JP3251873B2 - レーザ増幅装置 - Google Patents

レーザ増幅装置

Info

Publication number
JP3251873B2
JP3251873B2 JP1579897A JP1579897A JP3251873B2 JP 3251873 B2 JP3251873 B2 JP 3251873B2 JP 1579897 A JP1579897 A JP 1579897A JP 1579897 A JP1579897 A JP 1579897A JP 3251873 B2 JP3251873 B2 JP 3251873B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser
light
polarization
beam splitter
dye
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP1579897A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH10215018A (ja
Inventor
達樹 岡本
行雄 佐藤
一郎 小林
修一 藤田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP1579897A priority Critical patent/JP3251873B2/ja
Publication of JPH10215018A publication Critical patent/JPH10215018A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3251873B2 publication Critical patent/JP3251873B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、励起光によって
励起されレーザ光を増幅する定常的レーザ増幅装置に関
するものである。
【0002】
【従来の技術】図23は従来のレーザ増幅装置の一例と
してあげた、例えば OPTICS COMMUNICATION 1986年,Vo
lume 60,number 5,309ページに記載された色素レーザ
増幅装置の構成図であり、レーザ光が励起領域を2回通
過する構成の例である。図において、1は色素レーザ入
射光D1と色素レーザ出射光(即ち増幅光)D2を分離す
る偏光ビームスプリッタ、4は偏光回転素子、5はレー
ザ媒質である色素溶液6を収納する色素セル、Pは励起
光、7は励起領域8を形成するスリット、9はレーザ光
を再び励起領域に戻すための全反射鏡、13および14
はレーザ光Dを励起領域に収束させるための第1のレン
ズおよび第2のレンズである。
【0003】次に動作について説明する。透明な色素セ
ル5には、色素レーザ媒体である色素溶液6が封入ある
いは循環されている。この色素セル5のスリット7中に
励起光Pが照射されると、色素溶液6内の色素分子が光
を吸収し励起され、色素セル5のスリット7中に励起領
域8を形成する。一方、色素レーザ入射光D1 は、偏光
ビームスプリッタ1を透過する方向の直線偏光で入射さ
れ、第1のパスP1 の方向に進み、第1のレンズ13に
よって収束され、色素セル5のスリット7中に形成され
た励起領域8を通過することによって利得を得る。利得
を得た色素レーザ光は、第2のレンズ14でコリメート
され、偏光回転素子4によって円偏光に変換され、全反
射鏡9でほぼ同軸上に反射される。全反射鏡9で反射さ
れた色素レーザ光は、偏光の回転方向が逆転され、再び
偏光回転素子4に入射される。偏光回転素子4では、逆
転された円偏光のレーザ光の偏光を色素レーザ入射光D
1の偏光方向と直交する方向の直線偏光に変換し、第2
のレンズで収束され、再び励起領域8を通過し、2度目
の利得を得る。2度目の利得を得た色素レーザ光は、第
1のレンズ13でコリメートされた後、偏光ビームスプ
リッタ1によって反射され第2のパスP2方向に進み、
色素レーザ入射光D1の光軸と分離され、色素レーザ増
幅光D2が得られる。
【0004】また、図24は従来のレーザ増幅装置の他
の例としてあげた、例えば特開平7−142799号公
報に記載されたレーザビーム再生増幅装置の構成図であ
り、レーザ光が励起領域を多数回通過する構成の例であ
る。図において、1はレーザ入射光D1 とレーザ出射光
2 を分離する第1の偏光ビームスプリッタ、Pは励起
光、31,32は共振器鏡、33は利得媒質、34はレ
ーザ増幅光D2 の波長を分散するプリズム、35は分散
された波長のうち所定の波長のみを選択通過させるスリ
ット、36は発散する増幅光を平行光線にするためのプ
リズムであり、プリズム34とスリット35とプリズム
36とにより波長選択手段37が構成される。38はレ
ーザ光Dの偏光を90°回転させるためのλ/2波長
板、39は電圧を印加させてレーザ光Dの偏光を回転さ
せるポッケルスセルである。
【0005】次に動作について説明する。このレーザビ
ーム再生増幅装置では、励起光Pにより利得媒質33を
励起し、利得媒質33に励起領域を形成する。レーザ入
射光D1 はS偏光した短パルスビームで光合成手段とし
ての第1の偏光ビームスプリッタ1で反射された後、電
圧が印加されない状態のポッケルスセル39を通過し、
利得媒質33を通過し増幅される。この増幅された増幅
光の偏光状態はλ/2波長板38によりS偏光からP偏
光に変わり第2の偏光ビームスプリッタ3を通過する。
この増幅光は、プリズム34により波長が分散され、分
散された波長のうちの所定の波長領域のみがスリット3
5により選択される。この選択された所定の波長の増幅
光はスリット35通過後プリズム36により集光され平
行光線となり、共振器鏡32により反射される。反射さ
れた増幅光はプリズム36、スリット35、プリズム3
4を順次通過し、λ/2波長板38によりP偏光からS
偏光に変わり、利得媒質33で再度増幅される。ここ
で、ポッケルスセル39に電圧を印加させてλ/2の位
相遅れを生じさせることにより増幅光をS偏光からP偏
光に変化させる。その後、この増幅光は第1の偏光ビー
ムスプリッタ1を通過し共振器鏡31で反射され、再度
第1の偏光ビームスプリッタ1を通過しポッケルスセル
39によりP偏光からS偏光に変更状態が変わる。この
ように、レーザ入射光D1 は共振器鏡31、32間を往
復する間に利得媒質33により増幅される。十分増幅さ
れた増幅光は第1の偏光ビームスプリッタ6を通過した
後ポッケルスセル39に入射するが、ここで、ポッケル
スセル39の電圧を0にしておけば通過後の位相遅れが
ないようにすることができる。このときの増幅光の偏光
状態はP偏光であるから、利得媒質33で増幅された後
にλ/2波長板38でS偏光に変えられ、第2の偏光ビ
ームスプリッタ2により反射されレーザ増幅光D2とし
て取り出される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】図23に示す従来のレ
ーザ増幅装置は以上の様に構成されており、レーザ光が
励起領域を2回通過する構成では、励起領域に蓄えられ
たエネルギーを十分にレーザ光の増幅に用いることがで
きず、励起光からレーザ増幅光への変換効率が低く、増
幅倍率が小さいという問題があった。さらに、励起領域
に蓄えられたエネルギーがレーザ光の増幅に使われず、
自然放出の増幅光(ASE:Amplified Spontaneous Em
ission)の発生割合が大きくなり、レーザ増幅光のビー
ム品質を劣化させるという問題があった。また、図24
に示すレーザ光が励起領域を多数回通過する構成では、
共振器鏡を用いてレーザ光を共振させるため、レーザ入
射光の縦モード間隔と共振モード間隔を一致させる必要
があり、さらに、共振器間で新たに発振するレーザ光を
抑制するための波長選択手段が必要になり、装置が複雑
になり、さらに増幅できるレーザ光のパスル幅が共振器
間を光が1往復する時間よりも短いという制限があるな
どの問題があった。
【0007】この発明はかかる問題点を解消するために
なされたもので、励起光からレーザ増幅光への変換効率
を増大させてASEの発生を抑制し、大きな増幅倍率が
得られ、ASEの発生が小さなレーザ増幅装置を提供す
ることを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】この発明のレーザ増幅装
置の第1の構成は、レーザ媒質に励起光を照射して上記
レーザ媒質を励起することにより上記レーザ媒質に励起
