JPH03256383A - 固体レーザー発振器 - Google Patents

固体レーザー発振器

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JPH03256383A
JPH03256383A JP5441990A JP5441990A JPH03256383A JP H03256383 A JPH03256383 A JP H03256383A JP 5441990 A JP5441990 A JP 5441990A JP 5441990 A JP5441990 A JP 5441990A JP H03256383 A JPH03256383 A JP H03256383A
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JP
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laser
light
laser beam
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harmonic
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JP5441990A
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Michio Oka
美智雄 岡
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 以下の順序で本発明を説明する。
A、産業上の利用分野 B 発明の概要 C従来の技術 D 発明が解決しようとする課題 E 課題を解決するための手段 F 作用 G 実施例 G1 実施例1 (第1図及び第2図〉G2実施例2 
(第3図) G3実施例3(第4図) G4実施例4.5(第5図〉 Gs実施例6(第6図〉 G、実施例7(第7図) G7実施例8〜10(第8図) G・実施例11〜12〈第9図) H発明の効果 八 産業上の利用分野 本発明は光学式(光磁気式〉記録再生装置等に適用して
好適な固体レーザー発振器に関する。
B 発明の概要 本発明は、モードと異にする第1及び第2のレーザービ
ームを出射するレーザー媒質と、そのレーザー媒質から
の第1及び第2のレーザービームが入射して、その各周
波数の和又は差の周波数の出力レーザービームを出射す
る非線形光学素子とを備えた光共振器を有する固体レー
ザー発振器において、第1及び第2のレーザービームを
空間的に分離する光学的分離手段を設けたことにより、
モードを異にする第1及び第2のレーザービームをレー
ザー媒質中で空間的に分離して発振できるようにすると
共に小型化が容易で、且つ、大出力の固体レーザー発振
器を得ることができるようにしたものである。
C従来の技術 従来、固体レーザー発振器の共振器内に発生する基本波
レーザー光に対して2倍の周波数を有する第2高調波レ
ーザー光を発生させることにより、短波長のレーザー光
を射出し得るようにした固体レーザー発振器が提案され
ている(実開昭48−93784号公報)。
この種の固体レーザー発振器は、レーザー媒質を含む共
振器内部の非線形光学結晶中において、基本波レーザー
光に対して第2高調波レーザー光を位相整合させること
により、効率良く第2高調波レーザー光を取り出すこと
ができる。
位相整合を実現する方法としては、基本波レーザー光及
び第2高調波レーザー光間にタイプI又はタイプ■の位
相整合条件を威り立たせるようにする。
タイプIの位相整合は、次式、 no(2w) =   (no(w) +no(w) 
)・・・・(1)のように、基本波レーザー光の常光線
を利用して、同一方向に偏向した2つの光子から周波数
が2倍の1つの光子を作るような現象を生じさせること
を原理とするもので、基本波レーザー光の偏向方向を、
例えば偏向型ビームスプリフタ等の偏向素子を用いて非
線形光学結晶素子の方向に合わせるように偏向させて入
射させるようにすれば、原理上非線形光学結晶素子から
射出した基本波レーザー光の偏波成分(p波成分及びS
波成分)(これを固有偏光と呼ぶ)の位相変化を生じさ
せないようにでき、かくして共振器内部において共振動
作する基本波レーザー光によって第2高調波レーザー光
の発生動作を安定に継続させることができる。
これに対してタイプ■の位相整合は、互いに直交する2
つの基本波固有偏光を非線形光学結晶素子に入射するこ
とにより、2つの固有偏光についてそれぞれ位相整合条
件を成り立たせるようにするもので、次式 %式%(2) のように、基本波レーザー光は非線形光学結晶素子の内
部において常光線及び異常光線に分かれて第2高調波レ
ーザー光の異常光線に対して位相整合を生じる。
なお(1)及び(2)式において、n 、 (w)及び
n 、 (w)は、基本波レーザー光(周波数f =W
)における常光線及び異常光線に対する屈折率、1’l
+(2w)  及びns(1w)  は第2高調波レー
ザー光(周波数f=2W)における常光線及び異常光線
に対する屈折率である。
次に、第10図を参照して、共振器内に、タイプ■の位
相整合を行なう非線形光学素子を配した従来の固体レー
ザー発振器[rLarge−Amplitudeflu
ctuations due to longitud
inal mode couplingin diod
e−pumped  1ntracavity−dou
bled Nd:YAGlasers J 、T、Ba
er著、Journal of 0ptical 5o
cietyof America社発行、%io1.3
 、No、9/September1986/J、Op
t、Soc、 Am、B、の第1175頁から第11フ
6(1)はレーザーダイオードで、このレーザーダイオ
ード(1)は波長808r+m,出力200m Wのレ
ーザー光を出力する。このレーザーダイオード(1)か
らの発散レーザー光が、コリメータレンズ(凸レンズ)
(14〉によって平行光線にされた後、対物レンズ(1
5〉によって集光される。
(4)は上述したYAGから成るレーザー媒質としての
レーザーロッドで、レンズ(15)側の後端面に蒸着処
理されて懲戒されたグイクロイックミラーDが設けられ
ている。尚、このグイクロイックミラーDは、レンズ(
15〉側の方向からの入射光を透過し、これに反対側、
即ち、レーザーロッド(4)の前端面側方向からの入射
光は反射するものである。
一方の前端面ば、集光レンズ効果をもつ曲面と戒ってい
る。
レンズ(15〉からの集束光は、レーザーロッド(4)
内に入射(光ポンピング〉して、点pで焦点を結ぶ。か
くすると、レーザーロッド(4)から10641111
の波長の赤外光が出力される(以下、この1064n+
nの赤外光を基本波光と称する)。(6)はk T P
