JPH0418374U - - Google Patents

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JPH0418374U
JPH0418374U JP5980490U JP5980490U JPH0418374U JP H0418374 U JPH0418374 U JP H0418374U JP 5980490 U JP5980490 U JP 5980490U JP 5980490 U JP5980490 U JP 5980490U JP H0418374 U JPH0418374 U JP H0418374U
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  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第1図はこの考案の実施例を示す正面図、第2
図はそのソケツトガイド31の平面図、第3図は
従来のIC試験装置を示す正面図、第4図はその
X−Y移動機構12を簡略に示す図である。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 デバイス挿入機構がX−Y移動機構により、X
    方向およびY方向に移動可能に保持され、そのX
    −Y移動機構が制御装置により制御されて、その
    制御装置にセツトされた停止位置に、上記デバイ
    ス挿入機構を移動させることができ、 テストヘツド上にパーフオマンスボードが取り
    替え自在に取り付けられ、そのパーフオマンスボ
    ード上のソケツトに対し、上記デバイス挿入機構
    を対向させ、そのデバイス挿入機構に保持された
    被試験IC素子をZ方向に移動させて上記ソケツ
    トに装着させることができるIC試験装置におい
    て、 上記パーフオマンスボードに設けられ、これに
    対し、上記ソケツトの位置を正確に決めるソケツ
    トガイドと、 その位置決めされたソケツトに対して所定の位
    置関係で上記パーフオマンスボードに設けられた
    ガイドピン(またはガイド孔)と、 上記デバイス挿入機構に設けられ、そのデバイ
    ス挿入機構に保持された被試験IC素子を上記ソ
    ケツトに装着可能な状態で上記ガイドピン(また
    はガイド孔)と互いに嵌合して位置決めすること
    ができるガイド孔(またはガイドピン)と、 上記X−Y移動機構を操作して上記デバイス挿
    入機構のガイド孔(またはガイドピン)を上記パ
    ーフオマンスボードのガイドピン(またはガイド
    孔)に位置合わせした状態で、その時のそのデバ
    イス挿入機構の位置を上記制御装置に上記停止位
    置としてセツトさせる手段と、 を具備することを特徴とするIC試験装置。
JP5980490U 1990-06-06 1990-06-06 Ic試験装置 Expired - Lifetime JP2528268Y2 (ja)

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JP5980490U JP2528268Y2 (ja) 1990-06-06 1990-06-06 Ic試験装置

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JPH0418374U true JPH0418374U (ja) 1992-02-17
JP2528268Y2 JP2528268Y2 (ja) 1997-03-05

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