領域を形成するとともに、上記励起領域にレーザ光を入
射させ、上記レーザ光の増幅を行うレーザ増幅装置にお
いて、上記レーザ媒質のレーザ光の光軸に沿う壁面を上
記レーザ光の光軸に対して角度θ d だけ傾け、上記角度
θ d は上記レーザ光の幅をW d とし、励起領域のレーザ
光に沿う方向の長さをd p とした時、sinθ d = w d
/d p となる大きさとしたものである。
【0009】また、この発明のレーザ増幅装置の第2の
構成は、第1の構成において、上記レーザ光の入射光と
出射される増幅光とを分離する光分離手段と、偏光回転
素子と偏光ビームスプリッタを用い、上記レーザ光を上
記励起領域を通過して往復または旋回させる光路を有
し、上記レーザ光を上記励起領域を3回以上通過させる
光合成分離手段とを備えたものである。
【0010】また、この発明のレーザ増幅装置の第3の
構成は、第2の構成において、上記光分離手段の偏光回
転素子としてファラディローテータを用い、上記光合成
分離手段の偏光回転素子としてλ/4波長、λ/2波長
板またはファラディローテータを用いたものである。
【0011】また、この発明のレーザ増幅装置の第4の
構成は、第または第3の構成において、上記光分離手
段を、レーザ入射光とレーザ増幅光を分離する第1の偏
光ビームスプリッタと、上記レーザ入射光と上記レーザ
増幅光の偏光方向を直交させるファラディローテータと
で構成し、上記光合成分離手段を、上記レーザ入射光お
よびこれと偏光方向が同じレーザ増幅光を透過(または
反射)する第2の偏光ビームスプリッタと、上記第2の
偏光ビームスプリッタを経て上記励起領域を通過した上
記レーザ光を上記レーザ光とほぼ同軸上に反射する第1
の全反射鏡と、上記レーザ光の光軸および上記第1の全
反射鏡で反射されたレーザ光の光軸上、上記第2の偏光
ビームスプリッタと第1の全反射鏡間に配置された偏光
回転素子と、上記第2の偏光ビームスプリッタで反射
(または透過)されたレーザ光をこの反射(または透
過)されたレーザ光とほぼ同軸上に反射させる第2の全
反射鏡とで構成したものである。
【0012】また、この発明の第5の構成は、第2また
は第3の構成において、上記光分離手段を、レーザ入射
光とレーザ増幅光を分離する第1の偏光ビームスプリッ
タと、上記レーザ入射光と上記レーザ増幅光の偏光方向
を直交させるファラディローテータとで構成し、上記光
合成分離手段を、上記レーザ入射光とこれと偏光方向が
同じレーザ増幅光を透過(または反射)する第2の偏光
ビームスプリッタと、上記第2の偏光ビームスプリッタ
を経て上記励起領域を通過したレーザ光を反射して上記
第2の偏光ビームスプリッタに戻す2枚以上の第1の全
反射鏡と、上記レーザ光の光軸上に配置された偏光回転
素子と、上記第2の偏光ビームスプリッタで透過(また
は反射)されたレーザ光をこれとほぼ同軸上に反射させ
る第2の全反射鏡とで構成したものである。
【0013】
【0014】
【0015】
【0016】
【0017】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.以下、この発明のレーザ増幅装置につい
て実施の形態に基づき具体的に説明する。図1はこの発
明の実施の形態1による定常的レーザ増幅装置としての
色素レーザ増幅装置を示す構成図である。図において、
Sは光分離手段、Mは光合成分離手段、5は色素セル、
6は色素溶液、7はスリット、8は励起領域、D1 は色
素レーザ入射光、D2は色素レーザ増幅光、P1は第1の
パス、P2は第2のパス、P3は第3のパス、P4は第4
のパス、Pは励起光である。
【0018】次に動作について説明する。透明な色素セ
ル5は例えば石英、光学ガラス、サファイアなどの色素
レーザ光Dおよび励起光Pに対して光学的に透明な材質
で構成されており、レーザ媒質である色素溶液6はシー
リングされた色素セル5のスリット7中に封入されてい
るか、もしくは循環している。例えば、ネオジウム固体
レーザの第2高調波、銅蒸気レーザ、エキシマレーザな
どの励起光Pを色素セル5中の色素溶液6に入射する
と、この励起光Pにより、色素溶液内の色素分子が光を
吸収し励起され、色素セル5のスリット7の内側に沿っ
て励起領域を形成する。一方、色素レーザ入射光D
1 は、光分離手段Sおよび光合成分離手段Mを経て色素
セル5内のスリット7の励起領域8を通過し利得を得
る。励起領域8を通過し利得を得た色素レーザ光Dは、
光合成分離手段Mにより色素レーザ入射光D1 と分離ま
たは合成され、再び励起領域8を通過し利得を得、光合
成分離手段Mによって再び色素レーザ入射光D1 と分離
または合成され、4たび励起領域8を通過し利得を得
る。このようにして、3回以上励起領域8を通過した色
素レーザ光Dは、光合成分離手段Mにより色素レーザ入
射光D1 とほぼ同じ光軸上を逆方向に進行し、光分離手
段Sによって、色素レーザ入射光D1 と分離され、色素
レーザ増幅光D2 が得られる。
【0019】このように色素レーザ光Dは、励起領域8
を4回通過して利得を得るので、増幅倍率の大きな色素
レーザ増幅光D2を得ることができる。また、色素レー
ザ光Dは、励起領域8を4回通過して利得を得るので、
励起レーザ光Pから色素レーザ増幅光D2 へのエネルギ
ー変換効率が向上できるので、ASEの発生を増幅光に
対して相対的に抑制することができる。
【0020】なお、この実施の形態では、色素セル5に
対して励起光Pを片側から照射する構成を示したが、励
起光Pを両側から照射する構成としても同様の効果を奏
する。
【0021】実施の形態2.図2はこの発明の実施の形
態2によるレーザ増幅装置としての色素レーザ増幅装置
を示す構成図である。図において、1は第1の偏光ビー
ムスプリッタ、2はファラディローテータ、3は第2の
偏光ビームスプリッタ、4は偏光回転素子、9は第1の
全反射鏡、10は第2の全反射鏡である。
【0022】次に動作について説明する。上記実施の形
態1では、光分離手段Sおよび光合成分離手段Mによっ
て、色素レーザ光Dが励起領域8を3回以上通過する構
成を示したが、実施の形態2では、光分離手段Sを第1
の偏光ビームスプリッタ1、ファラディローテータ2で
構成し、光合成分離手段Mを第2の偏光ビームスプリッ
タ3、偏光回転素子4、第1の全反射鏡9、第2の全反
射鏡10で構成した。色素レーザ入射光D1 は、偏光分
離手段としての第1の偏光ビームスプリッタ1に対し透
過できる偏光方向の直線偏光で入射される。透過された
色素レーザ入射光D1 は、偏光方向回転手段としての磁
気光学素子であるファラディローテータ2を通過し、4
5°偏光方向が回転される。偏光面が回転された色素レ
ーザ入射光の偏光方向に対して偏光分離・合成手段とし
ての第2の偏光ビームスプリッタ3の透過偏光を一致さ
せ、第2の偏光ビームスプリッタ3を透過し、第1のパ
スP1方向に進行する色素レーザ入射光D1を、例えばλ
/4波長板、フレネルロムなどの偏光回転素子4に入射
し、直線偏光から右回りあるいは左回りの円偏光に変換
する。円偏光に変換された色素レーザ光Dは、色素セル
5内のスリット7の励起領域8を通過し利得を得たの
ち、第1の全反射鏡9で垂直に反射される。垂直に反射
された色素レーザ光Dは、第1の全反射鏡9に入射した
色素レーザ光Dと同じ光軸上を逆向きに進行し、偏光の
回転方向も逆向きになった状態で再び励起領域8を通過
し利得を得、偏光回転素子4によって、色素レーザ入射
光D1 の偏光方向と直交方向の直線偏光に変換されるた
め、第2の偏光ビームスプリッタ3で第2のパスP2
向に反射される。第2の偏光ビームスプリッタ3で反射
された色素レーザ光Dは、第2の全反射鏡10によって
垂直に反射し、第2の全反射鏡10に入射した色素レー
ザ光Dと同じ光軸上を逆向きに進行し、再び、第2の偏
光ビームスプリッタで第3のパスP3 方向に反射され、
偏光回転素子4で、直線偏光から左回りあるいは右回り
の円偏光に変換され、3たび励起領域8を通過し利得を
得る。3たび励起領域8を通過した色素レーザ光Dは、
第1の全反射鏡9で垂直に反射され、第1の全反射鏡9
に入射した色素レーザ光Dと同じ光軸上を逆向きに進行
し、偏光の回転方向も逆向きになった状態で4たび励起
領域8を通過し利得を得、偏光回転素子4によって、色
素レーザ入射光D1 の偏光方向と同方向の直線偏光に変
換されるため、第2の偏光ビームスプリッタ3を通過し
第4のパスP4 方向に進行し、ファラディローテータ2
を通過する。ファラディローテータ2を通過した色素レ
ーザ光Dは偏光面が色素レーザ入射光D1 と直交した方