 (kTiOPOa)(光学軸を1つもつ一軸結晶)か
ら戒る非線形光学結晶素子で、−辺が511II11の
立方体である。
この光学素子(6)は、入射光の波長が11064nの
場合で、およそ0.5%はどの入射損失を有する。又、
この光学素子は、532r++n及び1064nωの波
長の光を透過すると共に、基本波光(1064nm )
と第2高調光(出力光) (532r+a+)の位相整
合を行う(タイプ■の整合)。(3)は、凹面鏡、即ち
、グイクロイック凹面ミラーで、11064nの波長の
光〈基本波光と称する〉に対しては高い反射¥! (9
9,9%〉を有し、532nfflの波長の光に対して
は高い透過率(98%)を有する。
レーザーロッド(4)からの基本波光は、キャビティ、
即ち、レーザーロッド(4)の後端面に形成されたグイ
クロイックミラーD及び凹面鏡(3)間(その間の長さ
は60111ffl)を往復進行する。そして、往復進
行するに従い、引き込み現象により、その往復光の位相
がそろいながら増幅され(誘導放出)、レーザー光の発
振、即ち、562nlllの波長の可視光の発振となる
。この発振した562nlllの波長の可視光、いわゆ
るS HG(Second )Iarmonic Ge
neration)(第2高調波光又は倍調波光という
)グリーンレーザー光の出力レベルは略5〜10mWで
ある。
上述のレーザーロッド(4)からの光ポンピングによっ
て出力された基本波光は、光学素子(6)の面に対して
垂直に入射する。この入射した基本波光は、この進行方
向に垂直な面内で互に直角方向に振動する二つの直線偏
光成分(尚光線及び異常光線)に分けられる。従って、
レーザーロッド(4)から出力された基本波光は、キャ
ビティ (共振器)内の空間を往復進行して、光学素子
(6)を通過するたびに、直交する固有偏光(異常光成
分でなる偏光及び常光成分でなる偏光)の位相がずれる
ことによって、カップリングが生じて、この2つの偏光
間にエネルギーのやりとりが生じるので、この異常光及
び常光成分の出力が時間的に変動し、ノイズが生じる。
従って、波長が5621mのレーザー光を得られるよう
な安定、且つ、強い共振状態を形成できなくなり、この
56211+11の波長のレーザー光への共振波光から
の変換効率は低いことになる。
上述したように、第9図の従来例において、タイプ■の
位相整合条件を用いて第2高調波レーザー光を発生させ
ようとする場合、基本波レーザー光が非線形光学結晶素
子を繰り返し通るごとに基本波レーザー光の固有偏光の
位相が変化するため、第2高調波レーザー光の発生を安
定に継続し得なくなるおそれがある。
即ち、レーザー媒質において発生された基本波レーザー
光が共振動作によって非線形光学結晶素子を繰り返し通
過するごとに、直交する固有偏光(すなわちp波成分及
びS波成分)の位相がそれぞれずれて行けば、共振器の
各部において基本波レーザー光が効率良く互いに強め合
うような定常状態が得られなくなることにより強い共振
状態(すなわち強い定在波)を形式できなくなり、結局
基本波レーザー光の第2高調波レーザー光への変動効率
が劣化すると共に、第2高調波レーザー光にノイズを生
じさせるおそれがある。
そこで、タイプ■の位相整合条件を満足する状態におい
て、共振器内部において基本波レーザー光が安定に共振
動作をし得るようにした固体レーザー発振器(レーザー
光源)が、特開平1−220879号公報に開示されて
いる。
かかる従来の固体レーザー発振器を第11図を参照して
説明する。尚、第10図において、第9図と対応する部
分には同一符号を付して説明する。
第11図において、この固体レーザー発振器は、Nd:
YAGを用いたレーザーロッド(レーザー媒質)(4)
を有し、その入射面に対して、レーザーダイオード(1
)から射出された励起用レーザー光がコリメータ(14
)、対物レンズ(15〉を通って入射されることにより
、基本波レーザー光LA(−)  を発生する。
この基本波レーザー光LA(w)  は、KTP(KT
iOPO4)からなる非線形光学結晶素子(6)、例え
ば水晶板によって構成された1/4波長板、即ち、複屈
折性素子(16)を順次通って凹面鏡(グイクロイック
ミラー)(3)の反射面において反射され、再度複屈折
性素子(16)、非線形光学結晶素子(6)、レーザー
ロッド(4)を順次通ってレーザーロッド(4)の反射
面(グイクロイックミラー)Dにおいて反射される。
かくして基本波レーザー光LA(w)  はレーザ−ロ
ッド媒質(4)の反射面り及び凹面鏡(3)の反射面間
に形成された共振光路を往復するように共振動作し、こ
れにより反射鏡り及び(3)間に共振器が構成される。
ここで複屈折性素子(16〉は、光の伝播方向に垂直な
面内において、第12図に示すように、異常光方向屈折
率ns(?)の方向が、非線形光学結晶素子(6)の異
常光方向屈折率no(@)の方向に対し方位角θ=45
°だけ傾くような光軸位置に設定される。
以上の構成において、基本波レーザー光LA(w)は共
振光路を通って非線形光学結晶素子(6)を通過する際
に第2高調波レーザー光LA(2+1)を発生させ、こ
の第2高調波レーザー光LA(2W)が凹面鏡(3)を
通って、出力レーザー光LAovt として送出される
この状態において基本波レーザー光LA(w)  を形
成する各光線は、非線形光学結晶素子(6)に対して方
位角θ=45°だけ傾いた方位に設定された複屈折性素
子(16)を通ることにより、共振器の各部におけるレ
ーザー光のパワーは所定のレベルに安定化される。
第11図について上述した従来例についての実験結果は
次の通りである。
即ち、レーザーダイオード(1)によってNd:YAG
から威るレーザーロッド(4)を励起するようになされ
た共振器内に、K T P (KTiOPO4) から
なる非線形光学結晶素子(6)及び共振器の基本波レー
ザー光LA(w)  (波長1.06Cμm〕〉の波長
に対して1/4波長板からむる複屈折性素子(16〉を
挿入した。
この構成において複屈折性素子(16〉を方位角θ(第
12図)をθ=0°の第1の状態(すなわち複屈折性素
子(16〉の異常光方向の光学軸を非線形光学結晶素子
(6)の異常光方向の光学軸と一致させた状態)と、方
位角θをθ=45°に回転させた第2の状態とにおいて
、それぞれ基本波レーザー光LA(w)  の異常光成
分E @ (IT)及び常光成分E。(。、並びに第2
高調波レーザー光LABw)をそれぞれフォトディテク
タで検出した。
その結果θ=0@の第1の状態における基本波レーザー
光LA(w)  の異常光成分Es(w)及び常光成分
E O(11)はそれぞれ第13図A及びBに示すよう
に、時間tの経過に従って不安定な変化を示した。
ここでその変化の仕方は、異常光成分E 、 (w、及
び常光成分Ea(w)が、互いにモード競合を起こして
いると考えられるような相関性をもっていることが分か
