JPH03244966A - ヘリウム冷凍液化装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的コ （産業上の利用分野） 本発明はヘリウム冷凍液化装置に関し、特にヘリウム冷
凍液化装置を自動運転するための機能を備えたヘリウム
冷凍液化システムに関する。

（従来の技術） 一般に、ヘリウム冷凍液化装置は、ヘリウム圧縮機で圧
縮された高圧ヘリウムガスを膨張機で断熱的に膨張させ
る事によって低温ヘリウムガスを得、さらにジュールト
ムソン効果によるエンタルピー膨張によってそのヘリウ
ムガスを液化するものである。

このようなヘリウム冷凍液化装置は、外置きの圧縮機と
、熱交換器、膨張機、およびジュールトムソン弁（Ｊ−
Ｔ弁）等が配管によって結合されて成るコールドボック
スとによって構成されている。

コールドボックス内の各部分は管路て連通され、その人
口と出口間の温度差は、室温から肢体ヘリウム温度４．
２Ｋまでの温度変化に相当し、しかもそのコールドボッ
クス内では気液２相の混合状態が共存する。このため、
コールドボックス内の弁の操作はたたちに各部のヘリウ
ムガスの状態変化を引き起こす事になるので、各種弁操
作を含むヘリウム冷凍液化装置の運転は複雑で熟練を要
する。

このため、近年、計算機によるヘリウム冷凍液化装置の
自動運転が各所で行われている。しかし、その自動運転
の円状は、比較的運転方法が単純な液化専用運転か、特
定の被冷却対象物の冷凍および保肢運転に限られており
、しかも、冷凍運転については、全自動の実施はまた非
常に少ない。

ヘリウム冷凍液化装置の運転方法は、機種によっても異
なるが、通常は次の手順で行われる。液化の場合は、ま
ず圧縮機を起動し、安定したらその圧縮機をコールドボ
ックスに接続し、バイパス弁を絞って吐出圧力を上げ、
一定圧力に達したら、膨張機を起動してコールドボック
ス内の初期冷凍を行う。コールドボックス内に液化ヘリ
ウムが発生し始める頃に、コールドボックスを外部液化
ヘリウム容器（デユワ−）に接続し、その容器内に液を
貯蔵する。所定液量に達したらデユワ−を切離し、圧縮
機吐出圧力を減少させて、膨張機を停止し、コールドボ
ックスを切離し、圧縮機を停めて、全停止となる。

このような運転操作のほか、実際には、肢体窒素、原料
ヘリウムガスの供給および停止、真空系の運転、各種弁
類の開閉、各種パラメータの設定、次のステップに移る
ための条件判断など多くの処理が行われる。

計算機°による自動運転は、上記の運転工程を人間が操
作するのと同しようにシーケンスプログラムに従って順
次行うものであり、弁の開閉のタイミング、順序はもち
ろん、その開閉速度も制御される。このようなシーケン
ス制御と同時に、温度、圧力、液面などを一定に保つた
めのフィードバック制御も適宜行なわれる。さらに、他
の各種計測も行われ、必要に応じて警報を発し、必要な
処理を自動的に行う。

比較的単純な液化専用運転を行う場合においても、自動
運転から自動停止に至るまでの計算機の処理のステップ
数は、数千から数百ステップに及ぶ。これを小規模のプ
ロセス制御用計算機で行う場合、能力的にあまり余裕が
無い。

液化以外に数トンクラスの大形超電導マグネットを室温
から４．２Ｋまで冷却保持する冷凍運転に至っては、冷
凍液化機単体の冷却に加えて、昼夜にわたる予冷工程を
数日間行う事が必要になる。

このような重量物をなるべく早く冷却するには、冷却速
度の制限もあるが、冷凍機の能力を最大限に発揮しなけ
ればならない。しかし、一般に用いられるブロワ−制御
機タービン膨張機は、温度と圧力によって決まる負荷の
範囲によっては許容回転速度を越えて破損する恐れがあ
るので、被冷却物の温度に応じて、制動力を変えるだけ
でなく、圧縮機の吐出圧力を変えて、膨張機の負荷を調
整する必要がある。

この調整は、液化の場合には被冷却対象物が決まってい
るから一度設定しておけば問題ないが、冷却対象物が重
量物でしかもその都度変わる場合には、膨張機負荷の調
整のタイミング、調整期間などを変化させなければなら
ない。

