JPH03255904A - 微小変位検出装置 - Google Patents
微小変位検出装置Info
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- JPH03255904A JPH03255904A JP2055327A JP5532790A JPH03255904A JP H03255904 A JPH03255904 A JP H03255904A JP 2055327 A JP2055327 A JP 2055327A JP 5532790 A JP5532790 A JP 5532790A JP H03255904 A JPH03255904 A JP H03255904A
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- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 8
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- 230000004907 flux Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
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- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q20/00—Monitoring the movement or position of the probe
- G01Q20/02—Monitoring the movement or position of the probe by optical means
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は原子間力を用いた表面形状測定装置に関し、探
針と試料との間に働く原子間力の変化によるナノメート
ル以下の探針の変位の測定、あるいはマイクロメータオ
ーダのストロークでの微小変位の検出に用いられる微小
変位検出装置に関するものである。
針と試料との間に働く原子間力の変化によるナノメート
ル以下の探針の変位の測定、あるいはマイクロメータオ
ーダのストロークでの微小変位の検出に用いられる微小
変位検出装置に関するものである。
従来の技術
微細な表面形状を測定する装置として、試料と試料の表
面ごく近（に接触することな（設置された鋭く先の尖っ
た探針との間に働く原子間力を検出し、この検出された
力が一定になるように試料の位置を探針と垂直方向に変
化させることによりナノメートルオーダの精度で試料と
探針との間の距離を一定にし、試料の位置を探針と水平
方向に走査することにより試料の表面形状測定を行うも
のが知られている。この測定では、探針と試料との間の
距離を一定に保つために探針と試料との間に働く原子間
力を一定にする必要があり、この力の検出にばねで支持
された探針が原子間力を受けることによって変化するた
わみ量を検出し探針と試料間の距離を検出する。これら
原子間力を利用した微細表面形状の測定装置において、
ナノメートル以下精度で探針の変位を測定する必要性が
高まっている。
面ごく近（に接触することな（設置された鋭く先の尖っ
た探針との間に働く原子間力を検出し、この検出された
力が一定になるように試料の位置を探針と垂直方向に変
化させることによりナノメートルオーダの精度で試料と
探針との間の距離を一定にし、試料の位置を探針と水平
方向に走査することにより試料の表面形状測定を行うも
のが知られている。この測定では、探針と試料との間の
距離を一定に保つために探針と試料との間に働く原子間
力を一定にする必要があり、この力の検出にばねで支持
された探針が原子間力を受けることによって変化するた
わみ量を検出し探針と試料間の距離を検出する。これら
原子間力を利用した微細表面形状の測定装置において、
ナノメートル以下精度で探針の変位を測定する必要性が
高まっている。
以下図面を参照しながら、従来例について説明する。
第３図は従来の探針変位検出装置の構成を示すものであ
る。第３図において、１０１は偏光ビームスプリッタ、
１０２，１０３はλ／４波長板、１０４はレンズ、１０
５は片持ち梁状に支持され変位面を有する探針、１０６
は参照面を構成するミラー １０７，１１０は偏光板、
１０８．１１１は光検出器、１０９はビームスプリッタ
である。
る。第３図において、１０１は偏光ビームスプリッタ、
１０２，１０３はλ／４波長板、１０４はレンズ、１０
５は片持ち梁状に支持され変位面を有する探針、１０６