った。
このように、パワーレベルが時間の経過に従って不安定
に変動する基本波レーザー光LAtw)によって発生し
た第2高調波レーザー光LA(211)の出力P Bw
)は第13図Cに示すように、高い周波数成分から低い
周波数成分まで亘ってパワーレベルが大きく変動するよ
うな不安定な変動を呈することがわかった。
これに対して複屈折性素子(16)の方位角θをθ=4
5°に設定した第2の状態にすると、基本波レーザー光
LA(w)  の異常光成分E*(W)及び常光成分E
a(IT)は第14!!IA及びBに示すように、夫々
時間tの経過に従ってほぼ一定値を呈するように安定化
し、この安定化された基本波レーザー光LA(w)によ
って生じた第2高調波レーザー光LA(2111)の出
力P (211)は第14図Cに示すように略一定値に
安定化することが分かった。
ここで共振光路を通って共振動作する基本波レーザー光
LA(w)  は偏光素子等により直線偏光されていな
いので、当該基本波レーザー光LA(w)は互いに直交
する2つの固有偏光を基本波モードとなし、さらにその
2モ一ド間での位相関係に相関のないランダム偏光にな
る。
このような基本波レーザー光LA(w)  によって第
2高調波レーザー光LA(2111)を非線形光学結晶
素子(6)内に発生させると、一般にその出力P(2w
)は P (2W) QCd2・P@(W)  ・PQ(W)
    ” ” (3)のように、非線形結晶内の基本
波レーザー光LA(IT)の異常光成分の出力P @ 
(11)と常光成分の出力Pa(V)との積に比例する
ような値になる。ここでd2 は比例定数である。
ところが(3)式のように出力P (211)が異常光
成分の出力P m (w)及び常光成分の出力P a 
(w)の積で表されるようなときには、2つの固有偏光
(すなわち異常光成分でなる偏光及び常光成分でなる偏
光〉間にカップリングが生じ、2つの偏光間にエネルギ
ーのやりとりが生ずる。
このように非線形光学結晶素子(6)内において2つの
偏光すなわち異常光成分及び常光成分間にエネルギーの
やりとりが生ずると、当該異常光成分及び常光成分の出
力Pa(If)及びP o (w)が時間tの経過に従
って変動し、その結果、非線形光学結晶素子(6)にお
いて発生される第2高調波の出力P By)も不安定に
なる。
即ち、複屈折性素子(16)の方位角θを、θ=0゜に
設定した構成においては、出力レーザー光LAourは
第15図Aに示すように実用上使用し得ない程度に大き
なエネルギーのノイズ成分が含まれている。
そのノイズスペクトラムは第15図Bにおいて曲線に1
で示すように、例えば周波数f=5cM&]程度の周波
数で約53 (dB]程度のノイズを含んでいることが
分かった。
これに対して複屈折性素子(16)の方位角θをθ=4
5°に設定した構成においては、出力レーザー光LAa
υ丁は第16図Aに示すように、実用上ノイズ成分を十
分に抑圧して安定化された信号が得られ、そのノイズス
ペクトラムは第16図Bにおいて曲線に2で示すように
、例えば周波数f=5(MHzlにおいてS/Nが約8
0 (dB)程度に改善されていることが分かった。
このような実験結果から、第11図の固体レーザー発振
器によれば、非線形光学結晶素子(6)内においてタイ
プ■の位相整合条件の下に第2高調波レーザー光LA(
211)を発生させるにつき、複屈性性素子(16〉の
方位角θをθ=45°に設定したことにより、共振器の
共振光路を伝帽する基本波レーザー光LA(w)  の
2つの伝帽間にカップリング現象を生じさせないように
抑制することができ、その結果第2高調波レーザー光L
ABw)からなる出力レーザー光LAautを安定化す
ることができる。
かくして、共振器の共振光路内を互いに直交する2つの
固有偏光を基本波モードとなし、さらにその2つのモー
ド間での位相関係に相関のないランダム偏光の基本波レ
ーザー光LA(w)  を共振動作させることができる
ので、余分な偏光子を介挿する必要性をなくし得、この
分全体としての構成を一段と簡易化し得る。
第11図の場合のように、非線形光学結晶素子(6)に
おいてタイプ■の位相整合条件の下に第2高調波レーザ
ー光LA(211)を発生する場合、複屈折性素子(1
6)を方位角θ=45°の方位角位置に挿入することに
より、共振動作が安定化するのは、理論上、次の理由に
よる。
すなわち共振器CAV内においては次式2式%) (4) (5) ) (6) (7) で表される2つのモードが存在するときのレート方程式
が威り立つ。ここでτ。は共振器の往復時間、τFは螢
光寿命、α1及びα2はそれぞれ2つのモードにおける
損失係数、ε1 は各モード自身の第2高調波発生に起
因する損失係数、ε、は2つのモード間の和周波発生に
起因する損失係数、βはサチュレーションパラメータ、
G1゜及びQ、。
は夫々2つモードにおける小信号ゲイン、I1 及びI
2 はそれぞれ2つのモードにおける光強度、G1 及
びG2はそれぞれ2つのモードにおけるゲイン、β、2
及びβ2.はそれぞれ2つのモードにおけるクロスサチ
ュレーションパラメータである。
このレート方程式に関連して、共振器における不安定の
原因として多重縦モード間のカップリングが原因である
ことを指摘した論文がある。すなわちrLarge−^
mplitude fluctuations due
 t。
longitudinal mode couplin
g in diode−puaIpedlntraca
vtty−doubled Nd:YAG La5er
s J 、T、Baer著、Journal of [
1ptical 5ociety of Americ
a社発行、Vol、3 、No、9/Septembe
r1986/J、Opt、Soc。
へm、BS第1175頁〜第1180頁には、多重縦モ
ード間のカップリングについてのレート方程式が開示さ
れている。
この論文のレート方程式は2つの固有偏光モードにも同
じように適用し得ると考えられ、かくして当該2つの固
有偏光モードについて(4)弐〜(7)式%式% ところで(4)弐〜(7)式のうち特に(4)式及び(
6)式は2つの固有偏光モードをそれぞれの光強度り及
びhをもつ乗算項(−2ε2III2)を含んでおり、
従って、一般に共振器の内部における2つの固有偏光モ
ードの光強度は互いにカップリングした一状態になる。
因に(4)式及び(6)式は、光強度11(又はlが変
動すれば、これに応じて光強度12(又はI、)が変動
する関係にあることを表している。
ところがこの乗算項一2εx I+ L の係数ε2は
、複屈折性素子(16)の方位角θをθ=45°に選定
したときε2=0になり、これに対して方位角θがθ≠
45°の場合には係数ε2が0以外の値をもつことを以
下に述べるようにして証明でき、この条件の下では、(
4)式及び(6)式のレート方程式から乗算項一26.
