JPH03256214A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 浮上式磁気ヘッドのコアスライダの製造方法、特に浮−
１面レールの周縁のＲ面取り方法に関し、コアスライダ
ブロックを１個ずつ分離しないで、ブロック状のままＲ
面取りでき、しかも自動的にかつ均一にＲ面取りできる
ようにすることを目的とし、 磁気ヘッドのコアスライダにおける浮上面レールの周縁
の角を面取りしＲを付ける方法であって、複数個のコア
スライダに分離する前のコアスライダブロックを、硬度
が６０°±１０’の範囲の弾性シート上の研磨部材に載
置し、 コアスライダブロックを研磨部材の面に対し直線方向に
相対的に、かつ自動的に往復動させること、 この往復動の際に、コアスライダブロックが貼り付けら
れた接着ブロックの上に、重りなどによる荷重を作用さ
せることで、コアスライダブロックと研磨部材の面との
接触圧を一定に維持すること、 コアスライダブロックの浮上面レールが、往復動方向に
対し一定の角度±θで傾斜していること、往復動方向に
対し＋θ力方向往復動回数と一θ方向の往復動回数を同
等とすること、 を特徴とする構成とする。

また、記録／再生素子部の硬度がコアスライダ部と異な
る磁気ヘッドの場合は、コアスライダブロックを研磨部
材の面に対し直線方向に相対的に、かつ自動的に往復動
させるとともに、進行方向に対し流入斜面が前端に位置
し、記録／再生素子部が後端に位置するときのみ研磨部
材と接触させる。

〔産業上の利用分野］ 磁気ディスク装置における磁気記録円板に情報を記録／
再生するための磁気ヘッドは、磁気記録円板が高速回転
する際の風力によって浮上した状態で記録／再生が行な
われる。本発明は、このような浮上式磁気ヘッドのコア
スライダの製造方法、特に浮上面レールの周縁のＲ面取
り方法に関する。

〔磁気ヘッドの浮上面レールのＲ面取り〕第４図は磁気
ヘッドによって情報を記録／再生している状態を示す側
面図である。Ｈは磁気ヘッドであり、コアスライダｌの
後端に、コイル２が巻かれたコア３が接着されている。

そして、コア３とコアスライダ１との間のギャップＧで
、磁気記録円板４に情報が記録／再生される。

コアスライダ１は、ジンバルと呼ばれる薄板ハネ５を介
してスプリングアーム６に取り付は支持されており、該
スプリングアーム６が、駆動アーム７を介して、駆動軸
８に取り付けられている。

磁気記録円板４は高速回転するため、その際発生する矢
印ａ１方向の風力でコアスライダ１が浮上する。したが
って、後端のギヤツブＧでは、磁気記録円板４との間に
微小な浮上隙間をおいて、記録／再生が行なわれる。

このように、コアスライダ１を風力で浮上させるために
、コアスライダｌの先端の磁気記録円板４と対向する位
置に、空気の流入斜面９を形成することで、コアスライ
ダ１が浮上し易くしている。

第５図（ａ）はコアスライダｌの斜視図である。コアス
ライダｌの、前記磁気記録円板４と対向する面（スライ
ダ面）には、２本の浮上面レール１０．１１を有してい
る。そして浮上面レール１Ｏ１１１の先端に、前記の流
入斜面９が形成されている。（ｂ）図に示すように、こ
の流入斜面９の寸法は、浮上方向の深さが２〜７μｍ、
浮上面レール方向の長さが３００〜６００μｍであり、
その結果、傾斜角度θは２０′〜４０′　となる。

第４図のように浮上面レール１０．１１が磁気記録円板
４と対向した状態で磁気記録円板４が高速回転している
際に、あるいは回転の開始・停止時に、磁気記録円板４
の突起が浮上面レール１０．１１の周縁の角部ｅｌｘｅ
、に衝突することがある。このような場合に、ヘッドク
ラッシュを来さないように、浮上面レール１０．１１の
周縁ｅ１〜ｅ、を研磨して面取りし、１０〜２０μｍの
Ｒ面取りすることが行なわれる。

〔従来の技術〕

第６図は流入斜面を形成する前のコアスライダブロック
１２の斜視図であり、鎖線で示す領域９ａを研磨して流
入斜面を形成してから、破線１３で示す位置から分断し
、数個〜１０個程鹿のコアスライダにする。そして、数
個〜１０個程鹿のコアスライダを一斉にＲ面取りする。

第７図はコアスライダブロック１２の背面図（記録／再
生素子り側から見た図）であり、鎖線の位置から個々の
コアスライダに分断される。そして第８図に示すように
、個々のコアスライダト・・を、面取り用の治具１４に
一定間隔で貼りつける。このとき、コアスライダ１の浮
上面レール１０．１１の間隔りが、隣接するコアスライ
ダの浮上面レール１１１０の間隔ｄと一致するように配
置される。これによって、すべての浮上面レール１０．
１１・・・の間隔が一定になる。