向に回転され、第1の偏光ビームスプリッタ1で反射さ
れ、色素レーザ増幅光D2 が出射される。また、以上の
動作は定常的な機能部品から成る装置によって行われる
ので、連続入射光(CW)にもパルス入射光にも対応で
きるものである。
【0023】このように色素レーザ光Dは、励起領域8
を4回通過して利得を得るので、増幅倍率の大きな色素
レーザ増幅光D2を得ることができる。また、色素レー
ザ光Dは、励起領域8を4回通過して利得を得るので、
励起レーザ光Pから色素レーザ増幅光D2 へのエネルギ
ー変換効率が向上できるので、ASEの発生を増幅光に
対して相対的に抑制することができる。
【0024】なお、この実施の形態2では、偏光回転素
子4を第2の偏光ビームスプリッタ3と色素セル5の間
に配置したが、偏光回転素子4を色素セル5と第1の全
反射鏡9の間に配置する構成としても同様の効果を奏す
る。また、色素レーザ入射光D1 の偏光方向を90゜偏
光し、第1の偏光ビームスプリッタ1に対する入射方向
と出射方向を逆にしても同様の効果を奏する。
【0025】実施の形態3.図3はこの発明の実施の形
態3による色素レーザ増幅装置を示す構成図である。実
施の形態2は色素レーザ入射光D1 の偏光方向に対し、
第2の偏光ビームスプリッタ3の透過偏光方向を一致さ
せ、色素レーザ入射光D1 を透過させる構成を示した
が、実施の形態3では、色素レーザ入射光D1 の偏光方
向に対し、第2の偏光ビームスプリッタ3の反射偏光方
向を一致させ、色素レーザ入射光D1 を反射させる構成
とした。図において、第1のパスP1は色素レーザ入射
光D1が第2の偏光ビームスプリッタ3で反射される方
向、第2のパスP2 は偏光回転素子4を通過し第1の全
反射鏡9で反射され励起領域を2回通過した色素レーザ
光Dが第2の偏光ビームスプリッタ3を透過する方向、
第3のパスP3 は第2の全反射鏡10で反射されが第2
の偏光ビームスプリッタ3を透過する方向、第4のパス
4 は偏光回転素子4を通過し第1の全反射鏡9で反射
され励起領域を4回通過した色素レーザ光Dが第2の偏
光ビームスプリッタ3で反射される方向を示す。励起領
域8に対して実施の形態2と同様に色素レーザ光Dが4
回通過する構成とした。このような構成の色素レーザ増
幅装置においても、実施の形態2と同様、色素レーザ光
Dは、励起領域8を4回通過して利得を得るので、増幅
倍率の大きな色素レーザ増幅光D2 を得ることができ、
励起レーザ光Pから色素レーザ増幅光D2 へのエネルギ
ー変換効率が向上できるのでASEの発生を相対的に抑
制することができる。
【0026】上記実施の形態2および3では、色素レー
ザ光Dを垂直に反射させる第1,第2の全反射鏡9,1
0を用いて色素レーザ光を往復反射させることにより励
起領域8を複数回通過させる光路を形成したが、この実
施の形態4では第1の全反射鏡9を複数個用いて色素レ
ーザ光Dを旋回させ、励起領域8を複数回通過させる光
路を形成したものである。
【0027】実施の形態4.図4はこの発明の実施の形
態4による色素レーザ増幅装置を示す構成図である。上
記実施の形態2では色素レーザ入射光D1 の偏光方向に
対し、第2の偏光ビームスプリッタ3の透過偏光方向を
一致させ、色素レーザ入射光D1 を透過させ、励起領域
8を透過した色素レーザ光Dを第1の全反射鏡9で垂直
に反射する構成を示したが、この実施の形態4では、第
2の偏光ビームスプリッタ3を透過し第1のパスP1
向に進行した色素レーザ入射光D1 の偏光方向を例えば
λ/2波長板、フレネルロム等の偏光回転素子4によっ
て90°回転させる。偏光面が回転された色素レーザ入
射光Dは励起領域8を透過し利得を得、例えば3枚の第
1の全反射鏡9で順に反射され、第2の偏光ビームスプ
リッタ3に戻され、これによって第2のパスP2 方向に
反射され、第2の偏光ビームスプリッタ3を透過した色
素レーザ入射光D1 の光軸とほぼ同軸上に合成される。
第2の偏光ビームスプリッタ3で反射された色素レーザ
光Dは、偏光回転素子4によってさらに偏光面が90°
回転させられるので、色素レーザ入射光D1 と同じ偏光
方向になり、2度励起領域8を通過し利得を得た後、第
1の全反射鏡9で反射され、第2の偏光ビームスプリッ
タ3を透過し、第2の全反射鏡10で垂直に反射され、
第2の偏光ビームスプリッタ3を第3のパスP3 方向に
透過する。第2の偏光ビームスプリッタ3を透過した色
素レーザ光は、第1の全反射鏡9によって3たび励起領
域に導かれ、利得を得た後、偏光回転素子4によってさ
らに偏光面が90°回転させられるので、第2の偏光ビ
ームスプリッタ3を第3のパスP3 方向に反射される。
第2の偏光ビームスプリッタ3で反射された色素レーザ
光Dは、第1の全反射鏡9で4たび励起領域8に導か
れ、利得を得た後、偏光回転素子4によってさらに偏光
面が90°回転させられ、色素レーザ入射光D1 と同じ
偏光方向になり、第2の偏光ビームスプリッタ3を第4
のパスP4 方向に透過する。第2の偏光ビームスプリッ
タ3を透過した色素レーザ光Dは、実施の形態2同様、
ファラディローテータ2を通過し偏光面が色素レーザ入
射光D1 と直交した方向に回転され、第1の偏光ビーム
スプリッタ1で反射され、色素レーザ増幅光D2 が出射
される。このような構成の色素レーザ増幅装置において
も、実施の形態2と同様、色素レーザ光Dは、励起領域
8を4回通過して利得を得るので、増幅倍率の大きな色
素レーザ増幅光D2 を得ることができ、励起レーザ光P
から色素レーザ増幅光D2 へのエネルギー変換効率が向
上できるのでASEの発生を抑制することができる。
【0028】なお、実施の形態4では、第1の全反射鏡
9を3枚で構成したが、2枚以上であれば同様の効果を
奏する。
【0029】実施の形態5.図5はこの発明の実施の形
態5によるレーザ増幅装置を示す構成図である。上記実
施の形態4では色素レーザ入射光D1 の偏光方向に対
し、第2の偏光ビームスプリッタ3の透過偏光方向を一
致させ、色素レーザ入射光D1 を透過させる構成を示し
たが、実施の形態5では、色素レーザ入射光D1 の偏光
方向に対し、第2の偏光ビームスプリッタ3の反射偏光
方向を一致させ、色素レーザ入射光D1を反射させる構
成とした。図において、第1のパスP1 は色素レーザ入
射光D1が第2の偏光ビームスプリッタ3で反射される
方向、第2のパスP2 は偏光回転素子4を通過し第1の
全反射鏡9で反射され励起領域を1回通過した色素レー
ザ光Dが第2の偏光ビームスプリッタ3を透過する方
向、第3のパスP3 は第2の全反射鏡10で反射され、
第2の偏光ビームスプリッタ3で反射される方向、第4
のパスP4 は偏光回転素子4を通過し第1の全反射鏡9
で反射され励起領域を4回通過した色素レーザ光Dが第
2の偏光ビームスプリッタ3で反射される方向を示す。
励起領域8に対して実施の形態4と同様に色素レーザ光
Dが4回通過する構成とした。このような構成の色素レ
ーザ増幅装置においても、実施の形態4と同様、色素レ
ーザ光Dは、励起領域8を4回通過して利得を得るの
で、増幅倍率の大きな色素レーザ増幅光D2 を得ること
ができ、励起レーザ光Pから色素レーザ増幅光D2 への
エネルギー変換効率が向上できるのでASEの発生を抑
制することができる。
【0030】実施の形態6.図6はこの発明の実施の形
態6によるレーザ増幅装置を示す構成図である。この実
施の形態は、図2に示す実施の形態2における偏光回転
素子4のλ/4波長板、フレネルロムなどの替わりに第
2のファラディローテータ21を用いたものである。次
に動作について説明する。色素レーザ入射光D1 は偏光
分離手段である第1の偏光ビームスプリッタ1を透過す
る偏光方向の直線偏光として入射される。色素レーザ入
射光D1 はファラディローテータ2で直線偏光のまま偏
光方向が45゜回転される。第2の偏光ビームスプリッ
タ3は偏光方向が45゜回転した色素レーザ入射光D1
を透過させる方向に配置されている。第2の偏光ビーム
スプリッタ3を透過した色素レーザ光Dは第1のパスP
1 を進み、偏光方向を45゜回転される第2のファラデ
ィローテータ21、色素セル5を通過して第1の全反射
鏡9で反射され、第2のパスP2 を逆進して第2の偏光
ビームスプリッタ3に戻る。色素レーザ光Dは、第2の
偏光ビームスプリッタ3を透過してから戻るまでの間に
偏光方向を45゜回転させる第2のファラディローテー
タ21を2回通過しているので、偏光方向が90゜回転
されており、第2の偏光ビームスプリッタ3で反射さ
れ、第2の全反射鏡10で反射されて第3のパスP3
進む。第3のパスP3 を進む色素レーザ光Dは第2の偏