は参照面を構成するミラー １０７，１１０は偏光板、
１０８．１１１は光検出器、１０９はビームスプリッタ
である。
以上のように構成された微小変位検出装置について以下
その動作について説明する。
その動作について説明する。
周波数のわずかに異なる２周波の紙面に垂直な方向と水
平な方向に直線偏光したレーザ光線（図示せず）の光は
ビームスプリッタ１０９に入射され、分離されたレーザ
光の一部は、偏光板１１０により紙面に４５°偏光した
偏光成分のみ光検出器１１１にて２周波の差周波のビー
トを参照信号として検出される。
平な方向に直線偏光したレーザ光線（図示せず）の光は
ビームスプリッタ１０９に入射され、分離されたレーザ
光の一部は、偏光板１１０により紙面に４５°偏光した
偏光成分のみ光検出器１１１にて２周波の差周波のビー
トを参照信号として検出される。
ビームスプリッタ１０９により分離されたもう一方の光
は偏光ビームスプリッタ１０１に入射され、紙面に平行
な偏光方向の光は参照光としてミラー１０６の方向に分
離されλ／４波長板１０３を通りミラー１０６により反
射され再度λ／４波長板１０３を通ることにより偏光方
向が９０°変えられ、偏光ビームスプリッタ１０１を今
度は直進し、偏光板１０７を通り光検出器１０８に達す
る。
は偏光ビームスプリッタ１０１に入射され、紙面に平行
な偏光方向の光は参照光としてミラー１０６の方向に分
離されλ／４波長板１０３を通りミラー１０６により反
射され再度λ／４波長板１０３を通ることにより偏光方
向が９０°変えられ、偏光ビームスプリッタ１０１を今
度は直進し、偏光板１０７を通り光検出器１０８に達す
る。
偏光ビームスプリッタ１０１に入射された紙面に垂直な
偏光方向の光は変位光として探針１０５の方向に分離さ
れλ／４波長板１０２、レンズ１０４を通り探針１０５
の変位面により反射され再度λ／４波長板１０２を通る
ことにより偏光方向が９０°変えられ、偏光ビームスプ
リッタ１０１により進行方向を９０”曲げられ偏光板１
０７を通り光検出器１０８に達する。
偏光方向の光は変位光として探針１０５の方向に分離さ
れλ／４波長板１０２、レンズ１０４を通り探針１０５
の変位面により反射され再度λ／４波長板１０２を通る
ことにより偏光方向が９０°変えられ、偏光ビームスプ
リッタ１０１により進行方向を９０”曲げられ偏光板１
０７を通り光検出器１０８に達する。
ミラー１０６により反射された参照光と、探針１０５に
より反射された変位光の差周波のビートが光検出器１０
８で検出される。ここで探針の変位により前記変位光の
光路長が変化し前記参照光との光路長差を、光検出器１
０８で検出されるビート信号の位相変化として出力し、
このビート信号と光検出器１１１で検出されたビート信
号の位相差を求めることにより変位を検出する。
より反射された変位光の差周波のビートが光検出器１０
８で検出される。ここで探針の変位により前記変位光の
光路長が変化し前記参照光との光路長差を、光検出器１
０８で検出されるビート信号の位相変化として出力し、
このビート信号と光検出器１１１で検出されたビート信
号の位相差を求めることにより変位を検出する。
発明が解決しようとする課題
しかしながら上記のような構成では、探針１０５の位置
測定の基準位置はミラー１０６でありこのミラー１０６
が外乱等により振動した場合、探針位置の検出に誤差を
生じる。また、参照光と変位光の光路が互いに興なるた
め、空気の温度、気圧、温度等の変化による屈折率の変
化により、探針位置の検出に誤差を生じやすい。
測定の基準位置はミラー１０６でありこのミラー１０６
が外乱等により振動した場合、探針位置の検出に誤差を
生じる。また、参照光と変位光の光路が互いに興なるた
め、空気の温度、気圧、温度等の変化による屈折率の変
化により、探針位置の検出に誤差を生じやすい。
本発明は上記問題点に鑑み、外乱振動による測定精度へ
の影響が少なく、空気の屈折率の変化による測定誤差の
少ない、高精度な微小変位検出装置を提供するものであ
る。
の影響が少なく、空気の屈折率の変化による測定誤差の
少ない、高精度な微小変位検出装置を提供するものであ
る。
課題を解決するための手段
上記問題点を解決するために請求項１記載の微小変位検
出装■は、レーザ光源と、前記光源の光を分離する回折
格子と、前記回折格子により生じた回折光の１１次以外
の光を遮蔽するフィルタと、前記回折光の±１次の回折
光のうちのどちらか一方の回折光の偏光状態を変化させ
る波長板と、前記±１次の２つの回折光を前記変位面と
前記参照面に集光するレンズと、前記レンズにより集光
され前記変位面と前記参照面により反射した光を再び前
記レンズにより平行光束化し、再度前記回折格子に前記
変位面からの光と、前記参照面からのビームが重なるよ
