DE19933703A1 - Vorrichtung und Verfahren zum Abtragen von Schichten auf einem Werkstück - Google Patents
Vorrichtung und Verfahren zum Abtragen von Schichten auf einem WerkstückInfo
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Abstract
Description
- - Heutige Isoliergläser für Fensterscheiben, sogenannte "K-Gläser", weisen zusätzlich aufgedampfte Schichten auf, um die Durchlässigkeit der Fensterscheiben gegenüber Wärmestrahlung zu verringern. Typische Isoliergläser bestehen aus mindestens zwei Einzelscheiben, die mit einem Rahmenprofil zu einer Doppelglasscheibe verklebt werden, so daß auch hier eine Randentschichtung erforderlich ist.
- - In der gesamten Displaytechnik fallen ebenfalls vielfältig Entschichtungsprozesse an.
- - Schließlich kommen weitere Anwendungen in Betracht, bei denen beschichtete Gläser weiterverarbeitet werden müssen. Ein mögliches Beispiel sind sogenannte "schaltbare Fenster", die bei Anlegen eines elektrischen Feldes ihre Lichtdurchlässigkeit ändern.
Claims (32)
mit einem Laserresonator und
mit einem optischen System, das den durch den Laserresonator erzeugten Laserstrahl in einen Bearbeitungsstrahl mit einer Querschnittsbreite von mindestens 0,2 mm und mit einer im wesentlichen homogenen Leistungsverteilung abbildet,
gekennzeichnet durch,
eine erste Stellvorrichtung für eine vorgegebene Relativbewegung zwischen dem Werkstück und dem Bearbeitungsstrahl,
eine Steuereinheit, die die erste Stellvorrichtung derart ansteuert, daß jede abzutragende Flächeneinheit des Werkstücks mit einer im wesentlichen konstanten Energiemenge beaufschlagt wird, und
eine zweite Stellvorrichtung zum Einstellen eines konstanten Bearbeitungswinkels zwischen der optischen Achse des Bearbeitungsstrahls und dem Lot jeder abzutragenden Flächeneinheit.
dadurch gekennzeichnet,
daß eine Vorrichtung nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 bereitgestellt wird,
daß der Bearbeitungsstrahl über das Werkstück derart geführt wird, daß jede abzutragende Flächeneinheit der jeweiligen Solarzelle mit einer im wesentlichen konstanten Energiemenge beaufschlagt wird und
daß die optische Achse des Bearbeitungsstrahls während des Entschichtungsprozesses in einem konstanten Bearbeitungswinkel gehalten wird.
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