光ビームスプリッタ3で反射され、第1の全反射鏡9ま
で進んで反射され第4のパスP4 を逆進する。第2の偏
光ビームスプリッタ3に戻った色素レーザ光Dは第2の
ファラディローテータ21を2回通過することにより偏
光方向がさらに90゜回転されているので第2の偏光ビ
ームスプリッタ3を透過する。これまでの過程で色素レ
ーザ光Dは色素セル5の励起領域8を4回通過し、増幅
されている。第2の偏光ビームスプリッタ3を通過した
色素レーザ光Dはファラディローテータ2を通過して偏
光方向を45゜回転させられ、入射光D1 とは偏光方向
が90゜異なるので第1の偏光ビームスプリッタ1で反
射され、色素レーザ増幅光D2 として出射される。
【0031】図7は、図4に示す実施の形態4における
偏光回転素子4のλ/2波長板、フレネルロムなどの替
わりに偏光方向を90゜変更する第2のファラディロー
テータ21を用いたものである。次に動作について説明
する。色素レーザ入射光D1 は第1の偏光ビームスプリ
ッタ1を透過できる直線偏光として入射され、ファラデ
ィローテータ2で直線偏光のまま偏光方向が45゜回転
される。第2の偏光ビームスプリッタ3はファラディロ
ーテータ2を透過した色素レーザ光Dを透過できる透過
偏光方向に配置され、第2のファラディローテータ21
で偏光方向を90゜変更され、励起領域8を通過して増
幅された後、3個の全反射鏡9で順に反射され、第1の
パスP1 を通って第2の偏光ビームスプリッタ3に戻
る。この時、色素レーザ光Dの偏光方向が90゜変更さ
れているため第2の偏光ビームスプリッタ3で反射さ
れ、第1のパスP1 と同じ旋回経路をもう1度通り、第
2の偏光ビームスプリッタ3に戻る(第2のパスP2 )。
この時、色素レーザ光Dの偏光方向はさらに90゜変更
されているので第2の偏光ビームスプリッタ3を透過
し、第2の全反射鏡10で反射されて第3のパスP3
進む。第3のパスP3 を進む色素レーザ光Dは第2の偏
光ビームスプリッタ3を透過し、前述の第1,第2のパ
スP1,P2とは逆方向に2回旋回(第3,第4のパス
3,P4)した後、第2の偏光ビームスプリッタ3を透
過してファラディローテータ2へ向かう。色素レーザ光
Dはこの間に励起領域8を4回通過し、増幅されてい
る。ファラディローテータ2で偏光方向を45゜変更さ
れた色素レーザ光Dは入射光D1 とは偏光方向が90゜
異なるので第1の偏光ビームスプリッタ1で反射され、
色素レーザ増幅光D2 として出射される。
【0032】図8はこの発明の実施の形態6による更に
他のレーザ増幅装置を示す構成図である。22は第3の
偏光ビームスプリッタである。上記実施の形態2、3で
は、偏光回転素子4としてλ/4波長板、フレネルロム
などを用いた構成を示したが、この図8に示す実施の形
態では、偏光回転素子としてファラディローテータ21
を用いる構成にした。この構成によれば、色素レーザ入
射光D1 は第2の偏光ビームスプリッタ3を透過して第
2のファラディローテータ21に導かれ、これをを通過
した色素レーザ光Dは、直線偏光のまま偏光角が45゜
回転される。従って、例えば第3の偏光ビームスプリッ
タ22を色素レーザ光Dの光路上に設け、第1のパスP
1 および第1の全反射鏡9により反射された戻りの第2
のパスP 2 が第3の偏光ビームスプリッタ22を通過す
るように配置すると、第2の偏光ビームスプリッタ3に
向う第2のパスP2 では反射偏光角となって反射され、
第2の全反射鏡10で反射されて第3のパスP3 を形成
する。第3のパスP3 では、第3の偏光ビームスプリッ
タ22に対して反射偏光角となるので、ここで反射して
取り出され、励起領域8を3回通過した色素レーザ光D
を色素レーザ増幅光D2 として取り出すことができる。
この実施の形態においては、第3の偏光ビームスプリッ
タ22が光分離手段Sと光合成分離手段Mの両方の構成
部品として使われているものである。
【0033】実施の形態7.図9はこの発明の実施の形
態7によるレーザ増幅装置を示す構成図である。上記実
施の形態1から6では、色素セル5に入射する色素レー
ザ光Dの光軸とスリット7の励起光Pの入射する壁面の
角度θについては言及しなかったが、この実施の形態7
では、色素セル5を色素レーザ光Dの光軸に対して傾
け、スリット7の励起光Pの入射する壁面において色素
レーザ光Dが反射する構成とした。このとき、色素レー
ザ光Dが励起領域8を一様に通過するようにさせるた
め、色素レーザ光Dの光軸とスリット7の励起光Pの入
射する壁面の角度θd と色素レーザ光Dの幅Wdと励起
領域8の長さdpの関係が、 sinθd=wd/dp となる構成にする。この様な構成では、励起領域8は励
起光Pの進行方向に励起分子密度の分布を生じるが、色
素レーザ光Dの全ての位置は同等に励起領域8を通過す
ることができるので、色素レーザ光Dは均一に増幅さ
れ、対称な強度分布のビームを得ることができる。ま
た、この実施の形態7では励起領域8から発生するAS
Eの光軸がスリット7の励起光Pの入射する壁面と平行
であるのに対し、色素レーザ光Dの光軸は角度θdをも
っており、ほぼ 同軸上にならないので色素レーザ光D
の光軸上に含まれるASEの割合を低減することができ
る。また、励起光Pの入射方向が逆であっても色素レー
ザ光の強度分布の対称性は同様に得られる。
【0034】図10はこの実施の形態7による他のレー
ザ増幅装置を示す構成図である。図9では、色素セル5
を色素レーザ光Dの光軸に対して傾ける構成としたが、
図10では、色素セル5の色素レーザ光Dの入射面をθ
s度傾け、スリット7の 励起光Pの入射する壁面と平行
な光軸の色素レーザ光Dが色素セル5の入射面に入射角
θi で入射し、入射面で屈折角θt で屈折して、スリッ
ト7の励起光Pの入射する壁面で色素レーザ光Dが反射
する構成とした。このとき、図9同様、色素レーザ光D
が励起領域8を一様に通過させるため、色素レーザ光D
の光軸とスリット7の励起光Pの入射する壁面の角度θ
dと色素レーザ光Dの幅Wdと励起領域8の長さdp の関
係が、 sinθd=wd/dp となる構成で、さらに、空間の屈折率をn1、色素セル
5の屈折率をn2として、色素セル5の入射面の角度
θs、入射角θi、屈折角θtの関係が、 θs=90[度]−θi θd=θi−θt sinθi/sinθt=n2/n1 を満たす構成とする。なお、色素レーザ光Dの出射面
(進行方向が逆のレーザ光では入射面)も入射面と対称
になるよう同様に傾けてある。この様な構成では、図9
に加えて、色素レーザ光Dが色素セル5を通過した後同
じ光軸上に戻るので、色素セル5前後の光学部品を直線
的に配置することができるため、光学部品の配置が容易
になる。
【0035】実施の形態8.図11はこの発明の実施の
形態8によるレーザ増幅装置を示す構成図である。図に
おいて、13は第1のレンズ、14は第2のレンズであ
る。実施の形態2から7では、色素セル5に入射する色
素レーザ光Dの発散あるいは収束を言及しなかったが、
この実施の形態8では、第2の偏光ビームスプリッタと
色素セル5の間に第1のレンズ13を色素レーザ光Dが
励起領域で収束するように配置し、色素セル5と第1の
全反射鏡9の間に第2のレンズを配置することにより、
励起領域8から出射された色素レーザ光5のコリメート
および第1の全反射鏡9で反射された色素レーザ光Dの
収束を行う構成としている。この様な構成では、励起領
域8で色素レーザ光Dの強度を大きくすることができる
ので、色素レーザ光Dの増幅倍率がさらに増大する。
【0036】図12はこの実施の形態8による他のレー
ザ増幅装置を示す構成図である。図11では、励起領域
8から出射された色素レーザ光Dのコリメートおよび第
1の全反射鏡で反射された色素レーザ光Dの収束を第2
のレンズ14で行う構成としたが、図12では、第1の
全反射鏡9を凹面鏡とし、励起領域8から出射された色
素レーザ光Dのコリメートおよび第1の全反射鏡9で反
射する色素レーザ光Dの収束を行う構成にした。この様
に構成することにより、図11に比べて光学部品の数を
削減することができる。
【0037】実施の形態9.図13はこの発明の実施の
形態9によるレーザ増幅装置を示す構成図である。上記
実施の形態8では、色素レーザ光Dを励起領域8で収束
させる構成としたが、この実施の形態9では、第2のレ
ンズ14を第2の偏光ビームスプリッタ3と第2の全反
射鏡10の間に配置し、第1のレンズ13の焦点距離
1、第2のレンズ14の焦点距離f2、スリット7の中
心から第1のレンズ13までの光路長L1、第1のレン
ズ13から第1の全反射鏡9までの光路長 L2、スリッ
