JPH03257185A - モリブデン製マスクの洗浄法 - Google Patents
モリブデン製マスクの洗浄法Info
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- JPH03257185A JPH03257185A JP5626090A JP5626090A JPH03257185A JP H03257185 A JPH03257185 A JP H03257185A JP 5626090 A JP5626090 A JP 5626090A JP 5626090 A JP5626090 A JP 5626090A JP H03257185 A JPH03257185 A JP H03257185A
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- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 34
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 title claims description 34
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 title claims description 34
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 10
- 238000005406 washing Methods 0.000 title abstract description 3
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims abstract description 42
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 8
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 16
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000003929 acidic solution Substances 0.000 claims description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims description 2
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 abstract description 4
- 238000005476 soldering Methods 0.000 abstract description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 7
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 7
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 5-(5-carboxythiophen-2-yl)thiophene-2-carboxylic acid Chemical compound S1C(C(=O)O)=CC=C1C1=CC=C(C(O)=O)S1 DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 238000004210 cathodic protection Methods 0.000 description 1
- VOVNIMMKYYUQIN-UHFFFAOYSA-N chloric acid Chemical compound OCl(=O)=O.OCl(=O)=O VOVNIMMKYYUQIN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940005991 chloric acid Drugs 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000005536 corrosion prevention Methods 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 150000002978 peroxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 1
- LEMQFBIYMVUIIG-UHFFFAOYSA-N trifluoroborane;hydrofluoride Chemical compound F.FB(F)F LEMQFBIYMVUIIG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
皇里上ユ鳳見乱１
この発明は、電気電子部品のハンダ付けの際に使用され
るモリブデン製マスクの洗浄法に関する。
るモリブデン製マスクの洗浄法に関する。
監惠ユ芝艶
従来から、電気電子部品のハンダ付けの効率化を計るた
め、マスクを介して蒸着法で多数ケ所が同時にハンダ付
けされている。
め、マスクを介して蒸着法で多数ケ所が同時にハンダ付