第９図は従来の手作業式の面取り方法を示す斜視図であ
り、第８図のように複数個のコアスライダト・・が貼り
付けられた治具１４を、シリコンゴム製シート１５に貼
りつけたダイヤモンドラッピングテープ１６の上に載せ
る。このように浮上面レール１０．１１をダイヤモンド
ラッピングテープ゛１６に当てた状態で、治具１４を手
で押しつけると、第８図に示すように、浮上面レール１
０．１１がダイヤモンドラッピングテープ１６に食い込
む。この状態で、矢印ａ２、ａ３で示すように、治具１
４をジグザグ状にスライドさせると、浮上面レール１０
．１１の周縁の角部（第５図に示すｅ、〜ｅ４）が最も
強くダイヤモンドラッピングテープ１６に当たるため、
磨耗によって面取りされ、Ｒがつく。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところが、このような手作業によるＲ面取り方法では、
第８図に示すように、コアスライダブロック１２を各コ
アスライダト・・ごとに分離し、一定間隔に治具１４に
貼りつける必要があり、作業が面倒である。また、第９
図に示すように、手作業で面取りするため、押圧力や摺
動速度、移動範囲などが異なり、また全体を均一に押圧
できず、押圧力の強さが偏るなどの問題がある。そのた
め、第８図のように各浮上面レール１０．１１・・・の
間隔を一定にしたとしても、精度よくかつ均一にＲ面取
りすることが困難であり、また作業者によって仕上がり
にバラツキが生しる。したがって、作業者の経験や熟練
が必要となる。

本発明の技術的課題は、このような問題に着目し、コア
スライダブロックを１個ずつ分離しないで、ブロック状
のままＲ面取りでき、しかも自動的にかつ均一にＲ面取
りできるようにすることにある。

〔課題を解決するための手段〕

「請求項１の発明」 第１図（ａ）は本発明による磁気ヘッドの製造方法の基
本原理を説明する平面図、（ｂ）は（ａ１図におけるｂ
−ｂ断面図である。１７は接着ブロックであり、その下
面には、第７図に示すようなコアスライダブロック１２
が貼りつけられている。本発明では、硬度が６０°±１
０°の範囲の弾性シーＨ５ａの上にダイヤモンドラッピ
ングテープなどのシート状ないしフィルム状の研磨部材
１６を載セ、その上でＲ面取りを行なう。

そして、接着ブロック１７を、研磨部材１６の面に対し
矢印ａ４で示す直線方向に相対的にかつ自動的に、往復
動さセる。

この往復動の際に、接着ブロック１７の上に重りなどに
よる荷重を作用さセ°ることで、接着プロ・ツク１７と
研磨部材１６との接触圧を一定に維持する。

また、コアスライダブロック１２の浮上面レールを、矢
印ａ４で示す往復動方向に対し一定の角度上θで傾斜さ
せる。しかも＋θ方向と一θ方向の往復動回数を同等と
する。θとしては、１５°〜４５゜０ 程度が良い。

「請求項２の発明」 磁気記録／再生素子部が薄膜型の磁気ヘッドにおいては
、第２図に示すように、コアスライダブロック１２を直
線方向に往復動させる際に、往方向のみ研磨部材１６と
接触させ、復方向では研磨部材１６から浮き上がらせ、
研磨部材１６と接触しないようにする。すなわち、進行
方向に対し流入斜面が前端に位置し、記録／再生素子部
が後端に位置するときのみ研磨部材１６と接触させる。

そのため、そのほか、十θ方向と−θ力方向往復動回数
を同等とすること、などに関しては、請求項１の発明と
同しである。

〔作用］ 「請求項１の発明」 研磨部材１６を載せる弾性シー）１５ａとして、硬度が
６０°±１０°の範囲のものを使用している。硬度が７
０°より硬い弾性シートを使用すると、隣接する浮上面
レールｌ０１１１．１０・・・の間に研磨部材１６が充
分食い込まなくなり、Ｒ面取りが不十分となる。逆に弾
性シートが５０°より柔らかいと、研磨部材１６は隣接
する浮上面レール１０．１１．１０・・・の間に充分食
い込むが、コアスライダブロック１２が往復動する際に
、浮上面レール１０．１１の角部が研磨部材１６に引っ
掛かり、円滑に往復動できないという欠点が生しる。し
たがって、前記のように硬度が６０°±１０°の範囲の
御性シートを使用すると、（ｂ）図に示すように、浮上
面レール間隔の狭いｄの部分においても、間隔の広いＤ
の部分においても、隣接する浮上面レール間に研磨部材
１６が食い込み、かつ円滑に移動できる。

