JPH03229632A - ビューイングポート - Google Patents
ビューイングポートInfo
- Publication number
- JPH03229632A JPH03229632A JP2538490A JP2538490A JPH03229632A JP H03229632 A JPH03229632 A JP H03229632A JP 2538490 A JP2538490 A JP 2538490A JP 2538490 A JP2538490 A JP 2538490A JP H03229632 A JPH03229632 A JP H03229632A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum container
- glass
- main body
- container main
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 40
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/004—Sight-glasses therefor
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、真空容器本体内の状態管理に有効な可動ガラ
スを備えたビューイングボートに関するものである。
スを備えたビューイングボートに関するものである。
従来の技術
近年、ビューイングボートは、真空容器本体内の状態管
理において、その役割が重要となっている。
理において、その役割が重要となっている。
以下に従来のビューイングボートについて説明する。
第４図は従来のビューイングボートの断面図を示すもの
である。第４図において、１は真空容器本体のフランジ
、２はフランジ１を覆うガラスであり、３はガラス２を
フランジ１に固定する押さえ金具である。
である。第４図において、１は真空容器本体のフランジ
、２はフランジ１を覆うガラスであり、３はガラス２を
フランジ１に固定する押さえ金具である。
上記構成において、フランジ１に取付けられた、のぞき
窓であるガラス２は固定式である。
窓であるガラス２は固定式である。
発明が解決しようとする課題
しかしながら上記の従来の構成では、のぞき窓であるガ
ラスに真空容器本体内から発生する物質が、ガラス内壁
表面に付着し、真空容器内の状態観察および真空容器内
から発生する光信号の導入取り出しが困難となった場合
、ガラス表面をクリニングする必要に迫られるのである
が、ガラスが固定式のため、いったん真空容器本体を大
気圧に戻した後、内部からガラス表面をクリーニングす
るか、または、ガラス自体を清浄なものと交換真空容器
本体のメインテナンス周期を短（してしまうという欠点
を有していた。
ラスに真空容器本体内から発生する物質が、ガラス内壁
表面に付着し、真空容器内の状態観察および真空容器内
から発生する光信号の導入取り出しが困難となった場合
、ガラス表面をクリニングする必要に迫られるのである
が、ガラスが固定式のため、いったん真空容器本体を大
気圧に戻した後、内部からガラス表面をクリーニングす
るか、または、ガラス自体を清浄なものと交換真空容器
本体のメインテナンス周期を短（してしまうという欠点
を有していた。
本発明は上記従来の問題点を解決するもので、真空容器
内の状態管理を長期にわたり安定的に行なうことのでき
る、ビューイングポートを提供することを目的としてい
る。
内の状態管理を長期にわたり安定的に行なうことのでき
る、ビューイングポートを提供することを目的としてい
る。
課題を解決するための手段
この目的を達成するために、本発明のビューイングポー
トは、真空容器本体の外部に取付けられたセパレート真
空容器と、前記真空容器本体内ののぞき窓である可動ガ
ラスとから構成されている。
トは、真空容器本体の外部に取付けられたセパレート真
空容器と、前記真空容器本体内ののぞき窓である可動ガ
ラスとから構成されている。
作用
この構成によって、真空容器本体から発生する物質がガ
ラス内壁表面に付着したとしても、ガラス自体が可動の
ため、ガラス上の物質付着面と未付着面（清浄面）とを
、真空容器本体の真空と破らずに容易に交換できるため
、真空容器本体内の状態管理を長期にわたり安定的に行
なうことができる。
ラス内壁表面に付着したとしても、ガラス自体が可動の
ため、ガラス上の物質付着面と未付着面（清浄面）とを
、真空容器本体の真空と破らずに容易に交換できるため
、真空容器本体内の状態管理を長期にわたり安定的に行
なうことができる。
実施例
以下本発明の一実施例について、第１図、第２図および
第３図を参照しながら説明する。各図に示すように、セ
パレート真空容器５は、真空容器本体のフランジ６に取
付けられ、真空容器本体と同様に大気とはシールされて
いる。セパレート真空容器５の中には、可動ガラス７が
配され、フランジ６を全体に覆うように位置している。
第３図を参照しながら説明する。各図に示すように、セ
パレート真空容器５は、真空容器本体のフランジ６に取
付けられ、真空容器本体と同様に大気とはシールされて
いる。セパレート真空容器５の中には、可動ガラス７が
配され、フランジ６を全体に覆うように位置している。
また、可動ガラス７は、移動軸８と接続されている。そ
して、セパレート真空容器５には、のぞき窓としてガラ
ス９が取付けられ、このガラス９は、真空容器本体内の
状態を可動ガラス６を通して観察できるような位置に配
されている。
して、セパレート真空容器５には、のぞき窓としてガラ
ス９が取付けられ、このガラス９は、真空容器本体内の
状態を可動ガラス６を通して観察できるような位置に配
されている。
以上のように構成された本実施例のビューイングボート
について、以下その動作を説明する。
について、以下その動作を説明する。
まず、可動ガラス７が真空容器本体の中から発生した付
着物により汚れがひどくなると、可動ガラス７を移動軸
８をセパレート真空容器４の外部から操作し、可動ガラ
ス７の位置を右または左に移動する。このとき、可動ガ
ラス７の清浄面をフランジ６の開口部まで移動する。
着物により汚れがひどくなると、可動ガラス７を移動軸
８をセパレート真空容器４の外部から操作し、可動ガラ
ス７の位置を右または左に移動する。このとき、可動ガ
ラス７の清浄面をフランジ６の開口部まで移動する。
以上のように本実施例によれば、真空容器本体のフラン
ジの開口部に配するガラスを可動式にすることにより、
ガラス内壁表面がいったん汚れてしまっても、再び清浄
なガラス面を容易に得ることができる。
ジの開口部に配するガラスを可動式にすることにより、
ガラス内壁表面がいったん汚れてしまっても、再び清浄
なガラス面を容易に得ることができる。
発明の効果
以上のように本発明によれば、真空容器本体にセパレー
ト真空容器を設け、その内部に可動式のガラスを配する
ことにより、真空容器本体の真空を破ることな（、長期
にわたり真空容器本体内の状態観察ができ、また、真空
容器本体からの光の導入取り出しを安定的に行なうこと
ができる優れたビューイングポートを実現できる。