1.L を消去できることにより、(4)式及び(6)
式によって表される共振動作を安定化させることができ
ると考えられる。
先ず方位角θがθ≠45°の場合の一般的な条件の一例
として、θ=0°に選定した場合を検討する。
このとき非線形光学結晶素子(6)に入射する光の2つ
の固有偏光の電場ベクトルE+ 及びE2は、第8図に
示すように、非線形光学結晶素子(6)の常光軸0及び
異常光軸eと一致する状態で入射する。
従って1核入射した電場ベクトルE、及びE2を非線形
光学結晶素子(6)の常光軸0をX軸、異常光軸eをy
軸としてジョーンズベクトルによって表せば になる。ここでジョーンズベクトルは、位相項を省略し
て係数のみによって表示することとする。
このようにすると、共振器CAV内の基本波し一ザー光
L A (W)  のパワーの時間平均値P (w) 
 はP (w) =IE+M+lEzM −P t 十P 2          ・・・・(1
0)のように電場の強さEl及びE2 の2乗の和とし
て表すことができる。
ここで(E++Ea)”、E−1E?は(E1+E、)
、E、SE、の共役ベクトルである。
因に(10〉式において時間平均値E−及びElは、乗
算し合う項が強い相関がある値の場合、すなわちE、及
びE、の場合、その時間平均はE、E−= I E、 
I’ミP1   ・・・・(11)E s  E  z
申   た I  Eal’  庄 P、      
 ・・ ・・ (12)になる。これに対して、EIE
、”及びEiEl”の場合は、乗算し合う項によって表
される電場E+ 及びE2 は互いに直交する2つの固
有偏光モードそれぞれの電場成分であり、さらにその2
モ一ド間での位を目関係に相関のないランダム偏光のた
めに互いに相関がなくなり、その結果時間的平均値はE
lEz  =0         ・・・・(13)E
 2 E t・ =0        ・・・・(14
)のように0になる。
次に第2高調波レーザー光LA(211)の電場E(1
w)は、タイプ■の位相整合の場合、次式 %式%(15) によって表すことができる。ここでdは非線形光学結晶
素子(6)の非線形変換効率である。
そして第2高調波レーザー光LA(ay)のパワーの時
間平均値P(fill)は =” l  El +21 E2+2 = d2P、p、         ・・・・(16)
のように2つの固有偏光のパワーP1 及びP、の積に
よって表すことができる。この場合にも〈11〉弐〜(
14)式の関係が戒り立つ。
かくして方位角θがθ=0°の場合の共振器のパワーは
、(10)式について表される基本波レーザー光L A
 (w)  についてのパワーP 1+ P 2  と
、(16)式によって表される第2高調波レーザー光L
A(2111)のパワーdad1F2 との和になる。
この関係を(4)及び(6)式と比較すると、(4)式
及び(6)式における光強度11及び工2 は、(10
)式及び(16〉式のパワーP1 及びP2 と同じ意
味をもっており、(4)式は光強度りの項[すなわち(
G1−α、)1.]と、II2の項(すなわち−ε11
I”)と、11及び工2の乗算項(すなわち−2ε2I
、I2)とを含み、また(6)式はI2 の項(すなわ
ちε、I!”)と、II I2の乗算項(すなわち−2
ε2IILdとを含んでいる。
そこで(4)式及び(6)式の和においてG1をε、=
0に設定したとき、(4)式及び(6)式の和は、(1
0)式及び(16〉式の和と同じ項をもつことになるこ
とが分かる。
このことは、複屈折性素子(7)の方位角θをθ=0°
に設定することは、(4)弐及び(6)式の一般式にお
いて定数61をε、=0に設定したことと等価になるこ
とを意味している。しかしこのように、方位角θをθ=
0°に選定したとき、2つの基本波モードそれぞれの光
強度11 及びI2の乗算項一2ε2 I−Lはε、≠
0であるので消去できず、従ってこの方位角θ=0°の
とき(4)式及び(6)式のレート方程式によって表さ
れる共振器の共振動作は安定化できないことになる。
次に第11WJの固体レーザー共振器において、複屈折
性素子(16)の方位角θをθ=45°に設定すると、
このことは、第18図に示すように、共振器内の基本波
レーザー光L A (w、  の固有偏光E+ 及びE
2が、非線形光学結晶素子(6)の常光軸0及び異常光
軸eに対してθ=45°だけ回転した方位角位置に設定
されることを意味する。このことは以下に述べる関係か
ら(47)式によって証明される。
その結果固有ベクトルE1 及びE2 は次式のような
ジョーンズベクトルによって表すことができる。
そこで共振器CAVの基本波レーザー光LA(、。
のパワーP (w)  の時間平均値P (w)  は
、(10〉弐〜(14)式について上述したと同様にし
てPtwt  = (E++E2)(E+十Ea)”=
 Et E 1”十E2 E z’″+E+ E 、”
+ E2 El=  El  ”+  E2  ” =P++Pa          ・・・・(19)の
ように表すことができる。
これに対してタイプ■の位相整合条件の下に発生する第
2高調波レーザー光LA(mW)の電場EBw)は常光
軸0及び異常光軸eの成分を基準にして次式 = −d (E+2十E2’)・・・・(20〉2 になる。
この(20)式から第2高調波レーザー光LA(2w)
のパワーP (zw)の時間平均値P(2’l)は= 
  a”(E+  4+   E24) のように表すことかできる。ここで、 E、”El” = l E、l’−P、2E22E2”
″” = I E21’xpi’E 1” E z” 
= O E2’E+” =0 である。
・・・・(21) ・・・・(22) ・・・・(23) ・・・・(24) ・・・・(25) 互いに強い相関をもつEl 及びEls並びにE2及び