また、コアスライダブロック１２を研磨部材１６の面に
対し直線方向に相対的に、かつ自動的に往復動させると
共に、コアスライダブロック１２が貼り付けられた接着
ブロック１７の上に、重りなどによる荷重を作用させる
ことで、コアスライダブロック１２と研磨部材１６の面
との接触圧を一定に維持している。そのため、Ｒ面取り
する際の接触圧その他の条件が、各浮上面レールにおい
て一定となる。

しかも、コアスライダブロック１２の浮上面レールを、
往復動方向に対し一定の角度±θで傾斜させ、往復動方
向に対し＋θ方向の往復動回数とＯ方向の往復動回数を
同等とするため、すべての浮上面レールのＲ面取り方向
が同等となり、すべての浮上面レールを均一にかつパン
ランス良くＲ面取りできる。

このように、浮上面レールの間隔り、ｄが一定していな
くても、浮上面レールのＲ面取りの品質が確保できるた
め、従来のようにコアスライダブロック１２を分離する
ことなくブロック状のままＲ面取りできる。そのため、
流入斜面９を形成した後に、コアスライダブロック１２
が貼りつけられた接着ブロックを、引き続いてＲ面取り
装置に取り付けるだけで、Ｒ面取りできる。

「請求項２の発明」 薄膜型の磁気ヘッドの場合は、薄膜素子部りの硬度はコ
アスライダ部より格段と柔らかい。例えばコアスライダ
ｌの材料であるＡｆｆ２０３　・Ｔｉｃは、非常に硬い
が、薄膜素子部を構成しているＡ１２０３は柔らかく、
両者の硬度差が大きい。そのため、請求項１の発明のよ
うに単に往復動させるのみでは、薄膜素子部りが研磨過
剰となる。ところが、第２図に示す方法は、往方向にお
いてのみ研磨部材１６と接触させ、復方向では研磨部材
１６から浮かせると共に、研磨動作時には常に’ａｌｌ
Ｗ素子部りが後端に位置するように方向性を持たせる。

このようにして、常に進行方向に対し流入斜面が前端に
位置し、記録／再生素子部が後端に位置する状態で、研
磨部材１６と接触させることにより、簿膜素子部ｌ］側
と研磨部１．！’　１６との接触圧が軽減されるため、
薄膜素子部りの研磨過剰を防止できる。

〔実施例〕

次に本発明によるＲ面取り方法が実際上どのように具体
化されるかを実施例で説明する。第３図は本発明の方法
を実施する装置を例示する斜視図である。テーブル１８
の上に弾性シート１５ａを載せ、３ ４ その上にダイヤモンドラッピングテープ１６などの研磨
部材を載せる。弾性シー口５ａとしては、硬度が６０°
±１０°の範囲のものを使用する。

ダイヤモンドラッピングテープ１６と平行に形威された
ヘッド１９上には、ヘッド２０が載置され、ヘッド１９
上で直線方向に往復動するようになっている。ヘッド２
０には、ダイヤモンドラッピングテープ１６の真上にお
いて、上下動する主軸２１が支持されており、該主軸２
１の下端に、接着ブロック１７が真空チャンクされてい
る。なお、接着ブロック１７には、予めコアスライダブ
ロック１２が貼り付けられている。

ヘッド２０の内部に角度割り出し用のモータが内蔵され
、歯車機構を介して主軸２１と連結されている。また、
主軸２１の全周にラックを形威し、該ランクを上下駆動
モータと連結することで、主軸２１を」二下動できるよ
うになっている。

いま、薄膜素子部のように軟質の部分を有するコアスラ
イダブロック１２をＲ面取りする場合は、ヘッド２０が
往方向に移動するときのみ、主軸２１を下げて、コアス
ライダブロック１２をダイヤモンドラッピングテープ１
６に接触させる。そして復方向に移動する場合は、主軸
２１を上昇させることで、コアスライダブロック１２を
ダイヤモンドラッピングテープ１６から離すと共に、常
に薄膜素子部をコアスライダの後端に位置させることで
、薄膜素子部が研磨過剰となるのを防止できる。

また、主軸２１を回転させることで、往復動方向に対し
トθの角度を割り出し、所定回数往方向動作した後、主
軸２１を一θまで回転させた後、前記と同回数だけ往方
向移動させる。

なおｌ往復ごとに２θ回転させ、十θ方向のＲ面取りと
−θ力方向Ｒ面取りを交互に行なうこともできる。

さらに、進行方向に対し流入斜面が前端に位置し、記録
／再生素子部が後端に位置するように方向性を持たせる
限り、前進・後退のストロークエンドにおいて、常に主
軸２１を回転させてコアスライダブロック１２の向きを
逆転し、往復両方においてＲ面取りしてもよい。