ト7の中心から第2の偏光ビームスプリッタ3までの光
路長 L3、第2の偏光ビームスプリッタ3から第2のレ
ンズ14までの光路長 L4、第2のレンズ14から第2
の全反射鏡10までの光路長 L5の関係が、 L1=L2=f13+L4=L5=f2 となる様に構成した。この様な構成では、励起領域8の
中心位置での色素レーザ光Dの像が第1の全反射鏡9ま
たは第2の全反射鏡10で反射され、励起領域8の中心
位置において再び結像する関係にあるので、励起領域8
での色素レーザ光Dのビーム形状が等しくなり、均一に
増幅することができる。
【0038】実施の形態10.図14はこの発明の実施
の形態10によるレーザ増幅装置を示す構成図である。
図において、15は第3のレンズ、16は第4のレン
ズ、17は第1のピンホール、18は第2のピンホール
である。上記実施の形態8あるいは7においては、色素
レーザ光Dの空間的な整形手段を含まない構成にした
が、この実施の形態10では、色素セル5と第1の全反
射鏡9の間に第1のレンズ13と第1のピンホール17
および第3のレンズ15を配置し、色素セル5と第2の
全反射鏡10の間に第2のレンズ14と第2のピンホー
ル18および第4のレンズ16を配置し、第1のピンホ
ール17および第2のピンホール18によって、色素レ
ーザ光Dの形状を整形する構成とする。この様な構成で
は、増幅過程における色素レーザ光Dの強度分布の歪み
を低減できるとともに、ASEの取り出し光への混入を
低減することができる。また、図14の構成の替わり
に、図13の構成において、第1,第2の全反射鏡9,
10の表面至近に第1,第2のピンホール17,18を
それぞれ配置しても類似の効果が得られる。
【0039】図15は実施の形態10による他のレーザ
増幅装置を示す構成図である。図14では、第1のピン
ホール17を通過した色素レーザ光Dのコリメートおよ
び第1の全反射鏡9で反射された色素レーザ光Dの収束
を第3のレンズ15で、第2のピンホール18を通過し
た色素レーザ光Dのコリメートおよび第2の全反射鏡1
0で反射された色素レーザ光Dの収束を第4のレンズ1
6で行う構成としたが、この図15で示す例では第1の
全反射鏡9あるいは第2の全反射鏡10を凹面鏡とし、
第1のピンホール17を通過した色素レーザ光Dのコリ
メートおよび第1の全反射鏡9で反射する色素レーザ光
Dの収束を第1の全反射鏡9で、第2のピンホール18
を通過した色素レーザ光Dのコリメートおよび第2の全
反射鏡10で反射する色素レーザ光Dの収束を第2の全
反射鏡10を凹面鏡で行う構成としている。この様に構
成することにより、図14に比べて光学部品の数を削減
することができる。
【0040】実施の形態11.図16はこの発明の実施
の形態11によるレーザ増幅装置を示す構成図である。
実施の形態1から10では、励起光の照射方向につい
ての限定はしなかったが、実施の形態11では、励起光
Pを色素レーザ光Dの光軸と直交する方向から照射する
構成にした。このような構成では、光学部品の配置が単
純になるので、光学部品の調整が容易になる。また、図
16では、励起光Pを色素セルの両側から入射する構成
としたが、片側からでも良い。
【0041】実施の形態12.図17はこの発明の実施
の形態12によるレーザ増幅装置を示す構成図である。
この実施の形態11では、励起光Pを色素レーザ光Dの
光軸と同軸になる様に照射する構成にした。このような
構成では、励起領域8と色素レーザ光Dの形状を同じに
することができるので、さらに増幅倍率を増大できると
ともに、ASEが発生する領域を小さくできるのでAS
Eを低減することができる。第1,第2の全反射鏡9,
10は色素レーザ光Dを反射し、励起光Pを透過するも
のでなければならないが、この様な反射鏡は多層薄膜等
で形成することができ、色素レーザ光Dと励起光Pの波
長の違いを利用して上記の機能が得られる。
【0042】図18はこの実施の形態12による他のレ
ーザ増幅装置を示す構成図である。上記実施の形態4、
5について、励起光Pを色素レーザ光Dの光軸と同軸に
なる様に照射する構成にした。このような構成でも図1
7と同様の効果を奏する。
【0043】実施の形態13.図19はこの発明の実施
の形態13によるレーザ増幅装置を示す構成図である。
図において19は第2の偏光回転素子である。上記実施
の形態2から5では、第1の偏光ビームスプリッタ1と
第2の偏光ビームスプリッタ3の間には、ファラディロ
ーテータ2を配置したのみであったが、この実施の形態
13では、第1の偏光ビームスプリッタ1と第2の偏光
ビームスプリッタ3の間に、ファラディローテータ2に
加え、例えばλ/2波長板、フレネルロム等の第2の偏
光回転素子19を配置し、偏光面を45度回転する構成
にしている。この様な構成では、ファラディローテータ
2によって45度回転された偏光面を、同一方向あるい
は直角方向に変換できるので、色素レーザ入射光D1
よび色素レーザ出射光D2を含む平面と、色素レーザ入
射光D1 および色素レーザ光Dおよび励起光Pを含む平
面を同一あるいは直交できるので、光学部品の配置が単
純にできる。
【0044】実施の形態14.図20はこの発明の実施
の形態14による他のレーザ増幅装置を示す構成図であ
る。図において、20は可変波長の狭帯域フィルタのエ
タロンである。図20では、図19で示した構成に加え
て、図9で示した色素セル5を色素レーザ光Dの光軸に
対して傾け、スリット7の励起光Pの入射する壁面にお
いて色素レーザ光Dが反射する構成と、図11で示した
第2の偏光ビームスプリッタと色素セル5の間に第1の
レンズ13を色素レーザ光Dが励起領域で収束するよう
に配置た構成と、図15で示した第1の全反射鏡9およ
び第2の全反射鏡10を凹面鏡とし、第1のレンズ13
および第2のレンズ14で集光した色素レーザ光Dをそ
れぞれ第1のピンホール17および第2のピンホール1
8を通過させる構成とし、さらに、色素レーザ増幅光D
2 の光軸上にエタロン20を配置し、色素レーザ増幅光
2 とほぼ同軸上に発生したASEを除去する構成とし
たものである。この様な構成では、スリット7の励起光
Pの入射する壁面において色素レーザ光Dが反射する構
成により、増幅倍率を大きくすることができるととも
に、励起領域で発生するASEの光軸と色素レーザ光D
の光軸が異なり、ピンホール第1のピンホール17およ
び第2のピンホール18により色素レーザ光Dの光軸と
光軸の異なるASEを除去することができる上、色素レ
ーザDとほぼ同軸上のASEもエタロンによって除去す
ることができるので、ASEの割合が少ない色素レーザ
増幅光D2を得ることができる。
【0045】図21の特性図に図20の構成で得られた
色素レーザ入射光D1 のエネルギーと色素レーザ増幅光
2 のエネルギー(4パス出力:○で記す実線の特性曲
線)および利得(4パス利得:△で記す実線の特性曲
線)の例を示す。また、図21では、図22の構成図に
示す従来の構成にエタロン20を色素レーザ増幅光D2
の光軸上に配置して得られた比較例における色素レーザ
増幅光D2 のエネルギー(2パス出力:●で記す破線の
特性曲線)および利得(2パス利得:塗りつぶし三角で
記す破線の特性曲線)も合わせて示す。ここで、色素レ
ーザ入射光D1 は、単一縦モード発振の連続発振光で、
色素レーザ入射光エネルギーは励起光Pのパスル幅に相
当する時間内のエネルギーとした。また、励起光Pのエ
ネルギーは1mJで、この配置で用いたエタロン20の
分解能は10nmで、ピーク波長の透過率は50%であ
った。図21から、図20に示す構成では、104 程度
の利得が得られており、図22に示す構成と比べて、約
1.3 から3倍の利得が得られている。さらに、図20
に示す構成では図22に示す構成と比べて、小さい色素
レーザ入射光エネルギーに対して、色素レーザ増幅光エ
ネルギーが飽和する傾向にあるので、励起光エネルギー
が一定で色素レーザ入射光エネルギーがある値以上であ
れば、レーザ入射光エネルギーが変動しても色素レーザ
増幅光エネルギーの変動が小さくなる。
【0046】
【発明の効果】以上のように、この発明の定常的レーザ
増幅装置の第1の構成によれば、レーザ媒質に励起光を
照射して上記レーザ媒質を励起することにより上記レー
ザ媒質に励起領域を形成するとともに、上記励起領域に
レーザ光を入射させ、上記レーザ光の増幅を行うレーザ
増幅装置において、上記レーザ媒質のレーザ光の光軸に
沿う壁面を上記レーザ光の光軸に対して角度θ d だけ傾
け、上記角度θ d は上記レーザ光の幅をW d とし、励起
