JPH03230886A - レーザ加工装置 - Google Patents
レーザ加工装置Info
- Publication number
- JPH03230886A JPH03230886A JP2020504A JP2050490A JPH03230886A JP H03230886 A JPH03230886 A JP H03230886A JP 2020504 A JP2020504 A JP 2020504A JP 2050490 A JP2050490 A JP 2050490A JP H03230886 A JPH03230886 A JP H03230886A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- reflected light
- workpiece
- condensing cone
- small opening
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
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- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
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- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
レーザ加工装置にかかり、特に−例として被加工物とな
るプリント基板に微細孔を形成するのに用いられるレー
ザ加工装置に関し、 スポ・ント位置合わせ・焦点の調整の簡易化およびレー
ザエネルギのロス防止することを目的とし、少なくとも
、レーザ光を発振するレーザ光発振器と、当該レーザ光
が照射されることによって所定の加工が行われる被加工
物と、該レーザ光発振器と、該被加工物間に位置すると
共に、大口および小口を有し且つ内面が鏡面仕上げとな
った円錐状の集光コーンとを有するよう構成する。
るプリント基板に微細孔を形成するのに用いられるレー
ザ加工装置に関し、 スポ・ント位置合わせ・焦点の調整の簡易化およびレー
ザエネルギのロス防止することを目的とし、少なくとも
、レーザ光を発振するレーザ光発振器と、当該レーザ光
が照射されることによって所定の加工が行われる被加工
物と、該レーザ光発振器と、該被加工物間に位置すると
共に、大口および小口を有し且つ内面が鏡面仕上げとな
った円錐状の集光コーンとを有するよう構成する。
本発明は、レーザ加工装置にかかり、特に−例として被
加工物となるプリント基板に微細孔を形成するのに用い
られるレーザ加工装置に関するものである。
加工物となるプリント基板に微細孔を形成するのに用い
られるレーザ加工装置に関するものである。
被加工物であるプリント基板にビア等の微細孔を穿孔す
る際、従来のドリリング法に代わってレーザ光を用いた
技術が主流となっている。これはプリント基板に対して
レーザ光発振器よりレーザ光を照射してその加工熱によ
って所定径を有する微細孔を穿孔するものである。
る際、従来のドリリング法に代わってレーザ光を用いた
技術が主流となっている。これはプリント基板に対して
レーザ光発振器よりレーザ光を照射してその加工熱によ
って所定径を有する微細孔を穿孔するものである。
従来は、第４図に示すように、被加工物であるプリント
基板にビア等の微細孔を穿孔する際、レーザ光発振器４
１からレーザ光４２を出力し、これを被加工物であるプ
リント基板４７に対して垂直に照射されるよう、図示で
は４５°傾いたミラー４３を経由して反射光４４を作る
。
基板にビア等の微細孔を穿孔する際、レーザ光発振器４
１からレーザ光４２を出力し、これを被加工物であるプ
リント基板４７に対して垂直に照射されるよう、図示で
は４５°傾いたミラー４３を経由して反射光４４を作る
。
この反射光４４を偏光レンズ（凸面鏡）を介してレーザ
スポットを形成し、更に、その先にビアの径に略同径の
孔が形成された金属製のマスク板４６を通すことによっ
て、プリント基板４７に微細光を成形していた。
スポットを形成し、更に、その先にビアの径に略同径の
孔が形成された金属製のマスク板４６を通すことによっ
て、プリント基板４７に微細光を成形していた。
尚、被加工物の下には、被加工物のｘ−ｙ方向に対する
加工時の移動を行わせるためのＸ−Ｙテーブル４８が設
けられている。
加工時の移動を行わせるためのＸ−Ｙテーブル４８が設
けられている。
しかしながら、従来では、偏光レンズ（凸面鏡）を用い
ていたため、スポットの位置合わせ・焦点の調整が難し
く、またマスク板を用いていたことにより、レーザエネ
ルギをマスク板によって遮蔽するので、エネルギのロス
となる欠点があった。
ていたため、スポットの位置合わせ・焦点の調整が難し
く、またマスク板を用いていたことにより、レーザエネ
ルギをマスク板によって遮蔽するので、エネルギのロス
となる欠点があった。
従って、本発明は、スポット位置合わせ・焦点の調整の
簡易化およびレーザエネルギのロスを防止したレーザ加
工装置を提供することを目的とするものである。
簡易化およびレーザエネルギのロスを防止したレーザ加
工装置を提供することを目的とするものである。
上記目的は、少なくとも、レーザ光２を発振するレーザ
光発振器１と、 当該レーザ光２が照射されることによって所定の加工が
行われる被加工物６と、 該レーザ光発振器１と、該被加工物６間に位置すると共
に、大口５ａおよび小口５ｂを有し且つ内面が鏡面仕上
げとなった円錐状の集光コーン５とを有することを特徴
とするレーザ加工装置、により達成できる。
光発振器１と、 当該レーザ光２が照射されることによって所定の加工が
行われる被加工物６と、 該レーザ光発振器１と、該被加工物６間に位置すると共
に、大口５ａおよび小口５ｂを有し且つ内面が鏡面仕上
げとなった円錐状の集光コーン５とを有することを特徴
とするレーザ加工装置、により達成できる。
本発明の集光コーンはその内面が鏡面仕上げとなってお
り、且つ小口が微細孔と対応付けられているので、レー
ザ光発振器から発振されたレーザ光に基づく全レーザエ
ネルギを被加工物に照射可能となる。
り、且つ小口が微細孔と対応付けられているので、レー
ザ光発振器から発振されたレーザ光に基づく全レーザエ
ネルギを被加工物に照射可能となる。
以下、本発明の一実施例を第１図と第２図および第３図
を用いて詳細に説明する。
を用いて詳細に説明する。