フェライトにコイルを巻いた記録／再生素子を有する磁
気ヘッドのように、コアスライダと記録／再生素子部の
硬度が同等の場合は、復動作時に主軸２１を上昇させる
必要はない。すなわち、コアスライダブロック１２をダ
イヤモンドラッピングテープ１６に接触させたまま往復
動させるのみでよい。

なお、十θ方向に所定回数往復動させた後に、旦主軸２
１を上昇させ、−〇方向に向きを変えてから下降させ、
同し回数往復動させることで、すべての浮」二面レール
を均等にＲ面取りできる。

コアスライダブロック１２を研磨部材１６に押しつける
荷重は、主軸２１の自重で設定することもできるが、主
軸２１の上に重りを載せたり、レバー式にあるいはバネ
式に荷重を加えることもできる。

（発明の効果〕 以上のように本発明によれば、研磨部材１６を載せる弾
性シー目５ａの硬度を選択すると共に、浮上面レールの
向きを＋θ、−θ方向と切り換えて同し回数往復動させ
、一定荷重を加えて相対的に直線方向に往復動させるの
で、浮上面レールの間隔が一定していなくても、すべて
の浮上面レールを均一にＲ面取りできる。そのため、コ
アスライダを分離しない状態でＲ面取りでき、従来のよ
うに分離されたコアスライダを１個ずつ治具に貼りつけ
る作業が不必要となり、作業効率が向上する。

また、自動的にしかも高精度にかつ均一にＲ面取りでき
る。更に、薄膜型磁気ヘッドのように、軟質部分を有す
るコアスライダの場合は、軟質部が常に進行方向の後端
に位置するように、復方向移動時はコアスライダブロッ
ク１２が研磨部材１６から上昇するため、軟質部が研磨
過剰となるようなこともない。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図は本発明による磁気ヘッドの製造方法の
基本原理を説明する図、 第３図は本発明の方法を実施する装置を例示する斜視図
である。 第４図は磁気ヘッドによって情報を記録／再生している
状態を示す側面図、 ７ ８ 第５図はコアスライダの斜視図と流入斜面部の側面図、 第６図は流入斜面を形成する前のコアスライダブロック
の斜視図、 第７図は流入斜面を形成した後のコアスライダブロック
の背面図、 第８図、第９図は従来の浮上面レールのＲ面取り方法を
示す図である。 図において、１はコアスライダ、４は磁気記録円板、９
は流入斜面、１０．１１は浮上面レール、１２はコアス
ライダブロック、１３は分離位置、１５ａは弾性シート
、１６は研磨部材、１７は接着ブロック、２１は主軸を
それぞれ示す。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、磁気ヘッドのコアスライダにおける浮上面レールの
   周縁の角を面取りしＲを付ける方法であって、 複数個のコアスライダに分離する前のコアスライダブロ
   ックを、硬度が６０°±１０°の範囲の弾性シート上の
   研磨部材（１６）に載置し、 コアスライダブロック（１２）を研磨部材（１６）の面
   に対し直線方向に相対的に、かつ自動的に往復動させる
   こと、 この往復動の際に、コアスライダブロック（１２）が貼
   り付けられた接着ブロック（１７）の上に、重りなどに
   よる荷重を作用させることで、コアスライダブロック（
   １２）と研磨部材（１６）の面との接触圧を一定に維持
   すること、 コアスライダブロック（１２）の浮上面レールが、往復
   動方向に対し一定の角度±θで傾斜していること、 往復動方向に対し＋θ方向の往復動回数と−θ方向の往
   復動回数を同等とすること、 を特徴とする磁気ヘッドの製造方法。 ２、磁気ヘッドのコアスライダにおける浮上面レールの
   周縁の角を面取りしＲを付ける方法であって、 複数個のコアスライダに分離する前のコアスライダブロ
   ックを、硬度が６０°±１０°の範囲の弾性シート上の
   研磨部材（１６）に載置し、 コアスライダブロック（１２）を研磨部材（１６）の面
   に対し直線方向に相対的に、かつ自動的に往復動させる
   とともに、進行方向に対し流入斜面が前端に位置し、記
   録／再生素子部が後端に位置するときのみ研磨部材（１
   ６）と接触させること、 少なくとも流入斜面が前向きで移動するときのみ、コア
   スライダブロック（１２）が貼り付けられた接着ブロッ
   ク（１７）の上に、重りなどによる荷重を作用させるこ
   とで、コアスライダブロック（１２）と研磨部材（１６
   ）の面との接触圧を一定に維持すること、コアスライダ
   ブロック（１２）の浮上面レールが、進行方向に対し一
   定の角度±θで傾斜していること、往復動方向に対し＋
   θ向きの移動回数と−θ向きの移動回数を同等とするこ
   と、 を特徴とする磁気ヘッドの製造方法。