CN104894528A - 一种可观察传片腔室内双层机械手臂传片结构 - Google Patents

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方仕彩
吴凤丽
姜崴
廉杰
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Abstract

一种可观察传片腔室内双层机械手臂传片结构，主要包括升降机构连接板、传片腔室盖板、三角形透明块及密封圈。依据机械手左右手之间的间距及传片通道位置，参考机械手上基板位置迹线的位置，在传片腔室盖板上设计有三角形透明块。机械手在X或Y任意方向传取片时，都可观察到晶圆的有无及状态。上述三角形透明块与腔室盖板之间通过密封圈密封，整个结构为一体式，可通过升降机构连接板后端的气缸进行开关操作。本发明将大透明盖板变换为多个小的透明盖板分布在传片腔室上，每一处都可以观察到机械手臂上基板的有无及状态。可广泛应用于半导体薄膜沉积的应用与制备技术领域。

Description

一种可观察传片腔室内双层机械手臂传片结构
技术领域
本发明涉及一种可观察传片腔室内双层机械手臂传片结构，此结构主要应用于半导体镀膜设备传片腔室中双层机械手臂上基板的有无及状态的观察，属于半导体薄膜沉积的应用与制备技术领域。
背景技术
现有半导体镀膜设备的传片腔室内为提高产能采用了双层机械手臂传片，在机械手传片的过程中，可能会发生滑片、撞片、碎片等现象，为了能够观察到双层机械手臂的传片状态，一般采用了比较厚的大透明塑料板，此透明盖板的材料成本及加工费用极高，而且表面容易受到刮伤。
发明内容
本发明以解决上述问题为目的，提供了一种可降低成本并提高设备整体美观性的可观察传片腔室内双层机械手臂传片的结构。该结构将大透明盖板变换为多个小的透明盖板分布在传片腔室上，每一处都可以观察到机械手臂上基板的有无及状态。
为实现上述目的，本发明采用下述技术方案：一种可观察传片腔室内双层机械手臂传片结构，主要包括升降机构连接板(1)、传片腔室盖板(2)、三角形透明块(3)及密封圈(4)。依据机械手左右手之间的间距及传片通道位置，参考机械手上基板位置迹线(7)的位置，在传片腔室盖板(2)上设计有三角形透明块(3)。机械手在X或Y任意方向传取片时，都可观察到晶圆的有无及状态。上述三角形透明块(3)与腔室盖板(2)之间通过密封圈(4)密封，整个结构为一体式，可通过升降机构连接板(1)后端的气缸进行开关操作。
本发明的有益效果及特点在于：
1、本发明实现了一种可观察传片腔室内双层机械手臂传片的机构，四处观察位置结构对称，机械手在X或Y任意方向传取片时，都可观察到晶圆的有无及状态；
2、依附于1的基础上，四处小透明盖板的分布替代了比较厚的大透明盖板，大大的降低了设备的总成本并提高了设备的整体美观性。
附图说明
图1是本发明的结构示意图。
具体实施方式
实施例
参照图1，一种可观察传片腔室内双层机械手臂传片结构，包括：升降机构连接板1、传片腔室盖板2、三角形透明块3、密封圈4、螺钉A5及螺钉B6。
依据机械手左右手之间的间距及传片通道位置，参考机械手上基板位置迹线7的位置，在传片腔室盖板2上设计有三角形透明块3。
所述三角形透明块3在其观察位置上共设有四处，此四处观察位置结构对称，机械手在X或Y任意方向传取片时，都可观察到晶圆的有无及状态；
所述三角形透明块3与腔室盖板2之间通过密封圈4密封，并通过螺钉A5连接；
所述螺钉A5与螺钉B6为内六角螺钉；
所述升降机构连接板1通过螺钉B6连接到传片腔室盖板2上，整个结构为一体式，可通过升降机构连接板1后端的气缸进行开关操作。
本发明可广泛应用于半导体薄膜沉积的应用与制备技术领域。

Claims (3)

1.一种可观察传片腔室内双层机械手臂传片结构，其特征在于：它包括升降机构连接板、传片腔室盖板、三角形透明块及密封圈，依据机械手左右手之间的间距及传片通道位置，参考机械手上基板位置迹线的位置，在传片腔室盖板上设计有三角形透明块，三角形透明块与腔室盖板之间通过密封圈密封，并通过螺钉A连接；所述升降机构连接板通过螺钉B连接到传片腔室盖板上，整个结构为一体式，通过升降机构连接板后端的气缸进行开关操作。
2.如权利要求1所述的可观察传片腔室内双层机械手臂传片结构，其特征在于：所述三角形透明块在其观察位置上共设有四处。
3.如权利要求1所述的可观察传片腔室内双层机械手臂传片结构，其特征在于：所述螺钉A5与螺钉B6为内六角螺钉。
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