うに入射し、回折した光のうちお互いの１次の回折光の
干渉光を検出する光検出器とを備えたことを特徴とする
。
出装■は、レーザ光源と、前記光源の光を分離する回折
格子と、前記回折格子により生じた回折光の１１次以外
の光を遮蔽するフィルタと、前記回折光の±１次の回折
光のうちのどちらか一方の回折光の偏光状態を変化させ
る波長板と、前記±１次の２つの回折光を前記変位面と
前記参照面に集光するレンズと、前記レンズにより集光
され前記変位面と前記参照面により反射した光を再び前
記レンズにより平行光束化し、再度前記回折格子に前記
変位面からの光と、前記参照面からのビームが重なるよ
うに入射し、回折した光のうちお互いの１次の回折光の
干渉光を検出する光検出器とを備えたことを特徴とする
。
また、請求項２記載の微小変位検出装置は、上記構成に
おいて、周波数のわずかに異なる２周波のレーザ光源と
、光検出器より得られたビート信号と前記レーザ光源の
ビート信号との位相差を検出する位相検出器とを備えた
ことを特徴とする。
おいて、周波数のわずかに異なる２周波のレーザ光源と
、光検出器より得られたビート信号と前記レーザ光源の
ビート信号との位相差を検出する位相検出器とを備えた
ことを特徴とする。
作 用
本発明は上記構成により、参照面を変位面の近傍に設け
ることができるので、外乱振動による測定精度への影響
が少な（、また参照光と変位光の光路がほぼ同一の経路
をたどるので、空気の屈折率の変化による測定誤差の少
ない、高精度な微小変位検出を行うことが可能となる。
ることができるので、外乱振動による測定精度への影響
が少な（、また参照光と変位光の光路がほぼ同一の経路
をたどるので、空気の屈折率の変化による測定誤差の少
ない、高精度な微小変位検出を行うことが可能となる。
実施例
以下、本発明の微小変位検出装置について、図面を参照
しながら説明する。
しながら説明する。
第１図は、本発明の第１実施例における微小変位検出装
置の全体構成を示すものである。第１図において、１は
回折格子、２はレンズ、３はホルダ１３によって片持ち
梁状に支持された探針、４はλ／４波長板、５，６はフ
ィルタ、７は偏光板、８は光検出器、９はミラー １４
は試料である。
置の全体構成を示すものである。第１図において、１は
回折格子、２はレンズ、３はホルダ１３によって片持ち
梁状に支持された探針、４はλ／４波長板、５，６はフ
ィルタ、７は偏光板、８は光検出器、９はミラー １４
は試料である。
以上のように構成された微小変位検出装置について、以
下第１図を用いてその作用を説明する。
下第１図を用いてその作用を説明する。
紙面に対し４５°の方向に直線偏光したＨｅＮｅレーザ
光線（図示せず）の光は回折格子１に入射され、前記回
折格子１から出射した光の±１次の回折光以外はフィル
タ５により遮蔽する。
光線（図示せず）の光は回折格子１に入射され、前記回
折格子１から出射した光の±１次の回折光以外はフィル
タ５により遮蔽する。
前記回折格子１から出射された±１次の光のうち、＋１
次の回折光は、λ／４波長板４により円偏光に変化され
たのち、レンズ２により焦点距離に等しい位置ｆに設置
された探針３の変位面Ａに集光され反射し、レンズ２に
より再び平行光束化し、回折格子１により再度回折され
フィルタ６により＋１次の回折光のみ通過する。
次の回折光は、λ／４波長板４により円偏光に変化され
たのち、レンズ２により焦点距離に等しい位置ｆに設置
された探針３の変位面Ａに集光され反射し、レンズ２に
より再び平行光束化し、回折格子１により再度回折され
フィルタ６により＋１次の回折光のみ通過する。
他方、前記回折格子１より出射した一１次の回折光はレ
ンズ２により探針３のホルダ１３上に形成した参照面Ｂ
に集光したのち反射し、レンズ２により再び平行光束化
し、回折格子１により再度回折しフィルタ６により一１
次の回折光のみ通過する。
ンズ２により探針３のホルダ１３上に形成した参照面Ｂ
に集光したのち反射し、レンズ２により再び平行光束化
し、回折格子１により再度回折しフィルタ６により一１
次の回折光のみ通過する。
この際、回折格子１に前記変位面Ａに反射した光と前記
参照面Ｂに反射した光のビームが回折格子１上でほぼ重
なるように構成する。また、回折格子１により再度回折
された±１次の回折光は再びほぼ同一の光路をたどる様
に構成し、フィルタ６によりフィルタリングした光はミ
ラー９により反射し偏光板７を通過し光検出器８にて変
位信号として検出する。
参照面Ｂに反射した光のビームが回折格子１上でほぼ重
なるように構成する。また、回折格子１により再度回折
された±１次の回折光は再びほぼ同一の光路をたどる様
に構成し、フィルタ６によりフィルタリングした光はミ