領域のレーザ光に沿う方向の長さをd p とした時、si
nθ d = w d /d p となる大きさとすることにより、励
起領域は励起光の進行方向に励起分子密度の分布を生じ
るが、レーザ光の全ての位置は同等に励起領域を通過す
ることができるので、レーザ光は均一に増幅され、対称
な強度分布のビームを得ることができ、かつ、励起領域
から発生するASEの光軸がレーザ光の光軸と同軸上に
ならないのでレーザ光の光軸上に含まれるASEの割合
を低減することができる効果がある。
【0047】また、この発明のレーザ増幅装置の第2の
構成によれば、第1の構成において、上記レーザ光の入
射光と出射される増幅光とを分離する光分離手段と、偏
光回転素子と偏光ビームスプリッタを用い、上記レーザ
光を上記励起領域を通過して往復または旋回させる光路
を有し、上記レーザ光を上記励起領域を3回以上通過さ
せる光合成分離手段とを備えたものにすることにより、
レーザ光が励起領域を3回以上通過して利得を得るの
で、増幅倍率の大きなレーザ増幅光を得ることができ、
かつ、レーザ光は、励起領域を3回以上通過して利得を
得るので、励起レーザ光からレーザ増幅光へのエネルギ
ー変換効率が向上できるので、ASEの発生を抑制する
ことができる効果がある。
【0048】また、この発明のレーザ増幅装置の第3の
構成によれば、第2の構成において、上記光分離手段の
偏光回転素子としてファラディローテータを用い、上記
光合成分離手段の偏光回転素子としてλ/4波長、λ/
2波長板またはファラディローテータを用いることによ
り、第1の構成と同様、増幅倍率の大きなレーザ増幅光
が得られ、励起レーザ光からレーザ増幅光へのエネルギ
ー変換効率が向上でき、ASEの発生を抑制することが
できる効果がある。
【0049】また、この発明のレーザ増幅装置の第4の
構成によれば、第または第の構成において、上記光
分離手段を、レーザ入射光とレーザ増幅光を分離する第
1の偏光ビームスプリッタと、上記レーザ入射光と上記
レーザ増幅光の偏光方向を直交させるファラディローテ
ータとで構成し、上記光合成分離手段を、上記レーザ入
射光およびこれと偏光方向が同じレーザ増幅光を透過
(または反射)する第2の偏光ビームスプリッタと、上
記第2の偏光ビームスプリッタを経て上記励起領域を通
過した上記レーザ光を上記レーザ光とほぼ同軸上に反射
する第1の全反射鏡と、上記レーザ光の光軸および上記
第1の全反射鏡で反射されたレーザ光の光軸上、上記第
2の偏光ビームスプリッタと第1の全反射鏡間に配置さ
れた偏光回転素子と、上記第2の偏光ビームスプリッタ
で反射(または透過)されたレーザ光をこの反射(また
は透過)されたレーザ光とほぼ同軸上に反射させる第2
の全反射鏡とで構成することにより、レーザ光が励起領
域を4回通過して利得を得るので、増幅倍率の大きなレ
ーザ増幅光を得ることができ、かつ、レーザ光は、励起
領域を4回通過して利得を得るので、励起レーザ光から
レーザ増幅光へのエネルギー変換効率が向上できるの
で、ASEの発生を抑制することができる効果がある。
【0050】また、この発明のレーザ増幅装置の第5の
構成によれば、第2またはの構成において、上記光
分離手段を、レーザ入射光とレーザ増幅光を分離する第
1の偏光ビームスプリッタと、上記レーザ入射光と上記
レーザ増幅光の偏光方向を直交させるファラディローテ
ータとで構成し、上記光合成分離手段を、上記レーザ入
射光とこれと偏光方向が同じレーザ増幅光を透過(また
は反射)する第2の偏光ビームスプリッタと、上記第2
の偏光ビームスプリッタを経て上記励起領域を通過した
レーザ光を反射して上記第2の偏光ビームスプリッタに
戻す2枚以上の第1の全反射鏡と、上記レーザ光の光軸
上に配置された偏光回転素子と、上記第2の偏光ビーム
スプリッタで透過(または反射)されたレーザ光をこれ
とほぼ同軸上に反射させる第2の全反射鏡とで構成する
ことにより、第2の構成と同様、レーザ光が励起領域を
4回通過して利得を得るので、増幅倍率の大きなレーザ
増幅光を得ることができ、かつ、レーザ光は、励起領域
を4回通過して利得を得るので、励起レーザ光からレー
ザ増幅光へのエネルギー変換効率が向上できるので、A
SEの発生を抑制することができる効果がある。
【0051】
【0052】
【0053】
【0054】
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態1による定常的レーザ
増幅装置を示す構成図である。
【図2】 この発明の実施の形態2によるレーザ増幅装
置を示す構成図である。
【図3】 この発明の実施の形態3によるレーザ増幅装
置を示す構成図である。
【図4】 この発明の実施の形態4によるレーザ増幅装
置を示す構成図である。
【図5】 この発明の実施の形態5によるレーザ増幅装
置を示す構成図である。
【図6】 この発明の実施の形態6によるレーザ増幅装
置を示す構成図である。
【図7】 この発明の実施の形態6による他のレーザ増
幅装置を示す構成図である。
【図8】 この発明の実施の形態6によるさらに他のレ
ーザ増幅装置を示す構成図である。
【図9】 この発明の実施の形態7によるレーザ増幅装
置を示す構成図である。
【図10】 この発明の実施の形態7による他のレーザ
増幅装置を示す構成図である。
【図11】 この発明の実施の形態8によるレーザ増幅
装置を示す構成図である。
【図12】 この発明の実施の形態8による他のレーザ
増幅装置を示す構成図である。
【図13】 この発明の実施の形態9によるレーザ増幅
装置を示す構成図である。
【図14】 この発明の実施の形態10によるレーザ増
幅装置を示す構成図である。
【図15】 この発明の実施の形態10による他のレー
ザ増幅装置を示す構成図である。
【図16】 この発明の実施の形態11によるレーザ増
幅装置を示す構成図である。
【図17】 この発明の実施の形態12によるレーザ増
幅装置を示す構成図である。
【図18】 この発明の実施の形態12による他のレー
ザ増幅装置を示す構成図である。
【図19】 この発明の実施の形態13による他のレー
ザ増幅装置を示す構成図である。
【図20】 この発明の実施の形態14による他のレー
ザ増幅装置を示す構成図である。
【図21】 この発明の実施の形態14によるレーザ増
幅特性の例を比較例とともに示す特性図である。
【図22】 比較例のレーザ増幅装置を示す構成図であ
る。
【図23】 従来のレーザ増幅装置を示す構成図であ
る。
【図24】 従来の他のレーザ増幅装置を示す構成図で
ある。
【符号の説明】
1 第1の偏光ビームスプリッタ、2 ファラディロー
テータ、3 第2の偏光ビームスプリッタ、4 第1の
偏光回転素子、5 色素セル、6 色素溶液、7 スリ
ット、8 励起領域、9 第1の全反射鏡、10 第2
の全反射鏡、13 第1のレンズ、14 第2のレン
ズ、15 第3のレンズ、16 第4のレンズ、17
第1のピンホール、18 第2のピンホール、19 第
2の偏光回転素子、20 エタロン、21 第2のファ
ラディローテータ、22 第3の偏光ビームスプリッタ
ー、31,32 共振器鏡、33 利得媒質、34 プ
リズム、35 スリット、36 プリズム、37 波長
選択手段、38 λ/2波長板、39 ポッケルスセ
ル、S 光分離手段、M 光合成手段、D 色素レーザ
光、D1 色素レーザ入射光、D2 色素レーザ増幅光、
1 第1のパス、P2第2のパス、P3 第3のパス、
4 第4のパス、P 励起光、θd 色素レーザ光の光
軸とスリットの励起光の入射する壁面の角度、θs 色素
セル5の入射面の角度、θi 色素レーザ光の入射角、
θt 色素レーザ光の屈折角、n1 空間の屈折率、n2
色素セル5の屈折率、Wd 色素レーザ光Dの幅、dp
励起領域の長さ、f1 第1のレンズの焦点距離、f2
第2のレンズの焦点距離、L1 スリットの中心から第1
のレンズまでの光路長、L2 第1のレンズから第1の全
反射鏡までの光路長、L3 スリットの中心から第2の偏
光ビームスプリッタまでの光路長、L4 第2の偏光ビ
ームスプリッタから第2のレンズまでの光路長、L5
第2のレンズから第2の全反射鏡までの光路長。
フロントページの続き (72)発明者 小林 一郎 東京都千代田区丸の内二丁目2番3号 三菱電機株式会社内 (72)発明者 藤田 修一 東京都千代田区丸の内二丁目2番3号 三菱電機株式会社内 (56)参考文献 特開 平8−186305(JP,A) 国際公開95/22187(WO,A1) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01S 3/00 - 3/30

