底部に充填材を1〜30一入れた金属容器2内の所定
の位置に各リード線7、8が金属容器から露出するよう
に配置し、その後、センサ部の管体4と金属容器2との
隙間に充填材5を振動充填によって充填する。
〈2)シール用粉末充填:[程 硼酸亜鉛ガラス粉末(シリカ20%、酸化硼素30%、
酸化亜鉛25%、酸化バリウム9%、その他)に骨材と
してのマグネシア粉末(粒度:100メッシュ)を、ガ
ラス:マグネシア=1=2(重量比)で混合したシール
用粉末6を、金属容器2内のセンサ部および充填材5を
封鎖するように充填した後に、プレス機の各リード線7
、8を貫通させる開口に手作業によって各リード線7、
8を挿入して、プレス機によってシール用粉末6をプレ
スする。
シール用粉末6の粒径は、300μ一以下が好ましい。
(3)封鎖工程 各リード線7、8が露出した状態でシール用粉末6が充
填された金属容器2の開口に接着剤9を注入して、開口
を封鎖する。
接着剤9としては、乾燥、硬化後に、後述する絞り加工
における外力によって、裂けたり、クラックが生じない
弾性を有するとともに、金属容器2内の防水性が確保で
きるもの、例えば、市販のシアノボンド系瞬間接着剤を
用いる. この場合、注入された接着剤9を乾燥、硬化させ−るた
めに特に乾燥時間を設ける必要はなく、製造ラインの移
動時間で十分である. (4)絞り加工工程 開口が封鎖された金属容器2を、スエージング機にまり
減径処理を行って絞り加工する。
(5)洗浄工程 温度センサ1全体を洗浄液に浸して、超音波洗浄を行い
、絞り加工時に表面に付着した油汚れを取り除く。
(6〉接着剤除去工程 洗浄後の温度センサ1を約400℃の乾燥室中で1時間
乾燥させて、接着剤9を熟分解して取り除く。
(7〉密封工程 温度センサ1をさらに700℃の中で30分間加熱して
、シール用粉末6のガラスおよびマグネシアを溶融させ
て金属容器2の開口を密封ずる。
以上の工程からなる製造方法によって製造される本実施
例の温度センサ1では、密封材としてガラスに骨材とし
てのマグネシアを混合したシール用粉末を用いているた
め、加熱時に発泡することが少なくなり、シール性が安
定する. 従って、歩留りが向上する. また、密封材とは別に発泡防止用の粉末を充填、グレス
する必要がないとともに、密封材を封鎖する到鎖材とし
て接着剤を用いていて、従来のようにゴム栓を使用しな
いため、封鎖工程が簡単になるとともに、接着剤による
封鎖によって絞り工程の後のシール性が向上し、温度セ
ンサ全体を洗浄液に浸すことができるため、洗浄二[程
が容易になる。
このため、リード線の処理ニ[数が減少し、シール用粉
末充填工程において手作業によりリード線を処理して一
旦プレスを行った後は、手作業の必要がないため、この
間が自動化できる.従って、自動化による量産が可能に
なり、生産コストを低くすることが可能になった.
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明にかかるセンサ横造およびセンサの製造
方法の実施例を説明するための製造過程におけるセンサ
を示す断面図、第2図は本実施例のセンサの製造方法を
示す流れ図、第3図は従来例のセンサの横遣および製造
方法を示す製造過程におけるセンサの断面図である。 図中、2・・・金属容器、3・・・ヒューズ線(センサ
素子)、5・・・充填材、6・・・シール用粉末(密封
材〉、7、8・・・リード線、9・・・接着剤(封鎖材
)。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)一方の端部が閉鎖された管状の金属容器と、該金属
    容器内に充填材を介して配されたセンサ素子と、該セン
    サ素子に接続されたリード線と、前記センサ素子および
    前記充填材を前記金属容器内に密封するとともに前記リ
    ード線を前記金属容器外へ露出させるための密封材とか
    らなり、該密封材の表面を封鎖部材により封鎖して前記
    金属容器の径を小さくする絞り処理が行われるとともに
    、該絞り処理後に加熱して前記センサ素子および前記充
    填材が前記密封材により密封されるセンサ構造において
    、 前記密封材としてガラスとマグネシアとの混合粉末を用
    いたことを特徴とするセンサ構造。 2)一方が閉鎖された管状の金属容器内に、リード線が
    接続されたセンサ素子を充填材を介して配し、前記リー
    ド線を露出させて前記金属容器の開口に粉状密封材を充
    填、加圧するとともに、前記粉状密封材の表面を封鎖材
    により封鎖し、前記金属容器の径を小さくする絞り処理
    を行い、その後、前記粉状密封材を加熱して前記センサ
    素子および前記充填材を前記金属容器内に密封するセン
    サの製造方法において、 前記封鎖材として接着剤を用いたことを特徴とするセン
    サの製造方法。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9506831B2 (en) 2012-03-09 2016-11-29 Epcos Ag Micromechanical measuring element and method for producing a micromechanical measuring element

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