ラー９により反射し偏光板７を通過し光検出器８にて変
位信号として検出する。
光検出器８の信号強度は、回折格子１に入射し±１次の
回折光に分離した２つの光が、再度回折格子１により回
折されるまでの光路長の差に対し正弦波状に変化する。
回折光に分離した２つの光が、再度回折格子１により回
折されるまでの光路長の差に対し正弦波状に変化する。
ここで、偏光板７を回転調整することにより、探針３の
変位により光検出器８の信号出力が正弦波の原点になる
様に調整し、探針３レーザ光のλ／４波長以下の微小な
変位は、この光検出器８により検出された信号強度に近
似的に比例し検出する。
変位により光検出器８の信号出力が正弦波の原点になる
様に調整し、探針３レーザ光のλ／４波長以下の微小な
変位は、この光検出器８により検出された信号強度に近
似的に比例し検出する。
以上のように本実施例によれば、探針３の変位の検出の
基準となる参照面Ｂを探針３の近傍に設けることができ
るので、外乱振動による測定精度への影響が少なく、高
精度な微小変位検出を行うことができ、また参照信号の
光路と変位信号の光路がほぼ同一の経路をたどり、空気
の屈折率の変化による影響を参照光、測定光とも同じ割
合で受けるので、屈折率の変化が相補され測定誤差の少
ない、高精度な微小変位検出を行うことができる。
基準となる参照面Ｂを探針３の近傍に設けることができ
るので、外乱振動による測定精度への影響が少なく、高
精度な微小変位検出を行うことができ、また参照信号の
光路と変位信号の光路がほぼ同一の経路をたどり、空気
の屈折率の変化による影響を参照光、測定光とも同じ割
合で受けるので、屈折率の変化が相補され測定誤差の少
ない、高精度な微小変位検出を行うことができる。
第２図は、本発明の第２実施例における微小変位検出装
置の全体構成を示すものである。第２図において、１は
回折格子、２はレンズ、３はホルダ１３によって片持ち
梁状に支持された探針、４はλ／２波長板、５，６はフ
ィルタ、７．１１は偏光板、８．１２は光検出器、９は
ミラー １０はビームスプリッタ、１４は試料である。
置の全体構成を示すものである。第２図において、１は
回折格子、２はレンズ、３はホルダ１３によって片持ち
梁状に支持された探針、４はλ／２波長板、５，６はフ
ィルタ、７．１１は偏光板、８．１２は光検出器、９は
ミラー １０はビームスプリッタ、１４は試料である。
以上のように構成された微小変位検出装置について、以
下第２図を用いてその作用を説明する。
下第２図を用いてその作用を説明する。
周波数のわずかに異なる２周波の紙面に垂直な方向と水
平な方向に直線偏光したＨｅ−Ｎｅレーザ光源（図示せ
ず）の光はビームスプリッタ１０に入射され、分離され
たレーザ光の一部は、偏光板１１により紙面に４５°に
偏光した偏光成分のみ光検出器１２にて前記レーザ光源
の２周波の差周波のビートを参照信号として検出する。
平な方向に直線偏光したＨｅ−Ｎｅレーザ光源（図示せ
ず）の光はビームスプリッタ１０に入射され、分離され
たレーザ光の一部は、偏光板１１により紙面に４５°に
偏光した偏光成分のみ光検出器１２にて前記レーザ光源
の２周波の差周波のビートを参照信号として検出する。
ビームスプリッタ１０により分離されたもう一方の光は
回折格子ｌに入射され、前記回折格子ｌから出射した光
の±１次の回折光以外はフィルタ５により遮蔽される。
回折格子ｌに入射され、前記回折格子ｌから出射した光
の±１次の回折光以外はフィルタ５により遮蔽される。
前記回折格子１から出射された±１次の光のうち、＋１
次の回折光は、波長板４により偏光面が９０”変化し、
レンズ２により焦点距離に等しい位置ｆに設置された探
針３の変位面Ａに集光し反射され、レンズ２により再び
平行光束化され、回折格子１により再度回折されフィル
タ６により＋１次の回折光のみ通過する。
次の回折光は、波長板４により偏光面が９０”変化し、
レンズ２により焦点距離に等しい位置ｆに設置された探
針３の変位面Ａに集光し反射され、レンズ２により再び
平行光束化され、回折格子１により再度回折されフィル
タ６により＋１次の回折光のみ通過する。
他方前記回折格子１より出射した一１次の回折光はレン
ズ２により探針３のホルダ１３上に形成された参照面Ｂ
に集光したのち反射され、レンズ２により再び平行光束
化され、回折格子１により再度回折されフィルタ６によ
り一１次の回折光のみ通過する。
ズ２により探針３のホルダ１３上に形成された参照面Ｂ
に集光したのち反射され、レンズ２により再び平行光束
化され、回折格子１により再度回折されフィルタ６によ
り一１次の回折光のみ通過する。
この際、回折格子１に前記変位面Ａに反射された光と前
記参照面Ｂに反射された光のビームが回折格子１上でほ