Elを乗算した式をもっているので、その時間平均値は
0にならずにパワーPl 及びP2 の2乗になる。
これに対して、電場E、SE、”及びE2 、E I”
は互いに直交する2つの固有偏光モードの各々の電場成
分であり、さらにその2モ一ド間での位相関係に相関の
ないランダム偏光のために互いに相関がないことに基づ
いて、E I ” E 2”2の項及びEl2 E 、
11+2 の項の時間平均値は0になる。
このように、複屈折性素子(16)の方位角θをθ=4
5°に設定したときの基本波レーザー光LA(−)のパ
ワーP (V)  の時間平均値P (11)  ((
19)式)と、第2高調波レーザー光LA(2w)のパ
ワーP(2111)のの時間平均値P (211) (
(21)式)の和を(4)式及び(6)式の和と比較し
てみると、(4)式及び(6)式において光強度11 
及びI2の乗算項の係数ε、をε、=0と置いたとき(
19)弐及び(20)式の和の各項が(4)式及び(6
)式の和の各項と1対1の関係で対応することが分かる
このことは、第11図の複屈折性素子(16)の方位角
θをθ=45°に設定したことは、一般式として表され
ている(4)弐及び(6)式において係数ε2をε2=
0と置いたことと等価であることを意味している。そし
てこのような条件を設定できれば、(4)式及び(6)
式において2つの基本波モードそれぞれの光強度り及び
工2 との積で表される項が生じないようなレート方程
式で表される共振状態が得られることにより、2つの基
本波モードそれぞれの光強度工、及び12間の第2高調
波発生を通じてのエネルギーの授受を生じさせないよう
にでき、かくして基本波レーザー光L A (w)  
に従って第2高調波レーザー光LA(21)を安定化す
ることができると考えられる。
このような条件は、複屈折性素子(16〉として、方位
角θがθ=45°でありかつ光が通過する際に生ずる位
相量ΔがΔ=90°であるものを選定することにより成
り立たせることができる。
すなわち第19図に示すように、基本波レーザー光L 
A (w)  が非線形光学結晶素子(6)を通過する
際に複屈折によって位相量δだけ位相がずれるとすれば
当該偏光状態は次式 %式%(26 のようにジョーンズマトリクスC(δ)によって表すこ
とができる。
また複屈折性素子(16)を方位角θだけ回転させたこ
とにより基本波レーザー光LA(v)  が受ける偏光
状態は次式 %式%(27 のようにジョーンズマトリクスR(θ)として表シこと
ができる。
さらに複屈折性素子(16)によって基本波レーザー光
LA(w)  が位相量Δだけ旋光されるような偏光状
態を次式 ・・・・(28) のようにジョンズマトリクスC(Δ)によって表すこと
ができる。
そこでレーザーロッド(4)から射出した基本波レーザ
ー光LA(w)  が順次非線形光学結晶素子(6)、
複屈折性素子(16)を通って凹面鏡(3)の入射面に
入射し、当該入射面によって反射されて再度複屈折性素
子(16)、非線形光学結晶素子(6)を通ってレーザ
ーロッド(4)側に射出するまでの偏光状態の変化は次
式 %式%)() (29) で表されるジョーンズマトリクスMによって表現し得る
(29〉式に〈26〉弐〜(28〉式を代入すれば、当
該光学系の偏光状態を表すマトリクスMは次式%式%(
30 ここで(29)式の右辺第2項〜第5項のジョーンズマ
トリクスをマトリクスM1として演算すれば、M1=R
(θ)C(Δ)C(Δ)R(−〇)=R(θ)C(2Δ
)R(−〇) ・・・・(31) になり、この演算結果を(29)式に代入すれば、M=
C(δ〉 ・Ml・C(δ) ・・・・(32〉 が得られる。
ここで偏光状態を表すマトリクスMを と置き、固有ベクトルXに対する固有値λを求める。
MX= λX を満足する固有値λは、次式、 ・・・・(34) で表される行列式を満足するはずであるから、これを開
けば (A−λ)(D−λ)−BC=0   ・・・・(36
)λ’−(A十〇)λ+AD−BC=0 ・・・・(37) のようにλについての2次方程式を解けば良いこ・・・
・(38) になる。
ここでA+Dは(32)式及び(33)式よりA 十D
 =exp(iδ) (cosΔ+1sinΔC082
θ)+exp(−i  δ)(cosΔ−1sinΔC
082θン=2CO8acosA +1sinΔcos2θ(2isinδ)= ’l (
cosδcosΔ−5inδsinΔCO52θ)・・
・・(39〉 のように整理し得、またAD−BCは次式%式% (40 のように整理し得る。
そこで(39)弐及び(40)式を(38)式に代入す
れば、固有値λは λ= −(cos a cosΔ−5inδsinΔc
os2θ)・・・・(41) になる。
そこで固有ベクトルXはそのxt分をx=1と置けば、
次式のように表すことができる。
ところで第11!!lの固体レーザー発振器において複
屈折性素子(16)の方位角θはθ=45°に選定され
、かつ複屈折性素子(16〉の位相角ΔはΔ=9o°に
選定されている。
そこで(32〉式及び(33)式に θ=45°           ・・・・〈43)Δ
=90°           ・・・・(44)を代
入すると、偏光状態を表すマトリクスMはになると共に
、固有値λは(41)式からλ=±i        
   ・・・・(46)になり、結局固有ベクトルXは として求めることができる。
このような結果から、 (43)弐及び(44)式につ
いて上述したように、方位角θをθ=45°に設定し、
しかもその位相量ΔをΔ=90°に設定すれば、このこ
とは、共振器CAV内の基本波レーザー光LA(w) 
 の固有偏光ベクトルEl 及びE、が、非線形光学結
晶素子(6)にレーザー媒質2側から入射する時、非線
形光学結晶素子(6)の常光軸O及び異常光軸eに対し
て45°だけ回転した方位に設定されることを意味する
以上のように理論的に検討した結果、複屈折性素子(1
6〉の方位角θをθ=45°に特定したことにより共振
器CAVの基本波レーザー光LA(w)  従って第2
高調波レーザー光LA(zw)を安定化し得ることが分
かる。
D 発明が解決しようとする課題 ところで、上述した、第11図の従来の固体レーザー発
振器は、キャビティ間に新たな素子(3311図におけ
る複屈折性素子(16))を加えることになるので、そ
のために変換効率が低下する可能性が大と戒り、又、複
屈折性素子の方位の調整の必要性が有り、縦マルチモー
ド発振時に不安定な動作となる。
かかる点に鑑み、本発明は、モードを異にする第1及び
第2のレーザービームをレーザー媒質中で空間的に分離
して発振できるようにすると共に、小型化が容易で、且
つ、大出力のレーザー光源を得ることのできる固体レー
ザー発振器を提案しようとするものである。
E !!題を解決するための手段 本発明は、モードを異にする第1及び第2のレーザービ
ームを出射するレーザー媒質(4a)、 (4b)と、
そのレーザー媒質(4a)、 (4b) からの第1及
び第2のレーザービームが入射して、その各周波数の和
又は差の周波数の出力レーザービームを出射する非線形
光学素子(6)とを備えた光共振器(3a)。
(3b)、 (3c) を有する固体レーザー発振器に
おいて、第1及び第2のレーザービームを空間的に分離
する光学的分離手段(5)を設けたものである。
F 作用 上述せる本発明によれば、レーザー媒質(4a)。
(4b)がモードと異にする第1及び第2のレーザービ
ームを出射し、そのレーザー媒質(4a)、 (4b)
からの第1及び第2のレーザービームが入射して、その
各周波数の和又は差の周波数の出力レーザービームを非
線形光学素子(6)が出射すると共に、光学的分離手段
(5)が第1及び第2のレーザービームを空間的に分離
する。
G 実施例 G、実施例1 以下に、第1図を参照して本発明の実施例1を説明する
が、その説明を行う前に、先ず、第21!IA及びBを
参照して、本発明の前提となる原理について簡単に説明
する。
第2図に本発明の前提となる原理を示す。先ず、第2図
Aは、レーザーロッド(4)で光ポンピングによって、
基本波(その波長は1064flffl )が出力され
た状態を示し、(6)はKTPから戒る非線形光学素子
で、凹面鏡(尚、その曲面はグイクロイックミラーとな
っている)(3)の曲率中心が、図に示す如く、その内
部に置かれるように配置されている。
第2図Bは、!2t!IAに示すような状態での非線形
光学結晶素子(6)に入射する基本波の常光成分I0及
び異常光成分■、の電気ベクトルo、eを示す図である
この第2図A及びBから明らかなように、これら二つの
光線1.及び工。は、基本波の進行方向に対し垂直な面
内において、互に直角方向に振動する。尚、0及びeは
結晶軸を示す。
ここで、例えばレーザーロッド(4)の右側端、即ち、
前端面が蒸着処理によって、グイクロイックミラーが形
成されていた場合を考えてみると、このときの出力レー
ザー光(第2次高調波)の出力をI2wとすると次のよ
うな式が威り立つ(式(3)参照)。
I!、=d”I。■、      ・・・・(48)尚
、dは電束密度である。
即ち、1.及び1.の2つの成分、即ち、2つの偏光モ
ードp及びSがキャビティ内でモード競合、即ち、発振
モード間に互いに他のモードの発振を抑圧する方向に働
く相互作用が発生し、これによって、出力レーザー光の
出力I2wが不安定となる。
しかしながら、2つの偏光モードp及びSを結晶軸0及
びSによらずに空間的に分離するようにすれば、2つの
偏光モードpとSのモード間競合を避けることができる
。又、同一偏光モード内の縦マルチモード間にも、第2
高調波発生を通じての損失のカップリングがない。これ
は、式(48)から明らかなように、同一偏光モードで
の縦モードの強度積はI2Wに寄与しないからで、従っ
て、縦モード競合の影響を受けない。
さて、上述のように、2つの偏光モードpとSを空間的
に分離するようにした実施例1を第1図を参照して説明
する。
第1図において、矢印で示すpは、p方向の偏光を示し
、円で示すSは、S方向の偏光を示しく紙面に対して垂
直方向〉、矢印で示す0は、結晶軸である。
(la)、 (lb)はレーザーダイオードである。(
2a)。
(2b)は対物レンズ(凸レンズ〉で、その焦点は夫々
Nd:YAGからなるレーザーロッド(4a)、 (4
b)に合わされている。(3a)、 (3b)及び(3
C〉は凹面鏡で、共にグイクロイック凹面ミラーである
(5)は偏光ビームスプリッタである。この偏光ビーム
スプリッタ(5)は、p方向の偏光に対しては略100
%の透過率を有し、S方向の偏光に対しては略100%
の反射率を有する。又、(6)はKTPから戒る非線形
光学結晶素子である。
このような偏光ビームスプリッタ(5)を配することに
より、凹面鏡(3a)及び(3c)間並びに(3b)及
び(3C)間で夫々、p偏光モード及びS偏光モードが
発振する。
このとき共振器内の非線形光学結晶素子(6)の0軸或
いはe軸をp又はS方向の偏光に平行と戒るように配す
ると、レーザー光の出力は式(48〉で示す如く威る。
かかる固体レーザー発振器では、レーザーダイオード(
la)からのレーザー光は、対物レンズ(凸レンズ) 
(2a)によって集光せしめられ、このポンピング用レ
ーザー光が、凹面鏡(3a)を通過して、レーザーロッ
ド(4a〉内に焦点を結ぶように入射し、これによって
、レーザーロッド(4a)からp偏光の基本波レーザー
光が発生して、これが偏光ビームスプリッタ(5)を通
じて、非線形光学結晶素子(6)に入射し、その際、こ
の非線形光学結晶素子(6)で第2高調波光が発生し、
この第2高調波光が凹面鏡(3C)に入射し、ここで反