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 レーザ媒質に励起光を照射して上記レー
    ザ媒質を励起することにより上記レーザ媒質に励起領域
    を形成するとともに、上記励起領域にレーザ光を入射さ
    せ、上記レーザ光の増幅を行うレーザ増幅装置におい
    て、上記レーザ媒質のレーザ光の光軸に沿う壁面を上記
    レーザ光の光軸に対して角度θd だけ傾け、上記角度θ
    d は上記レーザ光の幅をWd とし、励起領域のレーザ光
    に沿う方向の長さをdpとした時、sinθd = wd
    pとなる大きさとしたことを特徴とするレーザ増幅装
    置。
  2. 【請求項2】 記レーザ光の入射光と出射される増幅
    光とを分離する光分離手段と、偏光回転素子と偏光ビー
    ムスプリッタを用い、上記レーザ光を上記励起領域を通
    過して往復または旋回させる光路を有し、上記レーザ光
    を上記励起領域を3回以上通過させる光合成分離手段と
    を備えたことを特徴とする請求項1記載のレーザ増幅装
    置。
  3. 【請求項3】 上記光分離手段の偏光回転素子としてフ
    ァラディローテータを用い、上記光合成分離手段の偏光
    回転素子としてλ/4波長、λ/2波長板またはファラ
    ディローテータを用いたことを特徴とする請求項記載
    のレーザ増幅装置。
  4. 【請求項4】 上記光分離手段が、レーザ入射光とレー
    ザ増幅光を分離する第1の偏光ビームスプリッタと、上
    記レーザ入射光と上記レーザ増幅光の偏光方向を直交さ
    せるファラディローテータとからなり、上記光合成分離
    手段が、上記レーザ入射光およびこれと偏光方向が同じ
    レーザ増幅光を透過(または反射)する第2の偏光ビー
    ムスプリッタと、上記第2の偏光ビームスプリッタを経
    て上記励起領域を通過した上記レーザ光を上記レーザ光
    とほぼ同軸上に反射する第1の全反射鏡と、上記レーザ
    光の光軸および上記第1の全反射鏡で反射されたレーザ
    光の光軸上、上記第2の偏光ビームスプリッタと第1の
    全反射鏡間に配置された偏光回転素子と、上記第2の偏
    光ビームスプリッタで反射(または透過)されたレーザ
    光をこの反射(または透過)されたレーザ光とほぼ同軸
    上に反射させる第2の全反射鏡とからなることを特徴と
    する請求項または記載のレーザ増幅装置。
  5. 【請求項5】 上記光分離手段が、レーザ入射光とレー
    ザ増幅光を分離する第1の偏光ビームスプリッタと、上
    記レーザ入射光と上記レーザ増幅光の偏光方向を直交さ
    せるファラディローテータとからなり、上記光合成分離
    手段が、上記レーザ入射光とこれと偏光方向が同じレー
    ザ増幅光を透過(または反射)する第2の偏光ビームス
    プリッタと、上記第2の偏光ビームスプリッタを経て上
    記励起領域を通過したレーザ光を反射して上記第2の偏
    光ビームスプリッタに戻す2枚以上の第1の全反射鏡
    と、上記レーザ光の光軸上に配置された偏光回転素子
    と、上記第2の偏光ビームスプリッタで透過(または反
    射)されたレーザ光をこれとほぼ同軸上に反射させる第
    2の全反射鏡とからなることを特徴とする請求項また
    記載のレーザ増幅装置。
JP1579897A 1997-01-30 1997-01-30 レーザ増幅装置 Expired - Fee Related JP3251873B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1579897A JP3251873B2 (ja) 1997-01-30 1997-01-30 レーザ増幅装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1579897A JP3251873B2 (ja) 1997-01-30 1997-01-30 レーザ増幅装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH10215018A JPH10215018A (ja) 1998-08-11
JP3251873B2 true JP3251873B2 (ja) 2002-01-28