けされている。
該マスクは、使用によってハンダが表面に徐々に堆積し
ていき、開口部にもはり出してきて、ついには、所定の
寸法が維持されなくなるので酸性液を用いて該マスクを
定期的に洗浄して堆積ハンダを除去している。
ていき、開口部にもはり出してきて、ついには、所定の
寸法が維持されなくなるので酸性液を用いて該マスクを
定期的に洗浄して堆積ハンダを除去している。
該マスクは、精度の確保やその他の条件によってモリブ
デン材で作られているものがある。モリブデン上に付着
しているハンダを除去する場合、モリブデンの腐食を極
力抑制しつつ、ハンダのみを溶解除去することが請求さ
れる。
デン材で作られているものがある。モリブデン上に付着
しているハンダを除去する場合、モリブデンの腐食を極
力抑制しつつ、ハンダのみを溶解除去することが請求さ
れる。
しかしながら、実際の洗浄作業においては、作業能率の
点から、ハンダの付着量が異なる数十枚〜数百枚のモリ
ブデン製マスクを不均一な接液状態で同時に洗浄処理す
るため、洗浄時間は、最も洗浄時間を必要とするマスク
を基準として設定されている。このため、各マスクの洗
浄完了時間に差が生じ、洗浄が早く完了するマスクはど
腐食量が多くなり、可使寿命がより短くなる。
点から、ハンダの付着量が異なる数十枚〜数百枚のモリ
ブデン製マスクを不均一な接液状態で同時に洗浄処理す
るため、洗浄時間は、最も洗浄時間を必要とするマスク
を基準として設定されている。このため、各マスクの洗
浄完了時間に差が生じ、洗浄が早く完了するマスクはど
腐食量が多くなり、可使寿命がより短くなる。
発明が解決しようとする課題
この発明は、モリブデン製マスクの洗浄工程における上
記の問題点を解決するためになされたものである。
記の問題点を解決するためになされたものである。
課題を解決するための手段
即ちこの発明は、ハンダが付着したモリブデン製マスク
を酸性液を用いて洗浄する方法において、該モリブデン
製マスクに、付着ハンダ量よりも多量のハンダまたはイ
オン化傾向がモリブデンよりも大きい金属を電気的に直
接接続させることを特徴とするモリブデン製マスクの洗
浄法に関する。
を酸性液を用いて洗浄する方法において、該モリブデン
製マスクに、付着ハンダ量よりも多量のハンダまたはイ
オン化傾向がモリブデンよりも大きい金属を電気的に直
接接続させることを特徴とするモリブデン製マスクの洗
浄法に関する。
本発明においては、この種のハンダが付着したモリブデ
ン製マスクの洗浄液としては、ケイフッ化水素酸、フッ
化アンモン、ホウフッ化水素酸、酢酸等の酸と過酸化水
素や塩素酸ンーダ等の過酸化物との混合液が使用される
。
ン製マスクの洗浄液としては、ケイフッ化水素酸、フッ
化アンモン、ホウフッ化水素酸、酢酸等の酸と過酸化水
素や塩素酸ンーダ等の過酸化物との混合液が使用される
。
洗浄温度は通常、常温〜８０℃である。
ハンダが付着したモリブデン製マスクを上記の酸性液と
接触させると、ハンダはモリブデンよりもイオン化傾向
が大きいので陰極となって溶解するが、モリブデン製マ
スクは付着ハンダが存在する限り、陰極防食の原理によ
って腐食されない。
接触させると、ハンダはモリブデンよりもイオン化傾向
が大きいので陰極となって溶解するが、モリブデン製マ
スクは付着ハンダが存在する限り、陰極防食の原理によ
って腐食されない。
従って、理論的には、付着ハンダが消失した時点でモリ
ブデン製マスクを酸性洗浄液から引き上げれば、該マス
クの腐食は回避される。しかしながら、前述のように、
実際の洗浄工程においては作業能率の観点から、ハンダ
の付着量の異なる数十枚〜数百枚のモリブデン製マスク
を一括して処理するので、各マスクにおける付着ノ１ン
ダの消失する時点を正確に識別することは実際上不可能
である。
ブデン製マスクを酸性洗浄液から引き上げれば、該マス
クの腐食は回避される。しかしながら、前述のように、
実際の洗浄工程においては作業能率の観点から、ハンダ
の付着量の異なる数十枚〜数百枚のモリブデン製マスク
を一括して処理するので、各マスクにおける付着ノ１ン
ダの消失する時点を正確に識別することは実際上不可能
である。
本発明においては、付着ハンダが消失した後のモリブデ
ン製マスクの腐食を防止するために、犠牲電極として付
加的なハンダまたはモリブデンよりもイオン化傾向の大
きい金属、例えば銅、鉄、スズ、アルミニウム、亜鉛、
鉛、マグネシウム等を使用する。
ン製マスクの腐食を防止するために、犠牲電極として付
加的なハンダまたはモリブデンよりもイオン化傾向の大
きい金属、例えば銅、鉄、スズ、アルミニウム、亜鉛、
鉛、マグネシウム等を使用する。
即ち、ハンダが付着したモリブデン製マスクに、付着ハ
ンダ量よりも多量のノ１ンダまたはモリブデンよりもイ
オン化傾向の大きい金属を電気的に直接接続させること
によって、付着ノ１ンダ消失後のモリブデン製マスクの
腐食は効果的に防止される。
ンダ量よりも多量のノ１ンダまたはモリブデンよりもイ
オン化傾向の大きい金属を電気的に直接接続させること
によって、付着ノ１ンダ消失後のモリブデン製マスクの
腐食は効果的に防止される。
犠牲電極の使用量は、被処理モリブデン製マスクのうち
で、付着ハンダ量が最も多いマスクを基準にして選定す
ればよい。
で、付着ハンダ量が最も多いマスクを基準にして選定す
ればよい。
ハンダが付着した被処理モリブデン製マスクに犠牲電極
を直接接続させる態様は特に限定的ではない。