第１図は本発明の実施例を示す図であり、第２図は集光
コーン斜視図であり、 第３図は集光状態説明図である。
コーン斜視図であり、 第３図は集光状態説明図である。
図において、■はレーザ光発振器、２はレーザ光、３は
ミラー、４は反射光、５は集光コーン。
ミラー、４は反射光、５は集光コーン。
５ａは大口、５ｂは小口、６は被加工物、７はＸ−Ｙテ
ーブルをそれぞれ示す。
ーブルをそれぞれ示す。
第１図から第３図において、同一符号を付したものは同
一対象物を示す。
一対象物を示す。
第１図に示すように、レーザ光発振器１からレーザ光２
を出力し、これを被加工物であるプリント基板６に対し
て垂直に照射されるよう、図示でら は４５°傾いたミラー３を経由して反射光４を作る。
を出力し、これを被加工物であるプリント基板６に対し
て垂直に照射されるよう、図示でら は４５°傾いたミラー３を経由して反射光４を作る。
この反射光４を第２図にその詳細を示す集光コーン５に
通す。
通す。
この集光コーン５は、厚みαのステンレス製で作成され
た内部が中空となった円錐状である。よって、その内部
は鏡面仕上げとなっている。更にその頂点には小口５ｂ
が加工を行う被加工物であるプリント基板に穿孔する微
細孔の孔径と略同径に形成される。また、その底面には
大口５ａが形成されている。
た内部が中空となった円錐状である。よって、その内部
は鏡面仕上げとなっている。更にその頂点には小口５ｂ
が加工を行う被加工物であるプリント基板に穿孔する微
細孔の孔径と略同径に形成される。また、その底面には
大口５ａが形成されている。
反射光４は集光コーン５の内で第３図に示す如（、内部
で次々に小口５ｂに向かって角度θをもって反射され、
大口５ａから入力された反射光４が全て出力される。尚
、この集光コーン５は反射光４は鈍角に反射され続ける
ように角度調整を行う必要がある。
で次々に小口５ｂに向かって角度θをもって反射され、
大口５ａから入力された反射光４が全て出力される。尚
、この集光コーン５は反射光４は鈍角に反射され続ける
ように角度調整を行う必要がある。
集光コーン５の小口５ｂから出力される反射光４はその
小口５ｂによって微細孔の孔径に絞られてプリント基板
に照射される。
小口５ｂによって微細孔の孔径に絞られてプリント基板
に照射される。
＝６
よって、プリント基板に所定径を有する微細孔が形成さ
れる。
れる。
尚、プリント基板の下には加工の際の微調整を行うため
のＸ−Ｙテーブルが位置している。
のＸ−Ｙテーブルが位置している。
〔発明の効果］
以上説明したように本発明においては、集光コーンを用
いることで、スポット位置合わせ・焦点の調整が自動的
に行え、またレーザ光から発振されたレーザ光のエネル
ギを全て使用することとなるのでレーザエネルギの効率
化を図れることから小型のレーザ発振器を用いることが
できる
いることで、スポット位置合わせ・焦点の調整が自動的
に行え、またレーザ光から発振されたレーザ光のエネル
ギを全て使用することとなるのでレーザエネルギの効率
化を図れることから小型のレーザ発振器を用いることが
できる
第１図は本発明の実施例を示す図であり、第２図は集光
コーン斜視図であり、 第３図は集光状態説明図である。 第４図は従来の構成図である。 図において、 ｌはレーザ光発振器。 ２はレーザ光。 ５は集光コーン。 ６は被加工物。 をそれぞれ示す。
コーン斜視図であり、 第３図は集光状態説明図である。 第４図は従来の構成図である。 図において、 ｌはレーザ光発振器。 ２はレーザ光。 ５は集光コーン。 ６は被加工物。 をそれぞれ示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 少なくとも、レーザ光（２）を発振するレーザ光発振器
（１）と、 当該レーザ光（２）が照射されることによって所定の加
工が行われる被加工物（６）と、該レーザ光発振器（１
）と、該被加工物（６）間に位置すると共に、大口（５
ａ）および小口（５ｂ）を有し且つ内面が鏡面仕上げと
なった円錐状の集光コーン（５）とを有することを特徴
とするレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2020504A JPH03230886A (ja) | 1990-02-01 | 1990-02-01 | レーザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2020504A JPH03230886A (ja) | 1990-02-01 | 1990-02-01 | レーザ加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03230886A true JPH03230886A (ja) | 1991-10-14 |
Family
ID=12028992
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2020504A Pending JPH03230886A (ja) | 1990-02-01 | 1990-02-01 | レーザ加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03230886A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004160463A (ja) * | 2002-11-11 | 2004-06-10 | Hyogo Prefecture | レーザ加工装置および該装置を用いた被加工物の加工方法 |
| CN100337141C (zh) * | 2005-10-20 | 2007-09-12 | 南开大学 | 全内反射－折射激光光束变换器 |
-
1990
- 1990-02-01 JP JP2020504A patent/JPH03230886A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004160463A (ja) * | 2002-11-11 | 2004-06-10 | Hyogo Prefecture | レーザ加工装置および該装置を用いた被加工物の加工方法 |
| CN100337141C (zh) * | 2005-10-20 | 2007-09-12 | 南开大学 | 全内反射－折射激光光束变换器 |
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