このような問題があるため、ヘリウム冷凍液化装置の計
算機による自動化の対象としては、液化運転のみか、特
定冷却対象物に限定された専用プログラムによる冷却運
転に限られることが多かった。

また、冷凍液化装置の運転手順においては、圧縮機の起
動および停止、膨張機の起動および停止、圧縮機吐出圧
力の昇降圧、その他多くの基本運転要素に共通の手順が
ある。このため、冷凍運転や酸化運転間で共通な運転プ
ログラムの部分を流用することにより、限られた計算機
容量を有効に用い、一つの計算機プログラムに多機能を
持たせることが可能であり、これによって汎用性の高い
自動ヘリウム冷凍液化装置を実現することが出来る。

なお、膨張機の負荷調整法と、被冷却物の予冷法につい
ては、本発明の特徴とする運転の自動化手法を理解する
上で重要であるので補足説明する。

膨張機の速度調整法には、例えば、ブロワ−制動式のよ
うに、膨張タービンの軸の他端に取付けられたブロワ−
で発生するブレーキ回路内の流れを絞り弁て絞り、膨張
仕事を冷却水て伶却除去する方法が一般的である。

しかし、室温から数十Ｋまで変化する温度と、散気圧か
ら十数気圧まで変化する圧力のもとで、大きく変化する
膨張機の速度と負荷を、液化運転および冷凍運転の全域
で調整することは、構造的、機能的な制約の多いブレー
キシステムにとっては無理な注文である。このため、従
来は、ブレーキシステムか有効に作動するように、膨張
タービンの入口弁を調整するか、圧縮機の吐出圧力を調
整する方法を用いていた。この操作を人間が行う場合、
タービン人口弁の変化はタービン回転数に敏感で、調整
によっては大きくバランスを崩すこともあり、タービン
人口弁の調整よりも、圧縮機吐出圧力調整の方か、変化
を小さく調整できるので安全である。しかしどちらにし
ても圧縮、温度を常時監視しながらの調整が必要となる
。

一方、大形超電導マグネットなどの冷却を行う場合、急
激な冷却による熱応力増大を防ぐため、冷媒温度とマグ
ネットの温度差を許容範囲内におさえることが必要であ
るか、その反面、最短時間で予冷したい要望もある。こ
の要求を満たす方ｌ去としては、これまでの多くの経験
により、超電導コイルを収容するヘリウム容器内の圧力
を０．６〜０．８ｋｇ／ｃ−程度の値に一定保持するこ
とによって、冷媒温度と被冷却体温度の差を許容範囲内
の１００に以内にし、これによって室温から２０に以下
までの冷却を効果的に行なえるようにてきることが判っ
ている。もちろん、冷却速度は冷凍機の冷却能力にもよ
るか、定常時の伶却熱負荷と見合った冷凍機てあれば、
おおむね上記の経験則があてはまる。この方法はヘリウ
ム冷凍酸化システムの運転プログラムの簡略化において
効果的である。

（発明が解決しようとする課題） 従来のヘリウム冷凍液化装置では、計算機容量による制
限等によって、その液化運転のみ、あるいは特定対象物
の冷凍運転でしか自動運転を行うことかできず、手動に
よる複雑な運転操作か必要となる欠点かあった。

この発明はこのような点に鑑みなされたもので、自動運
転のための計算機プログラムの中で、基本運転要素とな
る部分のプログラムを各種運転で流用し、限られた計算
機容量の中で複数の自動運転モードを選択し実行できる
自動ヘリウム冷凍液化装置を提供することを目的とする
。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） この発明は、ヘリウム冷凍液化装置を自動運転するヘリ
ウム冷凍酸化システムを提供するものであり、ヘリウム
冷凍液化装置本体の基本運転プログラムをベースに、冷
凍および酸化処理のための各種運転モードに対応した自
動運転プログラムにおける運転工程の異なる部分が前記
基本運転プログラムに並設されて成るシステム運転プロ
グラムに従って動作制御され、指定された運転モードに
応じて各種自動運転プログラムを前記システム運転プロ
グラム上で選別実行することにより前記ヘリウム冷凍液
化装置を各種運転モードで自動運転する自動運転制御手
段を具備している。