射し、その反射光が、非線形光学結晶素子(6)、偏光
ビームスプリッタ(5)、レーザーロッド(4a)を通
過して、凹面鏡(3a)に入射し、これが繰り返される
ことにより、所定の光出力のp偏光の第2高調波光が得
られ、その一部の光が出力光として、凹面鏡(3c)を
通過して出力される。
同様に、レーザーダイオード〈1b〉からのレーザー光
は、対物レンズ(凸レンズ) (2b)によって集光せ
しめられ、このポンピング用レーザー光が、凹面鏡(3
b〉を通過して、レーザーロッド(4b)内に焦点を結
ぶように入射し、これによって、レーザーロッド〈4b
〉から、S偏光の基本波レーザー光が発生し、これが偏
光ビームスプリッタ(5)で反射されて、その進行方向
が90°偏光せしめられた後、非線形光学結晶素子(6
)に入射し、その際、この非線形光学結晶素子(6)で
第2高調波光が発生し、この第2高調波光が凹面鏡(3
C)に入射し、ここで反射し、その反射光が、非線形光
学結晶素子(6)、偏光ビームスプリッタ(5)、レー
ザーロッド(4b)を通過して、凹面鏡(3b)に入射
し、これが繰り返されることにより、所定の光出力のS
偏光の第2高調波が得られ、その一部の光が出力光とし
て、凹面鏡(3C〉を通過して出力される。
かくして、2つの異なる偏光モードの光が2つの異なる
ゲイン領域で発振するため、モード間の競合が発生せず
、安定した出力が得られ、更に、半導体レーザー(レー
ザーダイオード) (’la)、 (lb)で励起する
場合、2か所で励起できるので、第2図Bについて示し
た電気ベクトルI0及び!、は2倍と威るので、結果と
して4倍の光ビーム出力が得られる。
G2実施例2 次に、第3図を参照して本発明の実施例2を説明する。
この第3図の実施例では、レーザーダイオード(la)
、 (lb)からのレーザー光は、凸レンズ(2a)、
 (2b) 及びグイクロイックミラーと成っている凹
面鏡(7a)を通じて、レーザーロッド(4)に入射せ
しめられる。(8)はウオーラストンプリズムで、入射
光をp偏光及びS偏光に分離する。(6)は非線形光学
結晶素子、(7b〉は(7a)と同じ凹面鏡である。
上述のような構成であれば、p及びSの2つの偏光を空
間的に分離することができる。そして、凹面鏡(7a〉
の曲率中心にウオーラストンプリズム(8)を置くこと
により、2枚の凹面鏡(7a)、 (7b)  だけで
、p、sの二つのモードを同時に発振させることができ
る。
G3実施例3 第4図の実施例3では、第3図の実施例2において、レ
ーザーダイオード(la)、 (lb)  からのレー
ザー光をオプチカルファイバ(9a)、 (9b)  
i;: 夫々入射させ、その出力光を対物レンズ(2c
)で集光して、凹面鏡(7)を通過してレーザーロッド
(4)に入射して、励起するようにした場合である。
G4実施例4 第5図Aの実施例4では、第3図の実施例2において、
2ビームレーザーダイオード(10)からのレーザー光
を対物レンズ(2)によって集光して、夫々レーザーロ
ッド(4)に入射させるようにした場合である。
G、実施例5 第5図Bの実施例5は、第3図の実施例2において、2
ビームレーザーダイオード(10)からのレーザー光を
グイクロイックミラーDが形成されたレーザーロッド(
4)の曲面を通じて入射させるようにした場合である。
又、図示は省略したが、楕円ビーム(シリンドリカルレ
ンズを用いている)により、同時に励起する方法もある
尚、上述の例ではp及びSの二つの偏光モードが平行と
したが、二つのモードがオーバーラツプしていれば、こ
れら2つの偏光モードが平行となる必要はない。
G6実施例6 第6図の実施例6では、第3図の実施例2において、非
線形光学結晶素子(6)を凹面鏡(7a〉の曲率中心付
近に置くことによって、二つのビームはここで交わるた
めに、ノンコリニアな位相整合を可能とした場合である
G、実施例7 第7図はの実施例7は、第3図の実施例2において、コ
ア径50μm1クラツド径125μmのオプチカルファ
イバー2本、凸レンズ(2)、凹面鏡(7a)。
(7b)、レーザーロッド(4)、非線形光学結晶素子
(6)、ウオーラストンプリズム(8)を用いた例であ
る。第7図Aは、その共振器の一部を示し、凹面鏡(7
a)の曲率半径をR1とし、凹面鏡(7b)の曲率半径
をR2とし、凹面鏡(7a)及び(7b)間をL、ウオ
ーラストンプリズム(8)の中心及び凹面鏡(7b)の
曲率中心間をLw とする。このとき、ウオーラストン
プリズム(8)の分離角を01とすると、ウオーラスト
ンプリズム(8)により、凹面鏡(7b)の曲率中心は
仮想的にシフトする。即ち、Δ。=L、θ、となる。
このΔ0だけシフトした点と、凹面鏡(7a)の曲率中
心を結ぶ線上でp又はS偏光が発振する。従って、この
凹面鏡(7a)の上でのビームセパレーションΔ1 は
、次の式で表すことができる。
・・・・(49) 従って、コア径50μm1クラツド径125μmのファ
イバからのビームを倍率2.7倍の光学系で結像すると
、第7図に示すようにビームセパレーションΔ+=17
0μmのシステムが得られる。このとき、凹面鏡(7a
)、 (7b)の曲率半径を20品、凹面鏡(7a)及
び(7b)間を30mm 、ウオーラストンプリズム(
8)の中心及び凹面鏡(7b〉の曲率中心間を15mm
とすると、(49)式より、必要な分離角は、0w =
5.6mradであるので、水晶を用いたウオーラスト
ンプリズムを使用することにより、充分行うことができ
る。
又、凹面鏡(7a)上でのガウシアンビームのビーム半
径は略110μmで、2つのモード(p及びS〉が充分
に分離されることがわかる。
GI実施例8 第8図A−Cは、実施例8〜10のp及びSの偏光モー
ドを分離する例を示している。
第8図Aにおいて、(11)はサーバルプレートでこの