Family

ID=11898870

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1579897A Expired - Fee Related JP3251873B2 (ja) 1997-01-30 1997-01-30 レーザ増幅装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3251873B2 (ja)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20010021215A1 (en) * 1999-07-30 2001-09-13 Udo Bunting Compact ultra fast laser
JP2005175409A (ja) * 2003-12-05 2005-06-30 Semiconductor Res Found テラヘルツ電磁波照射方法及び装置
JP3998067B2 (ja) 2004-11-29 2007-10-24 オムロンレーザーフロント株式会社 固体レーザ発振器
KR101974799B1 (ko) * 2010-10-29 2019-05-02 로렌스 리버모어 내쇼날 시큐리티, 엘엘시 콤팩트하고 효율적인 레이저 구조를 위한 방법 및 시스템
JP2012182397A (ja) * 2011-03-03 2012-09-20 Mitsubishi Electric Corp レーザ装置およびレーザ加工装置
US9793673B2 (en) * 2011-06-13 2017-10-17 Kla-Tencor Corporation Semiconductor inspection and metrology system using laser pulse multiplier
GB2571930B (en) * 2018-03-09 2021-01-13 Leonardo Mw Ltd A laser
CN115347444B (zh) * 2022-10-18 2022-12-23 武汉中科锐择光电科技有限公司 一种全固态环形激光放大装置及激光放大方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPH10215018A (ja) 1998-08-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3588195B2 (ja) 固体レーザ増幅器
US5377212A (en) Solid-state laser device including uniaxial laser crystal emitting linearly polarized fundamental wave and nonlinear optical crystal emitting linearly polarized harmonic wave
JP3066966B2 (ja) レーザ光源
JP2002542632A (ja) 二能動共振子式cw遠紫外レーザーシステム
US20110261456A1 (en) Polarization coupler
JP3251873B2 (ja) レーザ増幅装置
JPH05265058A (ja) 波長変換装置
JPH07505979A (ja) レーザ媒質中に高密度の励起イオンを発生させ用いる方法及び装置
JPH08213686A (ja) 波長安定化光源
US20020094006A1 (en) Solid-state laser device and solid-state laser amplifier provided therewith
US5357532A (en) Wavelength variable laser device
JP2001024264A (ja) 波長変換レーザ装置
JP3320021B2 (ja) レーザ増幅装置
JPH09331097A (ja) 固体レーザ装置
JP3325233B2 (ja) レーザ増幅装置
JPH0621555A (ja) 半導体レーザ励起固体レーザ
JPH07131101A (ja) レーザ光発生装置
JPH04291976A (ja) Shg素子
JPH09232665A (ja) 出力安定化第二高調波光源
JP2754991B2 (ja) 波長変換装置
JP3398980B2 (ja) レーザ光発生装置
JP3282221B2 (ja) レーザ光発生装置
JPH0595144A (ja) 半導体レーザ励起固体レーザ
JPH07235720A (ja) レ−ザ発振装置
JPH065962A (ja) レーザ光発生装置

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071116

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081116

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081116

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091116

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091116

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101116

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111116

Year of fee payment: 10

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees