JPH03245514A - 両面金属化フィルムのマージン形成方法 - Google Patents
両面金属化フィルムのマージン形成方法Info
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- JPH03245514A JPH03245514A JP2043003A JP4300390A JPH03245514A JP H03245514 A JPH03245514 A JP H03245514A JP 2043003 A JP2043003 A JP 2043003A JP 4300390 A JP4300390 A JP 4300390A JP H03245514 A JPH03245514 A JP H03245514A
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- double
- laser beam
- metallized film
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Links
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、保安機構付の金属化フィルムコンデンサなど
に利用される両面金属化フィルムのマージン形成方法に
関する。
に利用される両面金属化フィルムのマージン形成方法に
関する。
従来の技術
従来、保安機構付の金属化フィルムコンデンサなどに用
いる両面金属化フィルムは、第４図に示すように、蒸着
時にテープにてマスキングしたり、油を使用したりして
金属が付着しないようにして連続マージン２０を形成し
た後、ＹＡＧレーザ等を用いて間欠マージン２１を形成
することにより、ヒユーズ部２２を設けたものがほとん
どである。
いる両面金属化フィルムは、第４図に示すように、蒸着
時にテープにてマスキングしたり、油を使用したりして
金属が付着しないようにして連続マージン２０を形成し
た後、ＹＡＧレーザ等を用いて間欠マージン２１を形成
することにより、ヒユーズ部２２を設けたものがほとん
どである。
々お、第４図において、２３はプラスチックフィルム等
の絶縁フィルム、２４は金属化により作成された電極で
ある。
の絶縁フィルム、２４は金属化により作成された電極で
ある。
発明が解決しようとする課題
しかしながら上記の方法のうち、マスキング法はマスク
用テープの蛇行等のため位置合せの精度が出にくり、ま
た油を使用する方法では残存する油でコンデンサの特性
が低下したり、マージンの境界がぼやけるなどの欠点が
ある。また両者とも真空中の加工であるため、位置合せ
に時間と熟練を要し、十分な位置精度を得るのが困難で
ある。
用テープの蛇行等のため位置合せの精度が出にくり、ま
た油を使用する方法では残存する油でコンデンサの特性
が低下したり、マージンの境界がぼやけるなどの欠点が
ある。また両者とも真空中の加工であるため、位置合せ
に時間と熟練を要し、十分な位置精度を得るのが困難で
ある。
また蒸着後にＹＡＧレーザを用いて連続マージン２０を
形成する方法として、特開平１−１３７６１４号公報に
示されているものがあるが、−船釣なＹＡＧレーザのパ
ワーモードは第６図に示すような不均一なモードになっ
ているため、両面金属化フィルムに照射した場合１両面
の金属が飛散してしまい、コンデンサの形成が不可能と
なることがある。
形成する方法として、特開平１−１３７６１４号公報に
示されているものがあるが、−船釣なＹＡＧレーザのパ
ワーモードは第６図に示すような不均一なモードになっ
ているため、両面金属化フィルムに照射した場合１両面
の金属が飛散してしまい、コンデンサの形成が不可能と
なることがある。
本発明は上記問題点に鑑み、連接マージン形成の位置合
せの精度が良く、加工後の残存物がなく、大気中の加工
を可能とし、さらに連続マージンの反対側の金属化面に
同時に間欠マージンを形成することで保安機構に必要な
ヒユーズの加工を可能とする保安様構付の金属化フィル
ムコンデンサなどに用いる両面金属化フィルムのマージ
ン形成方法の提供を目的とする。
せの精度が良く、加工後の残存物がなく、大気中の加工
を可能とし、さらに連続マージンの反対側の金属化面に
同時に間欠マージンを形成することで保安機構に必要な
ヒユーズの加工を可能とする保安様構付の金属化フィル
ムコンデンサなどに用いる両面金属化フィルムのマージ
ン形成方法の提供を目的とする。
課題を解決するだめの手段
上記目的を達成するために本発明の両面金属化フィルム
のマージン形成方法は、レーザ・ビームスポットが一部
重複するようパワー密度が均一で、休止期間を設けたレ
ーザ・ビームパルス列を両面金属化フィルムの一方の側
から照射し、フィルム端部の照射側に連続マージンを、
同反対側に間欠マージンを形成する。
のマージン形成方法は、レーザ・ビームスポットが一部
重複するようパワー密度が均一で、休止期間を設けたレ
ーザ・ビームパルス列を両面金属化フィルムの一方の側
から照射し、フィルム端部の照射側に連続マージンを、
同反対側に間欠マージンを形成する。
作 用
本発明は上記した方法によって照射側の金属は昇華して
除去され、連続マージンを形成し、反対側の金属は間欠
マージンを形成することになる。
除去され、連続マージンを形成し、反対側の金属は間欠
マージンを形成することになる。
実施例
以下、本発明の実施例を添付図面にもとづいて説明する
。第１図において、１はＹＡＧレーザ発振器であり、こ
こからレーザ・ビーム２を発振し。
。第１図において、１はＹＡＧレーザ発振器であり、こ
こからレーザ・ビーム２を発振し。
分光器３で分光し、光ファイバー４を経て集光レンズ６
で集光し、カライドスコープｅに入射し。
で集光し、カライドスコープｅに入射し。
第２図に示すようなパワー密度の均一なレーザ・ビーム
とし、集光レンズ７で集光して走行する両面金属化フィ
ルム８に照射すると、照射側に連続マージン９、反対側
に間欠マージン１ｏを形成する。
とし、集光レンズ７で集光して走行する両面金属化フィ
ルム８に照射すると、照射側に連続マージン９、反対側
に間欠マージン１ｏを形成する。
連続マージン９と間欠マージン１ｏを形成する過程を第
３図を用いて説明する。
３図を用いて説明する。
第３図（ａ）において、■、■、■、■、■は時間幅ｔ
１パワーｐの密度が均一なレーザ・ビームパルスであり
、■はパルスの休止期間である。
１パワーｐの密度が均一なレーザ・ビームパルスであり
、■はパルスの休止期間である。
第３図１１））は第３図（ａ）に示す休止期間を設けた
レーザｅビームｓルスが両面金属化フィルム８に照射さ
れた時に照射側金属１１と反対側金属１２が除去されて
いく過程を示す。
レーザｅビームｓルスが両面金属化フィルム８に照射さ
れた時に照射側金属１１と反対側金属１２が除去されて
いく過程を示す。
第３図（ｂ）において、（ｉ）は空間幅ｄのレーザ・ビ
ームパルス■が両面金属化アイ／レム８に照射された時
であり、照射側金属１１が幅ｄだけ除去され、反対側金
属１２は除去されない（エネルギーが金属１１で消費さ
れ、金属１２には供給されない。）。
ームパルス■が両面金属化アイ／レム８に照射された時
であり、照射側金属１１が幅ｄだけ除去され、反対側金
属１２は除去されない（エネルギーが金属１１で消費さ
れ、金属１２には供給されない。）。
（１１）は両面金属化フィルム８がｄ／２ だけ走行し
て。
て。
次のパルス■が照射された時であり、照射側金属１１は
さらにｄ／２除去され、反対側金属１２もｄ／２除去さ
れる。
さらにｄ／２除去され、反対側金属１２もｄ／２除去さ
れる。
（ｉｌｏは（１１）よりさらにｄ／２ 走行し、パルス
■が照射された時であり、照射側金属１１と反対側金属
１２がｄ／２除去される。
■が照射された時であり、照射側金属１１と反対側金属
１２がｄ／２除去される。
翰は０１０よりさらにｄ／２ 走行するが、パルスの休
止期間■のため金属は除去されない。
止期間■のため金属は除去されない。
（Ｖ）は動よりさらにｄ／２ 走行し、パルス■が照射
された時であり照射側金属１１はさらにｄ ／２ 除去
されるが１反対側金属１２は除去されない。
された時であり照射側金属１１はさらにｄ ／２ 除去
されるが１反対側金属１２は除去されない。
（ｖ＃は（Ｖ）よりさらにｄ／２ 走行し、パルス■が
照射された時であり、照射側金属１１はさらにｄ／２除
去されるが、反対側金属１２には一部金属１３が残るこ
とになる。
照射された時であり、照射側金属１１はさらにｄ／２除
去されるが、反対側金属１２には一部金属１３が残るこ
とになる。
以後（ｉ）〜（ｖｔｌの過程を繰返すと、照射側には連
続マージン９、反対側には間欠マージン１ｏが形成され
ることになる。
続マージン９、反対側には間欠マージン１ｏが形成され
ることになる。
レーザ・ビームの幅ｄ、休止期間の設は方、両面金属化
フィルムの走行速度を調節すると種々の間欠マージンを
形成することができる。
フィルムの走行速度を調節すると種々の間欠マージンを
形成することができる。
なお、本実施例ではレーザ・ビームのパワー密度を均一
にするためにカライドスコープ６を使用したが、これに
代えてセグメントミラーを使用してもよく、ＹＡＧレー
ザ発振器１に代えてスラブ形ＹＡＧレーザ発振器を用い
てもよい。
にするためにカライドスコープ６を使用したが、これに
代えてセグメントミラーを使用してもよく、ＹＡＧレー
ザ発振器１に代えてスラブ形ＹＡＧレーザ発振器を用い
てもよい。
発明の効果
以上のように本発明の両面金属化フィルムのマージン形
成方法によれば、レーザ・ビームスポットが一部重複す
るように両面金属化フィルムを走行させながら、パワー
密度が均一で、休止期間を設けたレーザ・ビームパルス
列を両面金属化フィルムの一方側から照射し、フィルム
端部の照射側に連続マージンを、同反対側に間欠マージ
ンを形成する方法であり、次の効果が得られる。
成方法によれば、レーザ・ビームスポットが一部重複す
るように両面金属化フィルムを走行させながら、パワー
密度が均一で、休止期間を設けたレーザ・ビームパルス
列を両面金属化フィルムの一方側から照射し、フィルム
端部の照射側に連続マージンを、同反対側に間欠マージ
ンを形成する方法であり、次の効果が得られる。
（１）加工後の残存物がなく、大気中の加工が可能とな
シ、位置合せの精度がよい。
シ、位置合せの精度がよい。
（２）連続マージンの反対側の金属化両に同時に間欠マ
ージンを形成した保安様構付の金属化フィルムコンデン
サ用のマージンが形成できる。
ージンを形成した保安様構付の金属化フィルムコンデン
サ用のマージンが形成できる。
第１図は本発明の実施例における両面金属化フィルムの
マージン形成方法を実施するための装置の概略構成図、
第２図はレーザ・ビーム径とパワー密度の関係を示す図
、第３図（、）は照射するレーザ・ビームのパルス列の
図、同（ロ）は金属の除去過程を示す図、第４図は従来
の方法によシマージンを形成した両面金属化フィルムの
斜視図、第６図は従来のＹＡＧレーザのレーザ・ビーム
径とパワー密度の関係を示す図である。 ２・・・・・・ＹＡＧＶ−ｆ−１：”−ム、８・・・・
・・両面金属化フィルム、９・・・・・・連続マージン
、１ｏ・旧・・間欠マージン。
マージン形成方法を実施するための装置の概略構成図、
第２図はレーザ・ビーム径とパワー密度の関係を示す図
、第３図（、）は照射するレーザ・ビームのパルス列の
図、同（ロ）は金属の除去過程を示す図、第４図は従来
の方法によシマージンを形成した両面金属化フィルムの
斜視図、第６図は従来のＹＡＧレーザのレーザ・ビーム
径とパワー密度の関係を示す図である。 ２・・・・・・ＹＡＧＶ−ｆ−１：”−ム、８・・・・
・・両面金属化フィルム、９・・・・・・連続マージン
、１ｏ・旧・・間欠マージン。
Claims (1)
- 両面金属化フィルムを走行させ、その端部にＹＡＧレ
ーザ・ビームを照射しながらマージンを形成する方法に
おいて、レーザ・ビームスポットが一部重複するように
パワー密度が均一で、休止期間を設けたレーザ・ビーム
パルス列を両面金属化フィルムの一方側から照射し、前
記端部の照射側に連続マージンを、同反対側に間欠マー
ジンを形成することを特徴とする両面金属化フィルムの
マージン形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2043003A JPH03245514A (ja) | 1990-02-23 | 1990-02-23 | 両面金属化フィルムのマージン形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2043003A JPH03245514A (ja) | 1990-02-23 | 1990-02-23 | 両面金属化フィルムのマージン形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03245514A true JPH03245514A (ja) | 1991-11-01 |
Family
ID=12651823
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2043003A Pending JPH03245514A (ja) | 1990-02-23 | 1990-02-23 | 両面金属化フィルムのマージン形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03245514A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5453906A (en) * | 1993-10-21 | 1995-09-26 | Philips Electronics North America Corporation | Metallized film series section capacitor with improved oxidation resistance |
| WO2019187394A1 (ja) * | 2018-03-27 | 2019-10-03 | 日東電工株式会社 | フィルム製造装置および両面積層フィルムの製造方法 |
-
1990
- 1990-02-23 JP JP2043003A patent/JPH03245514A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5453906A (en) * | 1993-10-21 | 1995-09-26 | Philips Electronics North America Corporation | Metallized film series section capacitor with improved oxidation resistance |
| WO2019187394A1 (ja) * | 2018-03-27 | 2019-10-03 | 日東電工株式会社 | フィルム製造装置および両面積層フィルムの製造方法 |
| JP2019173061A (ja) * | 2018-03-27 | 2019-10-10 | 日東電工株式会社 | フィルム製造装置および両面積層フィルムの製造方法 |
| US11384424B2 (en) | 2018-03-27 | 2022-07-12 | Nitto Denko Corporation | Film manufacturing apparatus and manufacturing method of double-sided laminated film |
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