ぼ重なるように構成する。また、回折格子１により再度
回折された±１次の回折光は再びほぼ同一の光路をたど
る様に構成されており、フィルタ６によりフィルタリン
グされた光はミラー９により反射され偏光板７により紙
面に対して水平または垂直な偏光面の光のみ通過され、
光検出器８にて前記レーザ光源の２周波の差周波のビー
トを変位信号として検出する。この変位信号のビートの
位相は回折格子１に入射され±１次の回折光に分離され
た２つの光が再度回折格子１により回折されるまでの光
路長の差によって変化する。
記参照面Ｂに反射された光のビームが回折格子１上でほ
ぼ重なるように構成する。また、回折格子１により再度
回折された±１次の回折光は再びほぼ同一の光路をたど
る様に構成されており、フィルタ６によりフィルタリン
グされた光はミラー９により反射され偏光板７により紙
面に対して水平または垂直な偏光面の光のみ通過され、
光検出器８にて前記レーザ光源の２周波の差周波のビー
トを変位信号として検出する。この変位信号のビートの
位相は回折格子１に入射され±１次の回折光に分離され
た２つの光が再度回折格子１により回折されるまでの光
路長の差によって変化する。
探針３の変位は、この光検出器８により検出された変位
信号のビートと、光検出器１２により検出された参照信
号のビートの位相を図示しない位相検出器により比較す
ることにより変位に比例した位相角として検出する。
信号のビートと、光検出器１２により検出された参照信
号のビートの位相を図示しない位相検出器により比較す
ることにより変位に比例した位相角として検出する。
以上のように本実施例によれば、探針３の変位の検出の
基準となる参照面Ｂを探針３の近傍に設けることができ
るので、外乱撮動による測定精度への影響が少なく、高
精度な微小変位検出を行うことができ、また参照信号の
光路と変位信号の光路がほぼ同一の経路をたどり、空気
の屈折率の変化による影響を参照光、測定光とも同じ割
合で受けるので、屈折率の変化が相補され測定誤差の少
ない、高精度な微小変位検出を行うことができ、また変
位の検出を信号強度の変化ではなくビート信号の位相差
により検出しているので前記信号強度の変化に影響され
ない高精度な微小変位検出を行うことができる。
基準となる参照面Ｂを探針３の近傍に設けることができ
るので、外乱撮動による測定精度への影響が少なく、高
精度な微小変位検出を行うことができ、また参照信号の
光路と変位信号の光路がほぼ同一の経路をたどり、空気
の屈折率の変化による影響を参照光、測定光とも同じ割
合で受けるので、屈折率の変化が相補され測定誤差の少
ない、高精度な微小変位検出を行うことができ、また変
位の検出を信号強度の変化ではなくビート信号の位相差
により検出しているので前記信号強度の変化に影響され
ない高精度な微小変位検出を行うことができる。
なお、第１．第２実施例において、光源にＨｅＮｅレー
ザ用いたが他の種類のレーザを用いてもよい。
ザ用いたが他の種類のレーザを用いてもよい。
発明の効果
以上のように本発明は、回折格子と、フィルタと、レン
ズにより検出光学系を構成しているので、参照面を変位
面の近傍に設けることができ、外乱振動による測定精度
への影響が少な（、高精度な微小変位検出を行うことが
でき、また参照信号の光路と変位信号の光路がほぼ同一
の経路をたどり、空気の屈折率の変化による影響を参照
光、測定光とも同じ割合で受けるので、屈折率の変化が
相補され測定誤差の少ない、高精度な微小変位検出を行
うことが可能となる。
ズにより検出光学系を構成しているので、参照面を変位
面の近傍に設けることができ、外乱振動による測定精度
への影響が少な（、高精度な微小変位検出を行うことが
でき、また参照信号の光路と変位信号の光路がほぼ同一
の経路をたどり、空気の屈折率の変化による影響を参照
光、測定光とも同じ割合で受けるので、屈折率の変化が
相補され測定誤差の少ない、高精度な微小変位検出を行
うことが可能となる。
第１図は本発明の第１実施例における微小変位検出装置
の構成図、第２図は本発明の第２実施例における微小変
位検出装置の構成図、第３図は従来の微小変位検出装置
の構成図である。 １・・・・・・回折格子、２・・・・・・レンズ、４・
・・・・・波長板、５・・・・・・フィルタ、８・・・
光検出器、Ａ・・・・・・変位面、Ｂ・・・・・・参照
面。
の構成図、第２図は本発明の第２実施例における微小変
位検出装置の構成図、第３図は従来の微小変位検出装置
の構成図である。 １・・・・・・回折格子、２・・・・・・レンズ、４・
・・・・・波長板、５・・・・・・フィルタ、８・・・
光検出器、Ａ・・・・・・変位面、Ｂ・・・・・・参照
面。
Claims (2)