（作用） この発明によるヘリウム伶凍液化装置においては、シス
テム運転プログラム上で、液化運転プログラムなどの基
本プログラムをベースに、運転工程の異なる部分につき
別のプログラムが並設されているので、例えば予め複数
の運転モードについてそれぞれ設定したフラグによって
、同一プログラム上で共通の工程、異なる工程を各モー
ドに応して選別できる。したがって、ヘリウム冷凍液化
装置を複数の運転モードで自動運転することが可能にな
る。

（実施例） 以下、図面を参照して、この発明の詳細な説明する。

第１図にはこの発明の一実施例に係わるヘリウム冷凍液
化装置のシステム構成か概略的に示されている。このヘ
リウム冷凍液化装置は、図示のように、ヘリウム圧縮機
１８およびコールドボックス２３等を含む自動ヘリウム
冷凍酸化機本体と、ガスバック１１、回収圧縮機１２、
低温精製機１３、液体窒素貯槽１４、不純ガス容器１５
、純ガス容器１６、バッファタンク１７、加温器１９、
超臨界ヘリウム（ＳＨＥ）装置２０、液体ヘリウム貯槽
２１、クライオスタット２２および各種弁等とが断熱配
管や一般配管によって連結されて構成されている。コー
ルドボックス２３は、２段構成のターボ−膨張機２４ａ
。

２４ｂ１ジユールトムソン弁（Ｊ−Ｔ弁）２５、さらに
は熱交換器や各種弁等が配管によって結合されて構成さ
れている。このように構成されるヘリウム冷凍液化装置
の自動運転のための制御は、システム制御部３０によっ
て実行される。

このシステム制御部３０は、オペレータにより操作され
るコンピュータ端末機、およびコンピュータ端末機から
の制御指令に応答してヘリウム冷凍液化装置の運転を制
御するコントロール部を有するコンピュータシステムで
あり、ヘリウム冷凍液化装置を複数の自動運転モードで
運転するために、基本運転プログラム上に並設された各
種プログラムを選択することにより各種自動運転プログ
ラムを同一プログラム上で選別実行する機能を有してい
る。

次に、第２図のフローチャートを参照して、システム制
御部３０によるヘリウム伶凍液化装置の自動運転のため
の制御処理手順を説明する。

第２図のフローチャートは、本発明によるｎ動運転プロ
グラムのうち、２０に冷凍運転モートのプログラムを酸
化運転モードの基本運転プログラムに盛り込んた場合を
示した例であり、実際には２０に冷凍運転モードのプロ
グラムのほかに、さらに他の運転モートのプログラムか
液化運転モトの基本運転プログラムに盛り込まれる。ま
た第２図では、自動運転の全工程を各単位運転工程ブロ
ックに分けて圧縮表示されている。

すなわち、第２図のフローチャートにおいて、ステップ
８１〜５１０はそれぞれ自動液化運転プログラムの運転
工程ブロックであり、ステップＳｌｌ〜Ｓ１３は２０に
冷凍運転プログラムの運転工程ブロックの一部であり、
ステップＳ１４〜ＳｌＧは液化運転モードか２０に冷凍
運転モードかを判別するブロックである。このような各
運転工程ブロック内には、ヘリウム液化冷凍装置を構成
する各機器の起動および停止、土曽減速、弁類の開閉な
どが行われるようなプログラムが内蔵されている。

ヘリウム酸化冷凍装置の自動運転を行う場合には、まず
、システム制御部３０のコンピュータシステムに電源が
投入され、その後オペレータによるコンピュータ端末の
キーボードの人力操作が行われ、これによってグラフィ
ックパネル上に画面表示されている複数の運転モードの
中から例えば２０に冷凍運転モードが選択指定される。

この操作によって、２０に冷凍運転のフラグかＯＮされ
、運転が停止するまで、ＯＮの状態が保持される。

この結果、ステップ５１４の判断ブロックにおいて、２
０に冷凍運転モードが選択される。

次にステップＳ１のブロックにおいて、各種弁類の開閉
状態のチエツク、さらにはヘリウム圧縮機１８の冷却水
、電源、バイパス弁の状態などがチエツクされ、起動条
件か満足されていれば、ステップＳ２の圧縮機起動工程
に処理が進められる。

