JPH0325238U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0325238U JPH0325238U JP8587489U JP8587489U JPH0325238U JP H0325238 U JPH0325238 U JP H0325238U JP 8587489 U JP8587489 U JP 8587489U JP 8587489 U JP8587489 U JP 8587489U JP H0325238 U JPH0325238 U JP H0325238U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection device
- semiconductor wafer
- semiconductor
- section
- semiconductor inspection
- Prior art date
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- Pending
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 4
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の正面図、第２図は
本考案の該一実施例で試料搭載台にウエハーを搭
載するための機構を表わす概略図、第３図は本考
案の他の実施例の試料搭載台と駆動部の機構を表
わす概略図である。 １……ＩＣテスター、２……プローブカード、
３……ウエハー、４……試料搭載台、５……Ｘモ
ータ、６……Ｙモータ、７……カメラ、８……Ｚ
モータ、９……操作盤、１０……制御部、１１…
…電源部、１２……真空溝、１３……ベルト、１
４……ガイドＡ、１５……ガイドＢ、１６……ス
プリング、１７……ガイドモータ。
本考案の該一実施例で試料搭載台にウエハーを搭
載するための機構を表わす概略図、第３図は本考
案の他の実施例の試料搭載台と駆動部の機構を表
わす概略図である。 １……ＩＣテスター、２……プローブカード、
３……ウエハー、４……試料搭載台、５……Ｘモ
ータ、６……Ｙモータ、７……カメラ、８……Ｚ
モータ、９……操作盤、１０……制御部、１１…
…電源部、１２……真空溝、１３……ベルト、１
４……ガイドＡ、１５……ガイドＢ、１６……ス
プリング、１７……ガイドモータ。
Claims (1)
- 半導体ウエハーを搭載するための試料搭載台と
駆動部と制御部と操作盤と電源部とを有する半導
体検査装置において、前記半導体ウエハーを縦に
移動させる機構を有することを特徴とする半導体
検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8587489U JPH0325238U (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8587489U JPH0325238U (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0325238U true JPH0325238U (ja) | 1991-03-15 |
Family
ID=31635224
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8587489U Pending JPH0325238U (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0325238U (ja) |
-
1989
- 1989-07-20 JP JP8587489U patent/JPH0325238U/ja active Pending
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