サーバルプレー) (11)は、互に直交する偏光成分
の間に位相差は与えず、横すらしだけを与える。従って
、第8図Aに示すように、入射されたS及びp偏光は、
分離されて出力される。
第8図Bは、非線形光学結晶素子(6)のウオークオフ
W0 を利用した例である。
第8図Cは、非線形光学結晶素子(13)の屈折率差を
用いた例で、図に示す如く、入射光に対し、出射光はp
及びS偏光に分離している。
G、実施例11〜12 第9図A−Cは、実施例11〜12の共振器を示す。
第91!IAは、ハイブリッド構造による共振器を示し
、レーザーロッド(4)及び非線形光学結晶素子(6)
を夫々斜に研磨し接合すると共に、図に示すように、夫
々に端面にグイクロイックミラーMI 及びM、を蒸着
することによって、共振器を得る。
ここで、斜め研磨した研磨角をψとするとレーザーロッ
ド(4)でのグイクロイックミラーM+ でのセパレー
ションΔは非線形光学結晶素子(6)のZ軸を紙面に対
し、垂直とすれば、 n、sinψ= nvhr、Sjnθ、      ・
・−(50)nX、sinψ” nyAc  S1nθ
2     ・・・・(51)上式(50)、  (5
1)から、 Δ=LYAG (θ2−θ1)      ・・・・(
52)と威る。従って、例えばψが略15°でLYAG
が7mmのときにΔはΔ〜100μmと戊り、充分なセ
パレーションが得られる。
又、第9図Bに示すように、2ビームレーザーダイオー
ド(10)と組み合わせると更にコンパクトと戒る。
又、上述の例ではレーザー媒質としてYAGから戒るレ
ーザーロッドを挙げているが、例えばNd :YLF 
(ネオジウム・イルフ・イツトリウム・リチウム・フロ
ライド)等でも良い。又、このNd:YLF等、直線偏
光で発振する場合は、第9図Cに示すように、媒質(1
4〉の結晶軸が互に直交するように配置すればよい。
上述の例においては、半導体レーザーによるエンドポン
プ法を行っているが、これはランプポンプでも、サイド
ポンプでも良い。
又、非線形光学結晶素子として、KTPを上げているが
、p及びSの2つの偏光モードの和周波で発生する素子
であればよい。ここで、波数ベクトル し く尚、W+ 及びW2 は基本波の角周波数である。
又これらW、及びW2 は、必ずしも同一である必要は
ない)又、結晶によってはK O””” = K@”+
 K 、W 2と威るものもある。
尚、上述から明らかなように、2つの偏光モードを空間
的に分離することによって、モード間の競合がなくなる
。又、縦モード競合の影響を受けない。更に、ノンコリ
ニアな位相整合が可能となり、又、二つの異なる波長の
和、差周波成分をもたせることが可能となる。
H発明の効果 上述せる本発明によれば、モードを異にする第1及び第
2のレーザービームを出射するレーザー媒質と、そのレ
ーザー媒質からの第1及び第2のレーザービームが入射
して、その各周波数の和又は差の周波数の出力レーザー
ビームを出射する非線形光学素子とを備えた光共振器を
有する固体レーザー発振器において、第1及び第2のレ
ーザービームを空間的に分離する光学的分離手段を設け
たことにより、モードを異にする第1及び第2のレーザ
ービームをレーザー媒質中で空間的に分離して発振でき
るようにすると共に小型化が容易で、且つ、大出力の固
体レーザー発振器を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は実施例を示す配置図、第2図は偏光の原理を示
す図、第3図〜第9図は他の実施例を示す配置図、第1
0図及び第11図は従来例を示す配置図、第12図はそ
の複屈折性素子の方位角の説明に供する路線図、第13
図〜第16図は実験結果を示す曲線図、第17図及び第
18図は夫々方位角θをθ=0°及びθ=45°に設定
した場合の固有偏光の状態を示す路線図、第19図は共
振器における基本波レーザー光の偏光状態の説明に供す
る路線図である。 (la)、 (lb)  はレーザーダイオード、(2
a)、 (2b)。 (2)は凸レンズ、(3a)、 (3b)、 (3c)
、 (3)は凹面鏡、(4a) 、  (4b) 、 
(4)はレーザー0−7ド、(5)は偏光ビームスプリ
フタ、(6)は非線形光学結晶素子、(7a)。 (7b)、(7)は凹面鏡、(8)はウオーラストンプ
リズム、(9a)、  (9b)は7フイバ、(10)
は2ビームレーザーダイオード、(11)はサーバルプ
レート、(14〉は非線形光学結晶素子である。 代 理 人 松 隈 秀 盛 1゜ 偏光t>、!、qti、1図 θ=o’nときのレーザ旭 第13図 −452− 第1z図 1 f[MHzコ θ=45°のときのスペクトラム 第16図 第19図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. モードを異にする第1及び第2のレーザービームを出射
    するレーザー媒質と、該レーザー媒質からの第1及び第
    2のレーザービームが入射して、その各周波数の和又は
    差の周波数の出力レーザービームを出射する非線形光学
    素子とを備えた光共振器を有する固体レーザー発振器に
    おいて、上記第1及び第2のレーザービームを空間的に
    分離する光学的分離手段を設けたことを特徴とする固体
    レーザー発振器。
JP5441990A 1990-03-06 1990-03-06 固体レーザー発振器 Pending JPH03256383A (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020008657A (ja) * 2018-07-05 2020-01-16 信弘 梅村 レーザ発生装置

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