この圧縮機起動工程においては、圧縮機１８が起動され
ると共に、バイパス弁か閉しられて昇圧か行われ、ター
ボ膨張機２４ａ　、　２４ｂを起動出来る程度の圧力に
吐出圧力が保持される。

この後、ステップＳ１５の判断ブロックで、２０に冷凍
運転モードか、液化運転モードかの判断が行われ、酸化
運転モードの場合は、次のステップＳ３のブロックに処
理が進められ、そこてターボ膨張機２４ａ　、　２４ｂ
の起動か行われる。一方、２０に冷凍運転モードの場合
には、ステップＳ３の処理に入る前に、ステップＳｌｌ
のクライオスタットの接続工程処理か行われる。

このクライオスタットの接続工程処理では、冷凍液化装
置本体とクライオスタット２２か接続され、冷却ヘリウ
ムガスが被冷却対象物に供給されて循環される。この冷
却ヘリウムガスの循環中においては、コールドボックス
２３内部の第１熱交換器ＨＸ−１に被冷却対象物からの
水分、空気およびその他の不純物が吸着される。この第
１熱交換器ＨＸ−１には液体窒素が供給されているので
トラップ効果があるが、供給ガスとクライオスタット２
２からの戻りガスが向流熱交換し、この過程では冷却効
果は発生しない。もしも不純物発生中に膨脹機２４ａ　
、　２４ｂか起動されると、不純物が冷却されて膨脹機
２４ａ　、　２４ｂ回りの管路を閉塞して運転不能を引
き起こすが、第１熱交換器ＨＸ−１は充分な表面積をも
っており、不純物吸着による閉塞は起こらない。このよ
うな不純物の吸着運転かタイマーによって数時間続けら
れた後、ステップＳ３のブロックに処理か進められる。

ステップＳ３のブロックでは、前述したターボ膨張機２
４ａ　、　２４ｂの起動が行われる。つまり、圧縮機吐
出圧力を一定にして膨脹機人口弁をプログラムにより一
定速度でゆっくり開きながら全開とし、そしてブレーキ
回路の絞り弁を調整して膨脹機の回転速度を一定に保つ
。

次に、ステップ８１６の判定ブロックに処理が進められ
、液化運転モードの場合にはステップＳ４の液化準備工
程に処理が進められ、一方２０に冷凍運転モードの場合
にはステップＳ１２の２０に冷凍運転工程に処理が進め
られる。

液化運転モートては、ます、ステップＳ４の沃化準備工
程において圧縮機１８の吐出圧力かさらに昇圧され、冷
凍液化装置本体のバイパス弁かゆっくり閉じられて冷凍
酸化装置本体内の伶却か十分に行なわれる。次いで、ス
テップＳ５のブロックに処理が進められて、そこで冷凍
液化装置本体に液体ヘリウム貯槽２１（液溜め用デユワ
−）か接続される。そして、ステップＳ６の酸化運転工
程て、圧縮機１８の吐出圧力の最終段階までの昇圧か行
なわれ、液体ヘリウム貯槽２１内への酸化貯槽か続けら
れる。この後、ステップＳ７の酸化停止工程に処理が進
められ、液体ヘリウム貯槽２１内の液位か設定値に達す
るか、原料ガスの供給圧力か設定値以下になるか、設定
時間に達するかなとの判断により、原料ガスの供給停止
時期を検出され、最適なタイミングで原料ガスの供給か
停止される。この結果、圧縮機１８の吐出圧力か設定値
以下になったら、ステップＳ８の工程に処理か進められ
て、そこで冷凍液化装置本体と成体ヘリウム貯Ｍ２＋（
液溜め用デユワ−）間の出入り９弁か順次閉しられて、
両者が切り離される。次に、ステップＳ９の膨脹機停止
工程では、膨脹機２４ａ　、　２４ｂの入口弁がゆっく
り閉じられ、膨脹機２４ａ　、　２４ｂが停止される。

そして、次の最終ステップＳ１０て、圧縮機１８が停止
され、プログラムの各種フラグ類、設定値その他を初期
設定値に戻すなどの後処理工程が行なられた後、プログ
ラムシーケンスが終了される。

なお、液化運転モードでは、膨張機の回転速度の再設定
はステップＳ４の処理において冷凍液化装置本体内の予
冷が十分行われた時点で行われ、運転停止までそのまま
保持される。

