JPH03247749A - プラズマ熱処理方法 - Google Patents
プラズマ熱処理方法Info
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- JPH03247749A JPH03247749A JP4388990A JP4388990A JPH03247749A JP H03247749 A JPH03247749 A JP H03247749A JP 4388990 A JP4388990 A JP 4388990A JP 4388990 A JP4388990 A JP 4388990A JP H03247749 A JPH03247749 A JP H03247749A
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- treatment
- heat treatment
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Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 16
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 10
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 4
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 abstract description 9
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- 239000010959 steel Substances 0.000 abstract description 6
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 abstract description 4
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 18
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 6
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 2
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は金属の被処理材料にイオン窒化、ガス窒化等に
より表面処理を施すプラズマ熱処理方法に関する。
より表面処理を施すプラズマ熱処理方法に関する。
（従来技術）
プラズマ熱処理による金属表面処理方法として。
イオン窒化やガス窒化による方法が知られている。
その−例として、ガス窒化処理について簡単に説明する
。
。
まず、処理室に被処理材料を収容し排気を行なって不純
ガスを除去する。その後、処理室内を所定温度まで昇温
させて維持すると共に、処理室内に所定の圧力を維持す
るようにＮ２ガスによって稀釈した炭化水素系ガスを連
続的に導入して被処理材料表面に炭素を吸着せしめる。
ガスを除去する。その後、処理室内を所定温度まで昇温
させて維持すると共に、処理室内に所定の圧力を維持す
るようにＮ２ガスによって稀釈した炭化水素系ガスを連
続的に導入して被処理材料表面に炭素を吸着せしめる。
次に、処理室内のガスを排気、除去し、ガスの存在しな
い減圧状態で所定時間被処理材料表面に浸透した炭素の
拡散を行わせる。このような処理方法は１例えば特公昭
５４−３１９７６号公報に示されている。
い減圧状態で所定時間被処理材料表面に浸透した炭素の
拡散を行わせる。このような処理方法は１例えば特公昭
５４−３１９７６号公報に示されている。
（発明が解決しようとする課題）
ところで、これまでの窒化処理方法では、被処理材料表
面への炭素の吸着と拡散とが一つの処理室内で行われて
おり、生産性の点で問題点がある。
面への炭素の吸着と拡散とが一つの処理室内で行われて
おり、生産性の点で問題点がある。
すなわち、上述の窒化処理方法では、全体の処理時間に
対して拡散処理時間の占める割合が大きく。
対して拡散処理時間の占める割合が大きく。
連続処理を必要とするロール状鋼板のような場合は生産
性が非常に悪い。
性が非常に悪い。
以上のような問題点に鑑み１本発明の課題は。
ロール状に巻かれるような長尺の被処理材料に特に適し
たプラズマ熱処理方法を提供することにある。
たプラズマ熱処理方法を提供することにある。
（課題を解決するための手段）
本発明によるプラズマ熱処理方法は、第１の処理室にお
いてプラズマ熱処理により被処理材料の表面に所望の物
質を吸着せしめる第１の処理工程と、第２の処理室にお
いて前記吸着された物質の拡散を行う第２の処理工程と
を含む。
いてプラズマ熱処理により被処理材料の表面に所望の物
質を吸着せしめる第１の処理工程と、第２の処理室にお
いて前記吸着された物質の拡散を行う第２の処理工程と
を含む。
（作用）
本発明による熱処理方法においては、第１．第２の処理
室は互いに独立しており、したかって。
室は互いに独立しており、したかって。
第１．第２の処理工程も互いに独立して処理か進められ
る。
る。
（実施例）
第１図を参照して１本発明をイオン窒化処理装置に適用
した場合について説明する。本装置は。
した場合について説明する。本装置は。
イオン窒化処理用の第１の処理室１１と拡散処理用の第
２の処理室２］とに分けられている。第１の処理室］１
においては、ロール状の鋼帯１２か処理室内の処理空間
１３を通して一端側の送りロラ１４から他端側の巻取り
ローラ１５に移送される。この移送の間に１周知のイオ
ン窒化処理方法により鋼帯１２の表面に窒化物か吸着さ
れる。
２の処理室２］とに分けられている。第１の処理室］１
においては、ロール状の鋼帯１２か処理室内の処理空間
１３を通して一端側の送りロラ１４から他端側の巻取り
ローラ１５に移送される。この移送の間に１周知のイオ
ン窒化処理方法により鋼帯１２の表面に窒化物か吸着さ
れる。
イオン窒化処理されたロール状の銅帯１２′は。
複数個まとめて第２の処理室２１に収容され、所定の温
度で所定時間均熱処理されることでロール状の銅帯１２
′表面に吸着された窒化物は拡散する。
度で所定時間均熱処理されることでロール状の銅帯１２
′表面に吸着された窒化物は拡散する。
以下に上述の処理による試験結果を示す。
被処理材料としてはステンレス材５ＵＳ３０４を用い、
第１のイオン窒化処理については処理温度５３０°Ｃ１
処理時間］、５分とし、第２の拡散処理についてはＮ２
ガス雰囲気中で処理温度５５０℃、処理時間３０分とし
た結果、第１工程のイオン窒化処理では厚さ６μ印の窒
化層が得られ、第２］−程の拡散処理では厚さ１０μｍ
の窒化層となった。
第１のイオン窒化処理については処理温度５３０°Ｃ１
処理時間］、５分とし、第２の拡散処理についてはＮ２
ガス雰囲気中で処理温度５５０℃、処理時間３０分とし
た結果、第１工程のイオン窒化処理では厚さ６μ印の窒
化層が得られ、第２］−程の拡散処理では厚さ１０μｍ
の窒化層となった。
づ
ロール状銅帯専用の従来のイオン窒化処理装置と本発明
のイオン窒化処理用の第１の処理室１１とを比較すれば
、拡散処理そのものの時間たけでなく、イオン窒化処理
工程から拡散処理工程に移行する間の準備時間も考えな
くて良いので、処理時間の短縮、ライン速度の上昇を実
現することができる。一方、第２の処理室２１について
は、イオン窒化処理されたロール状銅帯を複数本まとめ
て拡散処理することかできるので、単位長当たりの処理
時間は従来装置に比して大幅に短縮される。
のイオン窒化処理用の第１の処理室１１とを比較すれば
、拡散処理そのものの時間たけでなく、イオン窒化処理
工程から拡散処理工程に移行する間の準備時間も考えな
くて良いので、処理時間の短縮、ライン速度の上昇を実
現することができる。一方、第２の処理室２１について
は、イオン窒化処理されたロール状銅帯を複数本まとめ
て拡散処理することかできるので、単位長当たりの処理
時間は従来装置に比して大幅に短縮される。
以上１本発明をイオン窒化処理の場合について説明して
きたが１本発明はイオン窒化のみならずプラズマ熱処理
全般に適用できる。
きたが１本発明はイオン窒化のみならずプラズマ熱処理
全般に適用できる。
（発明の効果）
以上説明してきたように本発明によれば、プラズマ熱処
理と拡散処理とを独立して行うことができるような構成
としたことにより、ライン速度の上昇化、処理時間の短
縮化を図ることかでき、その結果として生産性の向上化
を図ることができる。
理と拡散処理とを独立して行うことができるような構成
としたことにより、ライン速度の上昇化、処理時間の短
縮化を図ることかでき、その結果として生産性の向上化
を図ることができる。
第１図は本発明によるプラズマ熱処理方法をイオン窒化
処理に適用した場合の工程の概略構成図。 図中、１１は第１の処理室、１２は銅帯、１３は処理空
間、１４は送りローラ、１５は巻取り口う、２１は第２
の処理室。
処理に適用した場合の工程の概略構成図。 図中、１１は第１の処理室、１２は銅帯、１３は処理空
間、１４は送りローラ、１５は巻取り口う、２１は第２
の処理室。
Claims (1)
- １）第１の処理室においてプラズマ熱処理により被処理
材料の表面に所望の物質を吸着せしめる第１の処理工程
と，第２の処理室において前記吸着された物質の拡散を
行う第２の処理工程とを含むプラズマ熱処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4388990A JPH03247749A (ja) | 1990-02-24 | 1990-02-24 | プラズマ熱処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4388990A JPH03247749A (ja) | 1990-02-24 | 1990-02-24 | プラズマ熱処理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03247749A true JPH03247749A (ja) | 1991-11-05 |
Family
ID=12676271
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4388990A Pending JPH03247749A (ja) | 1990-02-24 | 1990-02-24 | プラズマ熱処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03247749A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5605580A (en) * | 1994-03-29 | 1997-02-25 | Mazda Motor Corporation | Carburization process |
| WO2005003400A1 (ja) * | 2003-07-04 | 2005-01-13 | Nachi-Fujikoshi Corp. | 金属線、金属帯もしくは金属パイプの連続真空浸炭方法および装置 |
| EP1642995A1 (en) * | 2003-07-04 | 2006-04-05 | Nachi-Fujikoshi Corp. | Method of continuous vacuum carburization of metal wire, metal band or metal pipe and apparatus therefor |
-
1990
- 1990-02-24 JP JP4388990A patent/JPH03247749A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5605580A (en) * | 1994-03-29 | 1997-02-25 | Mazda Motor Corporation | Carburization process |
| WO2005003400A1 (ja) * | 2003-07-04 | 2005-01-13 | Nachi-Fujikoshi Corp. | 金属線、金属帯もしくは金属パイプの連続真空浸炭方法および装置 |
| EP1642995A1 (en) * | 2003-07-04 | 2006-04-05 | Nachi-Fujikoshi Corp. | Method of continuous vacuum carburization of metal wire, metal band or metal pipe and apparatus therefor |
| JPWO2005003400A1 (ja) * | 2003-07-04 | 2006-08-17 | 株式会社不二越 | 金属線、金属帯もしくは金属パイプの連続真空浸炭方法および装置 |
| EP1642995A4 (en) * | 2003-07-04 | 2008-12-24 | Nachi Fujikoshi Corp | METHOD FOR CONTINUOUS VACUUM CARBURATION OF METAL CABLE, METAL STRIP, OR METAL PIPE, AND ASSOCIATED APPARATUS |
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