ト真空容器を設け、その内部に可動式のガラスを配する
ことにより、真空容器本体の真空を破ることな（、長期
にわたり真空容器本体内の状態観察ができ、また、真空
容器本体からの光の導入取り出しを安定的に行なうこと
ができる優れたビューイングポートを実現できる。
第１図は本発明の実施例におけるビューイングボート全
体の断面図、第２図は同ビューイングボートの可動ガラ
ス部の正面図、第３図は同ビューイングボートのセパレ
ート真空容器の正面図、第４図は従来のビューイングポ
ートの断面図である。 ■・・・・・・真空容器本体のフランジ、２・・・・・
・ガラス、３・・・・・・押さえ金具、５・・・・・・
セパレート真空容器、６・・・・・・真空容器本体のフ
ランジ、７・・・・・・可動ガラス、８・・・・・・移
動軸、９・・・・・・ガラス。
体の断面図、第２図は同ビューイングボートの可動ガラ
ス部の正面図、第３図は同ビューイングボートのセパレ
ート真空容器の正面図、第４図は従来のビューイングポ
ートの断面図である。 ■・・・・・・真空容器本体のフランジ、２・・・・・
・ガラス、３・・・・・・押さえ金具、５・・・・・・
セパレート真空容器、６・・・・・・真空容器本体のフ
ランジ、７・・・・・・可動ガラス、８・・・・・・移
動軸、９・・・・・・ガラス。
Claims (1)
- 真空容器本体のフランジと、前記フランジに取付けられ
たセパレート真空容器と、前記セパレート真空容器内に
配され前記フランジを覆う可動ガラスと、前記真空容器
の内部を前記可動ガラスを通して観察可能な位置に、前
記セパレート真空容器に取付けられたのぞき窓（ガラス
）を備えたビューイングポート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2538490A JPH03229632A (ja) | 1990-02-05 | 1990-02-05 | ビューイングポート |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2538490A JPH03229632A (ja) | 1990-02-05 | 1990-02-05 | ビューイングポート |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03229632A true JPH03229632A (ja) | 1991-10-11 |
Family
ID=12164374
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2538490A Pending JPH03229632A (ja) | 1990-02-05 | 1990-02-05 | ビューイングポート |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03229632A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102808217A (zh) * | 2012-08-21 | 2012-12-05 | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 | 一种用于单晶炉设备的观测机构 |
| DE102012107497A1 (de) * | 2012-08-16 | 2014-02-20 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Beobachtungseinrichtung für eine Vakuumvorrichtung |
| CN103695860A (zh) * | 2013-12-31 | 2014-04-02 | 合肥京东方光电科技有限公司 | 真空反应腔以及真空加工设备 |
| DE102013100443A1 (de) * | 2012-08-14 | 2014-05-15 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Schutzfenstervorrichtung für eine Beschichtungsanlage |
| CN104894528A (zh) * | 2015-04-29 | 2015-09-09 | 沈阳拓荆科技有限公司 | 一种可观察传片腔室内双层机械手臂传片结构 |
| EP3412385A1 (en) * | 2017-06-06 | 2018-12-12 | LayerWise N.V. | Method and device for cleaning and/or replacement of a laser window of a process chamber |
-
1990
- 1990-02-05 JP JP2538490A patent/JPH03229632A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102013100443A1 (de) * | 2012-08-14 | 2014-05-15 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Schutzfenstervorrichtung für eine Beschichtungsanlage |
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| CN103695860A (zh) * | 2013-12-31 | 2014-04-02 | 合肥京东方光电科技有限公司 | 真空反应腔以及真空加工设备 |
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| EP3412385A1 (en) * | 2017-06-06 | 2018-12-12 | LayerWise N.V. | Method and device for cleaning and/or replacement of a laser window of a process chamber |
| CN108994294A (zh) * | 2017-06-06 | 2018-12-14 | 3D系统公司 | 用于清理和/或更换处理室的激光窗口的方法和设备 |
| BE1025304B1 (nl) * | 2017-06-06 | 2019-01-17 | Layerwise N.V. | Werkwijze en inrichting voor het reinigen en/of het vervangen van een laservenster van een proceskamer |
| US11090729B2 (en) | 2017-06-06 | 2021-08-17 | 3D Systems, Inc. | Method and device for cleaning and/or replacement of a laser window of a process chamber |
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