一方、２０に冷凍運転モードでは、まず、ステップＳ１
２の２０に冷凍運転工程に処理が進められる。ここでは
、すでに被冷却対象物に冷却ガスが供給され、しかも膨
張機２４ａ　、　２４ｂが運転されているから冷却が直
ちに開始される。冷却が進行され、冷却液化装置本体内
の温度が所定温度以下になったら、圧縮機１８の吐出圧
力が所定圧力まで昇圧される。この段階ではまた被冷却
対象物の温度は高いので、冷却液化装置本体に戻る冷却
ガス温度も高いため、膨張機２４ａ　、　２４ｂの入口
圧力と温度の関係がバランスしない。したかって、設定
した吐出圧力に対して、設定した回転数がマツチせす、
回転数が次第に上昇し、ついにブレーキ作用が利がなく
なって、さらに回転数か上昇される。

そこで、この発明のシステム制御部３０には、回転数か
危険域に達する前に、予め設定された回転数に達したら
圧縮機１８の吐出圧力を膨張機２４ａ。

２４ｂのブレーキが利く範囲まで下げて保持し、その回
転数が別に設定された安全な値を越えなくなるまで被冷
却対象物を冷却した時点て、吐出圧力を再び前に設定し
た値に復帰させるための機能が設けられている。

一方、ステップＳｌｌで実行されるクライオスタット２
２と液化冷凍装置本体との接続処理の実行時点で、被冷
却対象物を冷却するガス圧力を０．　６〜０．８ｋｇ／
ｃ−の範囲の値に自動保持しておけば、冷却は効果的か
つ適切に行われる。この圧力範囲は限定されるものでは
ないが、必要以上に高い圧力はクライオスタット２２の
コストアップにつなかるので好ましくない。

このような状況で冷凍運転か進行し、被冷却対象物の最
高温度か約２０にという設定値に達してたら２０に冷凍
運転の停止工程に入る。停止工程においては、まずステ
ップＳ１３において、クライオスタット２２と冷凍液化
装置本体との間の出入口弁が順次閉じられ、両者を切り
離される。次に原料ガスの供給が止められて、圧縮機１
８の吐出圧力か所定圧力以下になったら、前述したステ
ップ９の膨張機停止工程、そしてステップＳＩＯの圧縮
機停止および後処理工程と処理が進められ、２０に冷凍
運転の全シーケンスを終わって終了する。

ここでは、特に説明しなかったが、第２図の各運転処理
工程では、実際には各種条件判断が多々行なわれており
、その判断のために各運転モードのフラグが使用されて
いることはもちろんである。

また、２０に冷凍運転を液化運転工程に組み込む場合の
みを例示したが、他の運転モード、例えば４に冷凍運転
、昇温運転、ＳＨＥ冷凍運転、回収精製運転なども、２
０に冷凍運転と同様に、同一プログラム部分を流用して
、液化運転工程に織り込むことが出切る。たたし、回収
精製運転の場合は、他と異なり、流用部分が少ないので
大部分は追加プログラムとなる。

ここで、他の運転モードについて説明する。

４に冷凍運転とは、膨張機】８によって被冷却対象物を
約２０Ｋに冷却後、ジュールトムソン効果（ＪＴ効果）
により約４．２にのヘリウムの酸化温度まで冷却するも
ので、この運転を継続すると、貯戒が行われる。この運
転は２０に冷凍運転に６続いて行われるが、冷凍回路か
異なるため、その切換えが必要である。このため、４に
冷凍運転を行う場合には、前述の２０に冷凍運転終了時
点て４に冷凍運転フラグの判断によりプログラムの運転
シーケンス上の分岐を行い、これによって４に冷凍運転
プログラムの実行に移る。第２図にはこの分岐を図示し
ていないか、ステップＳ１２の処理でこの判断を行うこ
とができる。また、この場合の運転停止は２０に冷凍の
場合と同しである。

また、４に冷凍運転では、運転を継続すればヘリウム容
器に液体ヘリウムが貯液し、１００％液位で液面が保持
出来るが、一般に貯液には多くの時間を要するので、実
際には４に冷凍運転の途中で他のデユワ−から送液して
貯液することが多い。

この場合、−旦４に冷凍運転を中止し、その間に外部デ
ユワ−による送液を行い、ある液位以上で再び４に冷凍
運転に復帰して、１００％液位で保持するようにすると
都合がよい。このような注液運転モードを付加運転モー
ドとしてフラグ設定しておけば、４に冷凍運転の後半で
フラグの判断を行って、この注液運転モードを行うこと
もてきる。