- （１）レーザ光源と、前記光源の光を分離する回折格子
と、前記回折格子により生じた回折光の±１次以外の光
を遮蔽するフィルタと、前記回折光の±１次の回折光の
うちのどちらか一方の回折光の偏光状態を変化させる波
長板と、前記±１次の２つの回折光を変位面と参照面と
に集光するレンズと、前記レンズにより集光され前記変
位面と前記参照面により反射した光を再び前記レンズに
より平行光束化し、再度前記回折格子に前記変位面から
の光と前記参照面からのビームとが異なるように入射し
、回折した光のうちお互いの１次の回折光の干渉光を検
出する光検出器とを備えたことを特徴とする微小変位検
出装置。 - （２）周波数のわずかに異なる２周波のレーザ光源と、
前記光検出器より得られたビート信号とレーザ光源のビ
ート信号との位相差を検出する位相検出器を備えたこと
を特徴とする請求項１記載の微小変位検出装置。
Priority Applications (3)
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|---|---|---|---|
| JP2055327A JP2679339B2 (ja) | 1990-03-07 | 1990-03-07 | 微小変位検出装置 |
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|---|---|---|---|
| JP2055327A JP2679339B2 (ja) | 1990-03-07 | 1990-03-07 | 微小変位検出装置 |
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|---|---|
| JPH03255904A true JPH03255904A (ja) | 1991-11-14 |
| JP2679339B2 JP2679339B2 (ja) | 1997-11-19 |
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|---|---|---|---|
| JP2055327A Expired - Fee Related JP2679339B2 (ja) | 1990-03-07 | 1990-03-07 | 微小変位検出装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| TWI312064B (en) * | 2006-07-10 | 2009-07-11 | Ind Tech Res Inst | Interferometer and a microscope utilizing the same |
| CN113532281B (zh) * | 2021-06-16 | 2023-06-06 | 南京信息职业技术学院 | 一种微小位移检测传感器、装置及方法 |
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|---|---|---|---|---|
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| US5017010A (en) * | 1989-05-16 | 1991-05-21 | International Business Machines Corporation | High sensitivity position sensor and method |
-
1990
- 1990-03-07 JP JP2055327A patent/JP2679339B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1991
- 1991-03-04 US US07/664,623 patent/US5164791A/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-03-07 KR KR1019910003676A patent/KR940005986B1/ko not_active IP Right Cessation
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR940005986B1 (ko) | 1994-06-30 |
| KR910017164A (ko) | 1991-11-05 |
| JP2679339B2 (ja) | 1997-11-19 |
| US5164791A (en) | 1992-11-17 |
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