を直接接続させる態様は特に限定的ではない。
例えば、被処理モリブデン製マスクに必要量のハンダ塊
を１備付着させるだけでも十分な防食効果が得られるが
、このようなハンダ塊３個もしくは４個を等間隔で配置
し、これらのハンダ塊上に被処理マスクを載置させるの
も有効である。特に、大面積のマスクの洗浄の際には、
面積に応じて複数個のハンダ塊を接触させることによっ
て完全に腐食を抑制することができる。
を１備付着させるだけでも十分な防食効果が得られるが
、このようなハンダ塊３個もしくは４個を等間隔で配置
し、これらのハンダ塊上に被処理マスクを載置させるの
も有効である。特に、大面積のマスクの洗浄の際には、
面積に応じて複数個のハンダ塊を接触させることによっ
て完全に腐食を抑制することができる。
さらにまた、多数の同一形態のディスク状マスクを積層
させ、これらを分割型のハンダ製もしくは上記の金属製
シリンダー状把持具を用いて嵌合把持した状態で洗浄処
理に付してもよい。
させ、これらを分割型のハンダ製もしくは上記の金属製
シリンダー状把持具を用いて嵌合把持した状態で洗浄処
理に付してもよい。
酸性液を用いて外環し、付着ハンダを除去したモリブデ
ン製マスクは十分に水洗した後、乾燥させて再使用に供
することができる。
ン製マスクは十分に水洗した後、乾燥させて再使用に供
することができる。
以下、本発明を実施例によって説明する。
実施例および比較例
１枚４５０ｃｍ”の面積を持つ、モリブデン製マスクに
均一にハンダを付着させた後、ハンダの洗浄を行い、３
０分間洗浄後のモリブデン製マスクの腐食量を測定した
。結果を表−１に示す。
均一にハンダを付着させた後、ハンダの洗浄を行い、３
０分間洗浄後のモリブデン製マスクの腐食量を測定した
。結果を表−１に示す。
（以下、余白）
発明の効果
この発明によれば、電機部品結線部にハンダを塗布する
際に使用されるモリブデン製マスクに付着したハンダを
、高価な該マスクを腐食させることなく完全に除去する
ことが可能となり、これによって該マスクの可使寿命を
大幅に延ばすことができる。
際に使用されるモリブデン製マスクに付着したハンダを
、高価な該マスクを腐食させることなく完全に除去する
ことが可能となり、これによって該マスクの可使寿命を
大幅に延ばすことができる。
Claims (2)
- １．ハンダが付着したモリブデン製マスクを酸性液を用
いて洗浄する方法において、 該モリブデン製マスクに、付着したハンダ量よりも多量
のハンダまたはイオン化傾向がモリブデンよりも大きい
金属を電気的に直接接続させることを特徴とするモリブ
デン製マスクの洗浄法。 - ２．イオン化傾向がモリブデンよりも大きい金属が鋼、
鉄、アルミニウム、亜鉛、スズ、鉛またはハンダである
請求項１記載の方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5626090A JPH03257185A (ja) | 1990-03-07 | 1990-03-07 | モリブデン製マスクの洗浄法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5626090A JPH03257185A (ja) | 1990-03-07 | 1990-03-07 | モリブデン製マスクの洗浄法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03257185A true JPH03257185A (ja) | 1991-11-15 |
Family
ID=13022112
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5626090A Pending JPH03257185A (ja) | 1990-03-07 | 1990-03-07 | モリブデン製マスクの洗浄法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03257185A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002501177A (ja) * | 1998-01-02 | 2002-01-15 | インテル・コーポレーション | プローブカードのプローブ機構から堆積ハンダを取り除くための方法 |
| JP2013064180A (ja) * | 2011-09-16 | 2013-04-11 | Shinryo Corp | 超硬材における硬質被膜の除去方法及び超硬材の製造方法 |
-
1990
- 1990-03-07 JP JP5626090A patent/JPH03257185A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002501177A (ja) * | 1998-01-02 | 2002-01-15 | インテル・コーポレーション | プローブカードのプローブ機構から堆積ハンダを取り除くための方法 |
| JP2013064180A (ja) * | 2011-09-16 | 2013-04-11 | Shinryo Corp | 超硬材における硬質被膜の除去方法及び超硬材の製造方法 |
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