同様に、２０に冷凍運転においても、被冷却対象物と冷
却ヘリウムガスとの温度差が設定温度差以上にならない
ように、供給ガスにバイパスの室温ガスを混合して温度
調節を行う温度調節運転を付加モードとして設定できる
。なお、このモードは昇温運転にも使われる。

ＳＨＥ冷凍運転は、超臨界ヘリウムによる冷却を行う場
合の運転で、特殊なものであるが、４に冷凍運転に引続
いて行われる。

昇温運転は、被冷却対象物を室温まで昇温するもので、
膨張機の運転は行わす、ステップＳｌと８２の２つのブ
ロックの処理工程を終了した時点でフラグ判断により、
昇温運転プログラムに分岐する。

さらに、この冷凍液化システムにおいては、前述したよ
うな計算機による自動運転のほかに、手動と自動を切り
替えて運転することも可能である。

後者は、自動調節弁の空気圧力や電気による人力信号を
、計算機からの信号と手動操作器からの信号に分けて、
両者を電磁弁や、スイッチで一括切換えを行うことで実
現できる。

以上のように、この冷凍液化システムにおいては、液化
運転モードの自動運転プログラムを基本に同一プログラ
ムを流用して、他の運転モードの運転プログラムをその
基本プログラムに織り込むことによって、プログラムの
コンパクト化が計れると共に、被冷却対象物が変化する
ような場合には極めて有用な冷凍液化装置となる。

また、オーペレータかグラフィック画面上で容易に各運
転モードを選択でき、ワンタッチに近い操作での運転、
停止を実現できる。

さらに、被冷却対象物の冷凍運転中に、負荷変度による
膨張機の暴走を防止するための手段として、設定回転数
以上で、圧縮機の吐出圧力を設定値まで下げ、設定回転
数以下で再び復帰するプログラムを付加することによっ
て、複雑な膨張機負荷の計算と未知のパラメータを含む
制御プログラムの使用を回避して、−層のプログラムの
簡略化か計れる。また、被冷却対象物の過度な冷却、昇
温を防止するための冷却方法として、ヘリウム容器内圧
力を適当な値に設定する方法により、やはり複雑な制御
プログラムを回避してプログラムの簡略化か計れる。

［発明の効果コ 以上のように、この発明によれば、自動運転プログラム
上で、液化運転プログラムなどの基本プログラムをベー
スに、運転工程の異なる部分につき別のプログラムか並
設されているので、例えば予め複数の運転モードについ
てそれぞれ設定したフラグによって、同一プログラム上
で共通の工程、異なる工程を各モードに応して選別でき
る。従って、限られた計算機容量の中で、複数の自動運
転モードを実現できる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例に係るヘリウム冷凍液化装
置のシステム構成を示すブロック図、第２図は第１図に
示したシステムに設けられているシステム制御部による
制御処理動作の一例を説明するフローチャートである。 １１・・・ガスバッグ、１２・・回収圧縮機、１３・・
低温精製器、１４・・・液体窒素貯槽、１５・・不純ガ
ス容器、１６・・・純ガス容器、１７・・・バッファタ
ンク、１８・・・ヘリウム圧縮機、１９・・加温器、２
０・・ＳＨＥ装置、２１・・・液体ヘリウム貯槽、２２
・・・クライオスタット、２３・・・コルドボックス、
２４ａ　、　２４ｂ・・・ターボ膨張機、２５・・ジュ
ールトムソン弁、３０・・・システム制御部。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 自動運転機能を備えたヘリウム冷凍液化装置において、 ヘリウム冷凍液化装置本体の基本運転プログラムをベー
   スに、冷凍および液化処理のための各種運転モードに対
   応した自動運転プログラムにおける運転工程の異なる部
   分が前記基本運転プログラムに並設されて成るシステム
   運転プログラムに従って動作制御され、指定された運転
   モードに応じて各種自動運転プログラムを前記システム
   運転プログラム上で選別実行することにより前記ヘリウ
   ム冷凍液化装置を各種運転モードで自動運転する自動運
   転制御手段を具備することを特徴とするヘリウム冷凍液
   化装置。